JP2008170400A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 回転体の検査を行う検査装置であって、
   検査対象の上記回転体を含む対象装置からの振動信号を取得する振動信号取得手段と、
   上記回転体の基準位置が１回転するごとに生成される対象周期パルスを取得する対象周期パルス取得手段と、
   上記振動信号のうち、所定数の上記対象周期パルスを取得する期間の振動信号をフレームとして抽出する抽出手段と、
   複数の上記フレームを用いて上記検査を行う検査手段とを備えることを特徴とする検査装置。
2. 上記対象装置は、複数の回転体を備えており、
   上記複数の回転体のうち、基準となる回転体の回転に対応して生成される基準回転パルスを取得する基準回転パルス取得手段をさらに備えており、
   上記対象周期パルス取得手段は、基準となる回転体と検査対象となる回転体との回転比率を利用して、上記基準回転パルスから上記対象周期パルスを生成することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 上記回転体において検査対象となる振動が発生する位置とその周辺を、上記基準位置からの位相で示した位相範囲を取得する位相範囲取得手段と、
   上記振動信号のうち、上記対象周期パルスの周期において上記位相範囲に対応する区間の振動信号のみを通過させるフィルタ手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
4. 回転体の検査を行う検査装置であって、
   検査対象の上記回転体を含む対象装置からの振動信号を取得する振動信号取得手段と、
   上記回転体の基準位置が１回転するごとに生成される対象周期パルスを取得する対象周期パルス取得手段と、
   上記回転体において検査対象となる振動が発生する位置とその周辺を、上記基準位置からの位相で示した位相範囲を取得する位相範囲取得手段と、
   上記振動信号のうち、上記対象周期パルスの周期において上記位相範囲に対応する区間の振動信号のみを通過させるフィルタ手段と、
   該フィルタ手段が通過させた振動信号を用いて上記検査を行う検査手段とを備えることを特徴とする検査装置。
5. 回転体の検査を行う検査装置を動作させるための検査装置制御プログラムであって、
   検査対象の上記回転体を含む対象装置からの振動信号を取得する振動信号取得手段と、
   上記回転体の基準位置が１回転するごとに生成される対象周期パルスを取得する対象周期パルス取得手段と、
   上記振動信号のうち、所定数の上記対象周期パルスを取得する期間の振動信号をフレームとして抽出する抽出手段と、
   複数の上記フレームを用いて上記検査を行う検査手段としてコンピュータを機能させるための検査装置制御プログラム。
6. 回転体の検査を行う検査装置を動作させるための検査装置制御プログラムであって、
   検査対象の上記回転体を含む対象装置からの振動信号を取得する振動信号取得手段と、
   上記回転体の基準位置が１回転するごとに生成される対象周期パルスを取得する対象周期パルス取得手段と、
   上記振動信号のうち、上記基準位置から所定位相を中心とする区間の振動信号のみを通過させるフィルタ手段と、
   該フィルタ手段が通過させた振動信号を用いて上記検査を行う検査手段としてコンピュータを機能させるための検査装置制御プログラム。
7. 回転体の検査を行う検査装置の制御方法であって、
   検査対象の上記回転体を含む対象装置からの振動信号を取得する振動信号取得ステップと、
   上記回転体の基準位置が１回転するごとに生成される対象周期パルスを取得する対象周期パルス取得ステップと、
   上記振動信号のうち、所定数の上記対象周期パルスを取得する期間の振動信号をフレームとして抽出する抽出ステップと、
   複数の上記フレームを用いて上記検査を行う検査ステップとを含むことを特徴とする検査装置の制御方法。
8. 回転体の検査を行う検査装置の制御方法であって、
   検査対象の上記回転体を含む対象装置からの振動信号を取得する振動信号取得ステップと、
   上記回転体の基準位置が１回転するごとに生成される対象周期パルスを取得する対象周期パルス取得ステップと、
   上記回転体において検査対象となる振動が発生する位置とその周辺を、上記基準位置からの位相で示した位相範囲を取得する位相範囲取得ステップと、
   上記振動信号のうち、上記対象周期パルスの周期において上記位相範囲に対応する区間の振動信号のみを通過させるフィルタステップと、
   該フィルタステップにより通過された振動信号を用いて上記検査を行う検査ステップとを含むことを特徴とする検査装置の制御方法。