JP2008198727A - リードフレームとその製造方法 - Google Patents
リードフレームとその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008198727A JP2008198727A JP2007030848A JP2007030848A JP2008198727A JP 2008198727 A JP2008198727 A JP 2008198727A JP 2007030848 A JP2007030848 A JP 2007030848A JP 2007030848 A JP2007030848 A JP 2007030848A JP 2008198727 A JP2008198727 A JP 2008198727A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- width
- lead frame
- lead
- inner lead
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】エッチング加工により形成される多数のインナリード4を有するリードフレーム1において、前記インナーリード4のワイヤボンディングされるべき領域4aの表面平坦幅W1はその裏面平坦幅W2よりも広く、且つ前記ワイヤボンディングされるべき領域4aにつながるインナリード部分4bの裏面平坦幅W4はその表面平坦幅W3よりも広く形成されている。
【選択図】図2
Description
このようなボンディング時にインナリード4が転倒するという不具合をなくすため、従来、インナリード4のボンディング部4a近傍に、インナリード4の延在方向と垂直の方向に突起を設ける技術が提案されている(特許文献1)が、インナリード4の配置ピッチが小さいリードフレームでは、隣接するインナリード間の間隔に余裕がなく垂直方向に突起を設けることができない。
また、インナリード4の裏面側のレジストパターン幅を表面側のレジストパターン幅よりも広くして、且つエッチング液の液温、濃度及び液圧を所定値に設定することにより、インナリード4のボンディング部の裏面平坦幅を表面平坦幅と同等以上にする製造方法が提案されている(特許文献2)が、インナリード4の配置ピッチが小さいリードフレームでは、レジストパターン幅を広げることができず、この方法を利用することはできなかった。
図1は本発明に係るリードフレームのインナリード部の一部拡大平面図、図2は本発明に係るリードフレームのインナリードの一本を取り出して示す拡大図で、(a)は表面側平面図、(b)は(a)図のA−A線に沿う断面図、(c)は(a)図のB−B線に沿う断面図である。
また、上記表面平坦幅W1が、上記裏面平坦幅W2の1.2倍より大きいと、ワイヤボンディングが良好に行なわれ得ることが確認された。
2 パッド
3 吊りリード
4 インナリード
4a ワイヤボンディング領域
4b ワイヤボンディング領域以外の部分
Claims (6)
- エッチング加工により形成される多数のインナリードを有するリードフレームにおいて、前記インナリードのワイヤボンディングされるべき領域の表面平坦幅はその裏面平坦幅よりも広く、且つ前記領域につながる前記インナリード部分の裏面平坦幅はその表面平坦幅よりも広く形成されていることを特徴とするリードフレーム。
- 前記ワイヤボンディングされるべき領域につながるインナリード部分の裏面平坦幅は、その表面平坦幅の1.2倍より大きく且つリードフレーム素材板厚の50パーセント以上の大きさであることを特徴とする請求項1に記載のリードフレーム。
- 前記ワイヤボンディングされるべき領域のインナリード表面平坦幅は、その裏面平坦幅の1.2倍より大きいことを特徴とする請求項1または2に記載のリードフレーム。
- エッチング加工により形成される多数のインナリードを有するリードフレームの製造方法において、ワイヤボンディングされるべき領域のインナリード表面側のレジスト幅はその裏面側のレジスト幅より広く形成し、且つ前記領域につながるインナリード裏面側のレジスト幅はその表面側のレジスト幅より広く形成することを特徴とするリードフレームの製造方法。
- 前記ワイヤボンディングされるべき領域につながるインナリード部分の裏面平坦幅が、その表面平坦幅の1.2倍より大きく且つリードフレーム素材板厚の50パーセント以上の大きさになるように、インナリード表面側のレジスト幅と裏面側のレジスト幅とを選定したことを特徴とする請求項4に記載のリードフレームの製造方法。
- 前記ワイヤボンディングされるべき領域のインナリード表面平坦幅が、その裏面平坦幅の1.2倍より大きくなるように、インナリード表面側のレジスト幅と裏面側のレジスト幅とを選定したことを特徴とする請求項4または5に記載のリードフレームの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007030848A JP2008198727A (ja) | 2007-02-09 | 2007-02-09 | リードフレームとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007030848A JP2008198727A (ja) | 2007-02-09 | 2007-02-09 | リードフレームとその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008198727A true JP2008198727A (ja) | 2008-08-28 |
Family
ID=39757420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007030848A Pending JP2008198727A (ja) | 2007-02-09 | 2007-02-09 | リードフレームとその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008198727A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011238869A (ja) * | 2010-05-13 | 2011-11-24 | Toppan Printing Co Ltd | リードフレーム及びその製造方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0563134A (ja) * | 1991-09-03 | 1993-03-12 | Nec Kyushu Ltd | 半導体装置用リードフレーム |
JPH0878592A (ja) * | 1994-09-08 | 1996-03-22 | Toppan Printing Co Ltd | リードフレーム |
-
2007
- 2007-02-09 JP JP2007030848A patent/JP2008198727A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0563134A (ja) * | 1991-09-03 | 1993-03-12 | Nec Kyushu Ltd | 半導体装置用リードフレーム |
JPH0878592A (ja) * | 1994-09-08 | 1996-03-22 | Toppan Printing Co Ltd | リードフレーム |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011238869A (ja) * | 2010-05-13 | 2011-11-24 | Toppan Printing Co Ltd | リードフレーム及びその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7183630B1 (en) | Lead frame with plated end leads | |
JP4091050B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5232394B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5549066B2 (ja) | リードフレーム型基板とその製造方法、及び半導体装置 | |
JP4615282B2 (ja) | 半導体パッケージの製造方法 | |
KR100722597B1 (ko) | 구리 패턴이 형성된 더미 영역을 구비한 반도체 패키지기판 | |
JP7193284B2 (ja) | リードフレーム及びリードフレームの製造方法 | |
JP2008198727A (ja) | リードフレームとその製造方法 | |
TWI601251B (zh) | 包含不同佈線圖案的覆晶薄膜、包含其之可撓性顯示裝置以及可撓性顯示裝置之製造方法 | |
JP2000058739A (ja) | 半導体装置およびその製造に用いるリードフレーム | |
JP2007081064A (ja) | 半導体装置、基板及び半導体装置の製造方法 | |
JP2005191574A (ja) | 集積回路パッケージにおける半田接合信頼性を改善するシステム及び方法 | |
JP2007288132A (ja) | 半導体パッケージ基板のストリップフォーマット及びパネルアレイ | |
JPS61170053A (ja) | 半導体装置用リ−ドフレ−ム | |
JP2014033061A (ja) | リードフレーム | |
US20080078491A1 (en) | Method for manufacturing wiring substrate having sheet | |
JP5554543B2 (ja) | リードフレーム及び半導体装置の中間製品 | |
JP2007073595A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4311293B2 (ja) | テープ貼りリードフレーム | |
JP2005333044A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2023536011A (ja) | 溝が形成されたリードを含むリードフレーム | |
JP4837628B2 (ja) | 半導体装置 | |
JPH04321262A (ja) | エッチング方法 | |
JP2006080208A (ja) | メタルマスク開口部構造 | |
JP2005347528A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20090116 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090501 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090721 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20120221 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120724 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |