JP2008146014A - レーザー光発生装置 - Google Patents

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慶夫 野一色
Mitsuki Hishida
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Abstract

【課題】 レーザー光の波長を変換させることによって所望の波長のレーザー光を出力用レーザー光として生成するレーザー光発生装置を提供する。
【解決手段】 1波長のレーザー光を生成するレーザーダイオード6から生成される第1波長のレーザー光が入射されるとともに該レーザー光の波長を第2波長のレーザー光に変換する第1波長変換素子8と、該第1波長変換素子8にて変換された第2波長のレーザー光が入射されるとともに該レーザー光を第3波長のレーザー光である出力用レーザー光に変換する第2波長変換素子9と、該第2波長変換素子9にて波長変換された出力用レーザー光の出力光路内に配置されているとともに該出力用レーザー光以外の不要レーザー光を遮断するフィルター10と、前記レーザーダイオード6と前記第1波長変換素子8との間の光路内に設けられた回折格子7とより成る。
【選択図】 図1

Description

本発明は、レーザーダイオードから生成されるレーザー光の波長を変換させて所望の波長のレーザー光を出力用レーザー光として生成するレーザー光発生装置に関する。
光ピックアップ装置から照射されるレーザー光を光ディスクに設けられている信号記録層に照射することによって信号の読み出し動作や信号の記録動作を行うことが出来る光ディスク装置が普及している。
光ディスク装置としては、CDやDVDと呼ばれる光ディスクを使用するものが一般に普及しているが、最近では記録密度を向上させた光ディスク、即ちBlu−ray規格やHD DVD(High Definition Digital Versatile Disk)規格の光ディスクを使用するものが製品化されている。
光ディスクに記録される信号の密度を向上させるためには、光ディスクの信号面に照射されるレーザー光のスポット径を小さくする必要があり、そのためにはレーザー光の波長を短くする必要がある。光ディスク装置に使用される光ピックアップ装置には、レーザー光を生成するレーザーダイオードが組み込まれている。
前述したCD規格のディスクに記録されている信号を再生するために使用されるレーザー光は赤外光が使用され、DVD規格のディスクに記録されている信号を再生するために使用されるレーザー光は赤色光が使用され、そしてBlu−ray規格やHD−DVD規格のディスクに記録されている信号を再生するために使用されるレーザー光は青紫色光が使用されている。
前述した赤外光、赤色光及び青紫色光のレーザー光を生成することが出来るレーザーダイオードは、開発されて製品化されているが、緑色のレーザー光を生成することが出来るレーザーダイオードの製品化は遅れている。
緑色のレーザー光は、光の三原色を構成するため画像を投射するプロジェクターに使用されるとともに視認性が高いという理由から墨出し器に採用することが考えられているが、緑色のレーザー光を生成するレーザーダイオードが開発されていないので、現在ではレーザー光の波長を変換することによって緑色のレーザー光を得るようにされている。斯かるレーザー光の波長を変換する波長変換素子として、Nd:YVO4等の異方性結晶やKTP結晶(KTiOP4)等の非線形光学結晶が一般に使用されている。(特許文献1参照。)
特開平7−58391号公報
波長変換素子としてYVO4等の異方性結晶やKTP結晶等の非線形光学結晶を使用する場合、その変換効率は入射光波長依存性が大きく、安定した出力のレーザー光を得るためには、入射光の波長を安定させる必要がある。入射光の波長が不安定になる大きな原因として、温度変化があり、斯かる温度変化を抑える方法として特許文献に記載されているようにペルチェ素子を使用する方法が一般的である。
従来の技術について図7を参照して説明する。図7において、1はAIGaAs結晶よりなるレーザーダイオードであり、波長が808nmのレーザー光を生成する。2は前記レーザーダイオード1から出射されたレーザー光が入射されるYVO4結晶であり、波長が1064nmのレーザー光を励起するように構成されている。
3は前記YVO4結晶2にて波長が変換されたレーザー光が入射されるKTP結晶であり、波長を1/2波長である532nm(緑色)のレーザー光に変換するように構成されている。4は前記KTP結晶3から出力される緑色のレーザー光の出力光路内に設けられているフィルターであり、不要な波長のレーザー光を遮断し、緑色のレーザー光のみを出力させる作用を成すものである。
5は前記YVO4結晶2及びKTP結晶3の近傍に設けられているペルチェ素子であり、前記レーザーダイオード1、YVO4結晶2及びKTP結晶の温度を一定にする作用を成すものである。
ペルチェ素子を使用しない場合において、変換効率が低い温度にて使用すると、変換されたレーザー光の出力レベルが小さくなるので、レーザー出力を増大させるために大きな駆動電流をレーザーダイオード1に供給する動作が行われる。定格以上の大電流がレーザーダイオード1に供給されるとレーザー結晶が損傷したり、寿命が短くなるという問題があるため、電流制限回路が一般に設けられている。
電流制限回路を設けた場合、確かにレーザーダイオード1が損傷したり、寿命が短くなるという問題は解決することが出来るものの電流制限動作が行われている間、即ち安定した動作を行うことが出来る状態になるまでの間はレーザー光が出射されないという問題がある。図8は温度と光出力との関係を示す特性図であり、実線で示す狭い温度の範囲でのみ安定したレーザー光を発生させることが可能である。
斯かる問題を解決するために前述したペルチェ素子5を使用して前記レーザーダイオード1、YVO4結晶2及びKTP結晶の温度を一定にする動作が行われているが、装置の小型化が出来ないだけでなく高価になるという問題がある。
本発明は、斯かる問題を解決することが出来るレーザー光発生装置を提供しようとするものである。
本発明は、第1波長のレーザー光を生成するレーザーダイオードから生成される第1波長のレーザー光が入射されるとともに該レーザー光の波長を第2波長のレーザー光に変換する第1波長変換素子と、該第1波長変換素子にて変換された第2波長のレーザー光が入射されるとともに該レーザー光を第3波長のレーザー光である出力用レーザー光に変換する第2波長変換素子と、該第2波長変換素子にて波長変換された出力用レーザー光の出力光路内に配置されているとともに該出力用レーザー光以外の不要レーザー光を遮断するフィルターと、前記レーザーダイオードと前記第1波長変換素子との間の光路内に設けられた回折格子とより構成されている。
また、本発明は、第1波長変換素子をNd:YVO4結晶にて構成し、第2波長変換素子をKTP結晶にて構成したことを特徴とするものである。
そして、本発明は、第2波長変換素子にて波長変換された出力用レーザー光が照射される位置にレーザー光の強度を検出するモニター用受光素子を設けたことを特徴とするものである。
また、本発明は、第2波長変換素子の出射側に出力用レーザー光の一部をモニター用受光素子に導くプリズムを設けたことを特徴とするものである。
そして、本発明は、第2波長変換素子の出射側に設けられているフィルターを出力用レーザー光の光軸に対して傾斜させて配置し、該フィルターにて出力用レーザー光の一部を反射させて前記モニター用受光素子に導くように構成されている。
また、本発明は、前記フィルターをIRカットフィルターとしたことを特徴とする。
また、本発明は、前記モニター用受光素子が前記フィルターで反射された第3波長のレーザー光を受光することを特徴とする。
また、本発明は、前記モニター用受光素子が前記フィルターで反射された前記第2波長変換素子を介したレーザー光に残存している第2波長のレーザー光を受光することを特徴とする。
また、本発明は、第2波長変換素子にモニター用受光素子自体に出力用レーザー光の一部を導く反射手段を設けたことを特徴とするものである。
そして、本発明は、第1波長のレーザー光を生成するレーザーダイオードから生成される第1波長のレーザー光が入射されるとともに該レーザー光の波長を第2波長の出力用レーザー光に変換する波長変換素子と、該波長変換素子にて波長変換された出力用レーザー光の出力光路内に配置されているとともに該出力用レーザー光以外の不要レーザー光を遮断するフィルターと、前記レーザーダイオードと前記波長変換素子との間の光路内に設けられた回折格子とより構成されている。
また、本発明は、波長変換素子をPPLN又はPPKTPにて構成したことを特徴とするものである。
本発明のレーザー光発生装置は、第1波長のレーザー光を生成するレーザーダイオードから生成される第1波長のレーザー光が入射されるとともに該レーザー光の波長を第2波長のレーザー光に変換する第1波長変換素子と、該第1波長変換素子にて変換された第2波長のレーザー光が入射されるとともに該レーザー光を第3波長のレーザー光である出力用レーザー光に変換する第2波長変換素子と、該第2波長変換素子にて波長変換された出力用レーザー光の出力光路内に配置されているとともに該出力用レーザー光以外の不要レーザー光を遮断するフィルターと、前記レーザーダイオードと前記第1波長変換素子との間の光路内に設けられた回折格子とより構成したので、即ち回折格子によってレーザーダイオードから生成されるレーザー光の波長を安定させるようにしたので、ペルチェ素子等を使用することなく安定した出力のレーザー光を得ることが出来る。
そして、ペルチェ素子等の温度制御手段を不要としたので、安価にてレーザー光発生装置を製造することが出来るだけでなく、小型化に対しても本発明は大きな効果を奏するものである。
また、本発明のレーザー光発生装置は、回折格子によってレーザー光の波長を固定するようにしたので、波長変換素子の変換効率を高めることが出来、その結果消費電力の削減を行うことが出来る。
更に、本発明のレーザー光発生装置は、出力用レーザー光のモニター動作を行うモニター用受光素子を該出力用レーザー光が出射される側に設けたので、モニター動作を正確に行うことが可能となり、その結果レーザー出力の安定化を行うことが出来るという利点を有している。
図1は本発明のレーザー光発生装置の一実施例を示す概略図、図2、図3、図4、図5及び図6は本発明のレーザー光発生装置を示す側面図である。
図1において、6はAIGaAs結晶よりなるレーザーダイオードであり、第1波長である波長が808nmのレーザー光を生成する。7は前記レーザーダイオード6から生成される第1波長のレーザー光が入射される位置に設けられている回折格子であり、VHG(Volume Holographic Grating)やVBG(Volume Bragg Grating)と呼ばれる素子にて構成されている。斯かるVHG素子は内部に光学的な溝が周期的に刻まれており、所定の波長、即ち本実施例では808nmの波長のレーザー光が発振するように設定されている。
前述したVHG素子に入射されたレーザー光は、該VHG素子内に周期的に刻まれている溝と前記レーザーダイオード6を構成する素子片の端面との間を往復移動することによって発振する動作を行うことになるが、斯かる発振動作は周知であり、その説明は省略する。前記レーザーダイオード6と回折格子7であるVHG素子との協働による発振動作を行うことによってレーザーダイオード6から生成される波長が808nmのレーザー光の波長を第1波長に固定する動作が行われる。
8は前記回折格子7にて固定化された第1波長のレーザー光が入射されるYVO4結晶であり、第2波長である波長が1064nmのレーザー光を励起するように構成されている。
9は前記YVO4結晶8にて波長が変換されたレーザー光が入射されるKTP結晶であり、波長を1/2波長である532nm(緑色)の第3波長のレーザー光に変換するように構成されている。10は前記KTP結晶9から出力される緑色のレーザー光の出力光路内に設けられているフィルターであり、不要な波長のレーザー光を遮断し、緑色のレーザー光のみを出力させる作用を成すものである。
前記回折格子7を備えていない従来のレーザー光発生装置の場合、レーザーダイオード6から生成出射されるレーザー光の第1波長は、808nm±10nmの範囲にて変化し、且つ温度特性も0.3nm/℃変化するという特性がある。
斯かる従来のレーザー光発生装置と比較して、回折格子7を備えた本発明のレーザー光発生装置の場合、レーザーダイオード6から生成出射されるレーザー光の第1波長は、808nm±1nmの範囲にて変化するという優れた特性を得ることが出来る。また、本発明のレーザー光発生装置は、温度特性も0.01nm/℃変化するという極僅かな変化に抑えることが出来るという利点がある。
以上に説明したように本発明のレーザー光発生装置は構成されているが、次に本発明の具体例について図2〜図6を参照して説明する。
図2において、11はレーザー光発生装置を構成する基台であり、電極端子12、13、14が固定されている。15は前記基台11に固定されている固定基板であり、前記電極端子14が内部に挿入固定されている。16は前記固定基板15に固定されているレーザー固定基板であり、レーザーダイオード6が固定されている。斯かる構成において、レーザーダイオード6への駆動電流は、電極端子12からリード線12aを通して供給されるように構成されている。
前記固定基板15には、前記回折格子7、YVO4結晶8及びKTP結晶9が図示したように固定配置されている。17は前記固定基板15上に固定されているとともに前記KTP結晶9にて第3波長に変換された出力用レーザー光の一部が照射される位置に設けられているモニター用受光素子であり、モニター信号がリード線14aを通して前記電極端子14に出力されるように構成されている。
18は前記基台11に固定されているとともに前記レーザーダイオード6、回折格子7、YVO4結晶8、KTP結晶9及びモニター用受光素子17を覆うカバーであり、出力用レーザー光が照射される位置に前記フィルター10が設けられている。斯かる構成によれば前記KTP結晶9にて第3波長に変換された出力用レーザー光は、前記フィルター10を通して矢印A方向へ出射されることになる。
また、前記KTP結晶9にて第3波長に変換された出力用レーザー光は、該KTP結晶9から出射されるが、その出射方向に広がって照射されるので、図示した位置に設けられているモニター用受光素子17にその一部が照射されることになる。従って、出力用レーザー光の強度を検出することが出来、その検出された強度に基づいてレーザーダイオード6に供給される駆動電流の大きさを制御することによって安定したレーザー出力を得ることが出来る。
図3は他の実施例であり、本実施例では、前記KTP結晶9の出射側に出力用レーザー光の一部を前記モニター用受光素子17に導くプリズム19が設けられている。斯かるプリズム19の傾斜面19aに出力用レーザー光の殆どを通過させ、その一部を反射させる反射膜が設けられている。
図4は他の実施例であり、本実施例では、カバー18に固定されているフィルター10を傾斜させることによって該フィルター10に入射される出力用レーザー光の一部を反射させて前記モニター用受光素子17に導くように構成されている。斯かるフィルター10の入射面10aに出力用レーザー光の殆どを通過させ、その一部を反射させる反射膜が設けられている。
この実施例において、前記フィルター10としてIRカットフィルターを用いることができる。また、前記モニター用受光素子7は、前記フィルター10で反射された第3波長のレーザー光(532nm)を受光するようにしてもよいし、あるいは、前記KTP結晶9を介したレーザー光に残存している第2波長のレーザー光を前記フィルター10で反射させ、これをモニター用受光素子7で受光するようにしてもよい。
すなわち、KTP結晶9は、前述の通りYVO4結晶にて波長が1064nmに変換されたレーザー光が入射され、このレーザー光の波長を1/2波長である532nmの第3波長のレーザー光に変換するように構成されている。然し乍ら、波長が1064nmのレーザー光を全て波長が532nmのレーザー光に変換できるわけではなく、KTP結晶9からは532nmのレーザー光以外にも1064nmのレーザー光も幾らか出力される。従って、上記のように、モニター用受光素子7にフィルター10で反射された532nmのレーザー光を受光させて出力用レーザー光の強度を検出するように設計しても良いし、モニター用受光素子7にフィルター10で反射された1064nmのレーザー光を受光させて出力用レーザー光の強度を検出するように設計しても良いわけである。
図5は他の実施例であり、本実施例では、前記KTP結晶9の出射側の面を斜めにカットさせ、その斜めの部分にて出力用レーザー光の一部を前記モニター用受光素子17に導くように構成されている。斯かるカット面9aに出力用レーザー光の殆どを通過させ、その一部を反射させる反射膜が設けられている。
前述した実施例では、レーザーダイオード6として波長が808nmのレーザー光を生成するレーザーダイオードを使用したが、レーザーダイオード6として波長が1064nmのレーザー光を生成するレーザーダイオードを使用した場合について図6を参照して説明する。
本実施例では、レーザーダイオード6から生成されるレーザー光が第1波長である1064nmのレーザー光であるため、波長変換素子20として第2波長である532nm(
緑色)に変換するPPLN(Periodically-Poled Lithium Niobate)結晶又はPPKTP(Periodically-Poled KTiOP4)結晶を使用することが出来る。また、前記波長変換素子20の出力側には出力用レーザーの一部をモニター用受光素子17に導くプリズム19が設けられている。前記波長変換素子20から出射される出力用レーザーが照射方向に広がりがある場合には、プリズム19は省略することが出来る。
尚、本実施例では、波長変換素子としてYVO4結晶、KTP結晶、PPLN結晶及びPPKTP結晶を使用したが、他の結晶素子を使用することは出来る。また、緑色のレーザー光を得るために波長が808nmのレーザーダイオードや波長が1064nmのレーザーダイオードを使用したが、その波長は限定されるものではない。
そして、本実施例では、出力用レーザー光の波長を緑色である532nmのレーザー光を得る場合について説明したが、他の波長のレーザー光を得るようにすることも出来る。
本発明のレーザー光発生装置の一実施例を示す概略図である。 本発明のレーザー光発生装置の一実施例を示す側面図である。 本発明のレーザー光発生装置の一実施例を示す側面図である。 本発明のレーザー光発生装置の一実施例を示す側面図である。 本発明のレーザー光発生装置の一実施例を示す側面図である。 本発明のレーザー光発生装置の一実施例を示す側面図である。 従来のレーザー光発生装置を示す概略図である。 温度と光出力との関係を示す特性図である。
符号の説明
6 レーザーダイオード
7 回折格子
8 YVO4結晶
9 KTP結晶
10 フィルター
15 固定基板
17 モニター用受光素子
18 カバー
19 プリズム
20 波長変換素子

Claims (12)

  1. 第1波長のレーザー光を生成するレーザーダイオードと、該レーザーダイオードから生成される第1波長のレーザー光が入射されるとともに該レーザー光の波長を第2波長のレーザー光に変換する第1波長変換素子と、該第1波長変換素子にて変換された第2波長のレーザー光が入射されるとともに該レーザー光を第3波長のレーザー光である出力用レーザー光に変換する第2波長変換素子と、該第2波長変換素子にて波長変換された出力用レーザー光の出力光路内に配置されているとともに該出力用レーザー光以外の不要レーザー光を遮断するフィルターを備えたレーザー光発生装置であり、前記レーザーダイオードと前記第1波長変換素子との間の光路内に回折格子を設け、該回折格子を共振器として動作させることによって第1波長のレーザー光の波長を安定化したことを特徴とするレーザー光発生装置。
  2. 前記第1波長変換素子をNd:YVO4結晶にて構成し、前記第2波長変換素子をKTP結晶にて構成したことを特徴とする請求項1に記載のレーザー光発生装置。
  3. 前記第2波長変換素子にて波長変換された出力用レーザー光が照射される位置にレーザー光の強度を検出するモニター用受光素子を設けたことを特徴とする請求項1に記載のレーザー光発生装置。
  4. 前記第2波長変換素子の出射側に出力用レーザー光の一部をモニター用受光素子に導くプリズムを設けたことを特徴とする請求項3に記載のレーザー光発生装置。
  5. 前記第2波長変換素子の出射側に設けられているフィルターを出力用レーザー光の光軸に対して傾斜させて配置し、該フィルターにて出力用レーザー光の一部を反射させて前記モニター用受光素子に導くようにしたことを特徴とする請求項3に記載のレーザー光発生装置。
  6. 前記フィルターはIRカットフィルターであることを特徴とする請求項5に記載のレーザー光発生装置。
  7. 前記モニター用受光素子は、前記フィルターで反射された第3波長のレーザー光を受光することを特徴とする請求項5または請求項6に記載のレーザー光発生装置。
  8. 前記モニター用受光素子は、前記フィルターで反射された前記第2波長変換素子を介したレーザー光に残存している第2波長のレーザー光を受光することを特徴とする請求項5または請求項6に記載のレーザー光発生装置。
  9. 第2波長変換素子にモニター用受光素子に出力用レーザー光の一部を導く反射手段を設けたことを特徴とする請求項3に記載のレーザー光発生装置。
  10. 第1波長のレーザー光を生成するレーザーダイオードと、該レーザーダイオードから生成される第1波長のレーザー光が入射されるとともに該レーザー光の波長を第2波長の出力用レーザー光に変換する波長変換素子と、該波長変換素子にて波長変換された出力用レーザー光の出力光路内に配置されているとともに該出力用レーザー光以外の不要レーザー光を遮断するフィルターを備えたレーザー光発生装置であり、前記レーザーダイオードと前記波長変換素子との間の光路内に回折格子を設け、該回折格子を共振器として動作させることによって第1波長のレーザー光の波長を安定化したことを特徴とするレーザー光発生装置。
  11. 前記波長変換素子をPPLN結晶又はPPKTP結晶にて構成したことを特徴とする請求項10に記載のレーザー光発生装置。
  12. 前記出力用レーザー光が緑色であることを特徴とする請求項1または請求項10に記載のレーザー光発生装置。
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