JP2008126194A - ワイピング装置及び描画装置並びにワイピング方法及び描画方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワイピングシートからの液滴微粒子等の拡散を防止することができるワイピング装置及び描画装置並びにワイピング方法及び描画方法を提案する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド34に帯状のワイピングシート92を当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング装置90であって、ワイピングシート92を液滴吐出ヘッド34に向けて送り出すシート送出部と、ワイピングシート92を幅方向に切断して液滴を拭き取った使用済部分92bを切り離すシート切断部98と、を備える。
【選択図】図7
【解決手段】液滴吐出ヘッド34に帯状のワイピングシート92を当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング装置90であって、ワイピングシート92を液滴吐出ヘッド34に向けて送り出すシート送出部と、ワイピングシート92を幅方向に切断して液滴を拭き取った使用済部分92bを切り離すシート切断部98と、を備える。
【選択図】図7
Description
本発明は、ワイピング装置及び描画装置並びにワイピング方法及び描画方法に関する。
カラーフィルタ、有機EL(Electro-Luminescence)装置などの電気光学装置などを製造するために、液滴吐出装置が用いられている。液滴吐出装置は、インクジェットノズルから液滴を吐出・着弾させて薄膜を形成させるものである。その薄膜が画素をなす発光層又は電極などとなる。
カラーフィルタや有機EL装置等を製造する場合には、インクジェットヘッドから所定量の液滴を所定位置に正確に吐出するため、定期的にまたは随時にインクジェットヘッドの整備を行う必要がある。
具体的には、液滴吐出装置は、キャッピングユニット、ワイプユニット(クリーニングユニット)、フラッシングユニットなどを備え、インクジェットヘッドのキャッピングやノズルの吸引、インク吐出面のワイピング、更に液滴の吐出状況を確認等するフラッシングを行っている(例えば、特許文献1参照)。
特開平11−248926号公報
具体的には、液滴吐出装置は、キャッピングユニット、ワイプユニット(クリーニングユニット)、フラッシングユニットなどを備え、インクジェットヘッドのキャッピングやノズルの吸引、インク吐出面のワイピング、更に液滴の吐出状況を確認等するフラッシングを行っている(例えば、特許文献1参照)。
液晶装置や有機EL装置等の大画面化・高精細化の要請に伴って、液滴吐出装置からの液滴吐出量、基板上で液滴の着弾位置および付着状態を精密に制御して、薄膜のパターンを精密に形成することが求められている。このため、液滴吐出装置をチャンバの中に収容して外部雰囲気と遮断し、液滴吐出装置の周囲の気体雰囲気および温度雰囲気が調整されている。
ところで、ワイプユニットでは、インクジェットヘッドのインク吐出面に付着した液滴を帯状のワイピングシートで拭き取り、巻き取って回収している。しかし、拭き取られた直後の液滴は湿潤状態であるため、液滴の微粒子や液滴中の有機溶剤が周辺に拡散・浮遊してしまう場合がある。このため、この液滴の微粒子が基板に付着して、精密な薄膜パターンの形成に悪影響を与えてしまうという問題がある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、ワイピングシートからの液滴微粒子等の拡散を防止することができるワイピング装置及び描画装置並びにワイピング方法及び描画方法を提案することを目的とする。
本発明に係る検出装置、ワイピング装置及び描画装置並びに検出方法、ワイピング方法及び描画方法では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
第1の発明は、液滴吐出ヘッドに帯状のワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング装置であって、前記ワイピングシートを前記液滴吐出ヘッドに向けて送り出すシート送出部と、前記ワイピングシートを幅方向に切断して前記液滴を拭き取った使用済部分を切り離すシート切断部と、を備えることを特徴とする。
第1の発明は、液滴吐出ヘッドに帯状のワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング装置であって、前記ワイピングシートを前記液滴吐出ヘッドに向けて送り出すシート送出部と、前記ワイピングシートを幅方向に切断して前記液滴を拭き取った使用済部分を切り離すシート切断部と、を備えることを特徴とする。
第2の発明は、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象の所定領域に描画する描画装置であって、前記液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接して液滴を拭き取るワイピング部として第1の発明のワイピング装置を備えることを特徴とする。
また、前記液滴吐出ヘッド及びワイピング部を収容するチャンバと、前記シート切断部の下方において前記使用済部分を収容すると共に収容した前記使用済部分を前記チャンバ外に搬出可能な受皿部と、を備えることを特徴とする。
また、前記シート切断部の下方における前記受皿部の配置位置近傍に、気体を前記チャンバ外に排出する排気部を備えることを特徴とする。
第3の発明は、液滴吐出ヘッドに帯状のワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング方法であって、前記ワイピングシートを前記液滴吐出ヘッドに向けて送り出すシート送出工程と、前記ワイピングシートを幅方向に切断して前記液滴を拭き取った使用済部分を切り離すシート切断工程と、を有することを特徴とする。
第4の発明は、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象の所定領域に描画する描画方法であって、前記液滴吐出ヘッドを整備する工程として、第3の発明のワイピング方法を実施することを特徴とする。
また、前記シート切断部の下方において前記使用済部分を収容すると共に収容した前記使用済部分を前記チャンバ外に搬出する搬出工程を更に有することを特徴とする。
また、少なくとも前記吐出工程において、前記シート切断部の下方における前記使用済部分を収容する収容領域の近傍に気体を前記チャンバ外に排出することを特徴とする。
以下、本発明に係るワイピング装置及び描画装置並びにワイピング方法及び描画方法の実施形態について図を参照して説明する。
なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
[カラーフィルタ製造装置]
図1は、本実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図であり、R,G,Bの3色の着色層を備えたカラーフィルタを製造するための装置である。
カラーフィルタ製造装置1は、上流側からインク受容層形成装置2、着色層形成装置4、本焼成装置6(加熱装置)の順に配置されたものである。
このカラーフィルタ製造装置1には、R,G,Bの各着色層のパターンを区画する隔壁(バンクとも言う)が形成されたガラス、プラスチック等からなる透明基板(基板)が供給される。
インク受容層形成装置2は、隔壁で区画された領域内に樹脂組成物からなるインク受容層を下地層として形成するための装置である。着色層形成装置4は、後に着色層となるR、G、Bのインクからなる液状体を塗布するための装置である。本焼成装置6は、塗布後のR、G、Bのインクからなる液状体を一括して加熱、焼成するための装置である。
図1は、本実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図であり、R,G,Bの3色の着色層を備えたカラーフィルタを製造するための装置である。
カラーフィルタ製造装置1は、上流側からインク受容層形成装置2、着色層形成装置4、本焼成装置6(加熱装置)の順に配置されたものである。
このカラーフィルタ製造装置1には、R,G,Bの各着色層のパターンを区画する隔壁(バンクとも言う)が形成されたガラス、プラスチック等からなる透明基板(基板)が供給される。
インク受容層形成装置2は、隔壁で区画された領域内に樹脂組成物からなるインク受容層を下地層として形成するための装置である。着色層形成装置4は、後に着色層となるR、G、Bのインクからなる液状体を塗布するための装置である。本焼成装置6は、塗布後のR、G、Bのインクからなる液状体を一括して加熱、焼成するための装置である。
着色層形成装置4には、上流側から下流側(図1における右側から左側)に向けて、給材部61、表面改質部62、描画部63、検査部64、仮焼成部65、除材部66が備えられている。
大まかな処理の流れとしては、給材部61から供給された描画前の基板に対し、表面改質部62において親液処理、撥液処理が施され、描画部63において隔壁で区画された所定の領域にR,G,Bのインクが吐出・描画される。次いで、検査部64において描画状態が検査され、仮焼成部65でインクの仮焼成が施された後、描画後の基板が除材部66により排出される。
本装置において、これら各部は基板の流れ方向に沿って直線状に配置されている。
大まかな処理の流れとしては、給材部61から供給された描画前の基板に対し、表面改質部62において親液処理、撥液処理が施され、描画部63において隔壁で区画された所定の領域にR,G,Bのインクが吐出・描画される。次いで、検査部64において描画状態が検査され、仮焼成部65でインクの仮焼成が施された後、描画後の基板が除材部66により排出される。
本装置において、これら各部は基板の流れ方向に沿って直線状に配置されている。
[液滴吐出装置]
図2は、描画部63の近傍のみを示す概略構成斜視図である。図3は、図2の左側面図である。
描画部63においては、基板Sに対して描画を行う液滴吐出装置72が設置されている。液滴吐出装置72は、基板Sに対して液滴(液状体)を吐出することで描画を行う描画装置(液滴吐出装置本体)Bと、描画装置の+Y側に接続される整備ユニット80と、描画装置Bと整備ユニット80との間で後述する液滴吐出ヘッド34を駆動させる(駆動処理する)駆動ユニット172と、を主体として構成されている。
図2は、描画部63の近傍のみを示す概略構成斜視図である。図3は、図2の左側面図である。
描画部63においては、基板Sに対して描画を行う液滴吐出装置72が設置されている。液滴吐出装置72は、基板Sに対して液滴(液状体)を吐出することで描画を行う描画装置(液滴吐出装置本体)Bと、描画装置の+Y側に接続される整備ユニット80と、描画装置Bと整備ユニット80との間で後述する液滴吐出ヘッド34を駆動させる(駆動処理する)駆動ユニット172と、を主体として構成されている。
図3に示すように、描画装置Bは、搬送方向であるX方向に移動可能なベース150と、ベース150上に載置され描画対象となる基板Sを吸着保持するテーブル70と、下面側に複数個の液滴吐出ヘッドを備え、各液滴吐出ヘッドのノズルから下方の基板Sに対してインク滴(液滴)を吐出するY方向(基板Sの搬送方向と垂直方向)に延びるヘッドユニット71とから概略構成されている。
ベース150上には、テーブル70をθZ方向(Z軸周りの方向)に駆動するθ駆動装置151と、テーブル70の+X側に位置し液滴吐出ヘッドから予備吐出(フラッシング)が行われるフラッシングユニット152とが設けられている。これら描画装置Bは、基台170上に一体化された状態で設置される。
ベース150上には、テーブル70をθZ方向(Z軸周りの方向)に駆動するθ駆動装置151と、テーブル70の+X側に位置し液滴吐出ヘッドから予備吐出(フラッシング)が行われるフラッシングユニット152とが設けられている。これら描画装置Bは、基台170上に一体化された状態で設置される。
図4は、ヘッドユニット71の底面図である。
ヘッドユニット71は、相互に独立して移動するY方向に配列された複数(例えば7枚)のキャリッジ153を備えている。各キャリッジ153は、X方向に延びる矩形のプレート74と、それぞれが複数(所定個数;ここでは12個)の液滴吐出ヘッド34を保持(支持)するヘッドキャリッジ(サブキャリッジ)73と、ヘッドキャリッジ73をプレート74に対してθZ方向に駆動するθ駆動装置154(図3参照)と、ヘッドキャリッジ73をZ方向に昇降させる昇降装置155(図3参照)とから構成されており、ヘッドキャリッジ153はθ駆動装置154及び昇降装置155を介してプレート74に着脱自在に取り付けられている。
ヘッドユニット71は、相互に独立して移動するY方向に配列された複数(例えば7枚)のキャリッジ153を備えている。各キャリッジ153は、X方向に延びる矩形のプレート74と、それぞれが複数(所定個数;ここでは12個)の液滴吐出ヘッド34を保持(支持)するヘッドキャリッジ(サブキャリッジ)73と、ヘッドキャリッジ73をプレート74に対してθZ方向に駆動するθ駆動装置154(図3参照)と、ヘッドキャリッジ73をZ方向に昇降させる昇降装置155(図3参照)とから構成されており、ヘッドキャリッジ153はθ駆動装置154及び昇降装置155を介してプレート74に着脱自在に取り付けられている。
各液滴吐出ヘッド34には、複数の液滴吐出ノズル(以下、ノズルと呼ぶ)が配列形成(例えば120個2列等)されている。なお、そのノズル列の配列方向をY方向に一致させて、各ヘッド34がヘッドキャリッジ73に固定されている。また、各ヘッド34は、Y方向に順次ずれた状態で階段状に配置されている。これにより、ヘッドユニット71の全幅にわたって等ピッチでノズルが配置されている。また、ヘッドキャリッジ73に固定されたヘッド34は、Rのインクを吐出するヘッド34R、Gのインクを吐出するヘッド34G、Bのインクを吐出するヘッド34Bの順に配列されている。
この構成により、ヘッドユニット71は、基板Sの搬送方向と垂直方向に例えば数mにわたって、所定のピッチでR,G,Bのインク滴を吐出可能となっている。そして、ヘッド34の配列方向と直交する方向に基板Sを搬送しつつインク滴を吐出することで、基板Sの全面にわたって所望のパターン形状でR,G,Bのインクを描画することができる。
この構成により、ヘッドユニット71は、基板Sの搬送方向と垂直方向に例えば数mにわたって、所定のピッチでR,G,Bのインク滴を吐出可能となっている。そして、ヘッド34の配列方向と直交する方向に基板Sを搬送しつつインク滴を吐出することで、基板Sの全面にわたって所望のパターン形状でR,G,Bのインクを描画することができる。
図3に戻り、駆動ユニット172は、整備ユニット80を挟んだX方向両側に、Y方向に延在するように平行に配置された架台156に設けられたガイドレール157と、各プレート74(すなわちキャリッジ153)をガイドレール157に沿って駆動するシャフト型リニアモータ158とを主体に構成されており、各架台156上には、液滴吐出ヘッド34に接続されるインクケーブルやリニアモータ158(の可動子)に接続される電力供給線等を収容するためのケース171がY方向に沿って設置されている。
プレート74のX方向両側にはリニアガイド75、75が設けられており、ガイドレール157に沿ってY方向に移動自在となっている。リニアモータ158は、各プレート74の両側に設けられた円筒状の可動子159と、描画装置Bと整備ユニット80とに亙ってY方向に沿って配置され各プレート74の可動子159がそれぞれ挿通する固定子160とから構成される。本実施の形態では、可動子159がコイル体で構成され、固定子160が発磁体で構成されるムービングコイル型のリニアモータ158が用いられ、各可動子159に通電する電流を調整することにより、各キャリッジ153の位置を独立して制御できる。
描画装置Bにおいて描画を行うには、まず描画部のアライメント調整を行う必要がある。
そのアライメント調整を行うために、まず各ヘッドの各ノズルから描画前フラッシング(液滴の予備吐出)を行う。この描画前フラッシングは、基板Sを載置したテーブル70を移動させる前に、基板S上の液滴吐出領域に対して行う。
次に、基板S上に吐出された液滴をCCD78により撮影し、吐出位置および吐出径を算出する。そして、この吐出位置の算出結果に基づいて、描画部のアライメント調整を行う。X方向のアライメントは、各ノズルの液滴吐出タイミングを調整することによって行う。またY方向のアライメントは、リニアガイド75により各プレート74の位置を調整することによって行う。
ここで本実施形態のヘッドユニット71では、複数のヘッドがグループごとに異なるヘッドキャリッジ73に装着されているので、描画部のアライメント調整を簡単に行うことができる。なお、アライメント以外の描画前フラッシングや描画間フラッシングは、フラッシングユニット152に対して行われる。
そのアライメント調整を行うために、まず各ヘッドの各ノズルから描画前フラッシング(液滴の予備吐出)を行う。この描画前フラッシングは、基板Sを載置したテーブル70を移動させる前に、基板S上の液滴吐出領域に対して行う。
次に、基板S上に吐出された液滴をCCD78により撮影し、吐出位置および吐出径を算出する。そして、この吐出位置の算出結果に基づいて、描画部のアライメント調整を行う。X方向のアライメントは、各ノズルの液滴吐出タイミングを調整することによって行う。またY方向のアライメントは、リニアガイド75により各プレート74の位置を調整することによって行う。
ここで本実施形態のヘッドユニット71では、複数のヘッドがグループごとに異なるヘッドキャリッジ73に装着されているので、描画部のアライメント調整を簡単に行うことができる。なお、アライメント以外の描画前フラッシングや描画間フラッシングは、フラッシングユニット152に対して行われる。
[液滴吐出ヘッド]
図5(a)は液滴吐出ヘッドの構造説明図、図5(b)は正面断面図である。
ヘッド34は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液体を吐出させるもので、上述したように、一列または複数列に配列された複数のノズル18を有している。
このヘッド34の構造の一例を説明すると、ヘッド34は、図5(a)に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート12と振動板13とを備え、両者を仕切部材(リザーバプレート)14を介して接合したものである。ノズルプレート12と振動板13との間には、仕切部材14によって複数の空間15と液溜まり16とが形成されている。各空間15と液溜まり16の内部はインクで満たされており、各空間15と液溜まり16とは供給口17を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート12には、空間15からインクを噴射するためのノズル18が形成されている。一方、振動板13には、液溜まり16にインクを供給するための孔19が形成されている。
図5(a)は液滴吐出ヘッドの構造説明図、図5(b)は正面断面図である。
ヘッド34は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液体を吐出させるもので、上述したように、一列または複数列に配列された複数のノズル18を有している。
このヘッド34の構造の一例を説明すると、ヘッド34は、図5(a)に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート12と振動板13とを備え、両者を仕切部材(リザーバプレート)14を介して接合したものである。ノズルプレート12と振動板13との間には、仕切部材14によって複数の空間15と液溜まり16とが形成されている。各空間15と液溜まり16の内部はインクで満たされており、各空間15と液溜まり16とは供給口17を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート12には、空間15からインクを噴射するためのノズル18が形成されている。一方、振動板13には、液溜まり16にインクを供給するための孔19が形成されている。
また、振動板13の空間15に対向する面と反対側の面上には、図5(b)に示すように、圧電素子(ピエゾ素子)20が接合されている。この圧電素子20は、圧電材料を一対の電極21で挟持したものであり、一対の電極21に通電すると圧電材料が収縮するよう構成されたものである。
そして、このような構成のもとに圧電素子20が接合されている振動板13は、圧電素子20と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間15の容積が増大するようになっている。したがって、空間15内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり16から供給口17を介して流入する。
また、このような状態から圧電素子20への通電を解除すると、圧電素子20と振動板13はともに元の形状に戻る。したがって、空間15も元の容積に戻ることから、空間15内部のインクの圧力が上昇し、ノズル18から基板に向けてインクの液滴Lが吐出される。
そして、このような構成のもとに圧電素子20が接合されている振動板13は、圧電素子20と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間15の容積が増大するようになっている。したがって、空間15内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり16から供給口17を介して流入する。
また、このような状態から圧電素子20への通電を解除すると、圧電素子20と振動板13はともに元の形状に戻る。したがって、空間15も元の容積に戻ることから、空間15内部のインクの圧力が上昇し、ノズル18から基板に向けてインクの液滴Lが吐出される。
なお、ヘッド34のインクジェット方式としては、前記の圧電素子20を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式を採用してもよい。
[整備ユニット]
図6は、整備ユニット80の平面図である。図7は、図6のC−C線における正面断面図である。
整備ユニット80は、ヘッドユニット71におけるプレート74の配列方向(Y方向)の延長線上に設けられている(図2参照)。整備ユニット80には、各ヘッドのインク吐出面を覆うキャップユニット81と、各ヘッドのインク吐出面を拭うワイプユニット90とが、隣接して形成されている。
図6は、整備ユニット80の平面図である。図7は、図6のC−C線における正面断面図である。
整備ユニット80は、ヘッドユニット71におけるプレート74の配列方向(Y方向)の延長線上に設けられている(図2参照)。整備ユニット80には、各ヘッドのインク吐出面を覆うキャップユニット81と、各ヘッドのインク吐出面を拭うワイプユニット90とが、隣接して形成されている。
キャップユニット81は、前記ヘッドキャリッジに対応して、Y方向に整列配置された複数のキャップキャリッジ83を備えている。なお、各キャップキャリッジ83はZ方向(上下方向)に移動可能とされている。
そして、各キャップキャリッジ83には、前記ヘッドに対応して、複数のキャップ82が階段状に配置されている。このキャップ82は、ヘッドのインク吐出面を覆うことにより、ヘッドにおけるノズル内のインクの乾燥を防止する保湿キャップとして機能するものである。
そして、各キャップキャリッジ83には、前記ヘッドに対応して、複数のキャップ82が階段状に配置されている。このキャップ82は、ヘッドのインク吐出面を覆うことにより、ヘッドにおけるノズル内のインクの乾燥を防止する保湿キャップとして機能するものである。
図7に示すように、キャップ82は、その上面をヘッド34のインク吐出面12aに当接させて使用する。そのため、キャップ82の上面には凹部84が形成されている。この凹部84は、ヘッド34に形成されたすべてのノズル18を内包しうる大きさに形成されている。これにより、ヘッド34のノズル18とキャップ82の上面との接触が回避され、各ノズル18の開口部に形成されるインクのメニスカスが維持される。また、凹部84を取り囲むキャップ82の上面は面精度良く形成されている。これにより、ヘッド34のインク吐出面12aに形成された各ノズル18を密閉封止することができるようになっている。
なお、ワイプユニット90寄りのキャップキャリッジ83aに配置されたキャップは、ヘッド34におけるノズル内のインクを吸引可能な吸引キャップ82aとして機能するようになっている。吸引キャップ82aにおいては、凹部84から外部のポンプ86にかけて配管88が形成されている。そして、このポンプ86を運転することにより、凹部84内の空気が吸引されて、各ノズル18内のインクを吸引しうるようになっている。
ワイプユニット90は、ワイピングシート92によってヘッド34のインク吐出面12aを拭うことにより、インク吐出面12aに付着したインク54aを除去するものである。ワイプユニット90には、例えばポリエステルの織布等からなるワイピングシート92が配置されている。このワイピングシート92は、ヘッドキャリッジ73に搭載されたヘッド群と同等以上の幅に形成されている(図4参照)。
また、図7に示すように、ワイプユニット90は、ワイピングシート92を送り出すシート搬送部91を備える。
シート搬送部91には、繰り出しローラ93および一対の搬送ローラ96が配置されている。また、繰り出しローラ93と搬送ローラ96との間には、ガイドローラ94と、ワイピングシート92の弛み発生を防止するテンションローラ95が配置されている。
そして、繰り出しローラ93は、演算部144の制御の下で、モータ等の駆動手段146により、搬送ローラ96は駆動手段148により、それぞれ回転駆動され、ワイピングシート92が一定速度(例えば、10cm/s程度)で送られるようになっている。
シート搬送部91には、繰り出しローラ93および一対の搬送ローラ96が配置されている。また、繰り出しローラ93と搬送ローラ96との間には、ガイドローラ94と、ワイピングシート92の弛み発生を防止するテンションローラ95が配置されている。
そして、繰り出しローラ93は、演算部144の制御の下で、モータ等の駆動手段146により、搬送ローラ96は駆動手段148により、それぞれ回転駆動され、ワイピングシート92が一定速度(例えば、10cm/s程度)で送られるようになっている。
シート搬送部91の各ローラ93,94,95,96の回転軸は平行に配置され、ワイピングシート92は繰り出しローラ93からガイドローラ94,テンションローラ95を介して搬送ローラ96まで送られる。
そして、ワイプユニット90は、上下方向に移動可能に構成されており、これによりガイドローラ94上のワイピングシート92をヘッド34のインク吐出面12aに当接させたり、離間させたりすることが可能となっている。
そして、ワイプユニット90は、上下方向に移動可能に構成されており、これによりガイドローラ94上のワイピングシート92をヘッド34のインク吐出面12aに当接させたり、離間させたりすることが可能となっている。
一対の搬送ローラ96は、その回転軸が同一水平面において平行に配置され、ワイピングシート92を挟み込んで下方に送り出す。これにより、シート搬送部91により送り出されたワイピングシート92は一対の搬送ローラ96から下方に垂れ下がるようになっている。
そして、一対の搬送ローラ96の直下には、シート切断機構98が配置される。シート切断機構98は、搬送ローラ96から下方に垂れ下がるワイピングシート92を一対のカッター99で幅方向に挟み切ることが可能となっている。
そして、一対の搬送ローラ96の直下には、シート切断機構98が配置される。シート切断機構98は、搬送ローラ96から下方に垂れ下がるワイピングシート92を一対のカッター99で幅方向に挟み切ることが可能となっている。
シート切断機構98は、ワイピングシート92のうち、ヘッド34のインク吐出面12aに付着したインク54aを拭き取った部分を切り取るものである。つまり、ワイピングシート92のうち、使用済部分92bを切り取って、未使用部分92aのみがシート搬送部91に残るようにする。
ワイピングシート92によって拭き取られたインク54(54a)は、ワイピングシート92に吸収されて拡散するが、拭き取りからしばらくの間は湿潤状態が維持されるため、インク54の微粒子やインク54中の有機溶剤が周辺に拡散・浮遊してしまう場合がある。
このため、インク54aを拭き取った部分を切り取って、下方に落下させることで、ワイプユニット90の周辺においてインク54の微粒子等が浮遊することを防止している。
ワイピングシート92によって拭き取られたインク54(54a)は、ワイピングシート92に吸収されて拡散するが、拭き取りからしばらくの間は湿潤状態が維持されるため、インク54の微粒子やインク54中の有機溶剤が周辺に拡散・浮遊してしまう場合がある。
このため、インク54aを拭き取った部分を切り取って、下方に落下させることで、ワイプユニット90の周辺においてインク54の微粒子等が浮遊することを防止している。
ワイプユニット90の下方には、シート切断機構98により切り取られたワイピングシート92の使用済部分92bを収容するトレイ100が配置される。トレイ100は、ワイプユニット90から落下してきた使用済部分92bを受取るものであって、矩形の底面とその四辺に立設する4つの側面から形成される、上方が開口した箱体である。
また、トレイ100は、使用済部分92bを収容(載置)した状態で、水平方向に移動可能に構成されている。これにより、使用済部分92bをワイプユニット90(整備ユニット80)、更には描画装置B(液滴吐出装置72)から離間させることが可能となっている。
また、トレイ100は、使用済部分92bを収容(載置)した状態で、水平方向に移動可能に構成されている。これにより、使用済部分92bをワイプユニット90(整備ユニット80)、更には描画装置B(液滴吐出装置72)から離間させることが可能となっている。
図8は、液滴吐出装置72の側面視模式図である。
液滴吐出装置72は、窒素ガス等の不活性ガスが充填されたチャンバ装置120の内部に収容されている。チャンバ装置120は、チャンバルーム121と、チャンバルーム121に温度および水分管理された不活性ガスを供給するガス供給装置122とを備えており、いわゆるクリーンルームの形態を有している。チャンバルーム121には、不活性ガスである窒素ガスが導入される。
そして、チャンバルーム121に収容された液滴吐出装置72は、窒素ガスの雰囲気に曝され、窒素ガスの雰囲気中で稼動する。
液滴吐出装置72は、窒素ガス等の不活性ガスが充填されたチャンバ装置120の内部に収容されている。チャンバ装置120は、チャンバルーム121と、チャンバルーム121に温度および水分管理された不活性ガスを供給するガス供給装置122とを備えており、いわゆるクリーンルームの形態を有している。チャンバルーム121には、不活性ガスである窒素ガスが導入される。
そして、チャンバルーム121に収容された液滴吐出装置72は、窒素ガスの雰囲気に曝され、窒素ガスの雰囲気中で稼動する。
図8に示すように、ワイプユニット90の下方に配置されたトレイ100は、その1つの側面100sによりチャンバルーム121の側壁に形成された開口を閉塞する。そして、トレイ100をチャンバルーム121の床面に沿って水平移動させることで、収容した使用済部分92bをチャンバルーム121の側壁の開口からチャンバルーム121外に搬出できるようになっている。つまり、トレイ100は、使用済部分92bをチャンバルーム121に対して、引き出すことができるようになっている。
また、チャンバルーム121におけるトレイ100の近傍には、トレイ100の周辺の不活性ガスをチャンバルーム121の外部に排出する局所排気装置123が設けられる。この局所排気装置123は、トレイ100に収容された使用済部分92bから拡散されて浮遊するインク54の微粒子や有機溶剤を排出することで、インク54の微粒子や有機溶剤が描画装置Bや基板Sに付着することを防止できるようになっている。
[描画装置の整備方法]
次に、上述した整備ユニット80において、ヘッドユニット71を整備する方法について説明する。
描画部63の液滴吐出装置72により基板Sに対して描画を行う場合には、描画処理(液滴吐出処理)に先立って、描画装置B(ヘッドユニット71)の各液滴吐出ヘッド34の複数のノズルに詰まり(ノズル詰まり)が存在しないか否かを検出する必要がある。いずれかの液滴吐出ヘッド34にノズル詰まりが発生した場合には、基板Sに対して正確な描画を形成することができないからである。
次に、上述した整備ユニット80において、ヘッドユニット71を整備する方法について説明する。
描画部63の液滴吐出装置72により基板Sに対して描画を行う場合には、描画処理(液滴吐出処理)に先立って、描画装置B(ヘッドユニット71)の各液滴吐出ヘッド34の複数のノズルに詰まり(ノズル詰まり)が存在しないか否かを検出する必要がある。いずれかの液滴吐出ヘッド34にノズル詰まりが発生した場合には、基板Sに対して正確な描画を形成することができないからである。
そこで、各液滴吐出ヘッド34に対して、キャッピング、ワイピングを行って、ノズル詰まりの除去を行う。そして、その後にフラッシングを行って、ノズル詰まりの除去が適切に行われたか、つまり、ノズル詰まりが残存していないかを検出する。この描画前のフラッシングでは、液滴の吐出位置に加えて吐出径を算出するので、各ヘッドにおけるノズル詰まりの有無が検出できる。
なお、定期フラッシング等においても、ノズル詰まりが検出される場合がある。この場合にも、キャッピング、ワイピングを行った後に、再度フラッシングを行う。
なお、定期フラッシング等においても、ノズル詰まりが検出される場合がある。この場合にも、キャッピング、ワイピングを行った後に、再度フラッシングを行う。
具体的には、図7に示すように、ノズル詰まりを検出する又はノズル詰まりが検出されたヘッド34を、吸引キャップ82aの上方まで移動させる。なお、上述したように、各ヘッドキャリッジ73は、独立してY方向に移動させることが可能である。このとき吸引対象となるヘッド34よりも整備ユニット80側に他のヘッド(キャリッジ153)が存在する場合はこれらのキャリッジ153も一体的に移動させる。
次に、吸引キャップ82aが搭載されたキャップキャリッジ83を上昇させ、吸引キャップ82aの上面をヘッド34のインク吐出面12aに当接させる。その際、ヘッド34のすべてのノズル18が、吸引キャップ82aの凹部84に内包されるように、あらかじめ両者を位置決めしておく。これにより、ヘッド34のすべてのノズル18が、吸引キャップ82aにより密閉封止される。
次に、吸引キャップ82aが搭載されたキャップキャリッジ83を上昇させ、吸引キャップ82aの上面をヘッド34のインク吐出面12aに当接させる。その際、ヘッド34のすべてのノズル18が、吸引キャップ82aの凹部84に内包されるように、あらかじめ両者を位置決めしておく。これにより、ヘッド34のすべてのノズル18が、吸引キャップ82aにより密閉封止される。
次に、吸引キャップ82aに接続されたポンプ86を運転する。このポンプ86により、各キャップ82における凹部84内の空気が吸引されて、ヘッド34のノズル18が吸引される。これにより、ヘッド34内のインクが各ノズル18に導入されて、ノズル詰まりが解消される。なお、ヘッド34のノズル18を吸引すると、ノズル18から若干のインクが凹部84内に漏れ出すことになる。この漏れ出したインクは、ポンプ86により図示しない廃液タンクに回収して再利用する。このとき、吸引対象ではない他のヘッドについては、保湿キャップ82で密閉封止することにより、インク溶媒の蒸発を防いで増粘状態となることを回避する。
なお、ヘッド34のノズル18を吸引すると、ノズル18から漏れ出したインクがヘッド34のインク吐出面12aに付着することがある。そして、インク吐出面12aにおけるノズル18の開口部周辺にインク54aが付着した状態でヘッド34からインクを吐出すると、吐出されたインクの飛行曲がりが発生するおそれがある。そこで、ヘッド34のノズル18を吸引した後に、インク吐出面12aに付着したインク54aを除去するため、インク吐出面12aのワイピングを行う。
具体的には、図7に示すように、吸引後のヘッド34をワイプユニット90の上方まで移動させる。
次に、繰り出しローラ93及び搬送ローラ96を回転させ、各ローラに沿ってワイピングシート92を移動させる。更に、ワイプユニット90を上昇させ、ガイドローラ94の上のワイピングシート92をインク吐出面12aに押し当てる。
すると、インク吐出面12aに付着したR,G,Bのインク54が、ワイピングシート92に吸収される。また、ワイピングシート92をインク吐出面12aに当接させつつ移動させるので、フレッシュなワイピングシート92によりインク吐出面12aが払拭される。
なお、ワイピングシート92の送り方向と逆方向にヘッドキャリッジ73を移動させてもよい。
以上により、インク吐出面12aに付着したインク54aが除去される。
次に、繰り出しローラ93及び搬送ローラ96を回転させ、各ローラに沿ってワイピングシート92を移動させる。更に、ワイプユニット90を上昇させ、ガイドローラ94の上のワイピングシート92をインク吐出面12aに押し当てる。
すると、インク吐出面12aに付着したR,G,Bのインク54が、ワイピングシート92に吸収される。また、ワイピングシート92をインク吐出面12aに当接させつつ移動させるので、フレッシュなワイピングシート92によりインク吐出面12aが払拭される。
なお、ワイピングシート92の送り方向と逆方向にヘッドキャリッジ73を移動させてもよい。
以上により、インク吐出面12aに付着したインク54aが除去される。
ワイピングが完了すると、ワイプユニット90を下降させる。ワイピングシート92に拭き取られたR,G,Bのインクは、ワイピングシート92に吸収されてインク跡RL,GL,BLが形成されている。
ワイプユニット90は、更に、繰り出しローラ93及び搬送ローラ96を回転させて、インク跡RL,GL,BLが形成された領域、すなわち、使用済部分92bを搬送ローラ96から下方に垂らす。
そして、繰り出しローラ93及び搬送ローラ96の回転を停止した後に、シート切断機構98によりワイピングシート92をその幅方向に切断して、使用済部分92bを切り落とす。すると、ワイピングシート92から切断された使用済部分92bは、ワイプユニット90の下方に落下して、トレイ100に収容される。
ワイプユニット90は、更に、繰り出しローラ93及び搬送ローラ96を回転させて、インク跡RL,GL,BLが形成された領域、すなわち、使用済部分92bを搬送ローラ96から下方に垂らす。
そして、繰り出しローラ93及び搬送ローラ96の回転を停止した後に、シート切断機構98によりワイピングシート92をその幅方向に切断して、使用済部分92bを切り落とす。すると、ワイピングシート92から切断された使用済部分92bは、ワイプユニット90の下方に落下して、トレイ100に収容される。
なお、上述した局所排気装置123は、少なくともワイプユニット90によるワイピング及びシート切断機構98によるワイピングシート92の切断が行われている間は、常に稼働している。したがって、例えば、ワイピングシート92の切断中にインク54の微粒子や有機溶剤が周囲に拡散したとしても、これらは局所排気装置123により、チャンバルーム121から外部に排出される。
図9は、ワイピングシートの展開図である。なお、ワイピングシート92の送り方向は図9の下方向である。
ワイピングシート92の使用済み部分には、ヘッド34と当接した領域にインク跡RL,GL,BLが形成されている。インク跡RL,GL,BLは、ヘッドキャリッジ73におけるヘッド34の配置に対応して階段状に分布している。
インク跡RL,GL,BLが形成された領域が、上述した使用済部分92bに該当する。シート切断機構98によりワイピングシート92をその幅方向に切断する場合には、使用済部分92bをワイプユニット90に残存させないために、未使用部分92aが若干含まれるようにしてもよい。
なお、トレイ100に収容されたワイピングシート92の使用済部分92bは、所定時間毎に、作業員によってチャンバルーム121から搬出される。例えば、トレイ100に収容された使用済部分92bの重量をセンサを用いて計測する等することで、作業員に対して使用済部分92bの搬出の時期を報知するようにしてもよい。
ワイピングシート92の使用済み部分には、ヘッド34と当接した領域にインク跡RL,GL,BLが形成されている。インク跡RL,GL,BLは、ヘッドキャリッジ73におけるヘッド34の配置に対応して階段状に分布している。
インク跡RL,GL,BLが形成された領域が、上述した使用済部分92bに該当する。シート切断機構98によりワイピングシート92をその幅方向に切断する場合には、使用済部分92bをワイプユニット90に残存させないために、未使用部分92aが若干含まれるようにしてもよい。
なお、トレイ100に収容されたワイピングシート92の使用済部分92bは、所定時間毎に、作業員によってチャンバルーム121から搬出される。例えば、トレイ100に収容された使用済部分92bの重量をセンサを用いて計測する等することで、作業員に対して使用済部分92bの搬出の時期を報知するようにしてもよい。
そして、ワイピング完了したら、各液滴吐出ヘッド34の全てのノズルからインク54を吐出するフラッシングを行う。そして、その後、基板Sに対するインク吐出処理(描画処理)が行われる。
以上に詳述したように、本実施形態のワイピング装置及び描画装置並びにワイピング方法及び描画方法によれば、各液滴吐出ヘッド34のインク吐出面12aに付着したインク54aをワイピングシート92を押し当てて拭き取るワイプユニット90において、インク54が付着した使用済部分92bを切り取ってしまうので、使用済部分92bから拡散するインク微粒子や有機溶媒が周辺に浮遊することが防止される。これにより、インク微粒子や有機溶媒が基板Sに付着する等して、精密な薄膜パターンの形成に悪影響を与えてしまうことが回避される。
したがって、描画処理により精密な薄膜パターンを形成することが可能となる。
したがって、描画処理により精密な薄膜パターンを形成することが可能となる。
[カラーフィルタの製造方法]
次に、本実施形態のカラーフィルタ製造装置1を用いたカラーフィルタ55の製造方法の一例を説明する。
図10は、基板Sにおけるカラーフィルタ領域51の説明図である。
カラーフィルタ製造装置1を用いたカラーフィルタの製造方法は、生産性を高める観点から長方形状の基板S上に、複数個のカラーフィルタ領域51をマトリクス状に形成する際に適用することができる。これらのカラーフィルタ領域51は、後で基板Sを切断することにより、液晶表示装置に適合する個々のカラーフィルタ55として用いることができる。
なお、各カラーフィルタ領域51においては、図10に示したように、Rのインク、Gのインク、およびBのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェア型等としてもよい。
次に、本実施形態のカラーフィルタ製造装置1を用いたカラーフィルタ55の製造方法の一例を説明する。
図10は、基板Sにおけるカラーフィルタ領域51の説明図である。
カラーフィルタ製造装置1を用いたカラーフィルタの製造方法は、生産性を高める観点から長方形状の基板S上に、複数個のカラーフィルタ領域51をマトリクス状に形成する際に適用することができる。これらのカラーフィルタ領域51は、後で基板Sを切断することにより、液晶表示装置に適合する個々のカラーフィルタ55として用いることができる。
なお、各カラーフィルタ領域51においては、図10に示したように、Rのインク、Gのインク、およびBのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェア型等としてもよい。
図11は、カラーフィルタ55の製造方法の説明図である。
カラーフィルタ領域51を形成するには、まず、図11(a)に示すように、透明の基板Sの一方の面に対し、ブラックマトリクス52を形成する。このブラックマトリクス52を形成する際には、光透過性のない樹脂(好ましくは黒色樹脂)を、スピンコート等の方法で所定の厚さ(例えば2μm程度)に塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングする。このブラックマトリクス52の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルタエレメント53については、例えばX軸方向の幅を30μm、Y軸方向の長さを100μm程度とする。このブラックマトリクスは充分な高さを有しており、インク吐出時の隔壁として機能する。
カラーフィルタ領域51を形成するには、まず、図11(a)に示すように、透明の基板Sの一方の面に対し、ブラックマトリクス52を形成する。このブラックマトリクス52を形成する際には、光透過性のない樹脂(好ましくは黒色樹脂)を、スピンコート等の方法で所定の厚さ(例えば2μm程度)に塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングする。このブラックマトリクス52の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルタエレメント53については、例えばX軸方向の幅を30μm、Y軸方向の長さを100μm程度とする。このブラックマトリクスは充分な高さを有しており、インク吐出時の隔壁として機能する。
次に、本実施形態のカラーフィルタ製造装置1におけるインク受容層形成装置の液滴吐出ヘッドから、図11(b)に示すようにインク受容層となる樹脂組成物を含有するインク滴54を吐出し、これを基板S上に着弾させる。吐出するインク滴54の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、インク受容層形成装置の焼成部においてインク滴の焼成を行い、図11(c)に示すようなインク受容層60とする。
次に、着色層形成装置の液滴吐出ヘッド34から、図11(d)に示すようにRのインク滴54R,54G,54Bを吐出し、これを基板S上に着弾させる。吐出するインク滴54の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。そして、図11(e)に示すように、R着色層55R、G着色層55G、B着色層55Bを形成する。R着色層55R、G着色層55G、B着色層55Bを形成した後、本焼成装置においてこれら着色層55R,55G,55Bを一括して焼成する。
次いで、基板Sを平坦化し、かつ着色層55R,55G,55Bを保護するため、図11(f)に示すように各着色層55R,55G,55Bやブラックマトリクス52を覆うオーバーコート膜(保護膜)56を形成する。このオーバーコート膜56の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することもできるが、着色層55R,55G,55Bの場合と同様に液滴吐出装置を用いることもできる。
ところで、図1に示す本実施形態のカラーフィルタ製造装置1は、給材部61と除材部66とを結ぶ直線状の基板搬送ラインの途中に描画部63を備え、基板Sの搬送方向と交差する方向に配列された液滴吐出ヘッドからインクを吐出することで、所望形状のパターンを形成するものである。つまり、描画前の基板Sを描画部63の一端から供給し、描画後の基板Sを描画部63の他端から排出する構成であるから、基板Sを描画部63内に連続的に流すことができ、一方向のみの搬送中に複数の液滴吐出ヘッド34を用いて一気に描画を行うことができる。そのため、1枚の基板を処理するのに必要なタクトタイムを短縮でき、生産性に優れた装置を実現することができる。また、給材部61、描画部63、および除材部66が直線状に配列されているため、装置の占有スペースを縮小することができる。さらに、基板の搬送方向を変える機能を持つ搬送装置が不要となるので、装置構成を簡略化することができる。
[液晶装置]
次に、上記カラーフィルタ55を備えた液晶装置30の一実施形態を示す。
図12は、パッシブマトリクス型の液晶装置30の側面断面図である。
液晶装置30は透過型のもので、一対のガラス基板31、32の間にSTN(Super Twisted Nematic)液晶等からなる液晶層33が挟持されてなるものである。
次に、上記カラーフィルタ55を備えた液晶装置30の一実施形態を示す。
図12は、パッシブマトリクス型の液晶装置30の側面断面図である。
液晶装置30は透過型のもので、一対のガラス基板31、32の間にSTN(Super Twisted Nematic)液晶等からなる液晶層33が挟持されてなるものである。
一方のガラス基板31には、その内面に上記カラーフィルタ55が形成されている。カラーフィルタ55は、R、G、Bの各色からなる着色層55R、55G、55Bが規則的に配列されて構成されたものである。なお、これらの着色層55R、55G、55B間には、ブラックマトリクス52が形成されている。
そして、これらカラーフィルタ55およびブラックマトリクス52の上には、カラーフィルタ55やブラックマトリクス52によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するため、オーバーコート膜(保護膜)56が形成されている。オーバーコート膜56の上には複数の電極37がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜38が形成されている。
そして、これらカラーフィルタ55およびブラックマトリクス52の上には、カラーフィルタ55やブラックマトリクス52によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するため、オーバーコート膜(保護膜)56が形成されている。オーバーコート膜56の上には複数の電極37がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜38が形成されている。
他方のガラス基板32には、その内面に、カラーフィルタ55側の電極37と直交するようにして、複数の電極39がストライプ状に形成されており、これら電極39上には、配向膜40が形成されている。なお、前記カラーフィルタ55の各着色層55R、55G、55Bは、それぞれ各ガラス基板32上の電極39、37の交差する位置に配置されている。
また、電極37、39は、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電材料によって形成されている。さらに、ガラス基板32とカラーフィルタ55の外面側にはそれぞれ偏光板(図示せず)が設けられ、ガラス基板31、32間にはこれら基板31、32間の間隔(セルギャップ)を一定に保持するためスペーサ41が設けられている。さらに、これらガラス基板31、32間には液晶33を封入するためのシール材42が設けられている。
また、電極37、39は、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電材料によって形成されている。さらに、ガラス基板32とカラーフィルタ55の外面側にはそれぞれ偏光板(図示せず)が設けられ、ガラス基板31、32間にはこれら基板31、32間の間隔(セルギャップ)を一定に保持するためスペーサ41が設けられている。さらに、これらガラス基板31、32間には液晶33を封入するためのシール材42が設けられている。
本実施形態の液晶装置30では、上記カラーフィルタ製造装置1を用いて製造されるカラーフィルタ55を適用しているため、安価で品質の良いカラー液晶表示装置を実現することができる。
[電子機器]
次に、上記液晶装置30からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図13(a)〜(d)は、上述の液晶装置30を備える電子機器の例を示している。
図13(a)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図13(a)において、携帯電話1000は、上述した液晶装置30を用いた表示部1001を備える。
図13(b)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図13(b)において、時計1100は、上述した液晶装置30を用いた表示部1101を備える。
図13(c)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図13(c)において、情報処理装置1200は、キーボードなどの入力部1202、上述した液晶装置30を用いた表示部1206、情報処理装置本体(筐体)1204を備える。
図13(d)は、薄型大画面テレビの一例を示した斜視図である。図13(d)において、薄型大画面テレビ1300は、薄型大画面テレビ本体(筐体)1302、スピーカーなどの音声出力部1304、上述した液晶装置30を用いた表示部1306を備える。
次に、上記液晶装置30からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図13(a)〜(d)は、上述の液晶装置30を備える電子機器の例を示している。
図13(a)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図13(a)において、携帯電話1000は、上述した液晶装置30を用いた表示部1001を備える。
図13(b)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図13(b)において、時計1100は、上述した液晶装置30を用いた表示部1101を備える。
図13(c)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図13(c)において、情報処理装置1200は、キーボードなどの入力部1202、上述した液晶装置30を用いた表示部1206、情報処理装置本体(筐体)1204を備える。
図13(d)は、薄型大画面テレビの一例を示した斜視図である。図13(d)において、薄型大画面テレビ1300は、薄型大画面テレビ本体(筐体)1302、スピーカーなどの音声出力部1304、上述した液晶装置30を用いた表示部1306を備える。
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば上記実施形態のカラーフィルタ製造装置1の細部の具体的な構成等に関しては適宜変更が可能である。
上記実施形態においては、ヘッドキャリッジ73が12個の液滴吐出ヘッド34を保持(支持)する場合について説明したが、これは一例である。また、各液滴吐出ヘッド34のノズル数も、一例である。
また、一つのヘッドキャリッジ73に、赤インク54Rを吐出するヘッド34R、緑インク54Gを吐出するヘッド34G、青インク54Bを吐出するヘッド34Bが、順々に整列配置される場合について説明したが、これに限らない。例えば、着色層形成装置4を各色毎(計3台)に用意して、あるヘッドユニット71(ヘッドキャリッジ73)の液滴吐出ヘッド34からは、同一色のインクの54R,54G,54Bを吐出するようにしてもよい。
また、一つのヘッドキャリッジ73に、赤インク54Rを吐出するヘッド34R、緑インク54Gを吐出するヘッド34G、青インク54Bを吐出するヘッド34Bが、順々に整列配置される場合について説明したが、これに限らない。例えば、着色層形成装置4を各色毎(計3台)に用意して、あるヘッドユニット71(ヘッドキャリッジ73)の液滴吐出ヘッド34からは、同一色のインクの54R,54G,54Bを吐出するようにしてもよい。
また、上記実施形態では本発明の描画装置をカラーフィルタの製造に応用する例を挙げたが、カラーフィルタのみならず、有機EL素子等のデバイス形成技術、あるいは各種配線形成技術に適用することも可能である。
上記実施形態では、シート切断機構98が一対のカッター99を有する例を挙げたが、カッター以外の場合であってもよい。例えば、高圧気体等を用いてワイピングシート92を切断する場合であってもよい。
又は、ワイピングシート92に幅方向に伸びるミシン目を形成しておき、このミシン目に沿ってワイピングシート92を切断するようにしてもよい。この場合には、ワイピングシート92をミシン目を挟んで両側(未使用部分92a側と使用済部分92b側)に引張る機構を設ければよい。
又は、ワイピングシート92に幅方向に伸びるミシン目を形成しておき、このミシン目に沿ってワイピングシート92を切断するようにしてもよい。この場合には、ワイピングシート92をミシン目を挟んで両側(未使用部分92a側と使用済部分92b側)に引張る機構を設ければよい。
1…カラーフィルタ製造装置、 4…着色層形成装置、 34(34R,34G,34B)…液滴吐出ヘッド、 72…液滴吐出装置、 90…ワイプユニット(ワイピング装置、ワイピング部)、 91…シート搬送部(シート送出部)、 92…ワイピングシート、 92a…未使用部分、 92b…使用済部分、 98…シート切断機構(シート切断部)、 100…トレイ(受皿部)、 120…チャンバ装置、 121…チャンバルーム(チャンバ)、 132…局所排気装置(排気部)、 B…描画装置、 S…基板(描画対象)、L(54)…インク滴(液滴)
Claims (8)
- 液滴吐出ヘッドに帯状のワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング装置であって、
前記ワイピングシートを前記液滴吐出ヘッドに向けて送り出すシート送出部と、
前記ワイピングシートを幅方向に切断して前記液滴を拭き取った使用済部分を切り離すシート切断部と、
を備えることを特徴とするワイピング装置。 - 液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象の所定領域に描画する描画装置であって、
前記液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接して液滴を拭き取るワイピング部として請求項1に記載のワイピング装置を備えることを特徴とする描画装置。 - 前記液滴吐出ヘッド及びワイピング部を収容するチャンバと、
前記シート切断部の下方において前記使用済部分を収容すると共に収容した前記使用済部分を前記チャンバ外に搬出可能な受皿部と、
を備えることを特徴とする請求項2に記載の描画装置。 - 前記シート切断部の下方における前記受皿部の配置位置近傍に、気体を前記チャンバ外に排出する排気部を備えることを特徴とする請求項3に記載の描画装置。
- 液滴吐出ヘッドに帯状のワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング方法であって、
前記ワイピングシートを前記液滴吐出ヘッドに向けて送り出すシート送出工程と、
前記ワイピングシートを幅方向に切断して前記液滴を拭き取った使用済部分を切り離すシート切断工程と、
を有することを特徴とするワイピング方法。 - 液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象の所定領域に描画する描画方法であって、
前記液滴吐出ヘッドの整備工程として、請求項5に記載のワイピング方法を実施することを特徴とする描画方法。 - 前記シート切断部の下方において前記使用済部分を収容すると共に収容した前記使用済部分を前記チャンバ外に搬出する搬出工程を更に有することを特徴とする請求項6に記載の描画方法。
- 少なくとも前記吐出工程において、前記シート切断部の下方における前記使用済部分を収容する収容領域の近傍に気体を前記チャンバ外に排出することを特徴とする請求項7に記載の描画方法。
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