JP4714118B2 - 基板アンロード装置および基板アンロード方法 - Google Patents

Description

この発明は、電気めっき装置などの表面処理装置で用いられる搬送用ハンガーから基板を取り外して搬送する技術に関する技術である。
まず、基板アンロード装置（アンローダー）を備えた表面処理装置の構造について、図７、図８を用いて以下に説明する。図７は、表面処理装置１００を上方からみた平面図である。図８は、図７に示す表面処理装置１００をα方向から見た側面図である。

図７および図８に示すように、表面処理装置１００は、いわゆるプッシャー式のめっき装置であり、プリント基板などの基板を保持する搬送用ハンガー１５、当該搬送用ハンガー１５を摺動可能状態で昇降する昇降ガイドレール１０、１２、当該搬送用ハンガー１５を前後に所定間隔を維持しつつ順次搬送するための固定ガイドレール１１、１３を備えている。

図７に示すように、これらのガイドレール１０〜１３に沿って、めっき前処理工程を行うための各種前処理槽１、電気めっきを行うためのめっき槽２、めっき後処理工程を行うための回収槽３と水洗槽４、基板の取り外しを行うための基板アンロード装置が設けられたアンロード部５、搬送用ハンガー１５に付着しためっき皮膜等を剥離（ハンガー戻し工程）するための剥離槽６、剥離処理後に搬送用ハンガー１５の水洗を行う水洗槽７、基板の取り付けを行うロード部８が設けられている。

図７に示す昇降ガイドレール１０、１２は、搬送用ハンガー１５に基板Ｗ（プリント基板など）の取り付け、取り外しを行ったり、基板Ｗを各種処理槽（めっき槽２、剥離槽６、水洗槽、湯洗槽等）内に浸漬する際に昇降するガイドレールである。固定ガイドレール１１、１３は、それぞれめっき槽２、剥離槽６等に降下した搬送用ハンガー１５を搬送するために固定されたガイドレールである。図８に示す昇降ガイドレール１０、１２が降下した状態において、固定ガイドレール１１、１３と一体となって、ガイドレール１０〜１３が１つの環状ガイドレールを構成する。

図７に示す表面処理装置１００によって搬送される従来の搬送用ハンガー１５の構造を、図９および図１０を用いて以下に説明する。図９は、図８に示す搬送用ハンガー１５の構造を示す詳細図である。図１０は、搬送用ハンガー１５の一部中央断面図である。

図９に示すように搬送用ハンガー１５は、被処理物Ｗを保持するクランプ４８を複数備えた被処理物保持部材９０と、固定ガイドレール１１などのガイドレールに対して摺動接触する摺動部材３５と、これらを連結する連結部材４４を有している。

図９に示すように、被処理物保持部材９０は、連結部材４４に連設されかつ搬送方向に略水平に伸びる水平杆部４６と、この水平杆部４６の所定箇所に垂下した状態で連設される複数の垂杆部４９と、この垂杆部４９の下端に基板を狭持するクランプ４８を配してなるものである。

クランプ４８は、図１０に示すように、垂杆部４９に取付けられる固定部材４８ａ、可動部材４８ｂとによって構成されており、可動部材４８ｂは固定部材４８ａに設けられた軸に回動可能に取付けられている。クランプ４８は、ばねによって固定部材４８ａと可動部材４８ｂが先端部において通常閉じる状態となっている。ばねの力に逆らって可動部材４８ｂの上端部を押し込むとクランプ４８の先端部において固定部材４８ａと可動部材４８ｂとに隙間ができ、この隙間に基板Ｗを差込むことができる。

図７に示すアンロード部５に設けられた基板アンロード装置５’は、図１１に示すように、基板取り外し手段であるクランプ開放手段５０とハンガーサポート手段５１、及び受け台５３を有している。

クランプ開放手段５０は、押圧シリンダの先端にクランプ押圧部材が取付けられて構成されており、図７に示すアンロード部５の上方に達した搬送用ハンガー１５が、図１１に示すように昇降ガイドレール１２と共に降下した際、クランプ開放手段５０の押圧シリンダが伸長作動してクランプ４８（図１０）の可動部材４８ｂ上端部を押圧して基板Ｗの挟持を解除する。ハンガーサポート手段５１は、支持シリンダの先端に支持板が取付けられて構成されており、クランプ開放手段５０が作動する前に、ハンガーサポート手段５１の支持シリンダが伸長作動して、上記降下してきた搬送用ハンガー１５の被処理物保持部材９０をクランプ開放手段５０の反対側から支持板によって当接支持する。これにより、搬送用ハンガー１５の被処理物保持部材９０が反ったりして、クランプ開放手段５０がクランプ４８を押圧する際の押圧力が弱まることを防止できる。受け台５３は、昇降ガイドレール１２と共に降下してきた搬送用ハンガー１５の下方に配設されており、クランプ４８による挟持が解除されて落下してくる基板を受け止めて収納する。

これらクランプ開放手段５０、ハンガーサポート手段５１及び受け台５３を有する基板アンロード装置５’により、昇降ガイドレール１２と共に降下してきた搬送用ハンガー１５が挟持する基板Ｗは、クランプ開放手段５０及びハンガーサポート手段５１によりクランプ４８による挟持が解除されると、受け台５３に落下し、その後作業者によって運ばれ積載されることになる（特許文献１を参照）。

特開２００２−３６３７９６号

しかしながら、上記のような従来の基板アンロード装置５’には、以下のような問題点があった。

図１１に示す受け台５３に落下した基板Ｗを、作業者が積載するのは煩雑で面倒な作業であった。また、基板Ｗの表面に付着した処理液による表面貼力やめっきのこびりつきによって、搬送用ハンガー１５による基板Ｗの挟持を解除しても基板Ｗがクランプ４８から落脱せず、装置を停止しなければならないことがあった。更に、厚さが０．１ｍｍ以下であるような薄い基板Ｗの場合、上記処理液の表面貼力によって基板Ｗが落下途中に受け台５３に貼り付き、受け台５３に受け止められていない上端部が折れ曲がるなどの不良が発生することがあった。

この発明は、上記各問題を解決すべく、基板の取り外し作業を容易に行える基板アンロード装置を提供することを目的とするものである。

（１）この発明の基板アンロード装置は、
基板を挟持した搬送用ハンガーから基板を取り外すための基板アンロード装置であって、
搬送用ハンガーの基板挟持を解除する基板取り外し手段と、
基板受けを有し、前記基板取り外し手段によって搬送用ハンガーから取り外された基板を前記基板受けの開口部から鉛直方向に受け入れて収容した後、当該基板受けを旋回して基板を前記開口部から搬出する基板収容手段と、
を備えたことを特徴とする。

これにより、基板の取り外し作業を自動化するとともに、公知の水平搬送型のコンベアや集積装置に容易に接続でき、積載を容易に行えるようにすることができる。

（２）この発明の基板アンロード装置は、
前記基板収容手段が、旋回後の基板受けに収容される基板を、基板搬送手段によって基板受けの開口部から搬出する、ことを特徴とする。

これにより、基板受けから基板を自動で円滑に搬出することが可能となる。

（３）この発明の基板アンロード装置は、
前記基板受けが旋回後下側になる側壁に切り欠きを有し、前記基板搬送手段は、旋回後の基板受けに収容される基板を、当該切り欠きを通して支持して前記基板受けの開口部から搬出することを特徴とする。

これにより、基板の全体を支承しながら搬出し、搬出時に基板が折れ曲がったりすること防止できる。また、基板を速く搬出することができ、結果として、単位時間に搬送されてくる基板枚数が多い（生産性の高い）表面処理装置であっても、円滑な自動基板取り外しが可能になる。

（４）この発明の基板アンロード装置は、
前記基板収容手段が、前記搬送用ハンガーから取り外された基板の落下距離を調節する基板サポート手段を有すること、を特徴とする。

これにより、基板のサイズが異なった場合でも、基板が基板受け上に落下した際に発生する傷を防止することができる。

（５）この発明の基板アンロード装置は、
前記基板取り外し手段が、基板の挟持を解除した後に、基板受けの開口部付近において水平方向に前後動して基板受け内に落下していない基板に接触することにより、基板を基板受け内に落下させる基板落脱手段を有することを特徴とする。

これにより、基板表面に付着した処理液の表面貼力によって、基板がクランプなどから落脱せず、装置の動作が停止することを防止することができる。

（６）この発明の基板アンロード装置は、
前記基板受けが、旋回後下側および上側になる両側壁に切り欠きを有しており、
前記基板取り外し手段が搬送用ハンガーの基板挟持を解除する際に、エアー吹付手段が、前記切り欠きを通して基板の両側からエアーを吹き付けることを特徴とする。

これにより、基板が落下途中で基板受けの側壁に貼り付くことを防止することができる。

（７）この発明の基板アンロード装置は、
前記エアー吹付手段が、少なくとも基板の下端より上の位置に向けてエアーを吹き付けることを特徴とする。

これにより、基板が落下途中で基板受けの側壁に貼り付くことを確実に防止することができる。

（８）この発明の基板アンロード装置は、
前記基板受けの内面に、貼付防止ガイドが設けられていることを特徴とする。

これにより、基板が基板受けの側壁に貼り付くことを防止することができる。

（９）この発明の基板アンロード方法は、
基板を挟持した搬送用ハンガーから基板を取り外すための基板アンロード方法であって、
搬送用ハンガーの基板挟持を解除して基板を取り外し、
搬送用ハンガーから取り外された基板を基板受けの開口部から鉛直方向に受け入れて収容した後、前記基板受けを旋回して基板を前記開口部から搬出する、
ことを特徴とする。

これにより、基板の取り外し作業を自動化するとともに、公知の水平搬送型のコンベアや集積装置に容易に接続でき、積載を容易に行えるようにすることができる。

１．基板アンロード装置の構造
図１は、この発明の基板アンロード装置（アンローダー５ａ）の構造を示す図である。なお、図１に示すアンローダー５ａは、後述するように、図７に示す表面処理装置１００のアンロード部５の位置に設けられる。

図１に示すアンローダー５ａは、基板Ｗを挟持した搬送用ハンガー１５から基板Ｗを取り外すための装置であり、搬送用ハンガー１５から基板Ｗを取り外し、その後基板Ｗを積載（集積）する基板Ｗのアンロード作業に用いられる。

アンローダー５ａは、図１に示すように基枠７０に設けられたハンガーサポート手段５１並びに基枠７２に設けられたクランプ開放手段５０及び基板落脱手段５８によって構成される基板取り外し手段と、基板受け５２（一部切り欠き）、旋回手段５４及び基板搬送手段５６とによって構成される基板収容手段とを備える。上記基板取り外し手段は、搬送用ハンガー１５による基板Ｗの挟持を解除して基板収容手段の基板受け５２内へ基板Ｗを落下させる。また、上記基板収容手段は、基板取り外し手段によって搬送用ハンガー１５から取り外され、鉛直方向に落下してきた基板Ｗを収容した後旋回して水平状態で搬出する。なお、基枠７０、７２は、鋼材で構成されている。

まず、図１に示すハンガーサポート手段５１、クランプ開放手段５０及び基板落脱手段５８によって構成される基板取り外し手段について、以下に説明する。

図１に示すように、ハンガーサポート手段５１は、搬送用ハンガー１５の左側に位置する支持板５１ａ、支持シリンダ５１ｂによって構成されている。ハンガーサポート手段５１は、搬送用ハンガー１５が昇降ガイドレール１２と共に図１に示すような位置に降下した状態で、図面左側から被処理物保持部材９０に対して当接して搬送用ハンガー１５を支持する。

具体的には、後述するクランプ開放手段５０がクランプ４８の解除を行う前に、支持シリンダ５１ｂが作動して支持板５１ａが搬送用ハンガー１５の被処理物保持部材９０に当接して支持する。これにより、搬送用ハンガー１５の被処理物保持部材９０がクランプ４８の解除の際に反ったりすることを防止し、クランプ４８の解除を確実に行える。

クランプ開放手段５０は、図１に示すように、搬送用ハンガー１５の右側に位置するクランプ押圧部材５０ａ、押圧シリンダ５０ｂによって構成されている。クランプ開放手段５０は、搬送用ハンガー１５が昇降ガイドレール１２と共に図１に示すような位置に降下した状態で、基板Ｗを挟持するクランプ４８の解除を行う。

具体的には、図１に示す上述したハンガーサポート手段５１の支持シリンダ５１ｂが作動し、支持板５１ａが搬送用ハンガー１５に当接された状態となった後、その状態で押圧シリンダ５０ｂが作動することでクランプ押圧部材５０ａがクランプ４８の可動部材４８ｂ（図１０参照）の上端部を押圧し、基板Ｗの挟持を解除する。

基板落脱手段５８は、図１に示す基板押出部材５８ａと押出シリンダ５８ｂで構成される。基板落脱手段５８は、上述したクランプ開放手段５０がクランプ４８を解除した後に、基板受け５２の開口部５２ａ付近において水平方向に前後動して、基板Ｗを基板受け５２内に確実に落下させる。例えば、基板Ｗに付着した処理液の表面貼力やめっきのこびりつきによって、クランプ４８の挟持が解除されても基板Ｗがクランプ４８から落脱しなかったり、基板受け５２の側壁５２ｅ内面に貼り付くことがある。このような場合であっても、基板押し出し部材５８ａが基板Ｗに接触する（例えば、数ミリ程度押し込む）ことによって衝撃を与え、基板Ｗを揺らして落下させることができる。なお、ここでは基板押し出し部材５８ａが基板Ｗに接触する回数を１回だけとしたが、基板Ｗを確実に落下させるためには、基板受け５２ａの底面辺りにセンサー（図示せず）を設けておき基板Ｗが落下したことを検知するまで複数回前後動させるようにしてもよい。

図１３Ａは、基板落脱手段５８を上方から見た平面図である。基板落脱手段５８の基板押出部材５８ａは、図１３Ａに示すように、押出シリンダ５８ｂに取り付けられた平板部材５８１に、基板Ｗを接触して押出する突起材５８２が６個取り付けられて構成されている。突起材５８２は、樹脂（ＰＰ）で形成されており、先端が丸く加工されている。これは、基板Ｗを押出した際に突起材５８２が基板Ｗを傷つけないようにするためである。

図１３Ｂは、搬送用ハンガー１５および基板Ｗに対する上記基板落脱手段５８の突起材５８２の位置関係を示す図である。図１３Ｂに示すように、基板落脱手段５８の突起材５８２は、搬送用ハンガー１５のクランプ４８よりも下側（例えば、数ｍｍ下）に位置し、両端のクランプ４８よりも内側の接触位置５８３で基板Ｗを押出する。これは、特に厚さが１ｍｍ以下である薄い基板でも、確実に押出動作が基板Ｗに伝わるようにし、基板Ｗとクランプ４８や基板受け５２内側壁との間に起きる処理液の表面貼力やめっきのこびりつきを解消するためである。なお、基板Ｗを確実に落下させるためには、図１３Ｂに示す突起材５８２の接触位置５８３をできるだけクランプ４８の近傍とすることが好ましいが、さらに基板受け５２に基板Ｗが貼り付くのを防止したいような場合には、基板Ｗを大きく揺らせるためにクランプ４８から離れた位置（隣り合うクランプ４８の中間位置）を接触位置５８３としてもよい。

次に、図１に示す基板受け５２、旋回手段５４及び基板搬送手段５６とによって構成される基板収容手段について、図２などを用いて以下に説明する。なお、図２は、基板受け５２の構造を示す図であり、この実施形態では、基板受け５２はＰＶＣ（塩化ビニル）で成型されている。

基板収容手段は、図１に示す回転軸５４ｃを中心として、Ｅ方向に旋回可能となるよう旋回手段５４が連結された基板受け５２を備えており、基板受け５２には、図２に示すように、側壁５２ｅに縦方向の切り欠き（５２ｂ）が設けられている。

基板受け５２が旋回して水平状態となったとき（図１の点線で示す）に、図１に示す上記基板搬送手段である搬送ローラ５６が、上記切り欠き５２ｂ（図２を参照）を通して内部に案内される。これにより、図３Ａ、Ｂに示すように、基板搬送手段である搬送ローラ５６は、基板受け５２が旋回手段５４によって水平状態となった位置において基板受け５２内に収容された基板Ｗが側壁５２ｅおよび後述する貼付防止ガイド５２ｄ（図３Ｃを参照）に接触しないように、上記切り欠き５２ｂを通して基板Ｗを支持する。なお、図３Ａは、基板受け５２を旋回した状態を示す側面図であり、図３Ｂは、基板受け５２を旋回した状態を示す底面図である。

このように基板受け５２に、図２に示すような切り欠き５２ｂを設けたことで、図３Ｂに示すように基板受け５２の切り欠き５２ｂを通して基板Ｗが搬送ローラ５６によって支持された状態とすることができ、図３ＡのＦ方向に基板Ｗを円滑に搬送することができる。例えば、基板受け５２の側壁５２ｅから搬送ローラ５が１０ｍｍ程度突出することにより基板Ｗが支持される。

また、基板受け５２は、図１に示すように、搬送用ハンガー１５が鉛直方向（図１のＤ方向）に降下した際に、基板を受け入れる開口部５２ａを有しており、開口部５２ａは基板Ｗを基板受け５２の内部に確実に案内することができるように上方に向かって幅を広げた形に成形されている。

また、基板受け５２は、図１に示すように、搬送用ハンガー１５のクランプ４８の位置（Ｐ）が基板受け５２の中央（Ｍ）よりも側壁５２ｅの内面付近（例えば、側壁５２ｅ内面から１０〜５０ｍｍ）に位置するように配設され、基板Ｗを基板受け５２の側壁５２ｅの内面付近に沿って案内する構造としている。これにより、基板受け５２が図１Ｅ方向に旋回するときに、基板受け５２内に収容された基板Ｗが基板受け５２内を移動して基板Ｗが傷つくことが抑制される。

さらに、図３Ｃに示すように、上記基板受け５２の側壁５２ｅ、５２ｆの内面には、棒状（直径数ミリ）に成形されたＰＶＣ製の貼付防止ガイド５２ｄが縦方向に向かって、側壁５２ｅ、５２ｆ全体にわたって接着して設けられている。図３Ｃは、基板受け５２が図１の実線状態にある時に、基板受けの開口部５２ａを上方から見た図である。これにより、基板Ｗと基板受け５２の側壁５２ｅ、５２ｆの内面が面接触にならないようにして、基板Ｗの表面に擦傷が発生したり、付着した処理液の表面貼力で基板Ｗが基板受け５２の側壁５２ｅ、５２ｆの内面に貼り付いたりすることを防止できる。

旋回手段５４は、図１に示すように、基板受け５２を旋回させる動力となる旋回シリンダ５４ａと、一端が上記基板受け５２の下端部に固定され、他端が旋回シリンダ５４ａに連結され、旋回シリンダ５４ａの動力を基板受けに伝えるＬ型の一体部材である旋回腕５４ｂとで構成される。図１に示す旋回シリンダ５４ａが伸長作動して旋回腕５４ｂが基枠７２に固着された軸５４ｃを中心として旋回することで、基板受け５２は、基板Ｗが収容された状態で図１のＥ方向に旋回される。なお、旋回シリンダ５４ａの一端は、軸５４ｅを介して、基枠７２に対して回転可能に接続されており、他の一端は基板受け５２に固着された旋回腕５４ｂに固定した軸５４ｄに対して回転可能に接続されている。

基板搬送手段は、駆動モータで駆動する搬送ローラ５６で構成されており、図１の点線位置に旋回された基板受け５２が収容する基板Ｗを、開口部５０ａから水平方向（図１のＦ方向）に搬出する。なお、搬送ローラ５６の直径は、例えば４０ｍｍとする。これは、あまり大きい直径のローラを用いた場合、薄い基板では、基板の端部が搬送ローラ５６間に入り込み、搬送不良を起こすおそれがあるためである。また、搬送ローラ５６の回転軸は旋回した状態の基板受け５２よりも下方に位置している。

アンローダ５ａにおける制御フローチャートを図２２を用いて説明する。なお、アンローダ５ａの動作は、ＣＰＵなどによって構成される電気めっき装置１００（図７）の制御部（図示せず）によって制御される。

基板Ｗを有する搬送用ハンガー１５が、図７に示す電気めっき装置１００の水洗槽４からアンロード部５に搬送さたことがセンサー（図示せず）によって検出されると、図２２に示すように、制御部からの指令により、昇降ガイドレール１２が図１のＤ方向に降下する（ステップＳ０２）。

つぎに、上記センサーの検出後、タイマなどの計測によって所定時間が経過すると、制御部からの指令により図１に示す支持シリンダ５１ｂが作動し、支持板５１ａが被処理物保持部材９０に当接することにより搬送用ハンガー１５を支持する（ステップＳ０４）。その後、さらに所定時間が経過すると、制御部からの指令により押圧シリンダ５０ｂが作動し、クランプ押圧部材５０ａがクランプ４８の上端部を押圧することにより、基板Ｗの挟持を解除する（ステップＳ０６）。

さらに、所定時間が経過すると押出シリンダ５８ｂが作動し、基板押出部材５８ａが基板Ｗに接触する（ステップＳ０８）。なお、クランプ４８による基板Ｗの挟持が解除された時（上記ステップＳ０６）に、すでに基板Ｗが落脱している場合には、押出シリンダ５８ｂが作動しても基板押出部材５８ａは基板Ｗに接触しない。

基板Ｗが基板受け５２に収容されると（例えば、基板受け５２に設けたセンサーで検出する）、旋回シリンダ５４ａが作動し、基板受け５２が図１に示す回転軸５４ｃを中心として、Ｅ方向に旋回し、基板Ｗが搬送ローラ５６によって水平状態に保持される（ステップＳ１０）。搬送ローラ５６は、基板受け５２が水平状態になると回転を開始し、基板Ｗを図１のＦ方向に搬出する（ステップＳ１２）。

基板Ｗが搬送されると、昇降ガイドレール１２が上昇すると共に、各シリンダ（支持シリンダ５１ｂ、押圧シリンダ５０ｂ、押出シリンダ５８ｂ、旋回シリンダ５４ａ）がそれぞれ退避して元の状態に戻る（ステップＳ１４）。

その後、基板Ｗを取り外した搬送用ハンガー１５は図７に示す剥離槽６へと送られる。一方、アンロード部５には水洗槽４から新たに基板Ｗを有する搬送用ハンガー１５が搬送され、上記アンローダ５ａによる一連の動作（図２２のステップＳ０２からＳ１４）が行われることになる。

なお、図２２に示す制御フローチャートでは、基板Ｗの挟持が解除（ステップＳ０６）された後、ステップＳ０８において、所定時間が経過すると押出シリンダ５８ｂが作動するように制御したが、基板受け５２に設けたセンサーが基板Ｗの落下を検出した場合には押圧シリンダ５８ｂを作動させずに、基板受け５２を旋回させる（ステップＳ１０）ように制御したり、基板受け５２に設けたセンサーが基板Ｗの落下を検出しなかった場合に限り、押圧シリンダ５８ｂを作動させるように制御してもよい。

以上のように、この発明のアンローダー５ａは、クランプ開放手段５０、ハンガーサポート手段５１、基板落脱手段５８により構成される基板取り外し手段、及び基板受け５２、旋回手段５４、基板搬送手段５６により構成される基板収容手段を備えたことにより、以下のことが実現できる。

（ｉ）公知の積載（集積）装置を本発明のアンローダー５ａの基板搬送手段５６に連結することで、基板Ｗの積載作業までを自動化することができる。また、基板Ｗが基板搬送手段５６によって搬出されてくるので、作業者は容易に基板Ｗを受け取ることができ、積載作業が容易になる。

（ｉｉ）基板落脱手段５８を備えたことで、基板Ｗの表面に付着している処理液の表面貼力によって基板受け５２内に基板Ｗが落下しないことが防止される。これにより、装置停止の危険性や、薄い基板Ｗが基板受け５２内に円滑に収容されないことによる折れ曲がり等の不良を回避することができる。

２．表面処理装置および搬送用ハンガーの構造
この発明のアンローダー５ａを用いる表面処理装置の構造は、前述の図７、８に示すものと同じである。

図７および図８に示すように、表面処理装置１００は、いわゆるプッシャー式のめっき装置であり、プリント基板などの基板Ｗを保持する搬送用ハンガー１５、当該搬送用ハンガー１５を摺動可能状態で昇降する昇降ガイドレール１０、１２、当該搬送用ハンガー１５を前後に所定間隔を維持しつつ順次搬送する固定ガイドレール１１、１３を備えており、これらのガイドレール１０〜１３に沿って、めっき前処理工程を行うための前処理槽１、電気めっき工程を行うためのめっき槽２、めっき後処理工程を行うための回収槽３と水洗槽４、基板Ｗの取り外しを行うためのアンロード部５、搬送用ハンガー１５に付着しためっき皮膜等を剥離するための剥離槽６、剥離処理後に搬送用ハンガー１５の水洗を行う水洗槽７、基板Ｗの取り付けを行うロード部８が設けられている。図７または図８に示すように、昇降ガイドレール１０、１２は、搬送用ハンガー１５を間欠的に搬送し、当該搬送用ハンガー１５に基板Ｗ（プリント基板など）の取り付け（ロード）、取り外し（アンロード）を行ったり、基板Ｗを各種処理槽（めっき槽２、剥離槽６、水洗槽、湯洗槽等）内に浸漬等する際に昇降するガイドレールである。

図９、図１０などを用いて、この発明の搬送用ハンガー１５の構造について説明する。

図９に示すように、搬送用ハンガー１５は、基板Ｗを保持するクランプ４８を複数備えた被処理物保持部材９０と、固定ガイドレール１１に対して摺動接触する摺動部材３５と、これらを連結する連結部材４４を有している。摺動部材３５および連結部材４４の材質としては、銅、真ちゅうが用いられる。

また、図１０に示すように、摺動部材３５の上部にはチェーンベルト３９（図７に示す固定ガイドレール搬送手段１９を構成）に噛み合うワンウェイクラッチ方式のギヤ４０を有する軸受け３６が固着されている。このため、固定ガイドレール１１，１３上でチェーンベルト３９に噛み合うギヤ４０は、前送り時において図９に示すＢ方向へのみ回転することができる。

また、図９に示すプッシャー当接面３７に間欠搬送手段１７、２２のプッシャー１６，２１（図８）が当接されることにより、搬送用ハンガー１５の搬送が行われる。例えば、図１２に示す間欠搬送手段２２のプッシャー２１ｃが図７の（ｊ）の位置にある搬送用ハンガー１５のプッシャー当接面３７に当接することにより、搬送用ハンガー１５がアンローダ５ａの位置（図７の（ｋ）位置）に搬送される。図１２は、昇降ガイドレール１０、１２の上部に設けられる間欠搬送手段１７、２２の構造を示す平面図である。

図１０の爪当接部３２は、搬送用ハンガー１５の搬送手段である位置決め搬送手段１８の搬送爪３０（図７）が当接する部分である。

３．その他の実施形態
なお、上記実施形態においては、基板受け５２は、その底面位置で落下してきた基板Ｗを受け止めているが（図１を参照）、図４に示すように上記基板収容手段に基板サポート手段６０を加えて設け、基板受け５２’内において当該基板サポート手段６０で落下してくる基板Ｗを受け止めるとともに、基板Ｗが落下する距離を調節可能な構造としてもよい。図４に示すアンローダー５ｂは、基枠７４に設けられた基板サポート手段６０を備える点で、図１に示すアンローダー５ａと異なる。なお、基枠７４は、鋼材で構成されている。

基板サポート手段６０は、図４に示すように、落下してきた基板Ｗを受け止める基板停止部材６０ａと、モーターや電動アクチュエータなどの駆動により基板停止部材６０ａを所定の高さ位置に移動させる停止位置調節リフト６０ｂとにより構成されている。

具体的には、上述したクランプ開放手段５０がクランプ４８を解除する前に、図４に示す搬送用ハンガー１５が挟持する基板Ｗの縦方向の長さに対応して、基板停止部材６０ａが停止位置調節リフト６０ｂの駆動で所定高さ（例えば、基板Ｗの下端から、少なくともクランプ４８による基板Ｗの挟み代Ｌ１０（図９）よりも長い間隔となる高さ位置：好ましくは、基板Ｗの下端から１０〜３０ｍｍ下の高さ位置）に移動し、その後降下して基板Ｗの下端が基板受け５２’の底面によって支承されるようにする。これにより、基板Ｗが基板受け５２’に収容される際に基板Ｗが傷つくことを効果的に防止することができる。

図５に、この実施形態における基板サポート手段６０および基板受け５２’の構造を示す。図５に示すように、基板停止部材６０ａは、垂直方向に延びた複数の棒材で構成されており、これらの棒材が基板受け５２’を貫けるように、基板受け５２’には、図２に示す側壁５２ｅの切り欠き５２ｂだけでなく、側壁５２ｆにも切り欠き５２ｃが設けられている。

なお、上記実施形態においては、図５に示すように、基板受け５２’の側壁５２ｅ，ｆに設けられた切り欠き５２ｂ，ｃを貫く基板停止部材６０ａで基板Ｗの落下距離を調節していたが、かかる構造に限られるものではない。例えば、図１４に示すように、旋回手段５４を基板受け台５５に固定し、当該基板受け台５５上に基板受け５２（図１に示す基板受け５２と同様に側壁５２ｆに切り欠き５２ｃはない）を上下動可能に載置して、当該基板受け５２が基板受け位置調節リフト６１ｂに取付けられた基板受け支承部材６１ａの上下移動によって高さが調節されるような構造としても良い。

また、図４に示す実施態様では、基板Ｗが基板受け５２に収容される際の基板Ｗの落下距離を調節するために、基板Ｗを受け止める基板停止部材６０ａを停止位置調整リフト６０ｂで移動させて高さを調節していたが、かかる構造に限られるものではなく、停止位置調整リフト６０ｂを用いなくても良い。

例えば、図１５に示すように、２つの基板停止部材６０ａ’、６０ａ’’を調節シリンダ６０ｄに取り付け、それぞれ予め所定の高さで停止位置固定部材６０ｃに固定しておき、基板Ｗを落下させる際に、基板Ｗのサイズに応じて基板停止部材６０ａ’または６０ａ’’を前進させて、基板受け５２’の切り欠き５２ｃ内へ挿入するような構造にしても良い。

なお、図１５に示す基板サポート手段６０’を基板アンロード装置として実施する場合には、図４における基枠７４を省略し、基板サポート手段６０に代えて、図１５に示す基板サポート手段６０’を設置すればよい。

なお、上記実施形態においては、図１に示すように基板Ｗが基板受け５２の側壁５２ｅ内面付近で鉛直方向に受け入れられるようにしたが、側壁５２ｅ内面から離れた位置（例えば、図１に示す開口部５２ａの中央辺り）で基板Ｗが受け入れられるようにしてもよい。

なお、上記実施形態においては、図１に示すように基板受け５２を鉛直方向に設けるようにしたが、図６に示すように基板受け５２を予め傾斜させて設け、その状態で基板Ｗを鉛直方向に受け入れるようにしても良い。

なお、上記実施形態においては、図１に示す旋回手段５４によって基板受け５２を水平状態に旋回した後、駆動源を有する基板搬送手段５６で基板Ｗを搬出していたが、駆動源を有さない基板搬送手段であるフリーローラを用いることもできる。

例えば、図１６に示すように、基板受け５２’’の側壁５２ｅ’’内面に駆動源と接続されていないフリーローラ５６ａを設け、旋回手段５４によって開口部５２ａ’’が水平状態よりも下向きになるようにして、基板Ｗが重力の作用で、フリーローラ５６ａによって滑り落ちて開口部５２ａ’’から搬出されるようにしても良い。

なお、図１６に示す基板受け５２’’を基板アンロード装置として実施する場合には、図１４における基板受け５２を図１６の基板受け５２’’に代えて用いればよい。装置全体としては、図４における基板受け５２を図１４の基板受け５２’’および図１６の基板受け台５５とに代え、図４における基板サポート手段６０を図１４の基板サポート手段６１に代えて設置するとともに、搬送ローラ５６を省略すればよい。

なお、上記実施形態においては、図５に示すように、基板受け５２の側壁５２ｅに切り欠き５２ｂを縦方向に（搬送方向に沿って）成形したが、これに限定されるものではない。例えば、図４における各搬送ローラ５６の紙面奥方向に並設されるローラを案内する横方向の（搬送方向に直行する方向に沿って）切り欠きを成形するようにしても良い。この場合、側壁５２ｆの切り欠きｃをローラを案内できるように横方向に成形し、図１５に示す基板サポート手段６０’を設置した基板アンロード装置の実施形態において、当該横方向の切り欠きを成形した基板受けを用いればよい。

なお、上記実施形態においては、図１に示すように、基板受け５２の切り欠き５２ｂを通して基板を支持して駆動源であるモータによって駆動するローラで搬出する搬送ローラ５６としていたが、図１７に示すように、旋回後の基板受け５２’の底部（旋回前時に底部の部分）の左側に駆動源である搬出シリンダ５６ｂを設け、当該搬出シリンダ５６ｂで基板Ｗを押出して搬出してもよい。また、図１８に示すように、旋回後の基板受け５２の右側（開口部の前位置）に駆動源である引出シリンダ５６ｃを備え、当該引出シリンダ５６ｃにエア等で基板Ｗをパッドに吸引吸着させる吸着手段５６ｄを取付け、引出シリンダ５６ｃの作動で吸着手段５６ｄが開口部５２ａから基板受け５２内に入り、基板Ｗを吸引吸着しての開口部５２ａから引出シリンダ５６ｃで引き出して搬出するようにしても良い。

なお、上記実施形態においては、図１に示す基板落脱手段５８は、水平方向に前後動して基板Ｗに接触して基板Ｗを揺らすようにしたが、シリンダショックにより基板受け５２の側壁５２ｅや搬送用ハンガー１５に衝撃を与えて基板Ｗを揺らすようにしても良い。

なお、上記実施態様では、基板落脱手段５８は、図１に示すように、クランプ位置（Ｐ）に対して図面右側のみに設けられているが、図面左側のみに設けてもよく、図面右側および左側の両方に設けても良い。

例えば、図１０に示すクランプ４８に対して、基板Ｗは可動部材４８ｂか固定部材４８ａに貼り付くため、可動部材４８ｂに貼り付いた場合は、図面右側から貼り付いた基板Ｗを押出することが、固定部材４８ａに貼り付いた基板Ｗに対しては、図面左側から押出することが有効である。

なお、上記実施態様では、基板取り外し手段は、クランプ開放手段５０、ハンガーサポート手段５１、及び基板落脱手段５８の３つの手段で構成されているが、少なくともクランプ開放手段５０を備えればよい。

なお、上記実施形態では、基板受け５２が旋回することで搬送ローラ５６が自動的に基板Ｗを支持するように構成しているが、基板受け５２が旋回した後に搬送手段が上昇することで基板Ｗを支持するように構成してもよい。

なお、上記実施形態においては、図３Ｃに示すように、基板受け５２の側壁５２ｆの内面に貼付防止ガイド５２ｄを設けて、搬送用ハンガー１５から基板Wが落下する際に基板受け５２に付着するのを防止したが、貼付防止ガイド５２ｄを設ける代わりに、図１９および図２０に示すような第１エアーノズル６２、および第２エアーノズル６４で構成されるエアー吹付手段を設けるようにしてもよい。

図１９および図２０は、それぞれ基板サポート手段６０を用いた場合のアンローダー５ｂの構造を示す図４、および基板受け５２の構造を示す図５において、さらにエアー吹付手段である第１エアーノズル６２、および第２エアーノズル６４を設けた状態を示す図である。図２１は、図１９に示す基板受け５２’のＺ部分の詳細を示す図である。

この実施形態における基板受け５２’には、図２０に示すように、側壁５２ｅ（旋回後に下側になる側壁）に切り欠き５２ｂが設けられているだけでなく、側壁５２ｆ（旋回後に上側になる側壁）にも切り欠き５２ｃが設けられている。

また、図１９に示すように、基板受け５２’の図中右側（基枠７２側）には、水平より上向きの方向（つまり、降下する基板Ｗに対して斜め方向）に吐出口６２ａが向けらた第１エアーノズル６２が４カ所（図２０を参照）設けられており、基板受け５２’の図中左側（基枠７４側）には、その吐出口６４ａを水平方向（つまり、降下する基板Ｗに対して垂直方向）に向けた第２エアーノズル６４が４カ所（図２０を参照）設けられている。

また、図２０に示すように、第１エアーノズル６２は、基枠７２（図１９を参照）に固着された軸５４ｃに沿って設けられた固定シャフト６６（基板受け５２が旋回しても回転しない）に取り付けられており、第２エアーノズル６４は、モーターや電動アクチュエータなどの駆動により第２エアーノズル６４を所定の高さ位置に移動させる吹付位置調節リフト６４ｂに取り付けられている。ここで、基板Wが基板受け５２’に付着するのをより効果的に防止するためには、図２１に示すように、（i）搬送用ハンガー１５が降下した際に、少なくとも基板の下端Ｙより上の位置Ｘに向けてエアーを吹き付けるように第１エアーノズル６２、および第２エアーノズル６４の高さおよびノズルの吹出角度を調節したり、図２０に示すように（ii）基板Ｗの表裏において、対向する位置からのエアーが同一位置Ｘにあたるように第１エアーノズル６２、および第２エアーノズル６４を配置することが好ましい。

以下に、図１９および図２０を用いて、第１エアーノズル６２、および第２エアーノズル６４の動作について説明する。なお、第１エアーノズル６２、および第２エアーノズル６４へのエアーの供給は、工場内を流れるクリーン・エアを利用してコンプレッサで行い、その制御は電磁弁の動きをプログラミングして制御部から行う。

図１９に示すように、搬送用ハンガー１５が鉛直方向（図１９のＤ方向）に降下すると、クランプ開放手段５０がクランプ４８を開く前、またはクランプ４８を開くと同時に第１エアーノズル６２、および第２エアーノズル６４はエアーの吹き出しを開始する。さらに、基板Ｗが、クランプ開放手段５０が搬送用ハンガー１５の基板挟持状態を解除すると共に落下するか、そうでない場合は、基板落脱手段５８の基板押出部材５８ａが水平方向に前後動して接触することにより落下する。このとき、基板Ｗの表裏面には基板受け５２’の外側から切り欠き５２ｂ、５２ｃを通してエアーが両面からつり合うように当てられているため、基板受け５２’の内壁から離れた（浮いた）状態でスムーズに落下することになる。センサー（図示せず）が、基板サポート手段６０の基板停止部材６０ａに基板Ｗが到達したこと感知すると、第１エアーノズル６２、および第２エアーノズル６４によるエアーの吹き出しが停止する。その後、基板Ｗが収容された状態で基板受け５２が図１９のＥ方向に旋回され、開口部５０ａから水平方向（図１９のＦ方向）に基板Ｗが搬出されることになる。なお、上記一連の工程は前述の制御部（図示せず）によって制御されて行われる。

これにより、基板を基板受けへ確実に収容することができ、基板Wが落下途中で基板受け５２’の側壁に貼り付くことによって生じる問題を解消することができる。例えば、基板受け５２’の上部開口から基板Wの上部がはみ出し、基板受け５２’の旋回時に基板Ｗが基板落脱手段５８と接触して、折れ曲がりや損傷が生じるという事態を回避することができる。

なお、上記実施形態では、第１エアノズル６２を基板受け５２’の固定シャフト６６に取り付けるようにしたが、取付位置や取付方法はこれに限定されるものではなく、例えば、基枠７２に直接取り付けるようにしたり、図２３に示すように、エアー吐出口８０を開けたパイプ材８２と板状材８４ａ、８４ｂ、８４ｃとを組み合わせて、基板受け５２’と一体的に成形してもよい。

なお、上記実施形態では、第２エアノズル６４を吹付位置調節リフト６４ｂに取り付けるようにしたが、取付位置や取付方法はこれに限定されるものではなく、例えば、図２４に示すように、基板サポート手段６０を覆うカバー８６に第２エアノズル６４を配設してもよい。

また、図２５に示すように、第１エアーノズル６２および第２エアーノズル６４を共に、基板停止部材６０ａ（図４）に取り付けるようにしてもよい。例えば、図２５に示すように、基板受け５２（５２ｆ’、５２ｅ’）の外側に位置するように第１エアーノズル６２および第２エアーノズル６４を基板停止部材６０ａに取り付け、エアーノズル６２、６４の可動範囲θ１、θ２においてエアーの当たる位置が調節可能な構成とすることもできる。

なお、上記実施形態では、第１エアノズル６２の数および第２エアノズル６４の数をそれぞれ４つとしたが、ノズル数は特に限定されるものではない。

なお、上記実施形態では、第１エアーノズル６２からのエアーの吹き付け方向を水平より上向きの方向とし、第２エアーノズル６４からのエアーの吹き付け方向を水平方向にしたが、吹き付け方向はこれに限られず、例えば、吹き付け方向を水平方向よりも下向きとしたり、第１エアーノズル６２および第２エアーノズル６４からのエアーの吹き付け方向を何れも水平方向としたり、水平方向よりも上向き方向としてもよい。

また、エアーを吹き付ける角度や対向するエアーの当り方は、基板Wの大きさや厚さ、重さ、エアーの吐出量等の要素に基づいて、任意に設定するようにすればよい。

なお、上記実施形態では、基板落脱手段５８を図１に示す基板押出部材５８ａと押出シリンダ５８ｂとで構成したが、基板落脱手段５８を図１９、図２０に示す第１エアーノズル６２や第２エアーノズル６４に用いたようなエアーノズルを用いて実現し、エアーの圧力によって基板Ｗをクランプ４８から落脱させるようにしてもよい。例えば、図１３に示す基板押出部材５８ａと押出シリンダ５８ｂの代わりに、図２６に示すように、支持部材５８ｃにエアーノズル５８ｄを取り付けたもので基板落脱手段５８を実現することもできる。

この場合、基板落脱手段５８として用いるエアーノズルは、図１に示す、クランプ位置（Ｐ）に対して図面右側のみに設けたり、図面左側のみに設けたりしてもよく、図面右側および左側の両方に設けるようにしても良い。また、基板押出部材５８ａと押出シリンダ５８ｂと共にエアーノズルをさらに併せて、基板落脱手段５８として用いるようにしてもよい。

なお、図２に示すような、片方の側壁５２ｅにしか切り欠き５２ｂを有さない基板受け５２の場合には、図２７に示すように、他方の側面５２ｆには第２エアーノズル６４からのエアーを通すための通気孔８８を空けるようにしてもよい。

なお、上記実施形態では、図２０に示すように、第１エアーノズル６２を、基枠７０（図１９を参照）に固着された軸５４ｃに沿って設けられた固定シャフト６６（基板受け５２’が旋回しても回転しない）に取り付けるようにしたが、図２８に示すような、基板受け５２’が旋回すると一緒に回転する回転シャフト６６’に取り付けるようにしてもよい。

また、上記実施形態における基板受け５２（図１等）は、旋回腕５４ｂをＬ型の一体部材で構成したが、図２８では、別個に回転シャフト６６’に固定された部材５４ｂ’および５４ｂ’’によって旋回腕を構成し、回転シャフト６６’に第１エアーノズル６２を取り付けるようにしてもよい。なお、図２８において、回転シャフト６６’は基枠７２に対して摺動可能な構造となっている。

なお、基板落脱手段５８、貼付防止ガイド５２ｄ、エアー吹付手段（６２，６４）、基板落下を検知するためのセンサーはそれぞれ組み合わせて用いることが可能である。以下に、基板落脱手段５８、貼付防止ガイド５２ｄ、エアー吹付手段（６２，６４）、基板落下を検知するためのセンサーをそれぞれ組み合わせた場合に生じる効果について説明する。

基板落脱手段５８と貼付防止ガイド５２ｄを組み合わせた場合は、基板落脱手段５８だけの場合に比べて、基板Ｗが基板受け５２に貼り付くのをより確実に防止できる。基板落脱手段５８とエアー吹付手段（６２，６４）を組み合わせた場合は、基板落脱手段５８だけの場合に比べて、基板Ｗを基板受け５２へより確実に収容することができる。基板落脱手段５８とセンサーを組み合わせた場合は、基板落脱手段５８だけの場合に比べて、基板Ｗが基板受け５２に正しく落下したことを確実に判別することができる。

基板落脱手段５８と貼付防止ガイド５２ｄとエアー吹付手段（６２，６４）を組み合わせると、エアー吹付手段（６２，６４）だけの場合に比べて、基板受け５２への貼り付きをより確実に防止できると共に、基板Ｗが基板受け５２に正しく落下したことをより確実に判別することができる。

貼付防止ガイド５２ｄとエアー吹付手段（６２，６４）を組み合わせると、エアー吹付手段（６２，６４）だけの場合に比べて、基板受け５２への基板Ｗの貼り付きをより確実に防止できる。貼付防止ガイド５２ｄとセンサーを組み合わせた場合には、基板Ｗが貼り付くのを防止できるだけでなく、基板Ｗが基板受け５２に正しく落下したことを確実に判別することができる。エアー吹付手段（６２，６４）とセンサーを組み合わせると、基板受け５２への基板Ｗを確実に落下させ、それを確実に判別することができる。

基板落脱手段５８、貼付防止ガイド５２ｄ、エアー吹付手段（６２，６４）、センサーを全て組み合わせた場合には、基板Ｗが基板受け５２へ落下したことを確実に判別して、基板Ｗを基板受け５２に極めて確実かつ安全に収容することができる。

この発明の基板アンロード装置（アンローダー５ａ）の構造を示す図である。 図１に示す基板受け５２の構造を示す斜視図である。 図３Ａは、基板受け５２を旋回した状態を示す側面図であり、図３Ｂは、基板受け５２を旋回した状態を示す底面図であり、図３Ｃは、基板受けの開口部５２ａを上方から見た図である。 基板サポート手段６０を備えたアンローダー５ｂの構造を示す図である。 基板サポート手段６０および基板受け５２の構造を示す図である。 他の実施形態におけるアンローダー５ｃの構造を示す図である。 電気めっき装置１００を上方からみた平面図である。 電気めっき装置１００をα方向から見た側面図である。 搬送用ハンガー１５の構造を示す詳細図である 搬送用ハンガー１５の一部中央断面図である。 従来の基板アンロード装置（アンローダー５’）の構造を示す図である。 昇降ガイドレール１０の上部に設けられる間欠搬送手段１７の構造を示す平面図である。 基板落脱手段５８の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 基板アンロード装置における制御フローチャートを示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。 他の実施形態における基板アンロード装置の構造を示す図である。

符号の説明

１・・・・前処理槽
２・・・・めっき槽
３・・・・回収槽
４、７・・・・水洗槽
５、５ａ、５ｂ、５ｃ・・・・アンローダー
６・・・・剥離槽
８・・・・ローダー
１０、１２・・・・昇降ガイドレール
１１、１３・・・・固定ガイドレール
１５、１５・・・・搬送用ハンガー
１７、２２・・・・間欠搬送手段
１８、２３・・・・位置決め搬送手段
１９、２４・・・・固定ガイドレール搬送手段
２０、２５・・・・送り出し搬送手段
３５・・・・摺動部材
４４・・・・連結部材
４７・・・・基板保持部材
５０・・・・基板取り外し手段
５１・・・・ハンガーサポート手段
５２・・・・基板受け
５４・・・・旋回手段
５６・・・・基板搬送手段
５８・・・・基板揺動手段
６０・・・・基板サポート手段
６２，６４・・・・エアー吹付手段
１００・・・・電気めっき装置

Claims (9)

1. 基板を挟持した搬送用ハンガーから基板を取り外すための基板アンロード装置であって、
   搬送用ハンガーの基板挟持を解除する基板取り外し手段と、
   基板受けを有し、前記基板取り外し手段によって搬送用ハンガーから取り外された基板を前記基板受けの開口部から鉛直方向に受け入れて収容した後、当該基板受けを旋回して基板を前記開口部から搬出する基板収容手段と、
   を備え、
   前記基板受けが旋回後下側になる側壁に切り欠きを有し、基板を把持しない状態で旋回し、
   基板搬送手段が、旋回後の基板受けに把持しない状態で収容される基板を、当該切り欠きを通して支持して前記開口部から搬出すること、
   を特徴とする基板アンロード装置。
2. 基板を挟持した搬送用ハンガーから基板を取り外すための基板アンロード装置であって、
   搬送用ハンガーの基板挟持を解除する基板取り外し手段と、
   基板受けを有し、前記基板取り外し手段によって搬送用ハンガーから取り外された基板を前記基板受けの開口部から鉛直方向に受け入れて収容した後、当該基板受けを旋回して基板を前記開口部から搬出する基板収容手段と、
   を備え、
   前記基板取り外し手段が、基板の挟持を解除した後に、基板受けの開口部付近において水平方向に前後動して基板受け内に落下していない基板に接触することにより、基板を基板受け内に落下させる基板落脱手段を有することを特徴とする基板アンロード装置。
3. 基板を挟持した搬送用ハンガーから基板を取り外すための基板アンロード装置であって、
   搬送用ハンガーの基板挟持を解除する基板取り外し手段と、
   基板受けを有し、前記基板取り外し手段によって搬送用ハンガーから取り外された基板を前記基板受けの開口部から鉛直方向に受け入れて収容した後、当該基板受けを旋回して基板を前記開口部から搬出する基板収容手段と、
   を備え、
   前記基板受けが、旋回後下側および上側になる両側壁に切り欠きを有しており、
   前記基板取り外し手段が搬送用ハンガーの基板挟持を解除する際に、エアー吹付手段が、前記切り欠きを通して基板の両側からエアーを吹き付けること、
   を特徴とする基板アンロード装置。
4. 前記エアー吹付手段が、少なくとも基板の下端より上の位置に向けてエアーを吹き付けることを特徴とする請求項３に記載の基板アンロード装置。
5. 基板を挟持した搬送用ハンガーから基板を取り外すための基板アンロード装置であって、
   搬送用ハンガーの基板挟持を解除する基板取り外し手段と、
   基板受けを有し、前記基板取り外し手段によって搬送用ハンガーから取り外された基板を前記基板受けの開口部から鉛直方向に受け入れて収容した後、当該基板受けを旋回して基板を前記開口部から搬出する基板収容手段と、
   を備え、
   前記基板受けの内面に、貼付防止ガイドが設けられていること、
   を特徴とする基板アンロード装置。
6. 前記基板収容手段が、前記搬送用ハンガーから取り外された基板の落下距離を調節する基板サポート手段を有することを特徴とする請求項１から請求項５の何れか１項に記載の基板アンロード装置。
7. 基板を挟持した搬送用ハンガーから基板を取り外すための基板アンロード方法であって、
   搬送用ハンガーの基板挟持を解除して基板を取り外し、
   搬送用ハンガーから取り外された基板を基板受けの開口部から鉛直方向に受け入れて収容した後、旋回後下側になる側壁に切り欠きを有する前記基板受けを基板を把持しない状態で旋回して、旋回後の基板受けに収容される基板を、基板搬送手段が当該切り欠きを通して支持して前記開口部から搬出すること、
   ことを特徴とする基板アンロード方法。
8. 基板を挟持した搬送用ハンガーから基板を取り外すための基板アンロード方法であって、
   搬送用ハンガーの基板挟持を解除して、
   搬送用ハンガーから基板の挟持を解除した後に、基板受けの開口部付近において水平方向に前後動して基板受け内に落下していない基板に接触することにより、基板落脱手段が基板を基板受け内に落下させ、
   搬送用ハンガーから取り外された基板を基板受けの開口部から鉛直方向に受け入れて収容した後、前記基板受けを旋回して基板を前記開口部から搬出する、
   ことを特徴とする基板アンロード方法。
9. 基板を挟持した搬送用ハンガーから基板を取り外すための基板アンロード方法であって、
   搬送用ハンガーの基板挟持を解除する際に、旋回後下側および上側になる両側壁に切り欠きを有する基板受けの前記切り欠きを通して基板の両側からエアーを吹き付け、
   搬送用ハンガーから取り外された基板を基板受けの開口部から鉛直方向に受け入れて収容した後、前記基板受けを旋回して基板を前記開口部から搬出する、
   ことを特徴とする基板アンロード方法。

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