JP2007273631A - プローブの先端位置の検出方法、この方法を記録した記憶媒体、及びプローブ装置 - Google Patents
プローブの先端位置の検出方法、この方法を記録した記憶媒体、及びプローブ装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明のプローブの先端位置の検出方法は、ウエハと同一配列の電極Pを複数有する検出用基板Wに透明フィルムFを貼り付ける工程と、検出用基板Wの複数の電極Pを、第1のCCDカメラを用いて透明フィルムF越しに検出する工程と、スイッチプローブを用いて透明フィルムFの表面高さを検出する工程と、検出用基板Wの複数の電極Pと複数のプローブとの位置合わせを行う工程と、透明フィルムFの表面高さに基づいて載置台を上昇させて複数のプローブと透明フィルムFとを接触させて透明フィルムFに針跡Mを付ける工程と、検出用基板Wの複数の電極Pと透明フィルムFの針跡Mに基づいて複数のプローブの先端の位置を検出する工程と、を備えている。
【選択図】図2
Description
まず、本発明のプローブ装置について説明する。本実施形態のプローブ装置10は、例えば図1に示すように、被検査体であるウエハ(図示せず)を載置する移動可能な載置台11と、この載置台11の上方に配置されたプローブカード12と、このプローブカード12の複数のプローブ12Aと載置台11上のウエハとのアライメントを行うアライメント機構13と、載置台11及びアライメント機構13等を制御する制御装置14と、を備え、制御装置14の制御下でアライメント機構13が駆動して、載置台11上のウエハとプローブカード12の複数のプローブ12Aとのアライメントを行った後、複数のプローブ12Aとウエハとを電気的に接触させてウエハの電気的特性検査を行うように構成されている。本実施形態において、プローブ12Aの針跡を検出する場合には、同図に示すようにウエハに代えて透明フィルムFが貼り付けられた基板(検出用基板)Wを載置台11に載置する。
上記実施形態では第3の工程でスイッチプローブ16を使用して透明フィルムFの表面高さを直接測定する場合について説明したが、本実施形態では第3の工程では透明フィルムFの屈折率を利用して透明フィルムFの表面高さを求めた後プローブの位置を検出する点に特徴がある。透明フィルムFの屈折率を利用して透明フィルムFの表面高さを求めること以外は第1の実施形態と同一であるため、本実施形態の特徴について説明する。
L1*tanφ=(L1+L2)*tanθ・・・式1
式1において、tanφ、tanθは既知であり、L2は第1のCCDカメラ13Aによって測定することができる。即ち、図7の(a)に示すように第1のカメラ13Aによって透明フィルムFの外側で検出用基板Wを検出すると、図6の(b)の一点鎖線の位置にある検査用基板Wの表面高さを実際に検出する。この時の載置台11の位置を補助記憶装置に記憶する。次いで、載置台11を移動させて第1のCCDカメラ13Aによって透明フィルムF越し検出用基板Wを検出すると、図6の(a)にある検出用基板Wを検出することができる。この時の載置台11の位置を補助記憶装置に記憶する。中央演算処理装置において図6の(a)に示す検出位置から同図の(b)に示す検出位置を差し引くと、L2を求めることができる。ここで、tanφ、tanθ及びL2が既知であるから、これらの値を式1に代入することによってL1、即ち透明フィルムFの厚さを求めることができる。
本実施形態は透明フィルムFの屈折率nが未知の場合に、透明フィルムFの屈折率nを求める点に特徴がある。この場合には透明フィルムFの屈折率nが未知であるため、式1から明らかなように透明フィルムFの厚さL1及び検査用基板Wの高さの補正値L2を測定により求めなくてはならない。
11 載置台
12 プローブカード
12A プローブ
13A 第1のCCDカメラ(撮像手段)
14 制御装置
19 スイッチプローブ(接触センサ)
21 紫外線照射装置
Claims (16)
- 被検査体に複数のプローブを電気的に接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行うに当たり、上記複数のプローブの先端の位置を検出する方法であって、
上記被検査体と同一配列の電極を複数有する基板に透明フィルムを貼り付ける第1の工程と、
第1の工程で得られた上記基板の複数の電極を、撮像手段を用いて上記透明フィルム越しに検出する第2の工程と、
上記透明フィルムの表面高さを付与する第3の工程と、
第2の工程で検出された上記基板の電極と上記複数のプローブとの位置合わせを行う第4の工程と、
上記表面高さに基づいて上記複数のプローブと上記透明フィルムとを接触させて上記透明フィルムに針跡を付ける第5の工程と、
上記複数の電極と上記透明フィルムの針跡に基づいて上記複数のプローブの先端の位置を検出する第6の工程と、を備えた
ことを特徴とするプローブの先端位置の検出方法。 - 上記第3の工程では、接触センサを上記透明フィルムの表面に接触させて、上記透明フィルムの表面高さを求めることを特徴とする請求項1に記載のプローブの先端位置の検出方法。
- 上記第3の工程では、上記撮像手段を用いて上記基板の見掛け上の高さと実際の高さとを測定し、この高低差と上記透明フィルムの屈折率とに基づいて上記透明フィルムの表面高さを求めることを特徴とする請求項1に記載のプローブの先端位置の検出方法。
- 上記第4の工程に先立って、上記透明フィルムの表面高さに基づいて上記基板のオーバードライブ量を設定することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のプローブの先端位置の検出方法
- 上記第3の工程に先立って、上記接触センサを用いて上記基板の透明フィルムの厚さを測定し、また、上記撮像手段を用いて測定される上記基板の見掛け上の高さと実際の高さとの差を上記基板の高さの補正値として求め、上記透明フィルムの厚さと上記補正値に基づいて上記透明フィルムの屈折率を求め、上記屈折率に基づいて上記透明フィルムの表面高さを付与することを特徴とする請求項3または請求項4に記載のプローブの先端位置の検出方法。
- 予め、上記接触センサを用いて厚さの異なる上記透明フィルムの厚さを測定し、また、上記撮像手段を用いて上記各透明フィルムについて測定される上記基板の見掛け上の高さと実際の高さとの差を補正値として求め、上記各透明フィルムの厚さと上記各透明フィルムの補正値との相関関係に基づいて測定される上記基板の見掛け上の高さと実際の高さとの差から上記透明フィルムの表面高さを付与することを特徴とする請求項1に記載のプローブの先端位置の検出方法。
- 上記基板から上記透明フィルムを剥離する第6の工程を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載のプローブの先端位置の検出方法。
- 上記第6の工程に先立って、上記透明フィルムに紫外線を照射する請求項7に記載のプローブの先端位置の検出方法。
- コンピュータを駆動させて、請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載のプローブの先端位置の検出方法を実行させることを特徴とする記憶媒体。
- 制御装置の制御下で、被検査体に複数のプローブを接触させて上記被検査体の電気的特性検査を行うに当たり、上記被検査体と同一配列の電極を複数有する基板に貼り付けられた透明フィルムに上記複数のプローブの針跡を付けてこれらの針跡に基づいて上記複数のプローブの先端を検出するプローブ装置であって、
上記基板を撮像する撮像手段と、
上記透明フィルムの表面高さを付与する手段と、
上記撮像手段を用いて上記透明フィルム越しに上記基板を撮像して上記複数の電極と上記複数のプローブとの位置合わせを行う手段と、
上記表面高さに基づいて上記複数のプローブと上記透明フィルムとを接触させて上記透明フィルムに針跡を付ける手段と、
上記複数の電極と上記透明フィルムの針跡に基づいて上記複数のプローブの先端の位置を検出する手段と、を備えた
ことを特徴とするプローブ装置。 - 上記透明フィルムの表面に接触し、上記透明フィルムの表面高さを検出する接触センサを備えたことを特徴とする請求項10に記載のプローブ装置。
- 上記制御装置は、上記撮像手段を用いて測定された上記基板の見掛け上の高さと実際の高さとの高低差と上記透明フィルムの屈折率とに基づいて上記透明フィルムの表面高さを算出する手段を有することを特徴とする請求項10に記載のプローブ装置。
- 上記制御装置は、上記透明フィルムの表面高さに基づいて上記基板のオーバードライブ量を設定指令する手段を有することを特徴とする請求項10〜請求項12のいずれか1項に記載のプローブ装置
- 上記制御装置は、上記接触センサの検出値に基づいて上記基板の透明フィルムの厚さを算出する手段と、上記撮像手段を用いて測定された上記基板の見掛け上の高さと実際の高さとの差を上記基板の高さの補正値として求める手段と、上記透明フィルムの厚さと上記補正値に基づいて上記透明フィルムの屈折率を求める手段と、を有することを特徴とする請求項12または請求項13に記載のプローブ装置。
- 上記制御装置は、上記接触センサを用いて測定された複数の上記透明フィルムの厚さをそれぞれ記憶する手段と、上記撮像手段を用いて上記各透明フィルムについて測定された上記基板の見掛け上の高さと実際の高さとの差を補正値として記憶する手段と、上記各透明フィルムの厚さと上記各透明フィルムの補正値との相関関係に基づいて測定される上記基板の見掛け上の高さと実際の高さとの差から上記透明フィルムの表面高さを付与する手段と、を有することを特徴とする請求項10〜請求項14のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 上記透明フィルムに紫外線を照射する手段を備えたことを特徴とする請求項10〜請求項15のいずれか1項に記載のプローブ装置。
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