JPH0450731A - 回転機故障診断システム - Google Patents

回転機故障診断システム

Info

Publication number
JPH0450731A
JPH0450731A JP15865390A JP15865390A JPH0450731A JP H0450731 A JPH0450731 A JP H0450731A JP 15865390 A JP15865390 A JP 15865390A JP 15865390 A JP15865390 A JP 15865390A JP H0450731 A JPH0450731 A JP H0450731A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
window
rotation angle
failure
failure mode
data
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP15865390A
Other languages
English (en)
Inventor
Akira Sawada
彰 澤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP15865390A priority Critical patent/JPH0450731A/ja
Publication of JPH0450731A publication Critical patent/JPH0450731A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] (産業上の利用分野) この発明は、回転機の故障診断を行う故障診断システム
に関し、特に回転機の回転パターンと回転軸の回転角と
の関係において回転機の故障モードとその発生場所を同
定するための回転機故障診断システムに関する。
(従来の技術) 一般に、回転機振動データを基にして故障診断を行う故
障診断システムでは、第7図に示すようなテーブルをも
とにしてFFTにより得られる特徴周波数スペクトルの
解析からアンバランスやミスアライメントなどの回転機
の故障モードの判定が行なわれているが、それらの故障
が回転機のどの部分で発生したかを判断することは難し
い問題であった。また、ノイズの影響が強いと、正確な
判断を行うことが困難であるか、ノイズをキャンセルす
る効果的な手法もいまだ見られず、ノイズの軽減を特徴
とする特徴周波数スペクトルも小さくなってしまい、S
/N比を改善することができなかった。さらに平均化処
理によってノイズ成分の影響を軽減しようとすると、特
徴周波数スペクトルも平均化されてしまい、特徴点がほ
やけてしまうことになっていた。
(発明が解決しようとする課題) 以上のように従来の回転機故障診断システムでは、軸受
は磨耗や軸の曲り等の故障を検知することができても、
それらの故障が回転軸のどの場所でどの様に起こってい
るのかを診断することは困難であり、ノイズ環境が悪い
場所では正確な故障診断も行えない問題点があった。
この発明はこのような従来の問題点に鑑みてなされたも
ので、ノイズの影響を受けに<<、故障場所や故障の種
類の診断か正確に行える回転機故障診断システムを提供
することを目的とする。
[発明の構成] (課題を解決するための手段) この発明の回転機故障診断システムは、回転機の振動を
検出する振動センサと、 前記回転機の回転角を測定する回転角検出器と、前記振
動センサからの振動データと前記回転角検出器からの回
転角データとを時間的に対応させ、広狭任意の時間幅の
ウィンドウ処理を行うウィンドウ処理手段と、 前記ウィンドウ処理手段の処理したウィンドウ内の前記
振動データに対して高速フーリエ変換(FFT)解析を
行うFFT解析手段と、前記FFT解析結果に対して特
徴点を抽出する特徴点抽出手段と、 振動の特徴点と回転機の故障モードとの対応ルールを記
憶するルールデータベースと、前記特徴点抽出手段の抽
出した特徴点を前記ルールデータベースのルールと対応
させて故障モードを推論する故障モード推論手段と、 前記故障モード推論手段により故障モードが見出だされ
る時に、前記ウィンドウ処理手段によりウィンドウ幅を
前回より狭い幅に再分割させ、再分割された各ウィンド
ウに対応する振動データに対して前記FFT解析手段に
よりFFT解析を行なわせ、前記特徴点抽出手段により
特徴点を抽出させ、前記故障モード推論手段により故障
モードを推論させ、故障モードの見出だされるウィンド
ウに対応する回転機の回転角を前記回転角検出器の回転
角データから同定し、同定した回転角の範囲が所定値以
下であれば前記故障モードと当該同定した回転角範囲と
を出力し、前記同定した回転角の範囲が所定値よりも大
きければ故障モードの見出された回転角の範囲において
前記ウィンドウ処理手段によりウィンドウをさらに狭い
幅に再々分割させ、再々分割された各ウィンドウについ
て前記FFT解析から回転角同定までの処理を前記故障
モードの見出される回転角の範囲が前記所定値よりも小
さくなるまで繰り返す故障点同定手段と、 前記故障点同定手段からの故障モードと故障点の同定結
果の出力を表示する結果表示手段とを備えたものである
(作用) この発明の回転機故障診断システムでは、振動センサに
よって回転機の回転軸の振動の時系列的な変化を検出し
て振動データとし、回転角検出器によって回転軸の回転
角を前記振動データと時間的な対応を取りながら測定し
て回転角データとして取り出す。
そしてウィンドウ処理手段では、振動センサの振動デー
タに所定の時間幅のウィンドウを掛け、FFT解析手段
では、ウィンドウ内の振動データに対してFFT解析処
理を行い、これを特徴点抽出手段に渡す。
特徴点抽出手段では、FFT解析手段がらの振動解析結
果に対して特徴点を抽出し、これに対して故障モード推
論手段によりルールデータベースのルールを参照して故
障モードの推論を行う。
故障点同定手段では、故障モード推論手段の推論結果に
基づいて、故障モードが見出だされる時にはウィンドウ
処理手段に対してウィンドウを狭い幅に再分割させ、再
分割された各々のウィンドウの振動データに対して上記
と同様にFFT解析、平均化処理、特徴点袖山および故
障モード推論を行わせ、故障点同定手段により故障モー
ドの見出たされるウィンドウに対応する回転機の回転角
を回転角検出器の回転角データから同定し、この回転角
の範囲が所定値以下であれば当該故障モードと故障点と
を結果表示手段に出力し、結果を表示させる。
一方、故障点を同定した回転角の範囲が所定値を超えて
大きい場合には、故障モートの見出たされた回転角の範
囲をさらに細かく再々分割し、再々分割された各ウィン
ドウに対して上記と同じくFFT解析から回転角の同定
までの処理を故障点の同定される回転角の範囲が所定値
以下となるまで繰り返し行い、故障モードが見出だされ
るウィンドウに対する回転角の範囲が所定値以下となっ
た時に故障モードと同定した回転角とを出力し、結果表
示手段に表示させる。
こうして故障モードの探索と故障点の同定とを自動的に
行うことができる。
(実施例) 以下、この発明の実施例を図に基づいて詳説する。
第1図はこの発明の一実施例を示している。回転機1に
対してその回転軸や軸受け、ケースなどの振動を測定す
るために振動センサ2が取り付けられ、また回転軸の回
転角を計測するために回転角検出器3が回転軸に取り付
けられている。
振動センサ2の検出波形信号はA/D変換部4に入力さ
れるようになっており、ここでA/D変換され、サンプ
リングされて時系列データとしてウィンドウ処理部5に
入力される。
ウィンドウ処理部5は、種々の時間軸を基準にしたウィ
ンドウ処理を行い、連続した時系列データの一部をウィ
ンドウに切り出すことができ、このウィンドウ処理部5
により時間的に切り出されたデータがFFT演算部6に
入力されるようになっている。
FFT演算部6は高速フーリエ変換解析処理を行う部分
て、特徴周波数スペクトルを求めることができ、この演
算処理結果が平均化処理部7に入力されるようになって
いる。
平均化処理部7は、データバッファを内蔵しており、ノ
イズの影響や各サンプルにおける変動分をキャンセルす
るためにFFT演算部6がらの特徴周波数スペクトルの
解析結果を数回分記憶しておいてその平均化処理を行う
。この平均化処理結果は特徴点抽出部8に入力されるよ
うになっている。
特徴点抽出部8は、求められた特徴周波数スペクトルの
中から特徴となる周波数成分の組み合わせによって周波
数成分を抽出する部分てあり、抽出された特徴点はしき
い値判定部9に与えられるようになっている。
しきい値判定部9には、しきい値データベース10から
しきい値が与えられ、入力された特徴点データがこのし
きい値データベース1oのしきい値と比較され、しきい
値を超えた周波数成分の組み合わせデータが故障モード
推論部11に入力される。
故障モード推論部11は、しきい値判定部9からのしき
い値を超えた周波数成分の組み合わせデータを、ルール
データベース12に格納されている故障ルールと対照さ
せ、故障モードの推論を行う。
ルールデータベース12には、第7図に示すような周波
数成分の組み合わせと故障モードとの関係を示す故障ル
ールテーブルが格納されている。
故障点同定部13は、故障モード推論部11の推論結果
と回転角データ3の値によって回転機1のどの部分に故
障が発生しているかを同定する部分であり、故障点の正
確な同定が行えるようにA/D変換部4、ウィンドウ処
理部5、およびFFT演算部6を制御し、故障点の同定
が行えればその結果を前記故障モード推論部11による
故障モードの推論結果と共に結果表示部14に入力し、
この結果表示部14により故障モードと故障場所との表
示を行うようになっている。
次に、上記の構成の回転機故障診断システムの動作につ
いて説明する。
第2図のフローチャートに示すように、回転機1の回転
に伴って発生する振動は振動センサ2によって横用され
、その振動波形信号がA/D変換部4に入力される。ま
た回転機1の回転角検出器3は前記振動波形信号と共通
の時間軸をベースにして回転軸の回転角データを計測す
る(ステップS 1. )。
A/D変換部4に入力された振動波形信号は、ここで時
系列データにA/D変換され、ウィンドウ処理部5に入
力され、ウィンドウ処理部6ては振動の時系列データを
定められた時間幅のウィンドウとして切り出し、切り出
したウィンドウ内の時系列振動データをFFT演算部6
に入力する(ステップS2)。
FFT演算部6ては、FFT解析処理を行い、特徴周波
数スペクトルを算出し、これを平均化処理部7に入力し
て平均化処理してノイズの影響を抑えるようにし、得ら
れた特徴周波数スペクトルを特徴点抽出部8に入力する
(ステップS3.54)。
特徴点抽出部8ては、求められた特徴周波数スペクトル
の中から特徴となる周波数成分を抽出し、これをしきい
値判定部9に入力する(ステップS5)。
しきい値判定部9では、ノイズ成分と区別するために、
しきい値データベース10の対応する周波数のしきい値
を読出してきて特徴周波数成分と比較し、しきい値を超
えた周波数成分の組み合わせにより故障モード推論部1
1て故障モードの決定を行う(ステップ86.S7)。
この故障モード推論部11における故障モードの決定は
、ルールデータベース12に格納されている第7図に示
すような特徴周波数成分の組み合わせと故障モードとの
関係を示す故障ルールテーブルを参照して推論処理によ
り行なわれる。そして、その推論結果を故障点同定部1
3に人力する。
故障点同定部13では、故障モード推論部13の推論結
果が故障ありであれば(ステップS8)、どの部分で故
障が発生しているのか、その故障点の同定処理を行うの
であるが、そのためには故障モードの判定のベースとな
ったウィンドウ内の振動波形を発生させた回転角を回転
角検出器3からの回転角データに基づいて見出すことに
よりまず故障点を同定する(ステップS9)。
ここで、故障モードが発見されたウィンドウの時間幅が
広くて回転角度が正確に同定できない場合には、後述す
るようにさらにウィンドウの時間幅を狭くして回転角度
の割り出しを行うようにする。そして、故障点同定部1
3で故障点の同定が行えれば、前記故障モード推論部1
1での故障モードの推論結果と故障点の同定結果とを結
果表示部14に表示させる(ステップS9.SIO,5
21)。
上記の故障点同定部13の故障点同定処理をさらに詳し
く説明すると、故障点同定部13では、故障モード推論
部11で故障が発見されると、回転角検出器3からのデ
ータを用いてA/D変換部4、ウィンドウ処理部5およ
びFFT演算部6にそれぞれ制御信号を出力する。
第3図のグラフで横軸は時間軸であり、tQ。
tl、t2はそれぞれ時刻を示しており、θOθ1.θ
2はそれぞれの時刻に対応した回転機1の回転角を示し
ている。そこでいま、故障モード推論部12で時刻tO
〜t1の間にサンプリングされたデータについて故障が
発見されたとすると、この時、θOと61の差が十分に
小さければ故障点は容易に同定することができるが、こ
のθ0と01の差が大きい場合には、故障点同定部13
はこのθ0と01との中間にθ2の角度を設定し、それ
までの区間をθ0〜θ2の小区間とθ2〜θ1の小区間
に再分割し、それぞれの小区間について解析する(ステ
ップSIO,5ll)。
そして、この新たな解析のために、故障点同定部13に
よって02が設定されると、その値は制御信号としてウ
ィンドウ処理部5へ送られる。ウィンドウ処理部5では
、時系列データのウィンドウ区間をそれまでのto−t
lからtO−t2に変更し、回転角検出器3から新しい
小区間についての回転角の情報を取り込み、FFT解析
処理から平均化処理、特徴点抽出処理、故障モード判定
処理が行われる(ステップ812〜519)。
このようにしてウィンドウ区間の変更か行なわれた場合
、A/D変換部4てのサンプリング周波数に変更がなけ
ればFFT演算部6へ送られるデータ数が変化してしま
う。すなわち、ウィンドウ区間が短くなれば、対応する
振動特性の時系列データの数も減少してしまう。そのた
め、故障点同定部13では、FFT演算部6ヘデータ数
の変化に対するFFT演算の基数の変更およびデータバ
ッファのサイズの変更の制御指令を出力する。データバ
ッファのサイズや基数の変更ができなくなった場合には
、サンプリング周波数を上げてサンプルデータ数を増や
すようにA/D変換部4に制御指令を出力する。。
このようにして、軸の回転角の範囲θO〜θ1に対応す
るウィンドウ区間tO〜t1において故障が検出され、
回転角の範囲θ0〜θ2に対応するウィンドウ区間tO
〜t2において故障が検出されなかった場合には、故障
点は回転角の範囲θ2〜θ1にあることになり、ウィン
ドウ処理部5のウィンドウ区間をこの回転角度範囲に対
応する区間t2〜t1に変更し、故障モードの探索と故
障点の同定を行うのである(ステップ811〜520)
すなわち、通常の正常な振動波形は第4図(a)に示す
ようなものであり、このFFT解析結果は同図(b)に
示すようにほぼ単一周波数fのところにスペクトルが田
るが、軸クラックなどで高調波が重畳される第5図(a
)に示すような振動波形では、FFT解析により同図(
b)に示すように回転周波数fのスペクトルと共に、高
調波の周波数fzのところにスペクトルが現れることに
なる。
これにより、故障モードを診断することができるのであ
るが、軸クラックがどの部分で起こっているかは判定す
ることができないので、さらにこの第5図(a)の振動
波形に対して、09〜1806の区間と、180’〜3
60’の区間とに分割し、それぞれについて振動波形の
FFT解析を行うのである。
この再分割によるFFT解析では、第6図(a)(b)
に示すように00〜180°の範囲では正常な単一周波
数fのスペクトルのみが現れ、]−80″〜360’て
軸句ラックの特徴周波数fzのスペクトルが現れ、軸ク
ラックがこの回転角度範囲180’〜360°に発生し
ていることを知ることができるのである。
さらにこのウィンドウ区間t2〜t1に対応する回転角
の範囲θ2〜θ1でも所定値よりも広く、さらに狭い回
転角の範囲を同定する必要がある場合には、さらにステ
ップS9の回転角同定処理以下の故障点の探索区間の分
割操作を繰り返すことによって故障点の同定を行い、す
てに決定された故障モードと共に結果表示部14に表示
する。
こうして、ノイズ環境下でも故障モードを特定し、かつ
故障点の同定を正確に行うことができるのである。
[発明の効果] 以上のようにこの発明によれば、振動センサによる振動
波形をFFT解析して故障モードを推論すると共に、ウ
ィンドウ区間を可変にして故障モードの現れている回転
角区間を同定するようにしているために、故障モードと
故障点とを共に自動的に割り出すことができ、故障診断
が正確に行える。またFFT解析結果に順子小モードが
検出された場合には、さらにウィンドウ区間を狭めて故
障点を同定するようにしているため、従来のようにノイ
ズ環境の悪い場所でもノイズと故障モードとの識別が正
確に行えて精度の高い故障診断ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例のブロック図、第2図は上
記実施例の動作を説明するフローチャート、第3図は上
記実施例におけるウィンドウ処理部の出力波形を示すグ
ラフ、第4図(a)は正常な状態の振動波形図、同図(
b)はそのFFT解析スペクトル分布図、第5図(a)
は故障発生状態の振動波形図、同図(b)はそのFFT
解析スペクトル分布図、第6図(a)、(b)は第5図
(a)の振動波形を2分割した各分割区間毎のFFT解
析スペクトル分布図、第7図は振動現象とその原因との
関係を示すルールテーブルである。 1・・回転機      2・・・振動センサ3・・・
回転角検出器   4・・A/D変換部5・・・ウィン
ドウ処理部 6・・・FFT演算部7・・・平均化処理
部   8・・・特徴点抽出部9・・・しきい値判定部 10・・・しきい値データベース 11・・・故障モード推論部 12・・・ルールデータベース

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 回転機の振動を検出する振動センサと、 前記回転機の回転角を測定する回転角検出器と、前記振
    動センサからの振動データと前記回転角検出器からの回
    転角データとを時間的に対応させ、広狭任意の時間幅の
    ウィンドウ処理を行うウィンドウ処理手段と、 前記ウィンドウ処理手段の処理したウィンドウ内の前記
    振動データに対して高速フーリエ変換(FFT)解析を
    行うFFT解析手段と、 前記FFT解析結果に対して特徴点を抽出する特徴点抽
    出手段と、 振動の特徴点と回転機の故障モードとの対応ルールを記
    憶するルールデータベースと、 前記特徴点抽出手段の抽出した特徴点を前記ルールデー
    タベースのルールと対応させて故障モードを推論する故
    障モード推論手段と、 前記故障モード推論手段により故障モードが見出だされ
    る時に、前記ウィンドウ処理手段によりウィンドウ幅を
    前回より狭い幅に再分割させ、再分割された各ウィンド
    ウに対応する振動データに対して前記FFT解析手段に
    よりFFT解析を行なわせ、前記特徴点抽出手段により
    特徴点を抽出させ、前記故障モード推論手段により故障
    モードを推論させ、故障モードの見出だされるウィンド
    ウに対応する回転機の回転角を前記回転角検出器の回転
    角データから同定し、同定した回転角の範囲が所定値以
    下であれば前記故障モードと当該同定した回転角範囲と
    を出力し、前記同定した回転角の範囲が所定値よりも大
    きければ故障モードの見出された回転角の範囲において
    前記ウィンドウ処理手段によりウィンドウをさらに狭い
    幅に再々分割させ、再々分割された各ウィンドウについ
    て前記FFT解析から回転角同定までの処理を前記故障
    モードの見出される回転角の範囲が前記所定値よりも小
    さくなるまで繰り返す故障点同定手段と、 前記故障点同定手段からの故障モードと故障点の同定結
    果の出力を表示する結果表示手段とを備えて成る回転機
    故障診断システム。
JP15865390A 1990-06-19 1990-06-19 回転機故障診断システム Pending JPH0450731A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15865390A JPH0450731A (ja) 1990-06-19 1990-06-19 回転機故障診断システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15865390A JPH0450731A (ja) 1990-06-19 1990-06-19 回転機故障診断システム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0450731A true JPH0450731A (ja) 1992-02-19

Family

ID=15676414

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15865390A Pending JPH0450731A (ja) 1990-06-19 1990-06-19 回転機故障診断システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0450731A (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6236447B1 (en) 1997-08-29 2001-05-22 Canon Kabushiki Kaisha Exposure method and apparatus, and semiconductor device manufactured using the method
JP2008170400A (ja) * 2007-01-15 2008-07-24 Omron Corp 検査装置およびその制御方法、ならびに検査装置制御プログラム
WO2009096551A1 (ja) * 2008-01-30 2009-08-06 Jfe Advantech Co., Ltd. 軸受の診断システム
CN105466488A (zh) * 2015-11-23 2016-04-06 北京必可测科技股份有限公司 一种可视化智能在线监测***
WO2019077679A1 (ja) * 2017-10-17 2019-04-25 三菱電機株式会社 データ処理装置、データ処理システム、データ処理方法、データ処理プログラムおよび記憶媒体

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6236447B1 (en) 1997-08-29 2001-05-22 Canon Kabushiki Kaisha Exposure method and apparatus, and semiconductor device manufactured using the method
JP2008170400A (ja) * 2007-01-15 2008-07-24 Omron Corp 検査装置およびその制御方法、ならびに検査装置制御プログラム
WO2009096551A1 (ja) * 2008-01-30 2009-08-06 Jfe Advantech Co., Ltd. 軸受の診断システム
JPWO2009096551A1 (ja) * 2008-01-30 2011-05-26 Jfeアドバンテック株式会社 軸受の診断システム
JP4874406B2 (ja) * 2008-01-30 2012-02-15 Jfeアドバンテック株式会社 軸受の診断システム
KR101429952B1 (ko) * 2008-01-30 2014-08-13 제이에프이 어드밴테크 가부시키가이샤 베어링의 진단 시스템
CN105466488A (zh) * 2015-11-23 2016-04-06 北京必可测科技股份有限公司 一种可视化智能在线监测***
WO2019077679A1 (ja) * 2017-10-17 2019-04-25 三菱電機株式会社 データ処理装置、データ処理システム、データ処理方法、データ処理プログラムおよび記憶媒体
JPWO2019077679A1 (ja) * 2017-10-17 2019-11-14 三菱電機株式会社 データ処理装置、データ処理システム、データ処理方法、データ処理プログラムおよび記憶媒体

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Mechefske et al. Fault detection and diagnosis in low speed rolling element bearings Part I: The use of parametric spectra
JP6849446B2 (ja) 振動監視システム
US9791856B2 (en) Fault frequency set detection system and method
JPS6317167B2 (ja)
JPS59174732A (ja) ギアユニツトの異常判定装置
CN109520738A (zh) 基于阶次谱和包络谱的旋转机械滚动轴承故障诊断方法
JPH1026580A (ja) 変速型回転機械設備の診断方法および装置
JP2020183939A (ja) ギアボックスの異常検出方法及び情報処理装置
CN116124424A (zh) 一种船舶旋转机械轴心轨迹测试与状态评估方法及***
JPWO2004068078A1 (ja) 状態判定方法と状態予測方法及び装置
JPH07324974A (ja) 回転機振動診断装置
JPH0450731A (ja) 回転機故障診断システム
JPH0615987B2 (ja) 振動検出機構の診断方法
JP3103193B2 (ja) 回転機械の診断装置
JPH04204021A (ja) 回転機械振動・音響診断装置
JP2004020484A (ja) 異常監視装置および異常監視プログラム
US11463032B2 (en) Detecting rotor anomalies by determining vibration trends during transient speed operation
JP2004279056A (ja) 回転機械の診断方法及びそのプログラム
KR101482511B1 (ko) 위상 지연과 데이터 분포 형상지수를 이용한 베어링 결함 진단 시스템 및 그 진단 방법
Alekseev et al. Data measurement system of compressor units defect diagnosis by vibration value
JP2000162035A (ja) 回転機器の異常判定方法及びその装置
JPH04276555A (ja) 回転機械の軸回転数検出方法
JP3223623B2 (ja) 回転機の異常検査装置
JPH08110262A (ja) オンライン回転体診断装置
JPH11173956A (ja) 品質判定方法および装置