JP2008169904A - 流量調節弁の流量検出システム - Google Patents

流量調節弁の流量検出システム Download PDF

Info

Publication number
JP2008169904A
JP2008169904A JP2007003062A JP2007003062A JP2008169904A JP 2008169904 A JP2008169904 A JP 2008169904A JP 2007003062 A JP2007003062 A JP 2007003062A JP 2007003062 A JP2007003062 A JP 2007003062A JP 2008169904 A JP2008169904 A JP 2008169904A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
flow rate
flow
valve
control valve
valve opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2007003062A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroaki Yoshimura
博明 吉村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Chugoku Electric Power Co Inc
Original Assignee
Chugoku Electric Power Co Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Chugoku Electric Power Co Inc filed Critical Chugoku Electric Power Co Inc
Priority to JP2007003062A priority Critical patent/JP2008169904A/ja
Publication of JP2008169904A publication Critical patent/JP2008169904A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)
  • Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)

Abstract

【課題】弁開度指示装置から弁開度を読み取り、この弁開度と仕様書などの流量特性曲線から概算で流量を求めているため、流量の確認作業が煩雑となるのみならず、正確な流量を把握できないという課題があった。
【解決手段】流路20内の流体の流量を調節する流量調節弁1において、前記流量調節弁1の弁開度を検出して弁開度信号を出力する弁開度検出手段3と、前記流量調節弁1の流量特性を記憶する記憶手段12と、前記弁開度信号と流量特性から前記流路20内の流体の流量を算出する流量算出手段13とからなる流量調節弁の流量検出システム。
【選択図】図1

Description

本発明は、流量調節弁で調節する流路内の流体の流量を検出する流量調節弁の流量検出システムに関する。
従来、流路に設置される流量調節弁の弁開度の確認は、弁棒の位置又は開度指示装置によって行っている。一方、流体の流量は、流路に流量調節弁とは別に設置している流量発信器の指示で確認している。開度指示装置は、弁棒と共に移動する移動部材と、この移動部材の移動に伴って支点ピンを回動中心として回動し、弁棒の移動量を拡大して指示する指針と、この指針の回動量を弁体の開度に変換して読み取らせる開度指示目盛を設けたものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
実開平5−47661号公報
しかし、流量発信器の設置していない場所での流量確認は、開度指示装置で弁開度を読み取り、読み取った弁開度と該当する弁の仕様書等に記載されている流量特性曲線から概算で流量を求める必要があった。このため、流量の確認作業が煩雑となるのみならず、流量などの使用状態によっては実際の流量特性が弁の仕様書等に記載されている流量特性曲線と相違する場合があり、正確な流量を把握できないという課題があった。
そこで、本発明は、上記課題を解決するために、流路内の流体の流量を調節する流量調節弁において、前記流量調節弁の弁開度を検出して弁開度信号を出力する弁開度検出手段と、前記流量調節弁の流量特性を記憶する記憶手段と、前記弁開度信号と流量特性から前記流路内の流体の流量を算出する流量算出手段とからなる流量調節弁の流量検出システムを提供するものである。
また、本発明は、前記流量調節弁の上流側流路及び下流側流路に圧力計を設けてあり、前記圧力計で複数の弁開度における差圧を測定して前記流量調節弁の流量特性を求める流量特性作成手段を備えた請求項1に記載の流量調節弁の流量検出システムを提供するものである。
また、本発明は、前記流量特性作成手段が複数の流量調節弁の流量特性を求めるようにした請求項2に記載の流量調節弁の流量検出システムを提供するものである。
また、本発明は、前記流路内の流体の流量又は前記流量調節弁の流量特性を表示する表示手段を備えた請求項1乃至3の何れかに記載の流量調節弁の流量検出システムを提供するものである。
また、本発明は、前記弁開度信号に基づいて前記流量調節弁の弁開度を制御する制御手段を備えた請求項1乃至4の何れかに記載の流量調節弁の流量検出システムを提供するものである。
本発明に係る流量調節弁の流量検出システムによれば、流路内の流体の流量を調節する流量調節弁において、前記流量調節弁の弁開度を検出して弁開度信号を出力する弁開度検出手段と、前記流量調節弁の流量特性を記憶する記憶手段と、前記弁開度信号と流量特性から前記流路内の流体の流量を算出する流量算出手段とからなる構成を有することにより、流路に流量発信器を設置していない場所においても、弁開度検出手段で検出した弁開度と流量特性曲線を対比することなく、弁開度信号から直ちに流路内の流体の流量を把握することができる。従って、流量を把握するために流路に流量発信器を設置する必要がなく、コストを低減することができる効果がある。
また、本発明は、前記流量調節弁の上流側流路及び下流側流路に圧力計を設けてあり、前記圧力計で複数の弁開度における差圧を測定して前記流量調節弁の流量特性を求める流量特性作成手段を備えた請求項1に記載の構成を有することにより、流量計を備えていない流路でも流量調節弁の前後の差圧から流量特性を求めることができる。また、実際の使用状態に合った流量調節弁の流量特性を求めることができ、この流量特性と弁開度信号から正確な流量を把握することができる効果がある。
また、本発明は、前記流量特性作成手段が複数の流量調節弁の流量特性を求めるようにした請求項2に記載の構成を有することにより、流量特性作成手段を複数の流量調節弁で共有することができ、構成を簡素化してコストを低減することができる効果がある。
また、本発明は、前記流路内の流体の流量又は前記流量調節弁の流量特性を表示する表示手段を備えた請求項1乃至3の何れかに記載の構成を有することにより、流路内の流体の流量又は流量調節弁の流量特性を視認することができ、流量特性から流量調節弁の形状等も把握することができる効果がある。
また、本発明は、前記弁開度信号に基づいて前記流量調節弁の弁開度を制御する制御手段を備えた請求項1乃至4の何れかに記載の構成を有することにより、流路に流量発信器を設置しなくても、弁開度信号のみに基づいて弁開度に対応する流体の流量を制御することができる効果がある。
本発明の実施の形態を図示する実施例に基づいて説明する。
本発明に係る流量調節弁の流量検出システムは、流路20内の流体の流量を調節する流量調節弁1において、前記流量調節弁1の弁開度を検出して弁開度信号を出力する弁開度検出手段3と、前記流量調節弁1の流量特性を記憶する記憶手段12と、前記弁開度信号と流量特性から前記流路20内の流体の流量を算出する流量算出手段13とから構成してある。
図1に示す実施例において、流量調節弁1はグローブ弁、ダイヤフラム弁等の調節弁であり、駆動部2で弁開度を調節して流路20内の流体の流量を調節することができるように構成してある。また、流量調節弁1には、制御弁の駆動量から弁開度を検出し、弁開度信号を出力する弁開度検出手段3を設けてある。
図1に示すように、流量調節弁1の上流側及び下流側の流路20には圧力計4,4を設けてある。流量特性作成手段11は、圧力計4,4で複数の弁開度における差圧を測定して流量調節弁1の流量特性を求めることができるように構成してある。流量特性作成手段11は、流量調節弁1の弁容量係数(Cv値)と、流体の比重・温度と、流量調節弁1の前後の差圧から流体の流量を算出し、弁開度と流量の関係から流量調節弁1の流量特性を求めるようにしてある。流量特性作成手段11は、流体が液体である場合には、数1式から液体の流量を算出することができる。
Figure 2008169904
図1に示す実施例において、流量特性作成手段11は、中央制御装置10に設けてあり、流路内に設置した複数の流量調節弁1の流量特性を求めることができるように構成してある。また、中央制御装置10には、記憶手段12を設けてあり、流量特性作成手段11で求めた流量調節弁1の流量特性を記憶することができるようにしてある。
なお、記憶手段12は、予め測定されて弁の仕様書等に記載された流量調節弁1の流量特性を記憶しておくことも勿論可能である。
また、中央制御装置10には、流量算出手段13を設けてある。流量算出手段13は、弁開度検出手段3から出力された弁開度信号と、記憶手段12に記憶された流量特性から流路20内の流体の流量を算出することができるように構成してある。流量特性は、流量調節弁1の弁体の形状等により、図2に示すように、リニア特性(図中の直線a)と、イコールパーセント特性(図中の曲線b)と、クイックオープン特性(図中の曲線c)に分類される。一般的に、流量制御用としてはリニア特性、イコールパーセント特性、又はこの中間の特性の調節弁が用いられ、弁開度から流量を算出することができる。
図1に示すように、流量算出手段13には、流路20内の流体の流量及び流量調節弁1の流量特性を表示する表示手段としてモニタ15を設けてある。また、流量算出手段13には、各流量調節弁1の流量を表示する指示計16を設けてある。指示計16は、中央制御装置10に設置して集中管理することができ、又、各流量調節弁1の近くに設置して現場で流量を確認しながら弁開度を調節することも可能である。
図1に示すように、中央制御装置10には、弁開度検出手段3から出力される弁開度信号に基づいて流量調節弁1の弁開度を制御する制御手段14を設けることも可能である。制御手段14は、要求される流量に対応する弁開度と弁開度信号を比較し、一致しないときは一致するように駆動部2を駆動して弁開度を制御することができるようにしてある。
本発明に係る流量調節弁の流量検出システムの一実施例を示す構成図。 流量調節弁の流量特性を示す図。
符号の説明
1 流量調節弁
2 駆動部
3 弁開度検出手段
4 圧力計
10 中央制御装置
11 流量特性作成手段
12 記憶手段
13 流量算出手段
14 制御手段
15 モニタ
16 指示計
20 流路

Claims (5)

  1. 流路内の流体の流量を調節する流量調節弁において、前記流量調節弁の弁開度を検出して弁開度信号を出力する弁開度検出手段と、前記流量調節弁の流量特性を記憶する記憶手段と、前記弁開度信号と流量特性から前記流路内の流体の流量を算出する流量算出手段とからなる流量調節弁の流量検出システム。
  2. 前記流量調節弁の上流側流路及び下流側流路に圧力計を設けてあり、前記圧力計で複数の弁開度における差圧を測定して前記流量調節弁の流量特性を求める流量特性作成手段を備えた請求項1に記載の流量調節弁の流量検出システム。
  3. 前記流量特性作成手段が複数の流量調節弁の流量特性を求めるようにした請求項2に記載の流量調節弁の流量検出システム。
  4. 前記流路内の流体の流量又は前記流量調節弁の流量特性を表示する表示手段を備えた請求項1乃至3の何れかに記載の流量調節弁の流量検出システム。
  5. 前記弁開度信号に基づいて前記流量調節弁の弁開度を制御する制御手段を備えた請求項1乃至4の何れかに記載の流量調節弁の流量検出システム。
JP2007003062A 2007-01-11 2007-01-11 流量調節弁の流量検出システム Pending JP2008169904A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007003062A JP2008169904A (ja) 2007-01-11 2007-01-11 流量調節弁の流量検出システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007003062A JP2008169904A (ja) 2007-01-11 2007-01-11 流量調節弁の流量検出システム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008169904A true JP2008169904A (ja) 2008-07-24

Family

ID=39698187

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007003062A Pending JP2008169904A (ja) 2007-01-11 2007-01-11 流量調節弁の流量検出システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008169904A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5963149B2 (ja) * 2011-03-24 2016-08-03 パナソニックIpマネジメント株式会社 ニードル弁制御システムおよび燃料電池システム
CN107131315A (zh) * 2017-06-03 2017-09-05 华北水利水电大学 一种供水阀及其供水方法
EP3067665B1 (en) 2011-06-02 2018-05-02 Linde Aktiengesellschaft A flow apparatus and monitoring system relating thereto
KR20200030538A (ko) * 2017-09-25 2020-03-20 가부시키가이샤 후지킨 밸브장치, 조정 정보 생성방법, 유량 조정방법, 유체 제어장치, 유량 제어방법, 반도체 제조장치 및 반도체 제조방법
JP2020159559A (ja) * 2020-07-02 2020-10-01 株式会社不二工機 流量調整弁
WO2021199836A1 (ja) * 2020-03-30 2021-10-07 株式会社フジキン バルブシステム、ダイヤフラムバルブの出力モニター方法および出力調整方法並びに半導体製造装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04181082A (ja) * 1990-11-15 1992-06-29 Tlv Co Ltd 流量計機能付き調節弁
JPH0694160A (ja) * 1992-09-14 1994-04-05 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 調節弁の診断装置
JP2002090189A (ja) * 2000-09-18 2002-03-27 Toshiba Corp バルブの流量特性測定装置および流量特性測定方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04181082A (ja) * 1990-11-15 1992-06-29 Tlv Co Ltd 流量計機能付き調節弁
JPH0694160A (ja) * 1992-09-14 1994-04-05 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 調節弁の診断装置
JP2002090189A (ja) * 2000-09-18 2002-03-27 Toshiba Corp バルブの流量特性測定装置および流量特性測定方法

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5963149B2 (ja) * 2011-03-24 2016-08-03 パナソニックIpマネジメント株式会社 ニードル弁制御システムおよび燃料電池システム
EP3067665B1 (en) 2011-06-02 2018-05-02 Linde Aktiengesellschaft A flow apparatus and monitoring system relating thereto
EP2715290B1 (en) 2011-06-02 2018-09-26 Linde Aktiengesellschaft A flow apparatus and monitoring system relating thereto
EP2715290B2 (en) 2011-06-02 2022-04-13 Linde GmbH A flow apparatus
CN107131315A (zh) * 2017-06-03 2017-09-05 华北水利水电大学 一种供水阀及其供水方法
KR102259108B1 (ko) 2017-09-25 2021-06-01 가부시키가이샤 후지킨 밸브장치, 조정 정보 생성방법, 유량 조정방법, 유체 제어장치, 유량 제어방법, 반도체 제조장치 및 반도체 제조방법
KR20200030538A (ko) * 2017-09-25 2020-03-20 가부시키가이샤 후지킨 밸브장치, 조정 정보 생성방법, 유량 조정방법, 유체 제어장치, 유량 제어방법, 반도체 제조장치 및 반도체 제조방법
WO2021199836A1 (ja) * 2020-03-30 2021-10-07 株式会社フジキン バルブシステム、ダイヤフラムバルブの出力モニター方法および出力調整方法並びに半導体製造装置
JPWO2021199836A1 (ja) * 2020-03-30 2021-10-07
US20230136494A1 (en) * 2020-03-30 2023-05-04 Fujikin Incorporated Valve system, output monitoring method and output adjusting method for diaphragm valve, and semiconductor manufacturing apparatus
TWI803838B (zh) * 2020-03-30 2023-06-01 日商富士金股份有限公司 閥系統、隔膜閥的輸出監視方法及輸出調整方法、半導體製造裝置
JP2020159559A (ja) * 2020-07-02 2020-10-01 株式会社不二工機 流量調整弁
JP7050346B2 (ja) 2020-07-02 2022-04-08 株式会社不二工機 流量調整弁

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2043682C (en) Integrated process control valve
JP5613748B2 (ja) フローモニタリングおよび制御のためのシステムおよび方法
JP2008169904A (ja) 流量調節弁の流量検出システム
US8800473B1 (en) Mass velocity sensor device and method for remote monitoring and visual verification of fluid velocity
CA2513861C (en) Regulator flow measurement apparatus
CN102483344B (zh) 上游体积质量流量检验***和方法
US20130240045A1 (en) Method for Determining a Fluid Flow Rate With a Fluid Control Valve
CN106233061A (zh) 用于实时监测穿过质量流量控制器的流量的***以及方法
RU2013157824A (ru) Способ и устройство для определения и контроля статического давления флюида с помощью вибрационного измерителя
WO2005080924A8 (fr) Debitmetre instationnaire
JP2018125046A (ja) 制御弁の制御ユニット、制御弁装置、空調システム、及び制御弁の制御方法
JP2009002901A (ja) 圧力センサ、差圧式流量計及び流量コントローラ
AU2015208009C1 (en) Valve for a pressurized fluid cylinder and corresponding cylinder
JP2004003647A (ja) ボールに直接組み込まれてなる流量ゲージを有するボールバルブ
EP4219987A1 (en) Fuel metering unit
JP2007079996A (ja) 圧力制御装置
JPS60168974A (ja) 流量制御弁
JP2010101830A (ja) ブルドン管圧力計内機とこれを搭載したブルドン管圧力計
JP2005267572A (ja) 流量制御の異常判定方法及び装置
JP6006950B2 (ja) 流量試験装置
JP5502616B2 (ja) 流量計測装置および流量計測方法
JP5406417B1 (ja) 流量計機能付き調節弁
JP2008169905A (ja) 流量読み取り装置及びその製造方法
JP2001208578A (ja) 流量測定装置
EP3405716B1 (en) Calculation of remaining usage time of a gas cylinder

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20090618

A621 Written request for application examination

Effective date: 20090804

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110603

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20110614

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A521 Written amendment

Effective date: 20110802

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

A02 Decision of refusal

Effective date: 20111220

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02