JP2008153499A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ウェハオンウェハ実装工程を精度良く行えて、製品不良率を低くすることができる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】アライメントマスク30を用いて、第1半導体ウェハ1の複数の半導体チップ領域5に対して一括露光を行って、第1半導体ウェハ1の複数の半導体チップ領域5のそれぞれに第1アライメントマーク2を形成する。アライメントマスク30を用いて、第1半導体ウェハ1と積み重ねるべき第2半導体ウェハの半導体チップ領域に対して一括露光を行って、第2半導体ウェハの複数の半導体チップ領域のそれぞれに第2アライメントマークを形成する。これにより、第1アライメントマーク2同士の間隔と第2アライメントマーク同士の間隔とを同一にすることができる。
【選択図】図2B
【解決手段】アライメントマスク30を用いて、第1半導体ウェハ1の複数の半導体チップ領域5に対して一括露光を行って、第1半導体ウェハ1の複数の半導体チップ領域5のそれぞれに第1アライメントマーク2を形成する。アライメントマスク30を用いて、第1半導体ウェハ1と積み重ねるべき第2半導体ウェハの半導体チップ領域に対して一括露光を行って、第2半導体ウェハの複数の半導体チップ領域のそれぞれに第2アライメントマークを形成する。これにより、第1アライメントマーク2同士の間隔と第2アライメントマーク同士の間隔とを同一にすることができる。
【選択図】図2B
Description
本発明は、半導体パッケージの製造方法に係わり、特にウェハオンウェハ構造の半導体装置の製造方法に関する。
近年、電子機器の高性能化、小型化に伴って、複数の半導体チップを収容するMCP(マルチチップパッケージ)とすることにより、半導体装置の高機能化と小型化とが図られている。
上記MCPには、平面的に並べられた複数の半導体チップを収容する平面型MCPと、厚み方向に積み重ねた複数の半導体チップを収容するスタックドMCPとがある。平面型MCPは、広い実装面積を必要とするので、電子機器の小型化への寄与が小さい。このため、複数の半導体チップを積み重ねたスタックドMCPの開発が盛んに行われている。
そして、上記スタックドMCPを効率的に作製するため、半導体回路が形成された半導体ウェハと、その半導体回路とは異なる半導体回路が形成された半導体ウェハとを、ウェハ状態まま接合するWOW(ウェハオンウェハ)実装が提案されている。
上記半導体ウェハには、周知のように、素子や配線(回路)を形成するために、拡大マスク(レチクル)を用いて、異なる複数のパターンが転写される。この場合、一般に、半導体ウェハの全体を熱酸化して、半導体ウェハの表面に酸化膜を形成した後、転写するパターン間に位置ずれが生じないように、パターン形成用のアライメントマークを半導体ウェハに形成する。
また、上記パターン形成用アライメントマークを基準にして、半導体ウェハの所定位置、すなわち半導体チップを形成する各領域の所定位置に、貫通孔を形成した後、一方の半導体ウェハに形成した貫通孔と、他方の半導体ウェハに形成した貫通穴との位置を合わせてから、半導体ウェハの分割を行う方法が提案されている。
図4A〜図4Dに、従来の半導体装置の製造方法を説明するための模式図を示す。より詳しくは、図4Aは上記従来の半導体装置の製造方法の酸化膜形成工程の模式図である。また、図4Bは上記従来の半導体装置の製造方法のアライメントマーク形成工程の模式図である。また、図4Cは上記従来の半導体装置の製造方法の回路形成工程の模式図である。そして、図4Dは、図4CのIVD−IVD線から見た断面の模式図である。
上記従来の半導体装置の製造方法では、図4Aに示すように、半導体ウェハ101を熱酸化して、半導体ウェハ101の表面にシリコン酸化膜111を形成する。
次に、図示しないステッパを用いて、複数の半導体チップ領域105のそれぞれに1個のアライメントマーク102を形成する。このとき、上記アライメントマーク102は、半導体ウェハ101を搭載するステージを駆動させて1個づつ形成する。
次に、図4Cに示すように、上記アライメントマーク102を基準として、各半導体チップ領域105内に、図示しない半導体素子と、電極103と、貫通電極104(図4D参照)とを形成する。このとき、上記各半導体チップ領域105内の同じアライメントマーク102を基準として半導体素子等を順次形成するので、半導体チップ領域105内では高精度な相対位置を持つ回路・電極を形成することができる。
次に、上記半導体ウェハ101に対して行った処理と同じ処理を、図4Dに示す半導体ウェハ120に対して行う。すなわち、上記半導体ウェハ120の複数の半導体チップ領域115のそれぞれに1個のアライメントマーク112を形成した後、アライメントマーク112を基準として、各半導体チップ領域115内に、図示しない半導体素子と、電極113と、貫通電極114とを形成する。
次に、上記半導体ウェハ101の貫通電極104と半導体ウェハ120の貫通電極114との位置が合うように、半導体ウェハ120上に半導体ウェハ101を積み重ねた後、ダイシングライン106に沿って半導体ウェハ101,120を分割する。これにより、2つの半導体チップが積み重なった実装体が複数形成される。
以上のように、各半導体チップ領域105内にアライメントマーク102を1個づつ形成すると、アライメントマーク102同士の間隔はステッパの機械送り精度の影響によりばらついてしまう。すなわち、数μmのアライメントマーク102の相対位置誤差を生じさせてしまう。この誤差は半導体ウェハ101を半導体チップに分割して他の基板に実装する例えばCOC(チップオンチップ)実装であればなんら問題は発生しない。
しかし、上記従来の半導体装置の製造方法のようにWOW実装工程を行う場合、アライメントマーク102同士の間隔とアライメントマーク112同士の間隔とが異なる箇所が生じるため、半導体ウェハ101のある貫通電極104と半導体ウェハ120のある貫通電極114との位置を精度よく合わせても、半導体ウェハ101の他の貫通電極104と半導体ウェハ120の他の貫通電極114との間において位置ずれ121が発生してしまう。
したがって、上記従来の半導体装置の製造方法では、ウェハオンウェハ実装工程を精度良く行うことができないので、製品不良率が高くなってしまうという問題がある。
特開2001−127240号公報
そこで、本発明の課題は、ウェハオンウェハ実装工程を精度良く行えて、製品不良率を低くすることができる半導体装置の製造方法を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明の半導体装置の製造方法は、
アライメントマスクを用いて、第1半導体ウェハの複数の領域に対して一括露光を行って、上記第1半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに第1アライメントマークを形成する第1アライメントマーク形成工程と、
上記アライメントマスクを用いて、第2半導体ウェハの複数の領域に対して一括露光を行って、上記第2半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに第2アライメントマークを形成する第2アライメントマーク形成工程と、
上記第1アライメントマークを基準として、上記第1半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに、素子、配線、電極および貫通穴を形成する第1回路形成工程と、
上記第2アライメントマークを基準として、上記2半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに、素子、配線、電極および貫通穴を形成する第2回路形成工程と、
上記第1回路形成工程を経た上記第1半導体ウェハと、上記第2回路形成工程を経た上記第2半導体ウェハとを積み重ねるウェハオンウェハ実装工程と、
上記ウェハオンウェハ実装工程を経た上記第1,第2半導体ウェハを複数に分割するウェハ分割工程と
を備えることを特徴としている。
アライメントマスクを用いて、第1半導体ウェハの複数の領域に対して一括露光を行って、上記第1半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに第1アライメントマークを形成する第1アライメントマーク形成工程と、
上記アライメントマスクを用いて、第2半導体ウェハの複数の領域に対して一括露光を行って、上記第2半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに第2アライメントマークを形成する第2アライメントマーク形成工程と、
上記第1アライメントマークを基準として、上記第1半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに、素子、配線、電極および貫通穴を形成する第1回路形成工程と、
上記第2アライメントマークを基準として、上記2半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに、素子、配線、電極および貫通穴を形成する第2回路形成工程と、
上記第1回路形成工程を経た上記第1半導体ウェハと、上記第2回路形成工程を経た上記第2半導体ウェハとを積み重ねるウェハオンウェハ実装工程と、
上記ウェハオンウェハ実装工程を経た上記第1,第2半導体ウェハを複数に分割するウェハ分割工程と
を備えることを特徴としている。
上記構成の半導体装置の製造方法によれば、上記アライメントマスクを用いて、第1半導体ウェハの複数の領域に対して一括露光を行って、第1半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに第1アライメントマークを形成する。そして、上記第1アライメントマークの形成で用いたアライメントマスクを用いて、第2半導体ウェハの複数の領域に対して一括露光を行って、第2半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに第2アライメントマークを形成する。これにより、上記第1アライメントマーク同士の間隔と第2アライメントマーク同士の間隔とを同一にすることができる。
したがって、上記第1,第2アライメントマークを基準として、素子、配線、電極および貫通穴を形成するので、ウェハオンウェハ実装工程を行う際、第1半導体ウェハの貫通穴と第2半導体ウェハの貫通穴との位置ずれを防ぐことができる。
したがって、上記ウェハオンウェハ実装工程を精度良く行えるので、製品不良率を低くすることができる。
また、上記製品不良率を低くすることができるので、製造効率を向上させることができる。
一実施形態の半導体装置の製造方法では、
上記第1アライメントマーク形成工程の一括露光では、上記第1アライメントマークを形成するための光を上記第1半導体ウェハの略全体に照射し、
上記第2アライメントマーク形成工程の一括露光では、上記第2アライメントマークを形成するための光を上記第2半導体ウェハの略全体に照射する。
上記第1アライメントマーク形成工程の一括露光では、上記第1アライメントマークを形成するための光を上記第1半導体ウェハの略全体に照射し、
上記第2アライメントマーク形成工程の一括露光では、上記第2アライメントマークを形成するための光を上記第2半導体ウェハの略全体に照射する。
上記実施形態の半導体装置の製造方法によれば、上記第1アライメントマーク形成工程の一括露光では、第1アライメントマークを形成するための光を第1半導体ウェハの略全体に照射するので、第1アライメントマークを広範囲に形成することができる。
また、上記第2アライメントマーク形成工程の一括露光では、第2アライメントマークを形成するための光を第2半導体ウェハの略全体に照射するので、第2アライメントマークを広範囲に形成することができる。
本発明の半導体装置の製造方法によれば、アライメントマスクを用いて、第1半導体ウェハの複数の領域に対して一括露光を行って、第1半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに第1アライメントマークを形成すると共に、そのアライメントマスクを用いて、第2半導体ウェハの複数の領域に対して一括露光を行って、第2半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに第2アライメントマークを形成するので、第1アライメントマーク同士の間隔と第2アライメントマーク同士の間隔とを同一にすることができる。
したがって、上記第1,第2アライメントマークを基準として、素子、配線、電極および貫通穴を形成するので、ウェハオンウェハ実装工程を行う際、第1半導体ウェハの貫通穴と第2半導体ウェハの貫通穴との位置ずれを防ぐことができる。
したがって、上記ウェハオンウェハ実装工程を精度良く行えるので、製品不良率を低くすることができる。
また、上記製品不良率を低くすることができるので、製造効率を向上させることができる。
図1A〜図1Dに、本発明の一実施の形態の半導体装置の製造方法を説明するための模式図を示す。より詳しくは、図1Aは上記半導体装置の製造方法の酸化膜形成工程の模式図である。また、図1Bは上記半導体装置の製造方法のアライメントマーク形成工程の模式図である。また、図1Cは上記半導体装置の製造方法の回路形成工程の模式図である。そして、図1Dは、図1CのID−ID線から見た断面の模式図である。なお、図1B,図1Cでは、図示を簡単にするため、半導体チップ領域5が9個、各半導体チップ領域5に第1アライメントマーク2が1個、各半導体チップ領域5に電極3が4個形成しているが、この各個数を超えてもよいし、その各個数の未満であってもよい。また、図1Dにおいてはシリコン酸化膜11の図示を省略している。
上記半導体装置の製造方法では、まず、図1Aに示したように、第1半導体ウェハ1を熱酸化して、第1半導体ウェハ1の表面にシリコン酸化膜11を形成する。
次に、上記第1半導体ウェハ1の所定の位置、例えば図1Bに示したように、第1半導体ウェハ1の各半導体チップ形成領域5の図中左下隅に、回路パターンを転写するためのパターン形成用第1アライメントマーク2を形成する。
上記第1アライメントマーク2の形成は、まず、シリコン酸化膜11上にレジスト(図示せず)を塗布して、アライメントマスクを用いて複数の半導体チップ領域5の全てを一括露光した後、現像、エッチング、レジスト剥離を行う。これにより、上記アライメントパターン2がシリコン酸化膜11上に形成される。
次に、上記第1アライメントマーク2を基準として、半導体回路を構成するトランジスタや抵抗等の素子(図示せず)と、この素子に接続すべき配線(図示せず)とを順次形成すると共に、第1半導体ウェハ1に貫通孔を形成して電極3および貫通電極4(図1D参照)を形成する。
上記貫通孔の形成は、エッチングで行ってもよいし、レーザ加工で行ってもよい。また、上記貫通孔の形成はウェハオンウェハ実装の前に行うこととしているが、ウェハオンウェハ実装を行った後に貫通孔を形成してもよい。
次に、上記第1半導体ウェハ1と同様にして、図1Dに示す第2半導体ウェハ20を形成する。
上記第2半導体ウェハ20に対する第2アライメントマーク12の形成は、第1アライメントマーク2の形成に用いたアライメントマスクを用いて行う。すなわち、上記第2半導体ウェハ20の表面に形成したシリコン酸化膜(図示せず)上にレジスト(図示せず)を塗布して、上記アライメントマスクを用いて複数の半導体チップ領域15の全てを一括露光した後、現像、エッチング、レジスト剥離を行う。これにより、上記第2アライメントパターン12が上記シリコン酸化膜上に形成される。
また、上記各半導体チップ領域15には、第2アライメントマーク12を基準として、半導体回路を構成するトランジスタや抵抗等の素子(図示せず)と、この素子に接続すべき配線(図示せず)とが順次形成されていると共に、第2半導体ウェハ20に貫通孔を形成して電極13および貫通電極14を形成する。この素子、配線および電極13は、第1半導体ウェハ1の素子、配線および電極3と同じであってもよいし、異なるものであってもよい。
次に、上記貫通電極4等が形成された第1半導体ウェハ1と、貫通電極14等が形成された第2半導体ウェハ20とを積み重ねてウェハオンウェハ実装を行う。このとき、上記第1,第2アライメントマーク2,12は同一のアライメントマスクを用いた一括露光で形成しているので、第1,第2半導体ウェハ1,11内でのチップ形成領域5,15が位置ずれすることがあっても、各半導体チップ形成領域5,15の相対位置の位置ずれは発生しない。
したがって、図1Dに示すような、上記第1半導体ウェハ101の貫通電極4と第2半導体ウェハ20の貫通電極14との間において位置ずれが生じないウェハオンウェハ実装が可能となる。
上記実施の形態では、説明を簡単にするため、半導体ウェハ2枚を積み重ねてウェハオンウェハの実装構造体としているが、積み重ねる半導体ウェハは2枚である必要はなく、3枚以上であってもよい。
また、上記ウェハオンウェハ実装を行った後に、図1Dに示すように予め定められたダイシングライン6に沿ってダイシングソー等の切削手段で単個に切削、分割することにより、スタックドMCP構造の実装体を得る。
以下、上記実施の形態の半導体装置の製造方法をより詳しく説明する。
上記半導体装置の製造方法では、図2Aに示すように、8インチシリコンウェハである第1半導体ウェハ1上に、熱酸化により下地層として膜厚500nmのシリコン酸化膜11を形成する。
次に、大日本スクリーン製塗布・現像装置を用いて、シリコン酸化膜11上にネガタイプレジスト(東京応化製OMR−85、35CPS)を回転塗布する。この回転塗布において、第1半導体ウェハ1の回転速度は3000rpm、第1半導体ウェハ1の回転時間は30secである。
次に、上記第1半導体ウェハ1をホットプレートで115℃,2分プリベークした後、ズース・マイクロテック製露光装置LithoPack300を用いて、図2Bに示すように、第1半導体ウェハ1に、アライメントパターン31が形成されたアライメントマスク30を介して2秒間光を照射する。すなわち、上記第1半導体ウェハ1に一括露光を行う。このとき、上記光は第1半導体ウェハ1の略全体に照射される。
次に、専用現像液、リンス液を用いて、各1分浸漬法により現像、リンスした後、スピンドルにより第1半導体ウェハ1を乾燥させる。
次に、クリーンオーブンを用いて、第1半導体ウェハ1を140℃,30分ポストベークする。
次に、HF/NH4から成るSiO2エッチング液を用いて、シリコン酸化膜11のエッチングを行って、ネガレジストを専用剥離液で剥離して、シリコン酸化膜11上に複数の第1アライメントマーク2を形成する。
次に、上記第1アライメントマーク2を基準として、図2Cに示すように、複数の半導体チップ領域5のそれぞれに、半導体回路(図示せず)を周知の方法で形成する。このときに行う露光は、例えば、ニコン製ArF液浸スキャナー(NSR−S610C)を用いてステップ&リピート方式で各半導体チップ領域5に順次行う。
次に、上記各半導体チップ領域5に貫通穴を形成した後、電極3および貫通電極4(図3A参照)を形成する。
次に、図3Aに示すように、8インチシリコンウェハである第2半導体ウェハ20に複数の第2アライメントマーク12を形成する。
上記第2アライメントマーク12の形成は、アライメントマスク30を用いて、第1アライメントマーク2の形成と同様に形成する。
次に、上記第2アライメントマーク12を基準にして、第2半導体ウェハ20の複数の半導体チップ領域15のそれぞれに、半導体回路(図示せず)、電極13および貫通電極14を形成する。この半導体回路はステップ&リピート方式により形成する。また、上記半導体回路は、第1半導体ウェハ1の半導体ウェハとは異なるものである。
次に、上記第1半導体ウェハ1と第2半導体ウェハ20とをFC(フリップチップ)ボンダにより位置合わせて熱圧着接合する。
次に、上記第2半導体ウェハ20の裏面を基準部材(図示せず)に接着剤または粘着テープ等の固定手段で貼り付ける。
次に、上記第2半導体ウェハ20において予め定められたダイシングライン6に沿って、ダイシングソー等の切削手段で第1,第2半導体ウェハ1,20を複数に分割した後、溶解液等により上記基準部材より剥離して、2つの半導体チップが積み重ねられた実装体50を複数得る。
このように、上記アライメントマスク30を用いて、第1半導体ウェハ1に複数の第1アライメントマーク2を一括露光で形成すると共に、そのアライメントマスク30を用いて、第2半導体ウェハ20に複数の第2アライメントマーク12を一括露光で形成するので、第1アライメントマーク2同士の間隔と第2アライメントマーク12同士の間隔とを同一にすることができる。
したがって、上記第1,第2アライメントマーク2,12を基準として、半導体回路、電極3,13および貫通電極4,14を形成するので、ウェハオンウェハ実装を行う際、貫通電極4と貫通電極14との間に位置ずれが生じるのを防ぐことができる。
したがって、上記ウェハオンウェハ実装工程を精度良く行えるので、製品不良率を低くすることができる。
また、上記製品不良率を低くすることができるので、製造効率を向上させることができる。
なお、図3A,図3Bにおいてはシリコン酸化膜11の図示を省略している。
1 第1半導体ウェハ
2 第1アライメントマーク
3,13 電極
4,14 貫通電極
5,15 半導体チップ領域
6 ダイシングライン
11 酸化膜
12 第2アライメントマーク
20 第2半導体ウェハ
30 アライメントマスク
2 第1アライメントマーク
3,13 電極
4,14 貫通電極
5,15 半導体チップ領域
6 ダイシングライン
11 酸化膜
12 第2アライメントマーク
20 第2半導体ウェハ
30 アライメントマスク
Claims (2)
- アライメントマスクを用いて、第1半導体ウェハの複数の領域に対して一括露光を行って、上記第1半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに第1アライメントマークを形成する第1アライメントマーク形成工程と、
上記アライメントマスクを用いて、第2半導体ウェハの複数の領域に対して一括露光を行って、上記第2半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに第2アライメントマークを形成する第2アライメントマーク形成工程と、
上記第1アライメントマークを基準として、上記第1半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに、素子、配線、電極および貫通穴を形成する第1回路形成工程と、
上記第2アライメントマークを基準として、上記2半導体ウェハの複数の領域のそれぞれに、素子、配線、電極および貫通穴を形成する第2回路形成工程と、
上記第1回路形成工程を経た上記第1半導体ウェハと、上記第2回路形成工程を経た上記第2半導体ウェハとを積み重ねるウェハオンウェハ実装工程と、
上記ウェハオンウェハ実装工程を経た上記第1,第2半導体ウェハを複数に分割するウェハ分割工程と
を備えることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法において、
上記第1アライメントマーク形成工程の一括露光では、上記第1アライメントマークを形成するための光を上記第1半導体ウェハの略全体に照射し、
上記第2アライメントマーク形成工程の一括露光では、上記第2アライメントマークを形成するための光を上記第2半導体ウェハの略全体に照射することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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