JP2008155106A

JP2008155106A - 清掃装置

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Publication number: JP2008155106A
Application number: JP2006345558A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiro Totsu; 康裕戸津; Tomoaki Murata; 倫昭村田; Masahiro Kikuchi; 雅博菊池; Norio Katano; 詔雄片野
Original assignee: Audio Technica KK; Daikin Denshi Kogyo Co Ltd
Current assignee: Audio Technica KK; Daikin Denshi Kogyo Co Ltd
Priority date: 2006-12-22
Filing date: 2006-12-22
Publication date: 2008-07-10

Abstract

【課題】少ない設置スペースにも設置可能な小型であり、サイズや種類の異なるワークを清掃可能な清掃装置を提供する。
【課題を解決するための手段】清掃ローラ対２１０を含む清掃手段を備える清掃ユニット２００と、複数のワークＷを保管するワーク保管ユニット１００と、ワーク保管ユニット１００からワークＷを取り出して、清掃ユニット２００に搬送する搬送ユニット３００とを有し、清掃ユニット２００の一部に、ワークＷの一部が載置され、ワークＷを清掃ローラー対２１０に向けて送り出す搬送ローラ２７２を有する搬送ステージ２７０を設け、ワークＷを搬送ユニット３００に設けられたクランプローラ３６０との間で挟持する。
【選択図】図４

Description

本発明は、樹脂フィルムなどのワークに付着しているゴミを清掃ローラによって除去する清掃装置に関し、さらに詳しく言えば、同時に種類の異なるワークを自動的に処理することができる清掃装置に関する。

例えば偏光フィルムや位相差フィルムなどの液晶パネル用樹脂フィルムは、精密部品の一部であるが故に歩留まりを上げるためには、塵などの汚れを確実に除去しておく必要がある。そこで、この種の樹脂フィルムに付着したゴミを除去するためには、専用の清掃装置が用いられる。

例えば特許文献１に示すように、この種の清掃装置は、特殊な粘着性を有する少なくとも１つのゴムローラ対を有し、ゴムローラ対の間に樹脂フィルムを通過させることにより、樹脂フィルムに付着したゴミをゴムローラ対で捕捉するようになっている。

しかしながら、従来の清掃装置には次のような課題があった。すなわち、従来の清掃装置は、清掃装置の搬入側と排出側の出入り口に、ワーク搬送用の搬送ステージを有し、そのステージの上に手作業でワークを置いて清掃装置を通過させたのち、清掃済みのワークを回収していたため、１種類のワークしか連続して清掃することはできず、サイズや材質の異なるワークを連続的に清掃することができなかった。

特開２０００−３３４４０６号公報

そこで、本発明は上述した課題を解決するため、少ない設置スペースに設置可能な小型であり、サイズや材質などの異なるワークを清掃可能な清掃装置を提供することにある。

上述した課題を解決するため、本発明は以下に示すいくつかの特徴を備えている。請求項１に記載の発明は、所定の回転駆動手段によって回転駆動される少なくとも１つの清掃ローラ対を備え、上記清掃ローラ対の間にワークを通過させて、ワークに付着したゴミを上記清掃ローラ対で捕捉する清掃装置において、上記清掃ローラ対を含む清掃手段を備える清掃ユニットと、複数の上記ワークを保管するワーク保管ユニットと、上記ワーク保管ユニットから上記ワークを取り出して、上記清掃ユニットに搬送する搬送ユニットとを有し、上記清掃ユニットの一部には、上記ワークの一部が載置され、上記ワークを上記清掃ローラー対に向けて送り出す搬送ローラを有する搬送ステージを有し、上記搬送ユニットには、上記保管部から上記ワークを取り出すピックアップ部と、上記ワークを上記搬送ローラとの間で挟持するクランプローラとを備えていることを特徴としている。

請求項２に記載の発明は、上記請求項１において、上記ワーク保管部は、種類の異なる上記ワークを収納可能な収納トレイを複数備えていることを特徴としている。

請求項３に記載の発明は、上記請求項１において、上記ピックアップ部は、上記クランプローラが上記搬送ローラとの間で上記ワークを保持すると同時に、上記ワークを開放するように所定の駆動手段を介して同期的に駆動可能に連結されていることを特徴としている。

請求項４に記載の発明は、上記請求項１において、上記搬送ステージは、上記ワークの搬送方向の長さよりも短いことを特徴としている。

請求項１に記載の発明によれば、清掃ユニットに隣接して、ワークを保管するワーク保管ユニットが設けられており、ワーク保管ユニットと清掃ユニットとの間を行き来する搬送ユニットが設けられていることにより、省スペースで一体型の清掃装置を得ることができる。

請求項２に記載の発明によれば、収納トレイを複数備えていることにより、サイズや種類の異なるワークを大量に保管しておくことができ、任意の順序で必要な枚数を繰り出して清掃することができる。

請求項３に記載の発明によれば、ピックアップ部とクランプローラとが同期的に駆動することにより、ピックアップ部により搬送されてきたワークをクランプローラで保持すると同時に、ピックアップ部がワークをリリースすることができる。

請求項４に記載の発明によれば、搬送ステージの長さがワークの搬送方向の長さよりも短いことにより、ワーク全体を載置する大きさのステージを必要としないため、装置全体をより小型化することができる。

次に、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。図１および図２は、本発明の一実施形態に係る清掃装置を別の方向から見た斜視図であり、図３は、その内部構造を示す正面図である。

図１および図２に示すように、この清掃装置１は、頑丈な金属製フレームの外側をステンレス板で覆い隠してなる筐体１０を有し、その底部には、筐体１０を移動するためのキャスター１１と、床面などの被設置面に水平に固定するための固定脚１２とが設けられている。

筐体１０の正面には、清掃装置１を制御するための制御パネル１３が設けられている。制御パネル１３は、清掃装置１の電源のオンオフボタンや清掃開始停止ボタンのほか、清掃条件などを設定するタッチパネル式ディスプレイや緊急停止ボタンなどが設けられいる。制御パネル１３は、図示しない制御部に接続されている。

筐体１０の正面にはさらに、後述する清掃ローラユニット２３０，２４０とゴミ転写ローラユニット２５０，２５０とが引き出されるユニット引き出し口１４のほか、メンテナンス時などにおいて筐体１０の内部に連通するアクセスパネル１５などが設けられている。

図２に示すように、筐体１０の一方の側面（図１では右側面）には、筐体１０内に差し込まれるワーク保管ユニット１００の差込口１６が開口されており、そこに第１〜第３ワークトレイ１００ａ〜１００ｃが多段スライド式に差し込まれている。

図１を参照して、筐体１０の他方の側面（図１では左側面）には、筐体１０内を通過した清掃済みワークが排出されるワーク排出口１７が設けられており、ワーク排出口１７には、ワーク排出口１７から排出されたワークを搬送する搬送コンベア１８がさらに設けられている。搬送コンベア１８には、ワークの到来を感知するワーク検出部１９が設けられている。

なお、清掃済みワークＷに静電気などによってゴミが再付着しないようにするため、ワーク排出口１７に隣接して、静電気除去装置などをさらに設けて、ワークＷに帯電した静電気を除去するようにしてもよい。

この例において、搬送コンベア１８は、図示しない駆動手段によって駆動されるループベルトを有し、このループベルトによってワークが搬送されるようになっているが、本発明において、搬送コンベア１８は任意的事項であり、その構成は仕様に応じて任意である。

ここで、本発明の清掃装置１に使用されるワークは、例えば液晶パネル用の樹脂フィルムなど薄いシート状であり、積層した状態で保管可能なものが用いられる。ワークは、樹脂フィルムなどの薄いシート状で積層可能であれば、その用途などは特に限定されない。

次に、図３を参照して、ワーク保管ユニット１００は、複数枚のワークを積層した状態で保管可能な箱形を有し、ワークの大きさや種類に合わせて第１〜第３ワークトレイ１００ａ〜１００ｃの３種類が用意されている。各ワークトレイ１００ａ〜１００ｃは、長さが異なる以外は同一な構成であるため、以下においては第１ワークトレイ１００ａを例にとって説明する。

第１ワークトレイ１００ａは、上面が開放された箱体からなり、その内部にはワークが積層した状態で載置されるワーク収納部１１０を備えている。ワークトレイ１００ａの底部には、ワークの先端を第１ワークトレイ１００ａの先端側の壁面１０１に当接させるための位置決めスライダー１２０が設けられている。

位置決めスライダー１２０は、第１ワークトレイ１００ａの底部に設けられたガイド溝１０２に沿ってスライド可能に取り付けられており、図示しないクリック停止手段によって所定のノッチ間隔でその位置が固定されるようになっている。

第１ワークトレイ１００ａの先端側の開口部（壁面１０１の上部）には、ワークを取り出した際に、ワークが第１ワークトレイ１００ａの先端に擦り付いて傷つくのを防止するガイドローラ１３０が設けられている。

ガイドローラ１３０は、第１ワークトレイ１００ａの先端上部に取り付けられたフリーローラからなり、ワークが傷つきにくいように樹脂製のローラが用いられている。この例において、ガイドローラ１３０は、第１ワークトレイ１００ａの幅方向に沿って形成された長円筒状の１つのローラからなるが、例えば複数個の小型ローラを所定間隔で配置するようにしてもよい。

筐体１０内には、第１および第３ワークトレイ１００ａ〜１００ｃを水平で多段、この例では３段に支持するトレイ用ガイドレール１４０ａ〜１４０ｃが設けられている。図３に示すように、トレイ用ガイドレール１４０ａ〜１４０ｃは、上段から下段に向かうについて、その長さが一定間隔で長く形成されており、これにより、第１〜第３ワークトレイ１００ａ〜１００ｃの先端部に、ワークを取り出す際に搬送ユニット３２０が入るための搬出口１５０が形成されるようになっている。

なお、以下の説明においては、第１ワークトレイ１００ａに保管されているワークを第１ワークＷａとし、第２ワークトレイ１００ｂに保管されているワークを第２ワークＷｂとし、第３ワークトレイ１００ｃに保管されているワークを第３ワークＷｃとして区別して説明する。

図４および図５を参照して、筐体１０の内部にはさらに、ワークに付着したゴミを除去する清掃ユニット２００と、各ワークトレイ１００ａ〜１００ｃのいずれかから選択的にワークを取り出して、清掃ユニット２００に搬送する搬送ユニット３００とを備えている。

清掃ユニット２００は、上下一対に対向的に配置された清掃ローラ対２１０と、同清掃ローラ対２１０の表面に付着したゴミを捕捉するゴミ転写ローラ対２２０とを備えている。この例において、清掃ローラ対２１０は弱粘着ローラであって、ゴミ転写ローラ対２２０は清掃ローラ対２１０よりも粘着力の大きな強粘着ローラが用いられている。

図４に示すように、清掃ローラ対２１０は、ワークを挟んで上に配置される上部清掃ローラ２１１と、ワークを挟んで下に配置される下部清掃ローラ２１２とを含み、それらがワークの進行方向の上流側と下流側にそれぞれ２組（合計４ローラ）で配置されている。

上部清掃ローラ２１１および下部清掃ローラ２１２は、表面が粘着性および／または吸着性を有する合成樹脂によって覆われてなり、いずれか一方または両方が所定の駆動手段を介してワークを上流側から下流側（図４では右側から左側）にむかって移動させるように回転する。

各上部清掃ローラ２１１，２１１は、上部清掃ローラユニット２３０に回転可能に支持されている。上部清掃ローラ保持ユニット２３０は、四角形状の金属製フレームからなり、筐体１０の内部からユニット引き出し口１４にスライド可能に取り付けられている。

各下部清掃ローラ２１２，２１２も同様に、下部清掃ローラユニット２４０に回転可能に支持されており、筐体１０の内部からユニット引き出し口１４にスライド可能に取り付けられている。

ゴミ転写ローラ対２２０は、上部清掃ローラ２１１に接触するように配置された上部ゴミ転写ローラ２２１と、下部清掃ローラ２１２に接触するように配置された下部ゴミ転写ローラ２２２とからなる。

ゴミ転写ローラ対２２０は、例えば粘着面が表側を向くようにして多重に巻回された粘着テープロールからなり、表面が汚れた場合には、最表層の粘着テープを剥がし取ることで、未使用の粘着面が表れるようになっている。この例において、ゴミ転写ローラ対２２０は、プランジャー２２３を介して常に一定の押圧力で清掃ローラ対２１０を押圧するようになっている。

上部ゴミ転写ローラ２２１は、２つの上部清掃ローラ２１１，２１１の間に配置されており、１つのゴミ転写ローラで２２１で２つの上部清掃ローラ２１１，２１１に付着したゴミを上部ゴミ転写ローラ２２１で捕捉できるようになっている。

下部ゴミ転写ローラ２２２も同様に、２つの下部清掃ローラ２１２，２１２の間に配置されており、１つのゴミ転写ローラで２２２で２つの下部清掃ローラ２１２，２１２に付着したゴミを上部ゴミ転写ローラ２２２で捕捉できるようになっている。

これら上部ゴミ転写ローラ２２１および下部ゴミ転写ローラ２２２は、それぞれ独立したゴミ転写ローラユニット２５０，２６０によって回動可能に保持されており、各ゴミ転写ローラユニット２５０，２６０は筐体１０に対してスライド式に着脱可能に設けられている。

これによれば、清掃ローラユニット２１０，２１０とゴミ転写ローラユニット２５０，２６０とがそれぞれ筐体１０から取り外しできるため、清掃ローラ対２１０やゴミ転写ローラ対２２０が汚れたり故障しても簡単にメンテナンスすることができる。

清掃ユニット２０の一方の側面（図４では右側面）には、上述したワーク保管ユニット１００から運ばれてきたワークＷの一部が載置される搬送ステージ２７０が設けられている。搬送ステージ２７０は、ワークＷが載置される水平な載置面２７１を備えており、載置面２７１は、清掃ローラ対２１０の間に向かって延設されている。搬送ステージ２７０はワークＷの全長よりも短い長さに形成されている。

搬送ステージ２７０には、後述するピックアップ部３００との間でワークＷを狭持するとともに、挟持したワークＷを清掃ユニット２００に向けて送り出す搬送ローラ２７２が設けられている。搬送ローラ２７２は、図示しない制御手段と駆動手段を介して回転駆動可能に取り付けられており、その表面には滑り止め加工が施されている。

次に、図５および図５を参照して、ピックアップ部３００について説明する。ピックアップ部３００は、ワーク保管ユニット１００から清掃ユニット２００の間を左右に往復的に移動する搬送ユニット３１０と、ワークＷを拾い上げるピックアップユニット３２０とを備えている。

搬送ユニット３１０は、ピックアップユニット３２０を左右方向（Ｘ軸）に往復的に移動させるＸ軸スライダー３３０と、ピックアップユニット３２０を上下方向（Ｙ軸）に往復的に移動させるＹ軸スライダー３４０とを備えている。

Ｘ軸スライダー３３０は、ワーク保管ユニット１００から清掃ユニット２００の間にかけて筐体１０内に水平に設置されるＸ軸ガイドレール３３１を有し、このＸ軸ガイドレール３３１に沿って図示しない駆動手段を介してスライドするようになっている。この例において、Ｘ軸スライダー３３０は、ベルト駆動方式で移動するようになっている。

Ｙ軸スライダー３４０は、Ｘ軸スライダー３３０の一部として一体的に設けられ、垂直方向に沿って設けられた一対のＹ軸ガイドレール３４１，３４１を備え、同Ｙ軸ガイドレール３４１に沿ってピックアップユニット３２０が上下（Ｙ軸方向）に移動可能に取り付けられている。

Ｙ軸スライダー３４０はさらに、図示しない駆動手段を介して巻き上げられるループベルト３４２を有し、ループベルト３４２の一部にピックアップユニット３２０が一体的に取り付けられている。これにより、ループベルト３４２を正回転または逆回転することにより、ピックアップユニット３２０が上下（Ｙ軸方向）に移動する。

図４および図６を参照して、ピックアップユニット３２０は、ワークトレイ１００ａ〜１００ｃとほぼ同じ幅を有する矩形状のボックス体からなり、その内部には、ワークＷを持ち上げて保持する吸引ヘッド３５０と、上述した搬送ローラ２７２とともに搬送ステージ２７０に載置されたワークＷを狭持するクランプローラ３６０とを備えている。

吸引ヘッド３５０は、図示しない吸引装置に接続されたヘッド本体３５１と、同ヘッド本体３５１を上下に移動させる移動アーム３５２とを備えている。ヘッド本体３５１は、一般的なエア吸引方式の吸引装置に用いられるものが好適に用いられる。

移動アーム３５２は、他端側が上下駆動手段３５３に接続されており、図示しない駆動手段を介してヘッド本体３５１を上下に移動させる。この例において、上下駆動手段３５３は、後述するクランプローラ３６０の移動アーム３６２の駆動手段３６３と同期的に動作するようになっている。

クランプローラ３６０は、回転可能に取り付けられたローラ本体３６１と、同ローラ本体３６１を回転可能に支持するとともに、ローラ本体３６１を上下に移動させる移動アーム３６２とを備えている。

この例において、ローラ本体３６１は、表面に滑り止め加工などが施されており、移動アーム３６２にフリー回転として取り付けられている。移動アーム３６２は、他端が上下駆動手段３６３に接続されている。

上下駆動手段３６３は、図示しない駆動手段を介して上下駆動可能に取り付けられており、この例において、上下駆動手段３６３は、吸引ヘッド３５０の移動アーム３５２とカム機構を介して同期的に動作するようになっている。

これによれば、吸引ヘッド３５０にて持ち上げられたワークＷを搬送ステージ２７０に置いたのち、クランプローラ３６０を下降して搬送ローラ２７２とともにワークＷを狭持することにより、搬送ステージ２７０の長さがワークＷの全長よりも短い場合であっても、問題なくワークＷを清掃ユニット２００内に投入することができる。

次に、図７（ａ）〜（ｅ）および図８（ａ）〜（ｃ）を参照して、この清掃装置１の動作手順の一例について説明する。まず最初に、ユーザは、各ワークトレイ１００ａ〜１００ｃを筐体１０から引き出し、各ワークトレイ１００ａ〜１００ｃに応じた大きさのワークＷをワーク収納部１１０内に積層した状態で入れたのち、再び各ワークトレイ１００ａ〜１００ｃを筐体１０内に差し込む。

次に、ユーザは清掃装置１の制御パネル１３を操作して、清掃するワークＷが保存されているワークトレイ１００ａ〜１００ｃの選択や、ワークＷのサイズのほか、清掃する枚数などの各種条件を設定する。なお、各ワークトレイ１００ａ〜１００ｃに入ったワークを交互に清掃するように設定することも可能である。

清掃装置１の初期設定が完了したのち、清掃開始ボタンを押すと清掃作業が開始される。この例においては、ワークトレイ１００ａ内のワークＷを清掃する場合について例示する。まず、清掃ボタンが操作されると、図示しない制御手段は、図７（ａ）に示すように、ピックアップ部３００の搬送ユニット３１０や、吸引ヘッド３５０、クランプローラ３６０が初期位置にあるかどうかを確認する。

初期位置の確認が完了すると、制御手段はＸ軸スライダー３３０に指令を出し、図７（ｂ）に示すように、これを受けたＸ軸スライダー３３０は、駆動手段を介してワークトレイ１００ａに向かって移動を開始する（図７（ｂ）では右方向）。

Ｘ軸スライダー３３０がワークトレイ１００ａのワーク取り出し口１５０の上に停止すると、制御手段は、Ｙ軸スライダー３４０に指令を出し、これを受けて、図７（ｃ）に示すように、Ｙ軸スライダー３４０は、ループベルト３４２を反時計回りに回転させて、ピックアップユニット３２０をワーク取り出し口１５０に向けて下降させる。

同時に制御手段は、ピックアップユニット３２０の吸着ヘッド３５０に指令を出し、図示しない吸引装置の吸引バルブを開いて、吸着ヘッド３５０の先端を負圧とした状態としたのち、さらにピックアップユニット３２０を下降させて、吸着ヘッド３５０にワークＷを吸着させる。

ワークＷの吸着を確信したのち、制御手段は、Ｙ軸スライダー３４０に上昇指令を出し、上昇指令を受けて、図７（ｄ）に示すように、Ｙ軸スライダー３４０は上昇を開始し、初期位置まで上昇したのち停止する。

このとき、ワークＷが静電気などによって２枚同時に持ち上げられてしまうおそれがある。そこで、図９（ａ）に示すように、吸着ヘッド３５０に隣接してエアブロー手段３７０を設けておくことがより好ましい。

これによれば、図９（ｂ）に示すように、吸着ヘッド３５０がワークＷを吸着して持ち上げる際に、エアブロー手段３７０を介して圧搾空気をワークＷに吹き付けることにより、ワークＷが２枚同時に持ち上げられたとしても、圧搾空気によってワークＷ同士を剥がすことができ、確実に１枚のワークＷをピックアップすることができる。

また、より好ましくは、図９（ｃ）に示すように、圧搾空気を吹き付けつつ、さらに吸着ヘッド３５０を図示しない駆動手段を介して往復的に傾斜させて、いわゆる首振り動作を行うことにより、より確実にワークＷを１枚のみピックアップすることができる。

以上により、ワークＷが吸着ヘッド３５０により持ち上げられると、次に、制御部はＸ軸スライダー３３０に指令を出し、これを受けて、Ｘ軸スライダー３３０は、図７（ｅ）に示すように、搬送ステージ２７０の上部まで戻されたのち停止する。

図８（ａ）に示すように、搬送ステージ２７０の上でピックアップユニット３２０の停止を確認すると、制御部は、ピックアップユニット３２０のクランプローラ３６０に下降指令を出し、これを受けて、クランプローラ３６０が下降し、ワークＷを搬送ステージ２７０の搬送ローラ２７２との間で挟持する。

同時に、クランプローラ３６０の下降に伴い、制御部は、吸引装置の吸引バルブを閉じ、吸着ヘッド３６０の先端に生じている負圧を停止する。吸着ヘッド３６０の吸引が停止したのち、吸着ヘッド３５０は、クランプローラ３６０との同期駆動機構により、図８（ｃ）に示すように、情報に持ち上げられることにより、ワークＷの一部が搬送ステージ２７０の上に保持される。

この待機状態の次に、制御部は、清掃ユニット２１０の駆動手段に回転指令を出し、これを受けて、搬送ローラ２７２と各清掃ローラ対２１０とがワークの排出方向（図８（ｃ）では左方向）に向かって回転を開始する。

搬送ローラ２７２の回転開始に伴って、ワークＷは清掃ローラ対２１０の間に搬送され、両面に付着したゴミは清掃ローラ対２１０に接触することによって、清掃ローラ対２１０に捕捉される。清掃ローラ対２１０によって捕捉されたゴミは、清掃ローラ対２１０の表面に付着したまま回転して持ち運ばれ、強粘着なゴミ捕捉ローラ対２２０によって転写される。

清掃ローラ対２１０の間を抜けた清掃済みのワークＷは、ワーク排出口１７から筐体１０の外に排出されたのち、搬送コンベア１８によって所定の回収ポイントに運ばれ、回収されることにより、一連の清掃工程が完了する。

この例において、清掃済みワークＷは、ワーク排出口１７から搬送コンベア１８の上に排出されるようになっているが、例えばワーク排出口１７に隣接して、清掃済みワークＷを積層して保管するようにする回収トレイ式のであってもよく、清掃済みワークＷの回収方法は仕様に応じて任意に変更可能である。

この例において、清掃ローラ対２１０はワークＷを右方向から左方向に１パスで清掃を完了する場合について説明したが、よりきめ細かなに清掃を行う場合には、清掃ローラ対２１０の回転を逆転させて、清掃ローラ対２１０の間にワークＷを往復的に通過させるようにしてもよい。

この例において、ワークトレイ１００ａ〜１００ｃは、３段カセット式であるが、ワークトレイ１００ａ〜１００ｃの数は、仕様に応じて任意に変更可能であり、ワークトレイ１００ａ〜１００ｃに加えて、手動でワークＷを送り込むための手差し用コンベアユニットなどを別途設けてもよい。

本発明の一実施形態に係る清掃装置の斜視図。本発明の一実施形態に係る清掃装置の斜視図。上記清掃装置の内部機構を示す平面透視図。清掃ユニットと搬送ユニットの内部機構を示す正面透視図。搬送ユニットの構成を説明するための説明図。ピックアップユニットの構成を説明するための説明図。（ａ）〜（ｅ）ワークの搬送手順を説明する説明図。（ａ）〜（ｃ）ワークの清掃手順を説明する説明図。（ａ）〜（ｃ）エアブローと首振り動作を説明する説明図。

符号の説明

１清掃装置
１０筐体
１００ａ〜１００ｃワークトレイ
２００清掃ユニット
２１０清掃ローラ対
２２０ゴミ転写ローラ対
２７０搬送ステージ
２７２搬送ローラ
３００ピックアップ部
３１０搬送ユニット
３２０ピックアップユニット
３３０Ｘ軸スライダー
３４０Ｙ軸スライダー
３５０吸着ヘッド
３６０クランプローラ
Ｗワーク

Claims

所定の回転駆動手段によって回転駆動される少なくとも１つの清掃ローラ対を備え、上記清掃ローラ対の間にワークを通過させて、シート状のワークに付着したゴミを上記清掃ローラ対で捕捉する清掃装置において、
上記清掃ローラ対を含む清掃手段を備える清掃ユニットと、上記ワークを保管するワーク保管ユニットと、上記ワーク保管ユニットから上記ワークを取り出して、上記清掃ユニットに搬送する搬送ユニットとを有し、上記清掃ユニットの一部には、上記ワークの一部が載置され、上記ワークを上記清掃ローラー対に向けて送り出す搬送ローラを有する搬送ステージを有し、上記搬送ユニットには、上記保管部から上記ワークを取り出すピックアップ部と、上記ワークを上記搬送ローラとの間で挟持するクランプローラとを備えていることを特徴とする清掃装置。
上記ワーク保管部は、サイズおよび／または大きさの異なる上記ワークを収納可能な収納トレイを複数備えていることを特徴とする請求項１に記載の清掃装置。
上記ピックアップ部は、上記クランプローラが上記搬送ローラとの間で上記ワークを保持すると同時に、上記ワークを開放するように所定の駆動手段を介して同期的に駆動可能に連結されていることを特徴とする請求項１に記載の清掃装置。
上記搬送ステージは、上記ワークの搬送方向の長さよりも短いことを特徴とする請求項１に記載の清掃装置。