JP2008246678A - Photosensitive laminate manufacturing apparatus - Google Patents

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明彦 長谷
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive laminate manufacturing apparatus constituted so that its manufacturing state is monitored and, when trouble occurs, the cause of the trouble is specified and avoiding wasteful work to efficiently manufacture a desired photosensitive laminate. <P>SOLUTION: The tension, feed speed and temperature of a long photosensitive web, the feed speed and temperature of a glass substrate, the press bonding force in a lamination mechanism and manufacturing state data of the image or the like of the photosensitive laminate are acquired to be compared with a predetermined judge value and the judge result is displayed on a monitor 158 and transmitted to another processor to grasp the presence of trouble beforehand while adjusted if necessary to execute processing. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ローラ間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体製造装置に関する。   The present invention provides a photosensitive laminate by feeding a substrate and a long photosensitive web provided with a photosensitive material layer on a support between a pair of pressure rollers, and affixing the photosensitive material layer to the substrate. The present invention relates to an apparatus for manufacturing a photosensitive laminate.

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、PDPパネル用基板は、感光性樹脂層(感光材料層)を有する感光性シート体(感光性ウエブ)を基板表面に貼り付けて構成される。感光性シート体は、例えば、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。   For example, a liquid crystal panel substrate, a printed wiring substrate, and a PDP panel substrate are configured by attaching a photosensitive sheet (photosensitive web) having a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) to the substrate surface. In the photosensitive sheet body, for example, a photosensitive resin layer and a protective film are sequentially laminated on a flexible plastic support.

この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させてラミネーションローラ(圧着ローラ)間に搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応する保護フイルムを剥離した感光性シート体を前記ラミネーションローラ間に搬送する方式が採用されている。   A manufacturing apparatus used for attaching a photosensitive sheet body of this type usually conveys a substrate such as a glass substrate or a resin substrate between lamination rollers (pressure-bonding rollers) while separating the substrates by a predetermined interval. A method is adopted in which a photosensitive sheet body from which a protective film corresponding to the range of the photosensitive resin layer to be affixed is peeled is conveyed between the lamination rollers.

例えば、特許文献1に開示されている製造装置では、図7に示すように、ロール1から感光性シート体2を繰り出してハーフカッタ装置3に供給し、感光性シート体2を構成する支持体上に積層されている保護フイルム及び感光性樹脂層を所定の間隔で切断する。次いで、保護フイルム除去部4に前記感光性シート体2を供給し、基板5の貼り付け範囲に対応する保護フイルムを粘着テープ等を用いて剥離した後、熱圧着ローラ6a、6b間に供給する。一方、熱圧着ローラ6a、6b間には、加熱された基板5が搬入され、保護フイルムが剥離されることで露出した感光性樹脂層を介して感光性シート体2が基板5の下面部に加熱圧着される。感光性シート体2が加熱圧着された基板5は、熱圧着ローラ6a、6bから搬出された後、分離装置7によって基板5間の感光性シート体2が切断され、図示しない剥離装置により支持体が剥離されて感光性積層体が製造される。   For example, in the manufacturing apparatus disclosed in Patent Document 1, as shown in FIG. 7, the photosensitive sheet body 2 is unwound from the roll 1 and supplied to the half cutter apparatus 3, thereby supporting the photosensitive sheet body 2. The protective film and the photosensitive resin layer laminated on the top are cut at a predetermined interval. Next, the photosensitive sheet body 2 is supplied to the protective film removing unit 4, and the protective film corresponding to the attachment range of the substrate 5 is peeled off using an adhesive tape or the like, and then supplied between the thermocompression rollers 6a and 6b. . On the other hand, the heated substrate 5 is carried between the thermocompression rollers 6a and 6b, and the photosensitive sheet 2 is placed on the lower surface portion of the substrate 5 through the photosensitive resin layer exposed by peeling off the protective film. It is thermocompression bonded. The substrate 5 on which the photosensitive sheet 2 has been heat-pressed is unloaded from the thermo-compression rollers 6a and 6b, and then the photosensitive sheet 2 between the substrates 5 is cut by the separating device 7, and the support is supported by a peeling device (not shown). Is peeled off to produce a photosensitive laminate.

特許第3316093号公報Japanese Patent No. 3316093

ところで、このような製造装置を用いて、貼り付けむらや気泡の混入がなく、また、皺や段差のない高品質な感光性積層体を製造するためには、感光性シート体2及び基板5の温度や搬送速度、熱圧着ローラ6a、6bにより付与される圧着圧力等を監視して、これらを高精度に調整する必要がある。   By the way, in order to manufacture a high-quality photosensitive laminated body free from uneven pasting and air bubbles and free from wrinkles and steps using such a manufacturing apparatus, the photosensitive sheet body 2 and the substrate 5 are used. It is necessary to monitor the temperature, the conveying speed, the pressure applied by the thermocompression-bonding rollers 6a and 6b, and adjust these with high accuracy.

この場合、現状の製造装置では、例えば、熱圧着ローラ6a、6b自体の温度を測定し、その温度が所定温度となるように制御を行っている。また、搬送速度については、熱圧着ローラ6a、6bの回転速度を搬送速度として検出している。   In this case, in the current manufacturing apparatus, for example, the temperature of the thermocompression-bonding rollers 6a and 6b itself is measured, and control is performed so that the temperature becomes a predetermined temperature. Moreover, about the conveyance speed, the rotational speed of the thermocompression-bonding rollers 6a and 6b is detected as the conveyance speed.

しかしながら、貼り付け時の温度は、供給される感光性シート体2及び基板5の温度に依存しており、例えば、感光性シート体2又は基板5の温度が熱圧着ローラ6a、6bよりも低いと、実際の貼り付け時の温度は、測定された熱圧着ローラ6a、6bの温度よりも低くなってしまう。また、熱圧着ローラ6a、6bと、感光性シート体2との間では、感光性シート体2の伸びや滑りの影響があるため、熱圧着ローラ6a、6bの回転速度から得た搬送速度と、実際の搬送速度との間にずれが生じてしまう。   However, the temperature at the time of pasting depends on the temperature of the photosensitive sheet 2 and the substrate 5 to be supplied. For example, the temperature of the photosensitive sheet 2 or the substrate 5 is lower than that of the thermocompression rollers 6a and 6b. And the temperature at the time of actual sticking will become lower than the temperature of the measured thermocompression-bonding roller 6a, 6b. Further, since there is an influence of elongation or slippage of the photosensitive sheet body 2 between the thermocompression roller 6a, 6b and the photosensitive sheet body 2, the conveyance speed obtained from the rotational speed of the thermocompression roller 6a, 6b There will be a deviation from the actual transport speed.

一方、例えば、液晶パネル用基板等を製造する場合には、上記の製造装置で製造された感光性積層体に対して、露光処理、現像処理、ベーク処理等の多数の後処理が施される。この場合、これらの多数の処理を経た最終製品上で不具合の有無を判定しようとすると、不具合が発見されたときには、既に多数の処理が施された後であるため、不具合を含む各処理に要した時間が無駄になってしまう。また、不具合の原因と思われる個所を上流に遡って確認しなければならないため、解析作業に多大な時間を要することになる。   On the other hand, for example, when manufacturing a liquid crystal panel substrate or the like, a number of post-processing such as exposure processing, development processing, and baking processing are performed on the photosensitive laminate manufactured by the manufacturing apparatus described above. . In this case, if an attempt is made to determine whether or not there is a defect on the final product that has undergone these many processes, if a defect is found, it is after a number of processes have already been performed. Time is wasted. In addition, since it is necessary to check upstream the location that seems to be the cause of the problem, it takes a lot of time for the analysis work.

本発明は、前記の不具合に鑑みなされたものであり、当該製造装置の製造状態を監視し、不具合が発生した際、その原因を容易に特定することができるとともに、無駄な作業を回避して、所望の感光性積層体を効率的に製造することのできる感光性積層体製造装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems, and when the manufacturing state of the manufacturing apparatus is monitored and a problem occurs, the cause can be easily identified, and unnecessary work can be avoided. Another object of the present invention is to provide a photosensitive laminate manufacturing apparatus capable of efficiently manufacturing a desired photosensitive laminate.

本発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離して前記感光材料層を露出させた後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置する一方、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体製造装置において、
当該製造装置によって製造される前記感光性積層体に自他識別情報を設定する設定手段と、
当該製造装置による前記感光性積層体の製造状態に係る製造状態情報を取得する取得手段と、
取得した前記製造状態情報を予め設定した判定値と比較して、前記製造状態の良否を判定する判定手段と、
前記判定手段による判定結果を前記自他識別情報に関連させて処理する処理手段と、
を備えることを特徴とする。
The present invention feeds a long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support, and a processing site corresponding to a boundary position between a peeled portion and a remaining portion of the protective film, The elongated photosensitive film is formed in a portion extending from the protective film to the photosensitive material layer, and the peeling portion of the protective film is peeled off to expose the photosensitive material layer. The photosensitive web is continuously fed between a pair of heated pressure rollers, the remaining portion of the protective film is disposed between the substrates, and the exposed photosensitive material layer is attached to the substrate, and then the protective film is placed. In the photosensitive laminate manufacturing apparatus for manufacturing the photosensitive laminate by peeling the support from the film,
Setting means for setting self-other identification information in the photosensitive laminate manufactured by the manufacturing apparatus;
An acquisition means for acquiring manufacturing state information relating to a manufacturing state of the photosensitive laminate by the manufacturing apparatus;
A determination means for comparing the acquired manufacturing state information with a predetermined determination value to determine the quality of the manufacturing state;
Processing means for processing the determination result by the determination means in association with the self-other identification information;
It is characterized by providing.

本発明では、当該製造装置の製造状態を判定値と比較しながら監視し、不具合が発生した際、その判定結果に基づいて不具合の原因を容易に特定することができる。また、不具合を含む状態で製造された感光性積層体が他の処理装置に搬送されて処理が行われる事態を事前に回避することができるため、無駄な作業を無くし、所望の感光性積層体を効率的に製造することができる。さらに、適切な製造状態情報を取得して製造状態の良否を判定することにより、製造装置の状態を正確に把握することができる。   In the present invention, the manufacturing state of the manufacturing apparatus is monitored while being compared with the determination value, and when a failure occurs, the cause of the failure can be easily specified based on the determination result. In addition, it is possible to avoid a situation in which a photosensitive laminate manufactured in a state including defects is transported to another processing apparatus and processing is performed in advance, so that unnecessary work is eliminated and a desired photosensitive laminate is eliminated. Can be efficiently manufactured. Furthermore, the state of the manufacturing apparatus can be accurately grasped by acquiring appropriate manufacturing state information and determining the quality of the manufacturing state.

図1は、本実施形態に係る感光性積層体の製造装置であるラミネート装置20の概略構成図であり、このラミネート装置20は、液晶又は有機EL用カラーフィルタ等の製造工程中、所定の幅寸法からなる長尺状感光性ウエブ22の感光性樹脂層28(後述する)をガラス基板24に熱転写(ラミネート)する作業を行う。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a laminating apparatus 20 that is an apparatus for manufacturing a photosensitive laminate according to the present embodiment. The laminating apparatus 20 has a predetermined width during a manufacturing process of a liquid crystal or an organic EL color filter or the like. An operation of thermally transferring (laminating) a photosensitive resin layer 28 (described later) of the long photosensitive web 22 having dimensions to the glass substrate 24 is performed.

図2は、ラミネート装置20に使用される長尺状感光性ウエブ22の断面図である。この長尺状感光性ウエブ22は、可撓性ベースフイルム(支持体)26と、クッション層27と、中間層29と、感光性樹脂層(感光材料層)28と、保護フイルム30とを順次積層して構成される。   FIG. 2 is a cross-sectional view of the long photosensitive web 22 used in the laminating apparatus 20. The long photosensitive web 22 includes a flexible base film (support) 26, a cushion layer 27, an intermediate layer 29, a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) 28, and a protective film 30 in this order. It is constructed by stacking.

可撓性ベースフイルム26は、ポリエチレンテレフタレート(PET)で形成され、クッション層27は、エチレンと酸化ビニル共重合体で形成され、中間層29は、ポリビニルアルコールで形成され、感光性樹脂層28は、アルカリ可溶性バインダとモノマーと光重合開始材と着色剤を含む着色感光性樹脂組成物で形成され、保護フイルム30は、ポリプロピレンで形成される。なお、クッション層27は、ガラス基板24の微小な凹凸に影響されることなく、気泡が混入しない状態で感光性樹脂層28をガラス基板24に貼り付けるためのものである。   The flexible base film 26 is made of polyethylene terephthalate (PET), the cushion layer 27 is made of ethylene and vinyl oxide copolymer, the intermediate layer 29 is made of polyvinyl alcohol, and the photosensitive resin layer 28 is made of The protective film 30 is formed of polypropylene, and is formed of a colored photosensitive resin composition containing an alkali-soluble binder, a monomer, a photopolymerization initiator, and a colorant. The cushion layer 27 is used to attach the photosensitive resin layer 28 to the glass substrate 24 without being affected by minute irregularities of the glass substrate 24 and without bubbles being mixed therein.

図1に示すように、ラミネート装置20は、長尺状感光性ウエブ22をロール状に巻回した感光性ウエブロール23を収容し、感光性ウエブロール23から前記長尺状感光性ウエブ22を送り出し可能なウエブ送り出し機構32と、送り出された長尺状感光性ウエブ22の保護フイルム30及び感光性樹脂層28の幅方向に、2個所のハーフカット部位(加工部位)34a、34b(図2参照)を形成する加工機構36と、接着ラベル38(図3参照)を保護フイルム30に接着させるラベル接着機構40とを備える。   As shown in FIG. 1, the laminating apparatus 20 accommodates a photosensitive web roll 23 in which a long photosensitive web 22 is wound in a roll shape, and the long photosensitive web 22 is removed from the photosensitive web roll 23. Two half cut portions (processed portions) 34a and 34b (FIG. 2) in the width direction of the web feed mechanism 32 that can send out, the protective film 30 of the long photosensitive web 22 sent out, and the photosensitive resin layer 28. And a label adhering mechanism 40 for adhering the adhesive label 38 (see FIG. 3) to the protective film 30.

ラベル接着機構40の下流には、長尺状感光性ウエブ22をタクト送りから連続送りに変更するためのリザーバ機構42と、長尺状感光性ウエブ22から保護フイルム30を所定の長さ間隔で剥離させる剥離機構44と、ガラス基板24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に供給する基板供給機構45と、前記保護フイルム30の剥離により露出した感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に一体的に貼り付ける貼り付け機構46とが配設される。   Downstream of the label adhering mechanism 40, a reservoir mechanism 42 for changing the long photosensitive web 22 from tact feed to continuous feed, and a protective film 30 from the long photosensitive web 22 at predetermined length intervals. A peeling mechanism 44 for peeling off, a substrate supply mechanism 45 for supplying the glass substrate 24 to a bonding position in a state where the glass substrate 24 is heated to a predetermined temperature, and the photosensitive resin layer 28 exposed by peeling off the protective film 30 are included in the glass substrate 24. An affixing mechanism 46 for affixing to and from is provided.

貼り付け機構46における貼り付け位置の上流近傍には、ハーフカット部位34a、34bを含む長尺状感光性ウエブ22の画像を撮影する撮影部47が配設される。ラミネート装置20は、撮影部47によって撮影されたハーフカット部位34a、34bの画像に基づき、貼り付け機構46に対するハーフカット部位34a、34bの位置ずれ量を算出し、長尺状感光性ウエブ22の送り量の補正を行う。   In the vicinity of the upstream of the attaching position in the attaching mechanism 46, an imaging unit 47 for taking an image of the long photosensitive web 22 including the half cut portions 34a and 34b is disposed. The laminating apparatus 20 calculates the amount of displacement of the half-cut portions 34a and 34b with respect to the attaching mechanism 46 based on the images of the half-cut portions 34a and 34b photographed by the photographing unit 47, and Correct the feed amount.

ウエブ送り出し機構32の下流近傍には、略使用済みの長尺状感光性ウエブ22の後端と、新たに使用される長尺状感光性ウエブ22の先端とを貼り付ける貼り付け台49が配設される。貼り付け台49の下流には、感光性ウエブロール23の巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器51が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、ウエブ送り出し機構32を幅方向に移動させて行うが、ローラを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。   In the vicinity of the downstream side of the web delivery mechanism 32, an affixing table 49 is provided to attach the rear end of the substantially used long photosensitive web 22 and the front end of the newly used long photosensitive web 22. Established. A film terminal position detector 51 is disposed downstream of the attachment table 49 in order to control the shift in the width direction due to the winding shift of the photosensitive web roll 23. Here, the film terminal position adjustment is performed by moving the web feed mechanism 32 in the width direction, but may be performed by attaching a position adjustment mechanism combined with a roller.

加工機構36は、ウエブ送り出し機構32に収容巻回されている感光性ウエブロール23のロール径を算出するためのローラ対50の下流に配置される。加工機構36は、所定距離だけ離間した一対の丸刃52a、52bを備える。丸刃52a、52bは、長尺状感光性ウエブ22の幅方向に走行して、保護フイルム30の残存部分Bを挟んだ所定の2個所の位置にハーフカット部位34a、34bを形成する(図2参照)。   The processing mechanism 36 is disposed downstream of the roller pair 50 for calculating the roll diameter of the photosensitive web roll 23 accommodated and wound in the web feed mechanism 32. The processing mechanism 36 includes a pair of round blades 52a and 52b separated by a predetermined distance. The round blades 52a and 52b run in the width direction of the long photosensitive web 22 to form half-cut portions 34a and 34b at two predetermined positions sandwiching the remaining portion B of the protective film 30 (see FIG. 2).

図2に示すように、ハーフカット部位34a、34bは、少なくとも保護フイルム30及び感光性樹脂層28を切断する必要があり、実際上、可撓性ベースフイルム26まで切り込むように丸刃52a、52bの切り込み深さが設定される。丸刃52a、52bは、回転することなく固定された状態で、長尺状感光性ウエブ22の幅方向に移動してハーフカット部位34a、34bを形成する方式や、前記長尺状感光性ウエブ22上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位34a、34bを形成する方式が採用される。このハーフカット部位34a、34bは、丸刃52a、52bに代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃(トムソン刃)等で形成する方式を採用してもよい。   As shown in FIG. 2, the half-cut portions 34a and 34b are required to cut at least the protective film 30 and the photosensitive resin layer 28. In practice, the round blades 52a and 52b are cut so as to cut to the flexible base film 26. The depth of cut is set. The round blades 52a and 52b are fixed without rotating, and move in the width direction of the long photosensitive web 22 to form the half-cut portions 34a and 34b, or the long photosensitive web. A method of moving in the width direction while rotating without sliding on 22 to form the half-cut portions 34a and 34b is adopted. In place of the round blades 52a and 52b, for example, the half-cut portions 34a and 34b employ a method of forming with a knife blade, a push cutting blade (Thomson blade) or the like in addition to a cutting method using laser light or ultrasonic waves. May be.

ハーフカット部位34a、34bは、感光性樹脂層28をガラス基板24に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板24の両端部からそれぞれ10mmずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板24間の保護フイルム30の残存部分Bは、後述する貼り付け機構46において感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。   When the photosensitive resin layer 28 is attached to the glass substrate 24, the half-cut portions 34a and 34b are set, for example, so as to be in a position that enters into the inside by 10 mm from both ends of the glass substrate 24, respectively. The remaining portion B of the protective film 30 between the glass substrates 24 functions as a mask when the photosensitive resin layer 28 is attached to the glass substrate 24 in a frame shape in the attaching mechanism 46 described later.

ラベル接着機構40は、ガラス基板24間に対応して保護フイルム30の残存部分Bを残すため、ハーフカット部位34b側の剥離部分Aとハーフカット部位34a側の剥離部分Aとを連結する接着ラベル38を供給する。   Since the label adhesion mechanism 40 leaves the remaining part B of the protective film 30 correspondingly between the glass substrates 24, an adhesive label that connects the peeling part A on the half-cut part 34b side and the peeling part A on the half-cut part 34a side. 38 is supplied.

図3に示すように、接着ラベル38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム30と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部(微粘着を含む)38aを有するとともに、この非接着部38aの両側、すなわち、前記接着ラベル38の長手方向両端部に、前方の剥離部分Aに接着される第1接着部38bと、後方の剥離部分Aに接着される第2接着部38cとを有する。   As shown in FIG. 3, the adhesive label 38 is formed in a strip shape, and is formed of, for example, the same resin material as the protective film 30. The adhesive label 38 has a non-adhesive portion (including a slight adhesion) 38a to which a pressure-sensitive adhesive is not applied at the center, and the front side of the non-adhesive portion 38a, that is, both ends in the longitudinal direction of the adhesive label 38 It has the 1st adhesion part 38b adhered to exfoliation part A, and the 2nd adhesion part 38c adhered to back exfoliation part A.

図1に示すように、ラベル接着機構40は、最大7枚の接着ラベル38を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド54a〜54gを備えるとともに、前記吸着パッド54a〜54gによる前記接着ラベル38の貼り付け位置には、長尺状感光性ウエブ22を下方から保持するための受け台56が昇降自在に配置される。   As shown in FIG. 1, the label bonding mechanism 40 includes suction pads 54 a to 54 g to which a maximum of seven adhesive labels 38 can be pasted at predetermined intervals, and the adhesive labels by the suction pads 54 a to 54 g. A pedestal 56 for holding the elongate photosensitive web 22 from below is disposed at the attachment position 38 so as to be movable up and down.

リザーバ機構42は、上流側の長尺状感光性ウエブ22のタクト搬送と、下流側の前記長尺状感光性ウエブ22の連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーローラ60を備える。   The reservoir mechanism 42 is swingable in the direction of the arrow in order to absorb the speed difference between the tact conveyance of the long photosensitive web 22 on the upstream side and the continuous conveyance of the long photosensitive web 22 on the downstream side. The dancer roller 60 is provided.

リザーバ機構42の下流に配置される剥離機構44は、長尺状感光性ウエブ22の送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム62を備える。サクションドラム62の近傍には、剥離ローラ63が配置されるとともに、この剥離ローラ63を介して長尺状感光性ウエブ22から鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム30は、残存部分Bを除いて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。   The peeling mechanism 44 disposed downstream of the reservoir mechanism 42 includes a suction drum 62 that blocks tension fluctuation on the delivery side of the long photosensitive web 22 and stabilizes the tension during lamination. A peeling roller 63 is disposed in the vicinity of the suction drum 62, and the protective film 30 peeled off from the long photosensitive web 22 with an acute peeling angle via the peeling roller 63 except for the remaining portion B. Then, the film is wound around the protective film winding section 64.

剥離機構44の下流側には、長尺状感光性ウエブ22にテンションを付与可能なテンション制御機構66が配設される。テンション制御機構66は、シリンダ68の駆動作用下にテンションダンサー70が揺動変位することにより、長尺状感光性ウエブ22のテンションが調整可能である。なお、テンション制御機構66は、必要に応じて使用すればよく、削除することもできる。   A tension control mechanism 66 that can apply tension to the long photosensitive web 22 is disposed on the downstream side of the peeling mechanism 44. The tension control mechanism 66 can adjust the tension of the long photosensitive web 22 when the tension dancer 70 swings and displaces under the driving action of the cylinder 68. The tension control mechanism 66 may be used as necessary and can be deleted.

基板供給機構45は、ガラス基板24を特定するための自他識別情報である基板ID情報を、例えば、バーコード等の形態でガラス基板24に記録するプリンタ72(設定手段)と、ガラス基板24を挟持するように配設され、ガラス基板24を所定の温度、例えば、100℃〜150℃に加熱する基板加熱部(例えば、ヒータ)74と、このガラス基板24を貼り付け機構46に供給する搬送機構76とを備える。   The substrate supply mechanism 45 includes a printer 72 (setting unit) that records substrate ID information, which is identification information for identifying the glass substrate 24, on the glass substrate 24 in the form of, for example, a barcode, and the glass substrate 24. A substrate heating unit (for example, a heater) 74 that heats the glass substrate 24 to a predetermined temperature, for example, 100 ° C. to 150 ° C., and supplies the glass substrate 24 to the pasting mechanism 46. A transport mechanism 76.

基板供給機構45と貼り付け機構46との間には、貼り付け機構46に供給されるガラス基板24の搬送速度を測定する基板搬送速度測定器77と、ガラス基板24の温度を測定する基板温度測定器78とが配設される。また、撮影部47の下流側のローラ73と貼り付け機構46との間には、貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22の搬送速度を測定するウエブ搬送速度測定器79と、貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22を所定の温度、例えば、70℃〜90℃に予熱するウエブ予熱部81と、長尺状感光性ウエブ22の温度を測定するウエブ温度測定器85とが配設される。さらに、ローラ73には、長尺状感光性ウエブ22に付与されるテンションを測定するテンション測定器71が連結される。   Between the substrate supply mechanism 45 and the pasting mechanism 46, a substrate transport speed measuring device 77 that measures the transport speed of the glass substrate 24 supplied to the pasting mechanism 46, and a substrate temperature that measures the temperature of the glass substrate 24. A measuring device 78 is provided. Further, between the roller 73 on the downstream side of the photographing unit 47 and the pasting mechanism 46, a web transport speed measuring device 79 for measuring the transport speed of the long photosensitive web 22 supplied to the pasting mechanism 46, and , A web preheating unit 81 for preheating the long photosensitive web 22 supplied to the attaching mechanism 46 to a predetermined temperature, for example, 70 ° C. to 90 ° C., and a web for measuring the temperature of the long photosensitive web 22. A temperature measuring device 85 is provided. Further, a tension measuring device 71 that measures the tension applied to the long photosensitive web 22 is connected to the roller 73.

基板搬送速度測定器77及びウエブ搬送速度測定器79としては、例えば、非接触式の測定器であるドップラ速度測定器を用いることができる。また、基板温度測定器78及びウエブ温度測定器85は、図4に示すように、ガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22の搬送方向と直交する幅方向に長尺に構成され、搬送されるガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22の二次元温度分布を測定する、例えば、赤外線サーモカメラを用いることができる。   As the substrate transport speed measuring device 77 and the web transport speed measuring device 79, for example, a Doppler speed measuring device which is a non-contact type measuring device can be used. Further, as shown in FIG. 4, the substrate temperature measuring device 78 and the web temperature measuring device 85 are configured to be elongated in the width direction orthogonal to the conveying direction of the glass substrate 24 and the long photosensitive web 22 and are conveyed. For example, an infrared thermo camera that measures the two-dimensional temperature distribution of the glass substrate 24 and the long photosensitive web 22 can be used.

貼り付け機構46は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムローラ(圧着ローラ)80a、80bを備える。ゴムローラ80a、80bには、バックアップローラ82a、82bが摺接する。バックアップローラ82bは、ローラクランプ部83を構成する加圧シリンダ84によりゴムローラ80b側に押圧される。   The affixing mechanism 46 includes rubber rollers (compression rollers) 80a and 80b that are arranged vertically and heated to a predetermined temperature. Backup rollers 82a and 82b are in sliding contact with the rubber rollers 80a and 80b. The backup roller 82b is pressed toward the rubber roller 80b by a pressure cylinder 84 that constitutes a roller clamp portion 83.

ゴムローラ80aの回転軸88には、ゴムローラ80aによるガラス基板24に対する長尺状感光性ウエブ22の圧着圧力を測定する圧力測定器89が配設される。この圧力測定器89としては、例えば、回転軸88の加圧時における歪みを検出して圧着圧力を測定する歪みゲージを用いることができる。   A pressure measuring device 89 that measures the pressure of the long photosensitive web 22 against the glass substrate 24 by the rubber roller 80a is disposed on the rotation shaft 88 of the rubber roller 80a. As the pressure measuring device 89, for example, a strain gauge that detects the pressure at the time of pressurizing the rotating shaft 88 and measures the pressure bonding pressure can be used.

長尺状感光性ウエブ22及びガラス基板24は、貼り付け機構46から矢印Y方向に延在する搬送路を構成する複数の基板搬送ローラ90a、90bによって冷却機構100に搬送されて冷却される。冷却機構100の下流には、ガラス基板24に貼り付けられた長尺状感光性ウエブ22から可撓性ベースフイルム26を剥離するための剥離機構102と、可撓性ベースフイルム26が剥離されることで分離された感光性積層体24aに貼り付けられた感光性樹脂層28の状態を検査するため、感光性積層体24aの画像を撮影する撮影部104(撮影手段)とが配設される。   The long photosensitive web 22 and the glass substrate 24 are transported to the cooling mechanism 100 and cooled by a plurality of substrate transport rollers 90a and 90b constituting a transport path extending from the attaching mechanism 46 in the direction of arrow Y. Downstream of the cooling mechanism 100, the peeling mechanism 102 for peeling the flexible base film 26 from the long photosensitive web 22 affixed to the glass substrate 24 and the flexible base film 26 are peeled off. In order to inspect the state of the photosensitive resin layer 28 attached to the separated photosensitive laminate 24a, a photographing unit 104 (photographing means) for photographing an image of the photosensitive laminate 24a is provided. .

剥離機構102は、ガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22を上方向に押し上げることで、可撓性ベースフイルム26の剥離を容易とするためのプッシャ106と、可撓性ベースフイルム26を剥離しながら巻き取る巻き取りローラ108とを備える。   The peeling mechanism 102 pushes up the long photosensitive web 22 between the glass substrates 24 upward, thereby causing the pusher 106 for facilitating the peeling of the flexible base film 26 and the flexible base film 26. A take-up roller that winds up while peeling.

撮影部104は、例えば、感光性積層体24aにガラス基板24側から赤外線等の照明光を照射する照明光源110と、ガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22を透過した照明光を受光して感光性積層体24aの画像を撮影するCCDカメラ112とを備える。   The imaging unit 104 receives, for example, the illumination light source 110 that irradiates the photosensitive laminate 24a with illumination light such as infrared rays from the glass substrate 24 side, and illumination light transmitted through the glass substrate 24 and the long photosensitive web 22. And a CCD camera 112 for taking an image of the photosensitive laminate 24a.

なお、以上のように構成されるラミネート装置20では、ウエブ送り出し機構32、加工機構36、ラベル接着機構40、リザーバ機構42、剥離機構44、テンション制御機構66並びに撮影部47が、貼り付け機構46の上方に配置されているが、これとは逆に、前記ウエブ送り出し機構32から前記撮影部47までを前記貼り付け機構46の下方に配置し、長尺状感光性ウエブ22の上下が逆になって感光性樹脂層28をガラス基板24の下側に貼り付ける構成であってもよく、また、長尺状感光性ウエブ22の搬送路を直線状に構成してもよい。   In the laminating apparatus 20 configured as described above, the web feed mechanism 32, the processing mechanism 36, the label adhesion mechanism 40, the reservoir mechanism 42, the peeling mechanism 44, the tension control mechanism 66, and the photographing unit 47 are combined with the pasting mechanism 46. However, on the contrary, the web feeding mechanism 32 to the photographing unit 47 are arranged below the pasting mechanism 46, and the long photosensitive web 22 is turned upside down. Thus, the photosensitive resin layer 28 may be attached to the lower side of the glass substrate 24, or the conveying path of the long photosensitive web 22 may be configured linearly.

ラミネート装置20内は、仕切り壁114を介して第1クリーンルーム116aと第2クリーンルーム116bとに仕切られる。第1クリーンルーム116aには、ウエブ送り出し機構32からテンション制御機構66までが収容され、第2クリーンルーム116bには、撮影部47以降の機構が収容される。第1クリーンルーム116aと第2クリーンルーム116bとは、貫通部118を介して連通する。   The inside of the laminating apparatus 20 is partitioned into a first clean room 116a and a second clean room 116b through a partition wall 114. The first clean room 116a accommodates the web feed mechanism 32 to the tension control mechanism 66, and the second clean room 116b accommodates the mechanism after the photographing unit 47. The first clean room 116a and the second clean room 116b communicate with each other through the penetrating portion 118.

図5は、ラミネート装置20を構成するプリンタ72を制御するとともに、取得手段により取得した製造状態情報に基づく製造状態の判定処理を行うラミネート制御装置128の詳細な構成ブロックを示す。なお、ラミネート制御装置128には、感光性積層体24aの製造状態を管理する上位の生産管理コンピュータ127が接続される。   FIG. 5 shows detailed configuration blocks of the laminating control device 128 that controls the printer 72 constituting the laminating apparatus 20 and performs a manufacturing state determination process based on the manufacturing state information acquired by the acquiring unit. The laminate control device 128 is connected to a higher-level production management computer 127 that manages the manufacturing state of the photosensitive laminate 24a.

ラミネート制御装置128は、基板供給機構45に配設されるプリンタ72を制御するプリンタ制御部136と、テンション測定器71によって測定された長尺状感光性ウエブ22のテンションを所定の判定値と比較して判定するテンション判定部137と、ウエブ搬送速度測定器79によって測定されたウエブ搬送速度を所定の判定値と比較して判定するウエブ搬送速度判定部138と、基板搬送速度測定器77によって測定された基板搬送速度を所定の判定値と比較して判定する基板搬送速度判定部140と、ウエブ温度測定器85によって測定された長尺状感光性ウエブ22の温度を所定の判定値と比較して判定するウエブ温度判定部142と、基板温度測定器78によって測定されたガラス基板24の温度を所定の判定値と比較して判定する基板温度判定部144と、圧力測定器89によって測定されたゴムローラ80a、80bによるラミネート圧力を所定の判定値と比較して判定するラミネート圧力判定部146と、撮影部104のCCDカメラ112によって撮影された感光性積層体24aの画像を所定の判定値と比較して検査判定する画像検査判定部148とを備える。   The laminating control device 128 compares the tension of the long photosensitive web 22 measured by the tension measuring device 71 with a printer control unit 136 that controls the printer 72 disposed in the substrate supply mechanism 45 and a predetermined determination value. Measured by a tension determination unit 137, a web conveyance speed determination unit 138 that compares the web conveyance speed measured by the web conveyance speed measuring device 79 with a predetermined determination value, and a substrate conveyance speed measurement device 77. The substrate conveyance speed determination unit 140 that compares the substrate conveyance speed with a predetermined determination value and the temperature of the long photosensitive web 22 measured by the web temperature measuring device 85 are compared with a predetermined determination value. The temperature of the glass substrate 24 measured by the web temperature determination unit 142 and the substrate temperature measuring device 78 is compared with a predetermined determination value. A substrate temperature determining unit 144 to be determined, a laminating pressure determining unit 146 that determines the laminating pressure by the rubber rollers 80a and 80b measured by the pressure measuring device 89 by comparing with a predetermined determination value, and a CCD camera 112 of the photographing unit 104. An image inspection determination unit 148 that determines the inspection by comparing the photographed image of the photosensitive laminate 24a with a predetermined determination value.

プリンタ制御部136には、ラミネート装置20に供給される個々のガラス基板24を特定するための自他識別情報である基板ID情報が基板ID情報記憶部150から供給される。また、判定手段であるテンション判定部137、ウエブ搬送速度判定部138、基板搬送速度判定部140、ウエブ温度判定部142、基板温度判定部144、ラミネート圧力判定部146、画像検査判定部148には、所望の感光性積層体24aを製造するために必要な長尺状感光性ウエブ22のテンション、速度、温度、圧力、画像パラメータ等の許容範囲に係る判定値が判定値記憶部152から供給される。基板ID情報及び判定値は、生産管理コンピュータ127から送信されて基板ID情報記憶部150及び判定値記憶部152に記憶される。   Substrate ID information, which is identification information for identifying individual glass substrates 24 supplied to the laminating apparatus 20, is supplied from the substrate ID information storage unit 150 to the printer control unit 136. Further, a tension determination unit 137, a web conveyance speed determination unit 138, a substrate conveyance speed determination unit 140, a web temperature determination unit 142, a substrate temperature determination unit 144, a laminate pressure determination unit 146, and an image inspection determination unit 148 which are determination units are included. The judgment value storage unit 152 supplies judgment values relating to the allowable range of the tension, speed, temperature, pressure, image parameters, etc. of the long photosensitive web 22 necessary for manufacturing the desired photosensitive laminate 24a. The The board ID information and the judgment value are transmitted from the production management computer 127 and stored in the board ID information storage unit 150 and the judgment value storage unit 152.

長尺状感光性ウエブ22のテンションの判定値は、貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22が所定の伸び率の範囲内にあり、且つ、長尺状感光性ウエブ22にたるみ等が発生しない値として設定されるものであり、例えば、長尺状感光性ウエブ22の単位幅当たり50N/m〜150N/mの範囲として設定される。ウエブ搬送速度及び基板搬送速度の判定値は、感光性積層体24aの製造のタクトタイム、製造に使用するガラス基板24のサイズに基づいて設定されるものであり、例えば、1.0m/分〜10.0m/分の範囲として設定される。貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22の温度の判定値は、ゴムローラ80a、80bの加熱温度、例えば、80℃〜140℃よりも低い温度範囲、例えば、70℃〜90℃の範囲として設定される。貼り付け機構46に供給されるガラス基板24の温度の判定値は、ゴムローラ80a、80bの加熱温度に近い温度範囲、例えば、100℃〜150℃の範囲として設定される。ゴムローラ80a、80bによるラミネート圧力の判定値は、例えば、線圧として50N/cm〜400N/cmの範囲として設定される。なお、これらの判定値は、供給される長尺状感光性ウエブ22及びガラス基板24の材質によって適宜選択できるようにすることが好ましい。   The determination value of the tension of the long photosensitive web 22 is that the long photosensitive web 22 supplied to the attaching mechanism 46 is within a predetermined elongation range and the long photosensitive web 22 The value is set as a value at which no sagging or the like occurs. For example, it is set as a range of 50 N / m to 150 N / m per unit width of the long photosensitive web 22. The determination values of the web conveyance speed and the substrate conveyance speed are set based on the tact time of the production of the photosensitive laminate 24a and the size of the glass substrate 24 used for the production, for example, 1.0 m / min to It is set as a range of 10.0 m / min. The determination value of the temperature of the long photosensitive web 22 supplied to the pasting mechanism 46 is a temperature range lower than the heating temperature of the rubber rollers 80a and 80b, for example, 80 ° C to 140 ° C, for example, 70 ° C to 90 ° C. It is set as a range. The determination value of the temperature of the glass substrate 24 supplied to the pasting mechanism 46 is set as a temperature range close to the heating temperature of the rubber rollers 80a and 80b, for example, a range of 100 ° C to 150 ° C. The judgment value of the lamination pressure by the rubber rollers 80a and 80b is set as a range of 50 N / cm to 400 N / cm as a linear pressure, for example. In addition, it is preferable that these determination values can be appropriately selected depending on the material of the long photosensitive web 22 and the glass substrate 24 to be supplied.

画像検査判定部148に供給される判定値としては、例えば、図6に示すように、CCDカメラ112によって撮影された感光性積層体24aの撮影域154の画像において、ガラス基板24の幅方向両端部と感光性樹脂層28の幅方向両端部との距離L1a、L1b、ガラス基板24の後端部と感光性樹脂層28の後端部との距離L2に対する許容範囲を設定することができる。同様に、ガラス基板24の前端部と感光性樹脂層28の前端部との距離に対する許容範囲を設定することができる。また、画像検査判定部148に供給される他の判定に係る項目としては、例えば、撮影された画像に含まれる気泡、異物、感光性樹脂層28の段差、長尺状感光性ウエブ22のクッション層27の剥がれ状態、可撓性ベースフイルム26の剥離状態等を含めることができる。   As the determination value supplied to the image inspection determination unit 148, for example, as shown in FIG. 6, in the image of the imaging region 154 of the photosensitive laminate 24 a captured by the CCD camera 112, both ends in the width direction of the glass substrate 24 are used. The allowable range can be set for the distances L1a and L1b between the first portion and the widthwise opposite ends of the photosensitive resin layer 28, and the distance L2 between the rear end portion of the glass substrate 24 and the rear end portion of the photosensitive resin layer 28. Similarly, an allowable range for the distance between the front end portion of the glass substrate 24 and the front end portion of the photosensitive resin layer 28 can be set. Further, as other items relating to the determination supplied to the image inspection determination unit 148, for example, bubbles, foreign matter, steps of the photosensitive resin layer 28 included in the photographed image, a cushion of the long photosensitive web 22 The peeling state of the layer 27, the peeling state of the flexible base film 26, and the like can be included.

さらに、ラミネート制御装置128は、テンション判定部137、ウエブ搬送速度判定部138、基板搬送速度判定部140、ウエブ温度判定部142、基板温度判定部144、ラミネート圧力判定部146、画像検査判定部148による判定結果を、基板ID情報記憶部150から読み出した基板ID情報と関連させて処理する判定結果処理部156(処理手段)を備える。判定結果処理部156は、基板ID情報及びその判定結果をモニタ158(表示手段)に表示させるとともに、判定結果送信部160(送信手段)を介して他の処理装置及び生産管理コンピュータ127に送信する。   Further, the laminate controller 128 includes a tension determination unit 137, a web conveyance speed determination unit 138, a substrate conveyance speed determination unit 140, a web temperature determination unit 142, a substrate temperature determination unit 144, a laminate pressure determination unit 146, and an image inspection determination unit 148. Is provided with a determination result processing unit 156 (processing means) for processing the determination result in association with the substrate ID information read from the substrate ID information storage unit 150. The determination result processing unit 156 displays the substrate ID information and the determination result on the monitor 158 (display unit), and transmits the substrate ID information to the other processing apparatus and the production management computer 127 via the determination result transmission unit 160 (transmission unit). .

次に、以上のように構成されるラミネート装置20の動作について説明する。   Next, the operation of the laminating apparatus 20 configured as described above will be described.

先ず、ウエブ送り出し機構32に取り付けられている感光性ウエブロール23から長尺状感光性ウエブ22が送り出される。長尺状感光性ウエブ22は、加工機構36に搬送される。   First, the long photosensitive web 22 is fed from the photosensitive web roll 23 attached to the web feed mechanism 32. The long photosensitive web 22 is conveyed to the processing mechanism 36.

加工機構36では、丸刃52a、52bが長尺状感光性ウエブ22の幅方向に移動して、前記長尺状感光性ウエブ22を保護フイルム30から感光性樹脂層28〜可撓性ベースフイルム26まで切り込み、保護フイルム30の残存部分Bの幅だけ離間するハーフカット部位34a、34bを形成する(図2参照)。これにより、長尺状感光性ウエブ22には、残存部分Bを挟んで前方の剥離部分Aと後方の剥離部分Aとが設けられる。   In the processing mechanism 36, the round blades 52 a and 52 b move in the width direction of the long photosensitive web 22, and the long photosensitive web 22 is moved from the protective film 30 to the photosensitive resin layer 28 to the flexible base film. Cut to 26 to form half-cut portions 34a and 34b separated by the width of the remaining portion B of the protective film 30 (see FIG. 2). Thus, the long photosensitive web 22 is provided with a front peeling portion A and a rear peeling portion A across the remaining portion B.

なお、残存部分Bの幅は、長尺状感光性ウエブ22が延びないことを前提として、貼り付け機構46のゴムローラ80a、80b間に供給されるガラス基板24間の距離を基準として設定される。また、一組のハーフカット部位34a、34bは、ガラス基板24に貼り付けられる感光性樹脂層28の基準長さの間隔で長尺状感光性ウエブ22に形成される。   The width of the remaining portion B is set on the basis of the distance between the glass substrates 24 supplied between the rubber rollers 80a and 80b of the attaching mechanism 46 on the assumption that the long photosensitive web 22 does not extend. . Further, the pair of half-cut portions 34 a and 34 b are formed on the long photosensitive web 22 at intervals of the reference length of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24.

次いで、長尺状感光性ウエブ22は、ラベル接着機構40に搬送されて、保護フイルム30の所定の貼り付け部位が受け台56上に配置される。ラベル接着機構40では、所定枚数の接着ラベル38が吸着パッド54b〜54gにより吸着保持され、各接着ラベル38が保護フイルム30の残存部分Bを跨いで、前方の剥離部分Aと後方の剥離部分Aとに一体的に接着される(図3参照)。   Next, the long photosensitive web 22 is conveyed to the label adhering mechanism 40, and a predetermined application portion of the protective film 30 is arranged on the cradle 56. In the label adhering mechanism 40, a predetermined number of adhesive labels 38 are adsorbed and held by the adsorbing pads 54b to 54g, and each adhering label 38 straddles the remaining portion B of the protective film 30, and the front peeling portion A and the rear peeling portion A. Are integrally bonded to each other (see FIG. 3).

例えば、7枚の接着ラベル38が接着された長尺状感光性ウエブ22は、図1に示すように、リザーバ機構42を介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、剥離機構44に連続的に搬送される。剥離機構44では、長尺状感光性ウエブ22の可撓性ベースフイルム26がサクションドラム62に吸着保持されるとともに、保護フイルム30が残存部分Bを残して前記長尺状感光性ウエブ22から剥離される。この保護フイルム30は、剥離ローラ63を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる(図1参照)。   For example, as shown in FIG. 1, the long photosensitive web 22 to which seven adhesive labels 38 are bonded is continuously connected to the peeling mechanism 44 after the tension on the delivery side is prevented via the reservoir mechanism 42. To be transported. In the peeling mechanism 44, the flexible base film 26 of the long photosensitive web 22 is sucked and held by the suction drum 62, and the protective film 30 is peeled off from the long photosensitive web 22 leaving the remaining portion B. Is done. The protective film 30 is peeled off via the peeling roller 63 and wound around the protective film take-up portion 64 (see FIG. 1).

剥離機構44の作用下に、保護フイルム30が残存部分Bを残して可撓性ベースフイルム26から剥離された後、長尺状感光性ウエブ22は、テンション制御機構66によってテンション調整が行われ、次いで、撮影部47において、所定の撮影タイミングでハーフカット部位34a、34bを含む長尺状感光性ウエブ22の画像が撮影される。撮影部47を通過した長尺状感光性ウエブ22は、ウエブ予熱部81によって所定の予熱温度まで加熱された後、貼り付け機構46に供給される。   Under the action of the peeling mechanism 44, after the protective film 30 is peeled off from the flexible base film 26 leaving the remaining portion B, the tension of the long photosensitive web 22 is adjusted by the tension control mechanism 66, Next, in the photographing unit 47, an image of the long photosensitive web 22 including the half cut portions 34a and 34b is photographed at a predetermined photographing timing. The long photosensitive web 22 that has passed through the photographing unit 47 is heated to a predetermined preheating temperature by the web preheating unit 81 and then supplied to the attaching mechanism 46.

一方、ガラス基板24は、プリンタ72によって所定の部位に基板ID情報が記録された後、基板供給機構45に供給される。すなわち、ラミネート制御装置128におけるプリンタ制御部136は、生産管理コンピュータ127から供給されて基板ID情報記憶部150に記憶されている基板ID情報に基づき、プリンタ72を制御してガラス基板24に基板ID情報を記録するとともに、この基板ID情報を判定結果処理部156に供給する。次いで、基板供給機構45に供給されたガラス基板24は、基板加熱部74によって所定温度に加熱された後、貼り付け機構46に供給される。   On the other hand, the glass substrate 24 is supplied to the substrate supply mechanism 45 after substrate ID information is recorded at a predetermined site by the printer 72. That is, the printer control unit 136 in the laminating control device 128 controls the printer 72 based on the substrate ID information supplied from the production management computer 127 and stored in the substrate ID information storage unit 150, and applies the substrate ID to the glass substrate 24. Information is recorded and the substrate ID information is supplied to the determination result processing unit 156. Next, the glass substrate 24 supplied to the substrate supply mechanism 45 is heated to a predetermined temperature by the substrate heating unit 74 and then supplied to the attaching mechanism 46.

ここで、貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22のテンションは、テンション測定器71によって測定され、テンション判定部137に供給される。テンション判定部137は、判定値記憶部152に記憶されているテンションの判定値と、測定された長尺状感光性ウエブ22のテンションとを比較し、前記テンションが規定の範囲内にあるか否かの判定を行う。また、貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22及びガラス基板24の搬送速度は、ウエブ搬送速度測定器79及び基板搬送速度測定器77によって測定され、ウエブ搬送速度判定部138及び基板搬送速度判定部140に供給される。ウエブ搬送速度判定部138は、判定値記憶部152に記憶されている判定値と、測定された長尺状感光性ウエブ22の搬送速度とを比較し、前記搬送速度が規定速度の範囲内にあるか否かの判定を行う。同様にして、基板搬送速度判定部140は、判定値記憶部152に記憶されている判定値と、測定されたガラス基板24の搬送速度とを比較し、前記搬送速度が規定速度の範囲内にあるか否かの判定を行う。これらの判定結果は、判定結果処理部156によって処理され、モニタ158に表示されるとともに、判定結果送信部160により他の処理装置及び生産管理コンピュータ127に送信される。   Here, the tension of the long photosensitive web 22 supplied to the attaching mechanism 46 is measured by the tension measuring device 71 and supplied to the tension determination unit 137. The tension determination unit 137 compares the tension determination value stored in the determination value storage unit 152 with the measured tension of the long photosensitive web 22, and determines whether the tension is within a specified range. Judgment is made. Further, the conveyance speed of the long photosensitive web 22 and the glass substrate 24 supplied to the pasting mechanism 46 is measured by the web conveyance speed measuring device 79 and the substrate conveyance speed measuring device 77, and the web conveyance speed determination unit 138 and It is supplied to the substrate conveyance speed determination unit 140. The web conveyance speed determination unit 138 compares the determination value stored in the determination value storage unit 152 with the measured conveyance speed of the long photosensitive web 22, and the conveyance speed is within a specified speed range. It is determined whether or not there is. Similarly, the substrate transport speed determination unit 140 compares the determination value stored in the determination value storage unit 152 with the measured transport speed of the glass substrate 24, and the transport speed is within a specified speed range. It is determined whether or not there is. These determination results are processed by the determination result processing unit 156, displayed on the monitor 158, and transmitted to the other processing apparatus and the production management computer 127 by the determination result transmission unit 160.

そこで、例えば、長尺状感光性ウエブ22のテンションが許容範囲内に設定されていないとする判定結果が得られた場合、貼り付け機構46における貼り付け処理を直ちに停止させ、あるいは、上流のテンション制御機構66に対して測定されたテンションの値をフィードバックし、テンションの調整を行うことができる。   Therefore, for example, when a determination result is obtained that the tension of the long photosensitive web 22 is not set within the allowable range, the pasting process in the pasting mechanism 46 is immediately stopped, or the upstream tension The tension value can be adjusted by feeding back the measured tension value to the control mechanism 66.

また、搬送速度が許容範囲内に設定されていないとする判定結果が得られた場合、貼り付け機構46における貼り付け処理を直ちに停止させ、あるいは、長尺状感光性ウエブ22又はガラス基板24の搬送速度が所定の搬送速度となるような調整処理を行うことにより、不適切な感光性積層体24aが製造されてしまう事態を事前に回避することができる。   Further, when a determination result that the conveyance speed is not set within the allowable range is obtained, the pasting process in the pasting mechanism 46 is immediately stopped or the long photosensitive web 22 or the glass substrate 24 is stopped. By performing adjustment processing so that the conveyance speed becomes a predetermined conveyance speed, it is possible to avoid in advance a situation in which an inappropriate photosensitive laminate 24a is manufactured.

また、貼り付け機構46に供給される長尺状感光性ウエブ22及びガラス基板24の温度は、貼り付け機構46の直前において、ウエブ温度測定器85及び基板温度測定器78によって測定され、ウエブ温度判定部142及び基板温度判定部144に供給される。ウエブ温度判定部142は、判定値記憶部152に記憶されている判定値と、測定された長尺状感光性ウエブ22の温度とを比較し、前記温度が規定温度の範囲内にあるか否かの判定を行う。同様にして、基板温度判定部144は、判定値記憶部152に記憶されている判定値と、測定されたガラス基板24の温度とを比較し、前記温度が規定温度の範囲内にあるか否かの判定を行う。これらの判定結果は、判定結果処理部156によって処理され、モニタ158に表示されるとともに、判定結果送信部160により他の処理装置及び生産管理コンピュータ127に送信される。   Further, the temperature of the long photosensitive web 22 and the glass substrate 24 supplied to the attaching mechanism 46 is measured by the web temperature measuring device 85 and the substrate temperature measuring device 78 immediately before the attaching mechanism 46, and the web temperature is measured. This is supplied to the determination unit 142 and the substrate temperature determination unit 144. The web temperature determination unit 142 compares the determination value stored in the determination value storage unit 152 with the measured temperature of the long photosensitive web 22, and determines whether the temperature is within a specified temperature range. Judgment is made. Similarly, the substrate temperature determination unit 144 compares the determination value stored in the determination value storage unit 152 with the measured temperature of the glass substrate 24, and determines whether or not the temperature is within a specified temperature range. Judgment is made. These determination results are processed by the determination result processing unit 156, displayed on the monitor 158, and transmitted to the other processing apparatus and the production management computer 127 by the determination result transmission unit 160.

この場合、測定された温度が許容範囲内に設定されていないときには、テンションや搬送速度の場合と同様の処理を行うことで、不適切な感光性積層体24aが製造されてしまう事態を事前に回避することができる。なお、ウエブ温度測定器85及び基板温度測定器78は、図4に示すように、搬送される長尺状感光性ウエブ22及びガラス基板24の温度を二次元的に測定し、測定された温度の分布に基づいて良否判定を行うことにより、温度むらの影響を考慮したより適切な良否判定を行うことができる。   In this case, when the measured temperature is not set within the allowable range, a situation similar to the case of the tension or the conveyance speed is performed in advance so that an inappropriate photosensitive laminate 24a is manufactured in advance. It can be avoided. As shown in FIG. 4, the web temperature measuring device 85 and the substrate temperature measuring device 78 measure the temperature of the long photosensitive web 22 and the glass substrate 24 being conveyed two-dimensionally, and the measured temperature. By performing the pass / fail determination based on the distribution of the above, it is possible to perform a more appropriate pass / fail determination in consideration of the influence of temperature unevenness.

一方、長尺状感光性ウエブ22のテンション、搬送速度及び温度が所定の許容範囲内に設定されている場合、貼り付け機構46において、ガラス基板24に長尺状感光性ウエブ22を転写する処理(ラミネート)が行われる。この場合、撮影部47によって撮影されたハーフカット部位34a、34bの画像に基づき、貼り付け機構46におけるハーフカット部位34a、34bの位置が調整される。   On the other hand, when the tension, the conveyance speed, and the temperature of the long photosensitive web 22 are set within a predetermined allowable range, the pasting mechanism 46 transfers the long photosensitive web 22 to the glass substrate 24. (Lamination) is performed. In this case, the positions of the half cut portions 34a and 34b in the attaching mechanism 46 are adjusted based on the images of the half cut portions 34a and 34b photographed by the photographing unit 47.

貼り付け機構46では、当初、ゴムローラ80a、80bが離間した状態に設定されており、ゴムローラ80a、80b間の所定位置に長尺状感光性ウエブ22のハーフカット部位34aが位置決めされた状態において、長尺状感光性ウエブ22の搬送が一旦停止される。この状態において、基板供給機構45を構成する基板加熱部74によって所定温度に加熱されたガラス基板24の先端部が搬送機構76によってゴムローラ80a、80b間に搬入されると、加圧シリンダ84の作用下にバックアップローラ82b及びゴムローラ80bが上昇し、ゴムローラ80a、80b間にガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22が所定のプレス圧力で挟み込まれる。なお、ゴムローラ80a、80bは、所定のラミネート温度に加熱されている。   In the pasting mechanism 46, the rubber rollers 80a and 80b are initially set in a separated state, and the half-cut portion 34a of the long photosensitive web 22 is positioned at a predetermined position between the rubber rollers 80a and 80b. The conveyance of the long photosensitive web 22 is temporarily stopped. In this state, when the tip of the glass substrate 24 heated to a predetermined temperature by the substrate heating unit 74 constituting the substrate supply mechanism 45 is carried between the rubber rollers 80a and 80b by the transport mechanism 76, the action of the pressure cylinder 84 is achieved. The backup roller 82b and the rubber roller 80b are raised below, and the glass substrate 24 and the long photosensitive web 22 are sandwiched between the rubber rollers 80a and 80b with a predetermined pressing pressure. The rubber rollers 80a and 80b are heated to a predetermined laminating temperature.

次いで、ゴムローラ80a、80bが回転し、ガラス基板24及び長尺状感光性ウエブ22が矢印Y方向に搬送される。この結果、感光性樹脂層28が加熱溶融されてガラス基板24に転写(ラミネート)される。   Next, the rubber rollers 80a and 80b rotate, and the glass substrate 24 and the long photosensitive web 22 are conveyed in the arrow Y direction. As a result, the photosensitive resin layer 28 is heated and melted and transferred (laminated) to the glass substrate 24.

なお、ラミネート条件としては、速度が1.0m/分〜10.0m/分、ゴムローラ80a、80bの温度が80℃〜140℃、前記ゴムローラ80a、80bのゴム硬度が40度〜90度、該ゴムローラ80a、80bのラミネート圧力(線圧)が50N/cm〜400N/cmである。   The laminating conditions include a speed of 1.0 m / min to 10.0 m / min, a temperature of the rubber rollers 80a and 80b of 80 ° C to 140 ° C, and a rubber hardness of the rubber rollers 80a and 80b of 40 ° to 90 °, The lamination pressure (linear pressure) of the rubber rollers 80a and 80b is 50 N / cm to 400 N / cm.

この場合、ゴムローラ80aの回転軸88に配設された圧力測定器89によりラミネート圧力が測定され、ラミネート圧力判定部146において、判定値記憶部152に記憶されている判定値と、測定されたラミネート圧力とが比較され、ラミネート圧力が規定圧力の範囲内にあるかの判定が行われる。この判定結果は、判定結果処理部156によって処理され、モニタ158に表示されるとともに、判定結果送信部160により他の処理装置及び生産管理コンピュータ127に送信される。そして、ラミネート圧力が不適正である場合には、感光性積層体24aの製造処理を中断してラミネート圧力の調整を行うことにより、不良品の発生を最小限に抑えることができる。   In this case, the laminate pressure is measured by the pressure measuring device 89 disposed on the rotation shaft 88 of the rubber roller 80a, and the laminate pressure determining unit 146 determines the determination value stored in the determination value storage unit 152 and the measured laminate. The pressure is compared to determine whether the laminate pressure is within a specified pressure range. The determination result is processed by the determination result processing unit 156, displayed on the monitor 158, and transmitted to another processing apparatus and the production management computer 127 by the determination result transmission unit 160. If the laminating pressure is inappropriate, the production process of the photosensitive laminate 24a is interrupted and the laminating pressure is adjusted to minimize the occurrence of defective products.

適切な状態でラミネート処理が行われた長尺状感光性ウエブ22及びガラス基板24は、基板搬送ローラ90a、90bによって冷却機構100に搬送されて冷却された後、剥離機構102に供給される。剥離機構102では、ガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22がプッシャ106によって持ち上げられることで可撓性ベースフイルム26の一部がクッション層27から剥離された後、可撓性ベースフイルム26が巻き取りローラ108によって巻き取られる。このとき、ガラス基板24間の長尺状感光性ウエブ22も巻き取りローラ108に巻き取られることで、ガラス基板24が分離され、感光性積層体24aが製造される。   The long photosensitive web 22 and the glass substrate 24 that have been laminated in an appropriate state are conveyed to the cooling mechanism 100 by the substrate conveying rollers 90 a and 90 b and cooled, and then supplied to the peeling mechanism 102. In the peeling mechanism 102, after the long photosensitive web 22 between the glass substrates 24 is lifted by the pusher 106, a part of the flexible base film 26 is peeled off from the cushion layer 27, and then the flexible base film 26. Is taken up by the take-up roller 108. At this time, the long photosensitive web 22 between the glass substrates 24 is also taken up by the take-up roller 108, whereby the glass substrate 24 is separated and a photosensitive laminate 24a is manufactured.

分離された感光性積層体24aは、撮影部104に搬送され、CCDカメラ112を用いて感光性積層体24aの貼り付け状態の検査が行われる。   The separated photosensitive laminate 24 a is conveyed to the photographing unit 104, and the attached state of the photosensitive laminate 24 a is inspected using the CCD camera 112.

すなわち、撮影部104を構成する照明光源110から出力された照明光は、感光性積層体24aを透過してCCDカメラ112に入射し、感光性積層体24aの画像が撮影される。画像検査判定部148は、撮影された画像と、判定値記憶部152から供給される判定値とを用いて、ガラス基板24に対する感光性樹脂層28の貼り付け状態の検査判定処理を行う。なお、感光性樹脂層28には、クッション層27が装着されており、このクッション層27は、現像処理の際に除去される。   That is, the illumination light output from the illumination light source 110 constituting the photographing unit 104 passes through the photosensitive laminate 24a and enters the CCD camera 112, and an image of the photosensitive laminate 24a is taken. The image inspection determination unit 148 performs inspection determination processing for the state of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24 using the captured image and the determination value supplied from the determination value storage unit 152. Note that a cushion layer 27 is attached to the photosensitive resin layer 28, and the cushion layer 27 is removed during the development processing.

例えば、図6に示すように、撮影された画像を処理することで、ガラス基板24の端部と感光性樹脂層28の端部との距離L1a、L1b、L2が許容範囲内にあるか否かを判定し、また、撮影された画像に気泡、異物、段差があるか否かを判定し、感光性樹脂層28上のクッション層27の一部が剥がれているか否かを判定し、可撓性ベースフイルム26が確実に剥離されているか否かを判定する。これらの判定結果は、判定結果処理部156によって処理され、モニタ158に表示されるとともに、判定結果送信部160により他の処理装置及び生産管理コンピュータ127に送信される。   For example, as shown in FIG. 6, whether or not the distances L1a, L1b, and L2 between the end of the glass substrate 24 and the end of the photosensitive resin layer 28 are within an allowable range by processing the captured image. It is also determined whether there are bubbles, foreign matter, or steps in the photographed image, and it is determined whether a part of the cushion layer 27 on the photosensitive resin layer 28 is peeled off. It is determined whether or not the flexible base film 26 is peeled off reliably. These determination results are processed by the determination result processing unit 156, displayed on the monitor 158, and transmitted to the other processing apparatus and the production management computer 127 by the determination result transmission unit 160.

この場合、例えば、撮影部104によって撮影された画像に基づく判定結果として、感光性積層体24aに不具合があるものと判定された場合、他側の処理装置への感光性積層体24aの搬送処理を停止させることにより、無駄な処理を遂行してしまう事態を回避することができる。   In this case, for example, when it is determined that there is a problem with the photosensitive laminate 24a as a determination result based on the image photographed by the photographing unit 104, the conveyance processing of the photosensitive laminate 24a to the other processing apparatus. By stopping the process, it is possible to avoid a situation where useless processing is performed.

なお、上述した実施形態では、1本の感光性ウエブロール23から供給される長尺状感光性ウエブ22をガラス基板24に貼り付けることにより、いわゆる、一丁張りの感光性積層体24aを製造するように構成しているが、例えば、2本の感光性ウエブロールや、3本以上の感光性ウエブロールから長尺状感光性ウエブ22を供給してガラス基板24に貼り付け、いわゆる、2丁張り、3丁張り等の感光性積層体24aを製造するように構成してもよい。   In the embodiment described above, a long photosensitive web 22 supplied from a single photosensitive web roll 23 is attached to a glass substrate 24 to produce a so-called single-ply photosensitive laminate 24a. For example, the long photosensitive web 22 is supplied from two photosensitive web rolls or three or more photosensitive web rolls and is attached to the glass substrate 24. You may comprise so that the photosensitive laminated body 24a, such as a stringer and a stringer, may be manufactured.

本実施形態に係るラミネート装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the laminating apparatus which concerns on this embodiment. 長尺状感光性ウエブの断面図である。It is sectional drawing of a elongate photosensitive web. 長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state by which the adhesive label was adhere | attached on the elongate photosensitive web. 貼り付け機構の近傍における構成斜視図である。It is a structure perspective view in the vicinity of a sticking mechanism. ラミネート装置及びラミネート制御装置における判定処理のための構成ブロック図である。It is a block diagram for the determination process in the laminating apparatus and the laminating control apparatus. ラミネート装置の撮影部によって撮影される画像の説明図である。It is explanatory drawing of the image image | photographed by the imaging | photography part of a lamination apparatus. 従来技術に係る製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the manufacturing apparatus which concerns on a prior art.

符号の説明Explanation of symbols

20…ラミネート装置
22…長尺状感光性ウエブ
24…ガラス基板
45…基板供給機構
46…貼り付け機構
47、104…撮影部
71…テンション測定器
72…プリンタ
77…基板搬送速度測定器
78…基板温度測定器
79…ウエブ搬送速度測定器
85…ウエブ温度測定器
89…圧力測定器
112…CCDカメラ
128…ラミネート制御装置
136…プリンタ制御部
137…テンション判定部
138…ウエブ搬送速度判定部
140…基板搬送速度判定部
142…ウエブ温度判定部
144…基板温度判定部
146…ラミネート圧力判定部
148…画像検査判定部
150…基板ID情報記憶部
152…判定値記憶部
156…判定結果処理部
158…モニタ
160…判定結果送信部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 20 ... Laminating apparatus 22 ... Elongate photosensitive web 24 ... Glass substrate 45 ... Substrate supply mechanism 46 ... Pasting mechanism 47, 104 ... Imaging | photography part 71 ... Tension measuring device 72 ... Printer 77 ... Substrate conveyance speed measuring device 78 ... Substrate Temperature measuring device 79 ... Web conveying speed measuring device 85 ... Web temperature measuring device 89 ... Pressure measuring device 112 ... CCD camera 128 ... Laminate control device 136 ... Printer control unit 137 ... Tension determining unit 138 ... Web conveying speed determining unit 140 ... Substrate Transport speed determination unit 142 ... Web temperature determination unit 144 ... Substrate temperature determination unit 146 ... Laminate pressure determination unit 148 ... Image inspection determination unit 150 ... Substrate ID information storage unit 152 ... Determination value storage unit 156 ... Determination result processing unit 158 ... Monitor 160: Determination result transmission unit

Claims (11)

支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離して前記感光材料層を露出させた後、所定の間隔で供給される基板とともに前記長尺状感光性ウエブを加熱された一対の圧着ローラ間に連続的に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置する一方、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付け、次いで、前記保護フイルムから前記支持体を剥離することで感光性積層体を製造する感光性積層体製造装置において、
当該製造装置によって製造される前記感光性積層体に自他識別情報を設定する設定手段と、
当該製造装置による前記感光性積層体の製造状態に係る製造状態情報を取得する取得手段と、
取得した前記製造状態情報を予め設定した判定値と比較して、前記製造状態の良否を判定する判定手段と、
前記判定手段による判定結果を前記自他識別情報に関連させて処理する処理手段と、
を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。
A long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support is fed out, and a processing site corresponding to a boundary position between a peeled portion and a remaining portion of the protective film is transferred from the protective film. The photosensitive material layer is formed on a portion reaching the photosensitive material layer, and the peeling portion of the protective film is peeled off to expose the photosensitive material layer, and then the long photosensitive web is heated together with a substrate supplied at a predetermined interval. The remaining portion of the protective film is placed between the substrates while the remaining portion of the protective film is disposed between the pair of pressure-bonding rollers, and the exposed photosensitive material layer is attached to the substrate, and then the supporting film is supported from the protective film. In the photosensitive laminate manufacturing apparatus for manufacturing the photosensitive laminate by peeling the body,
Setting means for setting self-other identification information in the photosensitive laminate manufactured by the manufacturing apparatus;
An acquisition means for acquiring manufacturing state information relating to a manufacturing state of the photosensitive laminate by the manufacturing apparatus;
A determination means for comparing the acquired manufacturing state information with a predetermined determination value to determine the quality of the manufacturing state;
Processing means for processing the determination result by the determination means in association with the self-other identification information;
The photosensitive laminated body manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1記載の製造装置において、
前記設定手段は、前記自他識別情報を前記基板に記録設定することを特徴とする感光性積層体製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 1,
The apparatus for manufacturing a photosensitive laminate, wherein the setting unit records and sets the self-other identification information on the substrate.
請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラ間に供給される前記長尺状感光性ウエブの搬送速度を前記製造状態情報として測定するウエブ搬送速度測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 1,
The said acquisition means consists of a web conveyance speed measuring device which measures the conveyance speed of the said elongate photosensitive web supplied between the said pressure rollers as said manufacturing state information, The photosensitive laminated body manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラ間に供給される前記基板の搬送速度を前記製造状態情報として測定する基板搬送速度測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 1,
The said acquisition means consists of a board | substrate conveyance speed measuring device which measures the conveyance speed of the said board | substrate supplied between the said press rollers as said manufacturing state information, The photosensitive laminated body manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラの直前における前記長尺状感光性ウエブの温度を前記製造状態情報として測定するウエブ温度測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 1,
The said acquisition means consists of a web temperature measuring device which measures the temperature of the said elongate photosensitive web just before the said pressure roller as said manufacturing state information, The photosensitive laminated body manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラの直前における前記基板の温度を前記製造状態情報として測定する基板温度測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 1,
The said acquisition means consists of a board | substrate temperature measuring device which measures the temperature of the said board | substrate just before the said pressure roller as said manufacturing state information, The photosensitive laminated body manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記圧着ローラによる前記基板に対する前記長尺状感光性ウエブの圧着圧力を前記製造状態情報として測定する圧力測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 1,
The said acquisition means consists of a pressure measuring device which measures the pressure-bonding pressure of the said elongate photosensitive web with respect to the said board | substrate with the said pressure roller as said manufacturing state information, The photosensitive laminated body manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記基板に供給される前記長尺状感光性ウエブのテンションを前記製造状態情報として取得するテンション測定器からなることを特徴とする感光性積層体製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 1,
The said acquisition means consists of a tension measuring device which acquires the tension | tensile_strength of the said elongate photosensitive web supplied to the said board | substrate as said manufacturing state information, The photosensitive laminated body manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1記載の製造装置において、
前記取得手段は、前記基板に前記感光材料層が貼り付けられた前記感光性積層体の画像を前記製造状態情報として撮影して取得する撮影手段を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 1,
The said acquisition means is equipped with the imaging means which image | photographs and acquires as an said manufacturing state information the image of the said photosensitive laminated body by which the said photosensitive material layer was affixed on the said board | substrate, The photosensitive laminate manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned. .
請求項1記載の製造装置において、
前記処理手段は、前記判定結果を前記自他識別情報とともに表示する表示手段を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 1,
The said processing means is provided with the display means which displays the said determination result with the said self-other identification information, The photosensitive laminated body manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
請求項1記載の製造装置において、
前記処理手段は、前記判定結果を前記自他識別情報とともに他の処理装置に送信する送信手段を備えることを特徴とする感光性積層体製造装置。
The manufacturing apparatus according to claim 1,
The said processing means is provided with the transmission means which transmits the said determination result to another processing apparatus with the said self-other identification information, The photosensitive laminated body manufacturing apparatus characterized by the above-mentioned.
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