JP6006950B2 - 流量試験装置 - Google Patents
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- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims description 22
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 20
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 16
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000011056 performance test Methods 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010720 hydraulic oil Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
Description
図1及び図2を参照して、本発明の第1実施形態に係る流量試験装置100について説明する。
次に、図2及び図3を参照して、本発明の第2実施形態に係る流量試験装置200について説明する。以下では、上記第1実施形態と異なる点のみを説明し、第1実施形態と同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
101 試験機本体
102 コントローラ
1 供試体
2 油圧ポンプ(流体圧供給源)
4 アキュムレータ(流体圧供給源)
5 サーボバルブ
11 入口圧力計(入口圧力検出器)
12 出口圧力計(出口圧力検出器)
13 変位計(変位検出器)
14 流量計(流量検出器)
21 モニタ
22 サーボアンプ
Claims (1)
- サーボバルブにて流量制御を行いながら供試体に対して作動流体を吐出して供試体の性
能試験を行う流量試験装置であって、
作動流体を供給する流体圧供給源と、
前記流体圧供給源から供給される作動流体を流量制御を行いながら吐出するサーボバル
ブと、
前記サーボバルブの入口圧力を検出する入口圧力検出器と、
前記サーボバルブの出口圧力を検出する出口圧力検出器と、
前記サーボバルブのスプール変位を検出する変位検出器と、
前記入口圧力検出器、前記出口圧力検出器、及び前記変位検出器の検出結果に基づいて前記サーボバルブの吐出流量を演算し、当該演算流量が予め定められた設定流量となるように前記サーボバルブに開度指令を出力するコントローラと、
前記サーボバルブの吐出流量を検出する流量検出器と、を備え、
前記設定流量は、パルス状に変化するパルス状流量波形であり、
前記コントローラは、前記流量検出器にて検出された実流量が前記設定流量となるように前記開度指令を補正する開度補正信号を前記パルス状流量波形のうち一定流量域で演算するとともに、前回の前記パルス状流量波形を発生させた際に演算した前記開度補正信号によって前記開度指令を補正して、今回の前記パルス状流量波形を発生させることを特徴とする流量試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012065759A JP6006950B2 (ja) | 2012-03-22 | 2012-03-22 | 流量試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012065759A JP6006950B2 (ja) | 2012-03-22 | 2012-03-22 | 流量試験装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013196607A JP2013196607A (ja) | 2013-09-30 |
JP6006950B2 true JP6006950B2 (ja) | 2016-10-12 |
Family
ID=49395410
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012065759A Active JP6006950B2 (ja) | 2012-03-22 | 2012-03-22 | 流量試験装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6006950B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7169156B2 (ja) * | 2018-10-19 | 2022-11-10 | Kyb株式会社 | 圧力試験機 |
CN117686042B (zh) * | 2024-02-02 | 2024-05-24 | 成都秦川物联网科技股份有限公司 | 一种物联网超声波水表阀控联动方法、***及设备 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63236939A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-03 | Cosmo Keiki:Kk | 自動調圧装置 |
JP2985235B2 (ja) * | 1990-06-13 | 1999-11-29 | 大同特殊鋼株式会社 | 溶鋼精錬炉における精錬用ガスの流量制御方法 |
JPH0836420A (ja) * | 1994-07-26 | 1996-02-06 | Hitachi Shonan Denshi Co Ltd | 流量制御装置 |
JPH08335118A (ja) * | 1995-06-06 | 1996-12-17 | Hitachi Metals Ltd | 流量制御方法 |
JPH09133103A (ja) * | 1995-11-09 | 1997-05-20 | Kayaba Ind Co Ltd | 油圧制御装置 |
JP3666107B2 (ja) * | 1996-02-08 | 2005-06-29 | 日立金属株式会社 | 流量制御方法 |
JPH11259140A (ja) * | 1998-03-13 | 1999-09-24 | Kokusai Electric Co Ltd | 流量制御装置 |
JP3604059B2 (ja) * | 1998-07-17 | 2004-12-22 | 株式会社堀場製作所 | 部分希釈方式のガス希釈システム |
-
2012
- 2012-03-22 JP JP2012065759A patent/JP6006950B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013196607A (ja) | 2013-09-30 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20141119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151015 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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