JP2008166312A - 真空チャック及びこれを用いた真空吸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭化珪素を主成分とする緻密質体からなる支持部と、炭化珪素を主成分とする多孔質体からなる吸着部とを有し、記支持部は前記吸着部をガラス質材で接合支持した支持面を備え、該支持面に対して垂直な方向で断面視したとき、前記吸着部の開気孔内部に前記ガラス質材の一部が含浸しているとともに、前記支持面の50%以上に前記ガラス質材が接していること。
【選択図】図1
Description
ことを特徴とする。
さらに、ガラス質材に含まれる珪素と、炭化珪素粒子の少なくとも一部を覆っている珪素とが強固に固着するため、吸着部と支持部の接合強度がさらに向上する。
さらに、多孔質体と支持面との距離が長い部分があると、この部分に大きな空洞が形成されるおそれがあるので、吸着部と支持部の間に空洞が介在する割合が両者の間にガラス質材が介在する割合よりも少なくなったとしても、接合強度が低下するおそれがある。多孔質体と支持部との距離を最大で70μm以下とすることによって、大きな空洞が形成されるおそれがなくなるので、吸着部と支持部の接合強度をさらに高めることができるため、吸着部と支持部の接合強度をさらに高めることができる。
図3の吸着部27において、複数の炭化珪素の結晶粒子15同士が珪素17bで接合されていることは、微少部X線回折により確認するか、好ましくは微少部X線回折だけでなく、蛍光X線分析、X線マイクロアナライザ、透過型電子顕微鏡(TEM)、原子間力顕微鏡のうち少なくとも一つを併用して分析することで確認することができる。
17a,47:結合助剤
17b:珪素相
19,49:ガラス質材
21,51:空洞
23:吸引孔
25:吸着面
27:吸着部
29:支持部
31:開気孔
35:支持面
37:凹部
100:真空チャック
Claims (7)
- 炭化珪素を主成分とする緻密質体からなる支持部と、炭化珪素を主成分とする多孔質体からなる吸着部とを有し、記支持部は前記吸着部をガラス質材で接合支持した支持面を備え、
該支持面に対して垂直な方向で断面視したとき、前記吸着部の開気孔内部に前記ガラス質材の一部が含浸しているとともに、前記支持面の50%以上に前記ガラス質材が接していることを特徴とする真空チャック。 - 前記ガラス質材が最も含浸している部位から前記支持面までの距離が100μm以上であることを特徴とする請求項1に記載の真空チャック。
- 前記ガラス質材が珪素を含むものであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の真空チャック。
- 前記ガラス質材が、SiをSiO2換算で30〜65質量%、AlをAl2O3換算で10〜40質量%、BをB2O3換算で10〜20質量%,CaをCaO換算で4〜5質量%、MgをMgO換算で1〜5質量%、TiをTiO2換算で5質量%以下(0質量%を除く)含有するもの、または、SiをSiO2換算で30〜65質量%、AlをAl2O3換算で10〜40質量%、BをB2O3換算で10〜20質量%,CaをCaO換算で4〜5質量%、MgをMgO換算で1〜5質量%、BaをBaO換算で6質量%以下(0質量%を除く)、SrをSrO換算で5質量%以下(0質量%を除く)含有するものであることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の真空チャック。
- 前記吸着部における炭化珪素の個々の結晶粒子は少なくとも一部が珪素で覆われたものであるとともに、該珪素によって前記結晶粒子同士が接合されたものであることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の真空チャック。
- 前記支持面に対して垂直な方向で断面視したとき、前記吸着部から支持面までの距離が70μm以下であることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の真空チャック。
- 請求項1〜請求項6のいずれかに記載の真空チャックを吸着部材として用いたことを特徴とする真空吸着装置。
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