JP2008126193A - 検出装置、ワイピング装置及び描画装置並びに検出方法、ワイピング方法及び描画方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】フラッシング処理に先立って簡易的にインクヘッドからインクの吐出が適切に行われているか否かを検査することができる検出装置、ワイピング装置及び描画装置並びに検出方法、ワイピング方法及び描画方法を提案する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド34にワイピングシート92を当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング部90の動作良否を検出する検査装置であって、ワイピングシート92に拭き取られた液滴跡RL,GL,BLを撮像する撮像部98と、撮像した液滴跡RL,GL,BLの面積を求める液滴跡面積演算部144と、を備える。
【選択図】図7
【解決手段】液滴吐出ヘッド34にワイピングシート92を当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング部90の動作良否を検出する検査装置であって、ワイピングシート92に拭き取られた液滴跡RL,GL,BLを撮像する撮像部98と、撮像した液滴跡RL,GL,BLの面積を求める液滴跡面積演算部144と、を備える。
【選択図】図7
Description
本発明は、検出装置、ワイピング装置及び描画装置並びに検出方法、ワイピング方法及び描画方法に関する。
カラーフィルタ、有機EL(Electro-Luminescence)装置などの電気光学装置などを製造するために、液滴吐出装置が用いられている。液滴吐出装置は、インクジェットノズルから液滴を吐出・着弾させて薄膜を形成させるものである。その薄膜が画素をなす発光層又は電極などとなる。
カラーフィルタや有機EL装置等を製造する場合には、インクジェットヘッドから所定量の液滴を所定位置に正確に吐出するため、定期的にまたは随時にインクジェットヘッドの整備を行う必要がある。
具体的には、液滴吐出装置は、キャッピングユニット、ワイプユニット(クリーニングユニット)、フラッシングユニットなどを備え、インクジェットヘッドのキャッピングやノズルの吸引、インク吐出面のワイピング、更に液滴の吐出状況を確認等するフラッシングを行っている(例えば、特許文献1参照)。
特開平11−248926号公報
具体的には、液滴吐出装置は、キャッピングユニット、ワイプユニット(クリーニングユニット)、フラッシングユニットなどを備え、インクジェットヘッドのキャッピングやノズルの吸引、インク吐出面のワイピング、更に液滴の吐出状況を確認等するフラッシングを行っている(例えば、特許文献1参照)。
上述したように、ガラス基板に対してインクを吐出する際には、ガラス基板への吐出の直前にフラッシング処理を行って、全てのインクヘッドノズルからインクが適切に吐出されているか否か(ノズル目詰まりがないか)を検査している。
しかしながら、大型テレビジョン用のカラーフィルタを製造する液滴吐出装置には、インクヘッドノズルが数千以上あり、更に基板の大型化に伴ってノズル数が増大する傾向にるため、フラッシング処理に長時間を要してカラーフィルタの製造効率を低下させてしまうという問題があった。
しかしながら、大型テレビジョン用のカラーフィルタを製造する液滴吐出装置には、インクヘッドノズルが数千以上あり、更に基板の大型化に伴ってノズル数が増大する傾向にるため、フラッシング処理に長時間を要してカラーフィルタの製造効率を低下させてしまうという問題があった。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、フラッシング処理に先立って簡易的にインクヘッドからインクの吐出が適切に行われているか否かを検査することができる検出装置、ワイピング装置及び描画装置並びに検出方法、ワイピング方法及び描画方法を提案することを目的とする。
本発明に係る検出装置、ワイピング装置及び描画装置並びに検出方法、ワイピング方法及び描画方法では、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
第1の発明は、液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング部の動作良否を検出する検査装置であって、ワイピングシートに拭き取られた液滴跡を撮像する撮像部と、撮像した液滴跡の面積を求める液滴跡面積演算部と、を備えることを特徴とする。
第1の発明は、液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング部の動作良否を検出する検査装置であって、ワイピングシートに拭き取られた液滴跡を撮像する撮像部と、撮像した液滴跡の面積を求める液滴跡面積演算部と、を備えることを特徴とする。
第2の発明は、液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング装置であって、第1の発明に係る検査装置と、前記検査装置により検出された液滴跡面積が予め設定された閾値よりも小さい場合には前記ワイピングシートによるワイピング処理を停止させるワイピング処理部と、を備えることを特徴とする。
また、前記閾値は、液滴の種類毎に設定されることを特徴とする。
また、前記閾値は、既に測定された液滴跡の平均面積の50%以下に設定されることを特徴とする。
また、前記閾値は、既に測定された液滴跡の平均面積の50%以下に設定されることを特徴とする。
第3の発明は、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象の所定領域に描画する描画装置であって、第2の発明に係るワイピング装置を備えることを特徴とする。
第4の発明は、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象の所定領域に描画する描画装置であって、前記液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング部と、第1の発明に係る検査装置と、前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出してノズル詰まりを検出するフラッシング部と、前記検査装置により検出された液滴跡面積が予め設定された閾値よりも小さい場合には前記フラッシング部によるフラッシングを回避する制御部と、を備えることを特徴とする。
また、前記閾値は、液滴の種類毎に設定されることを特徴とする。
前記閾値は、既に測定された液滴跡の平均面積の50%以下に設定されることを特徴とする。
前記閾値は、既に測定された液滴跡の平均面積の50%以下に設定されることを特徴とする。
第5の発明は、液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング部の動作良否を検出する検査方法であって、ワイピングシートに拭き取られた液滴跡を撮像して該液滴跡の面積を求めることを特徴とする。
第6の発明は、液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング方法であって、ワイピングシートに拭き取られた液滴跡を撮像して該液滴跡の面積を求める検出工程と、検出された液滴跡面積が予め設定された閾値よりも小さい場合には前記ワイピングシートによるワイピング処理を停止させる工程と、を有することを特徴とする。
また、前記閾値は、液滴の種類毎に設定されることを特徴とする。
また、前記閾値は、既に測定された液滴跡の平均面積の50%以下に設定されることを特徴とする。
また、前記閾値は、既に測定された液滴跡の平均面積の50%以下に設定されることを特徴とする。
第7の発明は、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象の所定領域に描画する描画方法であって、前記液滴吐出ヘッドの整備工程として、第6の発明に係るワイピング方法を実施することを特徴とする。
第8の発明は、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象の所定領域に描画する描画方法であって、前記液滴吐出ヘッドに吸引キャップを当接して液滴を吸引する第一キャッピング工程と、前記液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング工程と、ワイピングシートに拭き取られた液滴跡を撮像して、その液滴跡の面積を求める検出工程と、検出された液滴跡面積が予め設定された閾値よりも小さい場合には前記液滴吐出ヘッドに対して再度キャッピングを行う第二キャッピング工程と、を有することを特徴とする。
また、前記閾値は、液滴の種類毎に設定されることを特徴とする。
また、前記閾値は、既に測定された液滴跡の平均面積の50%以下に設定されることを特徴とする。
また、前記閾値は、既に測定された液滴跡の平均面積の50%以下に設定されることを特徴とする。
以下、本発明に係る検出装置、ワイピング装置及び描画装置並びに検出方法、ワイピング方法及び描画方法の実施形態について図を参照して説明する。
なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
[カラーフィルタ製造装置]
図1は、本実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図であり、R,G,Bの3色の着色層を備えたカラーフィルタを製造するための装置である。
カラーフィルタ製造装置1は、上流側からインク受容層形成装置2、着色層形成装置4、本焼成装置6(加熱装置)の順に配置されたものである。
このカラーフィルタ製造装置1には、R,G,Bの各着色層のパターンを区画する隔壁(バンクとも言う)が形成されたガラス、プラスチック等からなる透明基板(基板)が供給される。
インク受容層形成装置2は、隔壁で区画された領域内に樹脂組成物からなるインク受容層を下地層として形成するための装置である。着色層形成装置4は、後に着色層となるR、G、Bのインクからなる液状体を塗布するための装置である。本焼成装置6は、塗布後のR、G、Bのインクからなる液状体を一括して加熱、焼成するための装置である。
図1は、本実施形態のカラーフィルタ製造装置の概略構成図であり、R,G,Bの3色の着色層を備えたカラーフィルタを製造するための装置である。
カラーフィルタ製造装置1は、上流側からインク受容層形成装置2、着色層形成装置4、本焼成装置6(加熱装置)の順に配置されたものである。
このカラーフィルタ製造装置1には、R,G,Bの各着色層のパターンを区画する隔壁(バンクとも言う)が形成されたガラス、プラスチック等からなる透明基板(基板)が供給される。
インク受容層形成装置2は、隔壁で区画された領域内に樹脂組成物からなるインク受容層を下地層として形成するための装置である。着色層形成装置4は、後に着色層となるR、G、Bのインクからなる液状体を塗布するための装置である。本焼成装置6は、塗布後のR、G、Bのインクからなる液状体を一括して加熱、焼成するための装置である。
着色層形成装置4には、上流側から下流側(図1における右側から左側)に向けて、給材部61、表面改質部62、描画部63、検査部64、仮焼成部65、除材部66が備えられている。
大まかな処理の流れとしては、給材部61から供給された描画前の基板に対し、表面改質部62において親液処理、撥液処理が施され、描画部63において隔壁で区画された所定の領域にR,G,Bのインクが吐出・描画される。次いで、検査部64において描画状態が検査され、仮焼成部65でインクの仮焼成が施された後、描画後の基板が除材部66により排出される。
本装置において、これら各部は基板の流れ方向に沿って直線状に配置されている。
大まかな処理の流れとしては、給材部61から供給された描画前の基板に対し、表面改質部62において親液処理、撥液処理が施され、描画部63において隔壁で区画された所定の領域にR,G,Bのインクが吐出・描画される。次いで、検査部64において描画状態が検査され、仮焼成部65でインクの仮焼成が施された後、描画後の基板が除材部66により排出される。
本装置において、これら各部は基板の流れ方向に沿って直線状に配置されている。
[液滴吐出装置]
図2は、描画部63の近傍のみを示す概略構成斜視図である。図3は、図2の左側面図である。
描画部63においては、基板Sに対して描画を行う液滴吐出装置72が設置されている。液滴吐出装置72は、基板Sに対して液滴(液状体)を吐出することで描画を行う描画装置(液滴吐出装置本体)Bと、描画装置の+Y側に接続される整備ユニット80と、描画装置Bと整備ユニット80との間で後述する液滴吐出ヘッド34を駆動させる(駆動処理する)駆動ユニット172と、を主体として構成されている。
図2は、描画部63の近傍のみを示す概略構成斜視図である。図3は、図2の左側面図である。
描画部63においては、基板Sに対して描画を行う液滴吐出装置72が設置されている。液滴吐出装置72は、基板Sに対して液滴(液状体)を吐出することで描画を行う描画装置(液滴吐出装置本体)Bと、描画装置の+Y側に接続される整備ユニット80と、描画装置Bと整備ユニット80との間で後述する液滴吐出ヘッド34を駆動させる(駆動処理する)駆動ユニット172と、を主体として構成されている。
図3に示すように、描画装置Bは、搬送方向であるX方向に移動可能なベース150と、ベース150上に載置され描画対象となる基板Sを吸着保持するテーブル70と、下面側に複数個の液滴吐出ヘッドを備え、各液滴吐出ヘッドのノズルから下方の基板Sに対してインク滴(液滴)を吐出するY方向(基板Sの搬送方向と垂直方向)に延びるヘッドユニット71とから概略構成されている。
ベース150上には、テーブル70をθZ方向(Z軸周りの方向)に駆動するθ駆動装置151と、テーブル70の+X側に位置し液滴吐出ヘッドから予備吐出(フラッシング)が行われるフラッシングユニット152とが設けられている。これら描画装置Bは、基台170上に一体化された状態で設置される。
ベース150上には、テーブル70をθZ方向(Z軸周りの方向)に駆動するθ駆動装置151と、テーブル70の+X側に位置し液滴吐出ヘッドから予備吐出(フラッシング)が行われるフラッシングユニット152とが設けられている。これら描画装置Bは、基台170上に一体化された状態で設置される。
図4は、ヘッドユニット71の底面図である。
ヘッドユニット71は、相互に独立して移動するY方向に配列された複数(例えば7枚)のキャリッジ153を備えている。各キャリッジ153は、X方向に延びる矩形のプレート74と、それぞれが複数(所定個数;ここでは12個)の液滴吐出ヘッド34を保持(支持)するヘッドキャリッジ(サブキャリッジ)73と、ヘッドキャリッジ73をプレート74に対してθZ方向に駆動するθ駆動装置154(図3参照)と、ヘッドキャリッジ73をZ方向に昇降させる昇降装置155(図3参照)とから構成されており、ヘッドキャリッジ153はθ駆動装置154及び昇降装置155を介してプレート74に着脱自在に取り付けられている。
ヘッドユニット71は、相互に独立して移動するY方向に配列された複数(例えば7枚)のキャリッジ153を備えている。各キャリッジ153は、X方向に延びる矩形のプレート74と、それぞれが複数(所定個数;ここでは12個)の液滴吐出ヘッド34を保持(支持)するヘッドキャリッジ(サブキャリッジ)73と、ヘッドキャリッジ73をプレート74に対してθZ方向に駆動するθ駆動装置154(図3参照)と、ヘッドキャリッジ73をZ方向に昇降させる昇降装置155(図3参照)とから構成されており、ヘッドキャリッジ153はθ駆動装置154及び昇降装置155を介してプレート74に着脱自在に取り付けられている。
各液滴吐出ヘッド34には、複数の液滴吐出ノズル(以下、ノズルと呼ぶ)が配列形成(例えば120個2列等)されている。なお、そのノズル列の配列方向をY方向に一致させて、各ヘッド34がヘッドキャリッジ73に固定されている。また、各ヘッド34は、Y方向に順次ずれた状態で階段状に配置されている。これにより、ヘッドユニット71の全幅にわたって等ピッチでノズルが配置されている。また、ヘッドキャリッジ73に固定されたヘッド34は、Rのインクを吐出するヘッド34R、Gのインクを吐出するヘッド34G、Bのインクを吐出するヘッド34Bの順に配列されている。
この構成により、ヘッドユニット71は、基板Sの搬送方向と垂直方向に例えば数mにわたって、所定のピッチでR,G,Bのインク滴を吐出可能となっている。そして、ヘッド34の配列方向と直交する方向に基板Sを搬送しつつインク滴を吐出することで、基板Sの全面にわたって所望のパターン形状でR,G,Bのインクを描画することができる。
この構成により、ヘッドユニット71は、基板Sの搬送方向と垂直方向に例えば数mにわたって、所定のピッチでR,G,Bのインク滴を吐出可能となっている。そして、ヘッド34の配列方向と直交する方向に基板Sを搬送しつつインク滴を吐出することで、基板Sの全面にわたって所望のパターン形状でR,G,Bのインクを描画することができる。
図3に戻り、駆動ユニット172は、整備ユニット80を挟んだX方向両側に、Y方向に延在するように平行に配置された架台156に設けられたガイドレール157と、各プレート74(すなわちキャリッジ153)をガイドレール157に沿って駆動するシャフト型リニアモータ158とを主体に構成されており、各架台156上には、液滴吐出ヘッド34に接続されるインクケーブルやリニアモータ158(の可動子)に接続される電力供給線等を収容するためのケース171がY方向に沿って設置されている。
プレート74のX方向両側にはリニアガイド75、75が設けられており、ガイドレール157に沿ってY方向に移動自在となっている。リニアモータ158は、各プレート74の両側に設けられた円筒状の可動子159と、描画装置Bと整備ユニット80とに亙ってY方向に沿って配置され各プレート74の可動子159がそれぞれ挿通する固定子160とから構成される。本実施の形態では、可動子159がコイル体で構成され、固定子160が発磁体で構成されるムービングコイル型のリニアモータ158が用いられ、各可動子159に通電する電流を調整することにより、各キャリッジ153の位置を独立して制御できる。
描画装置Bにおいて描画を行うには、まず描画部のアライメント調整を行う必要がある。
そのアライメント調整を行うために、まず各ヘッドの各ノズルから描画前フラッシング(液滴の予備吐出)を行う。この描画前フラッシングは、基板Sを載置したテーブル70を移動させる前に、基板S上の液滴吐出領域に対して行う。
次に、基板S上に吐出された液滴をCCD78により撮影し、吐出位置および吐出径を算出する。そして、この吐出位置の算出結果に基づいて、描画部のアライメント調整を行う。X方向のアライメントは、各ノズルの液滴吐出タイミングを調整することによって行う。またY方向のアライメントは、リニアガイド75により各プレート74の位置を調整することによって行う。
ここで本実施形態のヘッドユニット71では、複数のヘッドがグループごとに異なるヘッドキャリッジ73に装着されているので、描画部のアライメント調整を簡単に行うことができる。なお、アライメント以外の描画前フラッシングや描画間フラッシングは、フラッシングユニット152に対して行われる。
そのアライメント調整を行うために、まず各ヘッドの各ノズルから描画前フラッシング(液滴の予備吐出)を行う。この描画前フラッシングは、基板Sを載置したテーブル70を移動させる前に、基板S上の液滴吐出領域に対して行う。
次に、基板S上に吐出された液滴をCCD78により撮影し、吐出位置および吐出径を算出する。そして、この吐出位置の算出結果に基づいて、描画部のアライメント調整を行う。X方向のアライメントは、各ノズルの液滴吐出タイミングを調整することによって行う。またY方向のアライメントは、リニアガイド75により各プレート74の位置を調整することによって行う。
ここで本実施形態のヘッドユニット71では、複数のヘッドがグループごとに異なるヘッドキャリッジ73に装着されているので、描画部のアライメント調整を簡単に行うことができる。なお、アライメント以外の描画前フラッシングや描画間フラッシングは、フラッシングユニット152に対して行われる。
[液滴吐出ヘッド]
図5(a)は液滴吐出ヘッドの構造説明図、図5(b)は正面断面図である。
ヘッド34は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液体を吐出させるもので、上述したように、一列または複数列に配列された複数のノズル18を有している。
このヘッド34の構造の一例を説明すると、ヘッド34は、図5(a)に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート12と振動板13とを備え、両者を仕切部材(リザーバプレート)14を介して接合したものである。ノズルプレート12と振動板13との間には、仕切部材14によって複数の空間15と液溜まり16とが形成されている。各空間15と液溜まり16の内部はインクで満たされており、各空間15と液溜まり16とは供給口17を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート12には、空間15からインクを噴射するためのノズル18が形成されている。一方、振動板13には、液溜まり16にインクを供給するための孔19が形成されている。
図5(a)は液滴吐出ヘッドの構造説明図、図5(b)は正面断面図である。
ヘッド34は、例えばピエゾ素子によって液室を圧縮してその圧力波で液体を吐出させるもので、上述したように、一列または複数列に配列された複数のノズル18を有している。
このヘッド34の構造の一例を説明すると、ヘッド34は、図5(a)に示すように、例えばステンレス製のノズルプレート12と振動板13とを備え、両者を仕切部材(リザーバプレート)14を介して接合したものである。ノズルプレート12と振動板13との間には、仕切部材14によって複数の空間15と液溜まり16とが形成されている。各空間15と液溜まり16の内部はインクで満たされており、各空間15と液溜まり16とは供給口17を介して連通したものとなっている。また、ノズルプレート12には、空間15からインクを噴射するためのノズル18が形成されている。一方、振動板13には、液溜まり16にインクを供給するための孔19が形成されている。
また、振動板13の空間15に対向する面と反対側の面上には、図5(b)に示すように、圧電素子(ピエゾ素子)20が接合されている。この圧電素子20は、圧電材料を一対の電極21で挟持したものであり、一対の電極21に通電すると圧電材料が収縮するよう構成されたものである。
そして、このような構成のもとに圧電素子20が接合されている振動板13は、圧電素子20と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間15の容積が増大するようになっている。したがって、空間15内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり16から供給口17を介して流入する。
また、このような状態から圧電素子20への通電を解除すると、圧電素子20と振動板13はともに元の形状に戻る。したがって、空間15も元の容積に戻ることから、空間15内部のインクの圧力が上昇し、ノズル18から基板に向けてインクの液滴Lが吐出される。
そして、このような構成のもとに圧電素子20が接合されている振動板13は、圧電素子20と一体になって同時に外側へ撓曲するようになっており、これによって空間15の容積が増大するようになっている。したがって、空間15内に増大した容積分に相当するインクが、液溜まり16から供給口17を介して流入する。
また、このような状態から圧電素子20への通電を解除すると、圧電素子20と振動板13はともに元の形状に戻る。したがって、空間15も元の容積に戻ることから、空間15内部のインクの圧力が上昇し、ノズル18から基板に向けてインクの液滴Lが吐出される。
なお、ヘッド34のインクジェット方式としては、前記の圧電素子20を用いたピエゾジェットタイプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いた方式を採用してもよい。
[整備ユニット]
図6は、整備ユニット80の平面図である。図7は、図6のC−C線における正面断面図である。
整備ユニット80は、ヘッドユニット71におけるプレート74の配列方向(Y方向)の延長線上に設けられている(図2参照)。整備ユニット80には、各ヘッドのインク吐出面を覆うキャップユニット81と、各ヘッドのインク吐出面を拭うワイプユニット90とが、隣接して形成されている。
図6は、整備ユニット80の平面図である。図7は、図6のC−C線における正面断面図である。
整備ユニット80は、ヘッドユニット71におけるプレート74の配列方向(Y方向)の延長線上に設けられている(図2参照)。整備ユニット80には、各ヘッドのインク吐出面を覆うキャップユニット81と、各ヘッドのインク吐出面を拭うワイプユニット90とが、隣接して形成されている。
キャップユニット81は、前記ヘッドキャリッジに対応して、Y方向に整列配置された複数のキャップキャリッジ83を備えている。なお、各キャップキャリッジ83はZ方向(上下方向)に移動可能とされている。
そして、各キャップキャリッジ83には、前記ヘッドに対応して、複数のキャップ82が階段状に配置されている。このキャップ82は、ヘッドのインク吐出面を覆うことにより、ヘッドにおけるノズル内のインクの乾燥を防止する保湿キャップとして機能するものである。
そして、各キャップキャリッジ83には、前記ヘッドに対応して、複数のキャップ82が階段状に配置されている。このキャップ82は、ヘッドのインク吐出面を覆うことにより、ヘッドにおけるノズル内のインクの乾燥を防止する保湿キャップとして機能するものである。
図7に示すように、キャップ82は、その上面をヘッド34のインク吐出面12aに当接させて使用する。そのため、キャップ82の上面には凹部84が形成されている。この凹部84は、ヘッド34に形成されたすべてのノズル18を内包しうる大きさに形成されている。これにより、ヘッド34のノズル18とキャップ82の上面との接触が回避され、各ノズル18の開口部に形成されるインクのメニスカスが維持される。また、凹部84を取り囲むキャップ82の上面は面精度良く形成されている。これにより、ヘッド34のインク吐出面12aに形成された各ノズル18を密閉封止することができるようになっている。
なお、ワイプユニット90寄りのキャップキャリッジ83aに配置されたキャップは、ヘッド34におけるノズル内のインクを吸引可能な吸引キャップ82aとして機能するようになっている。吸引キャップ82aにおいては、凹部84から外部のポンプ86にかけて配管88が形成されている。そして、このポンプ86を運転することにより、凹部84内の空気が吸引されて、各ノズル18内のインクを吸引しうるようになっている。
ワイプユニット90は、ワイピングシート92によってヘッド34のインク吐出面12aを拭うことにより、インク吐出面12aに付着したインク54aを除去するものである。ワイプユニット90には、例えばポリエステルの織布等からなるワイピングシート92が配置されている。このワイピングシート92は、ヘッドキャリッジ73に搭載されたヘッド群と同等以上の幅に形成されている(図4参照)。
また、図7に示すように、ワイプユニット90には、ワイピングシート92の繰り出しローラ93および巻き取りローラ96が配置されている。なお、繰り出しローラ93はモータ等の駆動手段146により、巻き取りローラ96は駆動手段148により、それぞれ回転駆動され、ワイピングシート92が一定速度(例えば、10cm/s程度)で送られるようになっている。
また、図7に示すように、ワイプユニット90には、ワイピングシート92の繰り出しローラ93および巻き取りローラ96が配置されている。なお、繰り出しローラ93はモータ等の駆動手段146により、巻き取りローラ96は駆動手段148により、それぞれ回転駆動され、ワイピングシート92が一定速度(例えば、10cm/s程度)で送られるようになっている。
また、繰り出しローラ93と巻き取りローラ96との間には、ガイドローラ94と、ワイピングシート92の弛み発生を防止するテンションローラ95が配置されている。各ローラ93,94,95,96の回転軸は平行に配置され、ワイピングシート92は繰り出しローラ93からガイドローラ94,テンションローラ95を介して巻き取りローラ96に巻き回されている。
また、ワイプユニット90は、上下方向に移動可能に構成されており、これによりガイドローラ94上のワイピングシート92をヘッド34のインク吐出面12aに当接させたり、離間させたりすることが可能となっている。
また、ワイプユニット90は、上下方向に移動可能に構成されており、これによりガイドローラ94上のワイピングシート92をヘッド34のインク吐出面12aに当接させたり、離間させたりすることが可能となっている。
また、ガイドローラ94とテンションローラ95との間には、ワイピングシート92により拭き取られて付着したインク(以下、インク跡RL,GL,BLという。)を撮像するCCDカメラ98が設けられている。このCCDカメラ98は、ワイピングシート92の全幅にわたってインク跡RL,GL,BLを撮像可能に構成されている。
CCDカメラ98により撮像された画像は、演算部144に送られる。演算部144は、撮像させたインク跡RL,GL,BLの面積を求める。更に、求められたインク跡RL,GL,BLの面積が、予め設定された閾値よりも小さい場合には、駆動手段146,148に向けて停止指令を出力したり、液滴吐出装置72(描画装置B及び整備ユニット80)の各種処理を制御する不図示の制御部に向けてエラー情報(インク跡RL,GL,BLの面積が閾値よりも小さいことを示す情報)を出力したりするようになっている。
CCDカメラ98により撮像された画像は、演算部144に送られる。演算部144は、撮像させたインク跡RL,GL,BLの面積を求める。更に、求められたインク跡RL,GL,BLの面積が、予め設定された閾値よりも小さい場合には、駆動手段146,148に向けて停止指令を出力したり、液滴吐出装置72(描画装置B及び整備ユニット80)の各種処理を制御する不図示の制御部に向けてエラー情報(インク跡RL,GL,BLの面積が閾値よりも小さいことを示す情報)を出力したりするようになっている。
なお、CCDカメラ98は、ヘッドキャリッジ73におけるヘッド34の配置に対応して、エリアセンサ(面センサ)型のものを複数設けてもよい。
または、ラインセンサ(リニアセンサ)型のものをワイピングシート92の幅方向に沿って配置してもよい。この場合には、ワイピングシート92を繰り出しローラ93及び巻き取りローラ96により移動させながらインク跡RL,GL,BLを撮像する。
または、ラインセンサ(リニアセンサ)型のものをワイピングシート92の幅方向に沿って配置してもよい。この場合には、ワイピングシート92を繰り出しローラ93及び巻き取りローラ96により移動させながらインク跡RL,GL,BLを撮像する。
[描画装置の整備方法]
次に、上述した整備ユニット80において、ヘッドユニット71を整備する方法について説明する。
描画部63の液滴吐出装置72により基板Sに対して描画を行う場合には、描画処理(液滴吐出処理)に先立って、描画装置B(ヘッドユニット71)の各液滴吐出ヘッド34の複数のノズルに詰まり(ノズル詰まり)が存在しないか否かを検出する必要がある。いずれかの液滴吐出ヘッド34にノズル詰まりが発生した場合には、基板Sに対して正確な描画を形成することができないからである。
次に、上述した整備ユニット80において、ヘッドユニット71を整備する方法について説明する。
描画部63の液滴吐出装置72により基板Sに対して描画を行う場合には、描画処理(液滴吐出処理)に先立って、描画装置B(ヘッドユニット71)の各液滴吐出ヘッド34の複数のノズルに詰まり(ノズル詰まり)が存在しないか否かを検出する必要がある。いずれかの液滴吐出ヘッド34にノズル詰まりが発生した場合には、基板Sに対して正確な描画を形成することができないからである。
そこで、各液滴吐出ヘッド34に対して、キャッピング、ワイピングを行って、ノズル詰まりの除去を行う。そして、その後にフラッシングを行って、ノズル詰まりの除去が適切に行われたか、つまり、ノズル詰まりが残存していないかを検出する。この描画前のフラッシングでは、液滴の吐出位置に加えて吐出径を算出するので、各ヘッドにおけるノズル詰まりの有無が検出できる。
なお、定期フラッシング等においても、ノズル詰まりが検出される場合がある。この場合にも、キャッピング、ワイピングを行った後に、再度フラッシングを行う。
なお、定期フラッシング等においても、ノズル詰まりが検出される場合がある。この場合にも、キャッピング、ワイピングを行った後に、再度フラッシングを行う。
具体的には、図7に示すように、ノズル詰まりを検出する又はノズル詰まりが検出されたヘッド34を、吸引キャップ82aの上方まで移動させる。なお、上述したように、各ヘッドキャリッジ73は、独立してY方向に移動させることが可能である。このとき吸引対象となるヘッド34よりも整備ユニット80側に他のヘッド(キャリッジ153)が存在する場合はこれらのキャリッジ153も一体的に移動させる。
次に、吸引キャップ82aが搭載されたキャップキャリッジ83を上昇させ、吸引キャップ82aの上面をヘッド34のインク吐出面12aに当接させる。その際、ヘッド34のすべてのノズル18が、吸引キャップ82aの凹部84に内包されるように、あらかじめ両者を位置決めしておく。これにより、ヘッド34のすべてのノズル18が、吸引キャップ82aにより密閉封止される。
次に、吸引キャップ82aが搭載されたキャップキャリッジ83を上昇させ、吸引キャップ82aの上面をヘッド34のインク吐出面12aに当接させる。その際、ヘッド34のすべてのノズル18が、吸引キャップ82aの凹部84に内包されるように、あらかじめ両者を位置決めしておく。これにより、ヘッド34のすべてのノズル18が、吸引キャップ82aにより密閉封止される。
次に、吸引キャップ82aに接続されたポンプ86を運転する。このポンプ86により、各キャップ82における凹部84内の空気が吸引されて、ヘッド34のノズル18が吸引される。これにより、ヘッド34内のインクが各ノズル18に導入されて、ノズル詰まりが解消される。なお、ヘッド34のノズル18を吸引すると、ノズル18から若干のインクが凹部84内に漏れ出すことになる。この漏れ出したインクは、ポンプ86により図示しない廃液タンクに回収して再利用する。このとき、吸引対象ではない他のヘッドについては、保湿キャップ82で密閉封止することにより、インク溶媒の蒸発を防いで増粘状態となることを回避する。
なお、ヘッド34のノズル18を吸引すると、ノズル18から漏れ出したインクがヘッド34のインク吐出面12aに付着することがある。そして、インク吐出面12aにおけるノズル18の開口部周辺にインク54aが付着した状態でヘッド34からインクを吐出すると、吐出されたインクの飛行曲がりが発生するおそれがある。そこで、ヘッド34のノズル18を吸引した後に、インク吐出面12aに付着したインク54aを除去するため、インク吐出面12aのワイピングを行う。
具体的には、図7に示すように、吸引後のヘッド34をワイプユニット90の上方まで移動させる。
次に、繰り出しローラ93及び巻き取りローラ96を回転させ、各ローラに沿ってワイピングシート92を移動させる。更に、ワイプユニット90を上昇させ、ガイドローラ94の上のワイピングシート92をインク吐出面12aに押し当てる。
すると、インク吐出面12aに付着したR,G,Bのインクが、ワイピングシート92に吸収される。また、ワイピングシート92をインク吐出面12aに当接させつつ移動させるので、フレッシュなワイピングシート92によりインク吐出面12aが払拭される。
なお、ワイピングシート92の送り方向と逆方向にヘッドキャリッジ73を移動させてもよい。
以上により、インク吐出面12aに付着したインク54aが除去される。
次に、繰り出しローラ93及び巻き取りローラ96を回転させ、各ローラに沿ってワイピングシート92を移動させる。更に、ワイプユニット90を上昇させ、ガイドローラ94の上のワイピングシート92をインク吐出面12aに押し当てる。
すると、インク吐出面12aに付着したR,G,Bのインクが、ワイピングシート92に吸収される。また、ワイピングシート92をインク吐出面12aに当接させつつ移動させるので、フレッシュなワイピングシート92によりインク吐出面12aが払拭される。
なお、ワイピングシート92の送り方向と逆方向にヘッドキャリッジ73を移動させてもよい。
以上により、インク吐出面12aに付着したインク54aが除去される。
ワイピングが完了すると、ワイプユニット90を下降させる。ワイピングシート92に拭き取られたR,G,Bのインクは、ワイピングシート92に吸収されてインク跡RL,GL,BLを形成する。ワイプユニット90は、更に、繰り出しローラ93及び巻き取りローラ96を回転させて、インク跡RL,GL,BLをCCDカメラ98の正面に移動させて、CCDカメラ98によりこのインク跡RL,GL,BLを撮像する。
図8は、ワイピングシートの展開図である。なお、ワイピングシート92の送り方向は図8の下方向である。
ワイピングシート92の使用済み部分には、ヘッド34と当接した領域にインク跡RL,GL,BLが形成されている。インク跡RL,GL,BLは、ヘッドキャリッジ73におけるヘッド34の配置に対応して階段状に分布している。インク跡RL,GL,BLは、ワイピングシート92に吸着・拡散されて、ヘッド34よりも大きな面積となっている。
ワイピングシート92の使用済み部分には、ヘッド34と当接した領域にインク跡RL,GL,BLが形成されている。インク跡RL,GL,BLは、ヘッドキャリッジ73におけるヘッド34の配置に対応して階段状に分布している。インク跡RL,GL,BLは、ワイピングシート92に吸着・拡散されて、ヘッド34よりも大きな面積となっている。
上述したように、インク跡RL,GL,BLは、CCDカメラ98により撮像される。そして、インク跡RL,GL,BLの面積が演算処理される。
例えば、ヘッド34に目詰まりが残存していた場合には、そのヘッド34に対応するインク跡RL´,GL´,BL´の面積は、他のインク跡RL,GL,BLの面積よりも小さくなる。したがって、この面積の大小をCCDカメラ98等を用いて検出することで、ヘッド34に目詰まり(ヘッド34の状態の良否)を簡易的・間接的に検出することができる。また、目詰まりが残存していたヘッド34は、ワイピングシート92のインク跡RXの位置(端部から何番目であるか)により容易に特定される。
なお、ワイピング時に、ワイピングシート92がヘッド34に適切に当接していなかった場合にも、インク跡RL,GL,BLの面積が小さくなってしまう場合がある。この場合には、ワイピングが適切に行われていなかったのだから、ヘッド34に目詰まりが残存している場合と同様に、ヘッド34の状態が不良であると判断しても問題ない。
例えば、ヘッド34に目詰まりが残存していた場合には、そのヘッド34に対応するインク跡RL´,GL´,BL´の面積は、他のインク跡RL,GL,BLの面積よりも小さくなる。したがって、この面積の大小をCCDカメラ98等を用いて検出することで、ヘッド34に目詰まり(ヘッド34の状態の良否)を簡易的・間接的に検出することができる。また、目詰まりが残存していたヘッド34は、ワイピングシート92のインク跡RXの位置(端部から何番目であるか)により容易に特定される。
なお、ワイピング時に、ワイピングシート92がヘッド34に適切に当接していなかった場合にも、インク跡RL,GL,BLの面積が小さくなってしまう場合がある。この場合には、ワイピングが適切に行われていなかったのだから、ヘッド34に目詰まりが残存している場合と同様に、ヘッド34の状態が不良であると判断しても問題ない。
ところで、ワイピングシート92に形成されるインク跡RL,GL,BLの形状・面積は、常に一定なものではない(ばらつきが大きい)。ワイピングシート92の状態、インクの種類、吐出するインク量、ヘッド34のインク吐出面12aの状態等の影響を受けるからである。
そこで、ヘッド34の状態が不良であると判定する基準として、予め閾値を設定しておく。例えば、前回の描画処理にワイピングシート92に形成されたインク跡RL,GL,BLの平均値を求めておき、その平均値の50%を閾値として設定する。平均的なインク跡面積の半分程度の面積の場合には、そのヘッド34の複数のノズルのいくつかには、何かしらの異常(ノズル目詰まり等)が発生している可能性が高いと考えられるからであり、また、誤判定の可能性が少なくなるからである。
そこで、ヘッド34の状態が不良であると判定する基準として、予め閾値を設定しておく。例えば、前回の描画処理にワイピングシート92に形成されたインク跡RL,GL,BLの平均値を求めておき、その平均値の50%を閾値として設定する。平均的なインク跡面積の半分程度の面積の場合には、そのヘッド34の複数のノズルのいくつかには、何かしらの異常(ノズル目詰まり等)が発生している可能性が高いと考えられるからであり、また、誤判定の可能性が少なくなるからである。
また、閾値は、インクの種類、つまり、R,G,B毎に設定することが好ましい。これにより、より適切にヘッド34の状態が不良を判定することが可能となる。
なお、基板Sに対してR,G,Bのインクを吐出(描画)して後述するカラーフィルタ55を製造する場合には、その製造時(描画処理時)にはインク量を変化させることは殆どないので、R,G,B毎に閾値を設定しておけば十分にヘッド34の状態を判定することができると考えられる。
なお、基板Sに対してR,G,Bのインクを吐出(描画)して後述するカラーフィルタ55を製造する場合には、その製造時(描画処理時)にはインク量を変化させることは殆どないので、R,G,B毎に閾値を設定しておけば十分にヘッド34の状態を判定することができると考えられる。
そして、例えば、図4の左から3番目のヘッドキャリッジ73のいずかのヘッド34においてノズル詰まりが発生したと判断された場合には、以下に挙げる処理のいずれかを行う。
第1に、左から4番目のヘッドキャリッジ73(ヘッド34)に対するワイピングを停止する。この場合には、ノズル詰まりが発生した3番目のヘッドキャリッジ73を取り外す等する保守点検処理を行ってもよい。
第2に、ノズル詰まりが発生したヘッド34(3番目のヘッドキャリッジ73)のフラッシングを行うことなく、再度、3番目のヘッドキャリッジ73のキャッピング(第二キャッピング工程)を実施する。これにより、3番目のヘッドキャリッジ73のヘッド34に発生したノズル詰まりを解消させることが可能となる。この場合には、4番目以降のヘッドキャリッジ73に対するワイピングを続行した後に、3番目のヘッドキャリッジ73に対するキャッピング(第二キャッピング工程)を実施してもよいし、
3番目のヘッドキャリッジ73に対するキャッピング(第二キャッピング工程)を実施した後に、3番目及び4番目以降のヘッドキャリッジ73対するワイピングを再開してもよい。
第1に、左から4番目のヘッドキャリッジ73(ヘッド34)に対するワイピングを停止する。この場合には、ノズル詰まりが発生した3番目のヘッドキャリッジ73を取り外す等する保守点検処理を行ってもよい。
第2に、ノズル詰まりが発生したヘッド34(3番目のヘッドキャリッジ73)のフラッシングを行うことなく、再度、3番目のヘッドキャリッジ73のキャッピング(第二キャッピング工程)を実施する。これにより、3番目のヘッドキャリッジ73のヘッド34に発生したノズル詰まりを解消させることが可能となる。この場合には、4番目以降のヘッドキャリッジ73に対するワイピングを続行した後に、3番目のヘッドキャリッジ73に対するキャッピング(第二キャッピング工程)を実施してもよいし、
3番目のヘッドキャリッジ73に対するキャッピング(第二キャッピング工程)を実施した後に、3番目及び4番目以降のヘッドキャリッジ73対するワイピングを再開してもよい。
つまり、3番目のヘッドキャリッジ73のいずかのヘッド34においてノズル詰まりが発生したと判断された場合には、3番目のヘッドキャリッジ73のフラッシングを回避する。
上述したように、フラッシングでは、液滴を吐出して、その液滴の吐出位置や吐出径を算出するので、ノズルの数に比例して処理時間が長くなる。したがって、ノズル詰まりが発生したと判断されたヘッド34を有する3番目のヘッドキャリッジ73のフラッシングを行ってノズル詰まりを検出する時間を費やすことなく、即時に、3番目のヘッドキャリッジ73に対してノズル詰まりを解消するための処理を施すことができる。
上述したように、フラッシングでは、液滴を吐出して、その液滴の吐出位置や吐出径を算出するので、ノズルの数に比例して処理時間が長くなる。したがって、ノズル詰まりが発生したと判断されたヘッド34を有する3番目のヘッドキャリッジ73のフラッシングを行ってノズル詰まりを検出する時間を費やすことなく、即時に、3番目のヘッドキャリッジ73に対してノズル詰まりを解消するための処理を施すことができる。
以上に詳述したように、本実施形態の検出装置、ワイピング装置及び描画装置並びに検出方法、ワイピング方法及び描画方法によれば、描画部63の液滴吐出装置72により基板Sに対して描画を行うに先立って、描画装置B(各ヘッドキャリッジ73)の各液滴吐出ヘッド34のワイピングの直後に、ノズル詰まりを簡易的・間接的に検出することで、フラッシングを行ってノズル詰まりを検出する時間を費やすことなく、即時にノズル詰まりを解消するための処理を施すことができる。したがって、効率的な補修処理、描画処理を行うことができる。
[カラーフィルタの製造方法]
次に、本実施形態のカラーフィルタ製造装置1を用いたカラーフィルタ55の製造方法の一例を説明する。
図9は、基板Sにおけるカラーフィルタ領域51の説明図である。
カラーフィルタ製造装置1を用いたカラーフィルタの製造方法は、生産性を高める観点から長方形状の基板S上に、複数個のカラーフィルタ領域51をマトリクス状に形成する際に適用することができる。これらのカラーフィルタ領域51は、後で基板Sを切断することにより、液晶表示装置に適合する個々のカラーフィルタ55として用いることができる。
なお、各カラーフィルタ領域51においては、図9に示したように、Rのインク、Gのインク、およびBのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェア型等としてもよい。
次に、本実施形態のカラーフィルタ製造装置1を用いたカラーフィルタ55の製造方法の一例を説明する。
図9は、基板Sにおけるカラーフィルタ領域51の説明図である。
カラーフィルタ製造装置1を用いたカラーフィルタの製造方法は、生産性を高める観点から長方形状の基板S上に、複数個のカラーフィルタ領域51をマトリクス状に形成する際に適用することができる。これらのカラーフィルタ領域51は、後で基板Sを切断することにより、液晶表示装置に適合する個々のカラーフィルタ55として用いることができる。
なお、各カラーフィルタ領域51においては、図9に示したように、Rのインク、Gのインク、およびBのインクをそれぞれ所定のパターン、本例では従来公知のストライプ型で形成して配置する。なお、この形成パターンとしては、ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェア型等としてもよい。
図10は、カラーフィルタ55の製造方法の説明図である。
カラーフィルタ領域51を形成するには、まず、図10(a)に示すように、透明の基板Sの一方の面に対し、ブラックマトリクス52を形成する。このブラックマトリクス52を形成する際には、光透過性のない樹脂(好ましくは黒色樹脂)を、スピンコート等の方法で所定の厚さ(例えば2μm程度)に塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングする。このブラックマトリクス52の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルタエレメント53については、例えばX軸方向の幅を30μm、Y軸方向の長さを100μm程度とする。このブラックマトリクスは充分な高さを有しており、インク吐出時の隔壁として機能する。
カラーフィルタ領域51を形成するには、まず、図10(a)に示すように、透明の基板Sの一方の面に対し、ブラックマトリクス52を形成する。このブラックマトリクス52を形成する際には、光透過性のない樹脂(好ましくは黒色樹脂)を、スピンコート等の方法で所定の厚さ(例えば2μm程度)に塗布し、フォトリソグラフィ技術を用いてパターニングする。このブラックマトリクス52の格子で囲まれる最小の表示要素、すなわちフィルタエレメント53については、例えばX軸方向の幅を30μm、Y軸方向の長さを100μm程度とする。このブラックマトリクスは充分な高さを有しており、インク吐出時の隔壁として機能する。
次に、本実施形態のカラーフィルタ製造装置1におけるインク受容層形成装置の液滴吐出ヘッドから、図10(b)に示すようにインク受容層となる樹脂組成物を含有するインク滴54を吐出し、これを基板S上に着弾させる。吐出するインク滴54の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。次いで、インク受容層形成装置の焼成部においてインク滴の焼成を行い、図10(c)に示すようなインク受容層60とする。
次に、着色層形成装置の液滴吐出ヘッド34から、図10(d)に示すようにRのインク滴54R,54G,54Bを吐出し、これを基板S上に着弾させる。吐出するインク滴54の量については、加熱工程におけるインクの体積減少を考慮した十分な量とする。そして、図10(e)に示すように、R着色層55R、G着色層55G、B着色層55Bを形成する。R着色層55R、G着色層55G、B着色層55Bを形成した後、本焼成装置においてこれら着色層55R,55G,55Bを一括して焼成する。
次いで、基板Sを平坦化し、かつ着色層55R,55G,55Bを保護するため、図10(f)に示すように各着色層55R,55G,55Bやブラックマトリクス52を覆うオーバーコート膜(保護膜)56を形成する。このオーバーコート膜56の形成にあたっては、スピンコート法、ロールコート法、リッピング法等の方法を採用することもできるが、着色層55R,55G,55Bの場合と同様に液滴吐出装置を用いることもできる。
ところで、図1に示す本実施形態のカラーフィルタ製造装置1は、給材部61と除材部66とを結ぶ直線状の基板搬送ラインの途中に描画部63を備え、基板Sの搬送方向と交差する方向に配列された液滴吐出ヘッドからインクを吐出することで、所望形状のパターンを形成するものである。つまり、描画前の基板Sを描画部63の一端から供給し、描画後の基板Sを描画部63の他端から排出する構成であるから、基板Sを描画部63内に連続的に流すことができ、一方向のみの搬送中に複数の液滴吐出ヘッド34を用いて一気に描画を行うことができる。そのため、1枚の基板を処理するのに必要なタクトタイムを短縮でき、生産性に優れた装置を実現することができる。また、給材部61、描画部63、および除材部66が直線状に配列されているため、装置の占有スペースを縮小することができる。さらに、基板の搬送方向を変える機能を持つ搬送装置が不要となるので、装置構成を簡略化することができる。
[液晶装置]
次に、上記カラーフィルタ55を備えた液晶装置30の一実施形態を示す。
図11は、パッシブマトリクス型の液晶装置30の側面断面図である。
液晶装置30は透過型のもので、一対のガラス基板31、32の間にSTN(Super Twisted Nematic)液晶等からなる液晶層33が挟持されてなるものである。
次に、上記カラーフィルタ55を備えた液晶装置30の一実施形態を示す。
図11は、パッシブマトリクス型の液晶装置30の側面断面図である。
液晶装置30は透過型のもので、一対のガラス基板31、32の間にSTN(Super Twisted Nematic)液晶等からなる液晶層33が挟持されてなるものである。
一方のガラス基板31には、その内面に上記カラーフィルタ55が形成されている。カラーフィルタ55は、R、G、Bの各色からなる着色層55R、55G、55Bが規則的に配列されて構成されたものである。なお、これらの着色層55R、55G、55B間には、ブラックマトリクス52が形成されている。
そして、これらカラーフィルタ55およびブラックマトリクス52の上には、カラーフィルタ55やブラックマトリクス52によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するため、オーバーコート膜(保護膜)56が形成されている。オーバーコート膜56の上には複数の電極37がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜38が形成されている。
そして、これらカラーフィルタ55およびブラックマトリクス52の上には、カラーフィルタ55やブラックマトリクス52によって形成される段差をなくしてこれを平坦化するため、オーバーコート膜(保護膜)56が形成されている。オーバーコート膜56の上には複数の電極37がストライプ状に形成され、さらにその上には配向膜38が形成されている。
他方のガラス基板32には、その内面に、カラーフィルタ55側の電極37と直交するようにして、複数の電極39がストライプ状に形成されており、これら電極39上には、配向膜40が形成されている。なお、前記カラーフィルタ55の各着色層55R、55G、55Bは、それぞれ各ガラス基板32上の電極39、37の交差する位置に配置されている。
また、電極37、39は、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電材料によって形成されている。さらに、ガラス基板32とカラーフィルタ55の外面側にはそれぞれ偏光板(図示せず)が設けられ、ガラス基板31、32間にはこれら基板31、32間の間隔(セルギャップ)を一定に保持するためスペーサ41が設けられている。さらに、これらガラス基板31、32間には液晶33を封入するためのシール材42が設けられている。
また、電極37、39は、ITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電材料によって形成されている。さらに、ガラス基板32とカラーフィルタ55の外面側にはそれぞれ偏光板(図示せず)が設けられ、ガラス基板31、32間にはこれら基板31、32間の間隔(セルギャップ)を一定に保持するためスペーサ41が設けられている。さらに、これらガラス基板31、32間には液晶33を封入するためのシール材42が設けられている。
本実施形態の液晶装置30では、上記カラーフィルタ製造装置1を用いて製造されるカラーフィルタ55を適用しているため、安価で品質の良いカラー液晶表示装置を実現することができる。
[電子機器]
次に、上記液晶装置30からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図12(a)〜(d)は、上述の液晶装置30を備える電子機器の例を示している。
図12(a)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図12(a)において、携帯電話1000は、上述した液晶装置30を用いた表示部1001を備える。
図12(b)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図12(b)において、時計1100は、上述した液晶装置30を用いた表示部1101を備える。
図12(c)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図12(c)において、情報処理装置1200は、キーボードなどの入力部1202、上述した液晶装置30を用いた表示部1206、情報処理装置本体(筐体)1204を備える。
図12(d)は、薄型大画面テレビの一例を示した斜視図である。図12(d)において、薄型大画面テレビ1300は、薄型大画面テレビ本体(筐体)1302、スピーカーなどの音声出力部1304、上述した液晶装置30を用いた表示部1306を備える。
次に、上記液晶装置30からなる表示手段を備えた電子機器の具体例について説明する。
図12(a)〜(d)は、上述の液晶装置30を備える電子機器の例を示している。
図12(a)は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図12(a)において、携帯電話1000は、上述した液晶装置30を用いた表示部1001を備える。
図12(b)は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図12(b)において、時計1100は、上述した液晶装置30を用いた表示部1101を備える。
図12(c)は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図である。図12(c)において、情報処理装置1200は、キーボードなどの入力部1202、上述した液晶装置30を用いた表示部1206、情報処理装置本体(筐体)1204を備える。
図12(d)は、薄型大画面テレビの一例を示した斜視図である。図12(d)において、薄型大画面テレビ1300は、薄型大画面テレビ本体(筐体)1302、スピーカーなどの音声出力部1304、上述した液晶装置30を用いた表示部1306を備える。
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば上記実施形態のカラーフィルタ製造装置1の細部の具体的な構成等に関しては適宜変更が可能である。
上記実施形態においては、ヘッドユニット71が整備ユニット80(ワイプユニット90)の上方に移動する場合について説明したが、これに限らない。整備ユニット80(ワイプユニット90)がヘッドユニット71の下方に移動する場合であってもよい。この場合には、カメラ98は、ワイプユニット90と共に移動しなくてもよい。例えば、ワイプユニット90の待機位置や、待機位置とヘッドユニット71との間(ヘッドユニット71の移動経路上)にカメラ98を設けて、ワイピングシート92のインク跡RL,GL,BLを撮像するようにしてもよい。
上記実施形態においては、ヘッドキャリッジ73が12個の液滴吐出ヘッド34を保持(支持)する場合について説明したが、これは一例である。また、各液滴吐出ヘッド34のノズル数も、一例である。
また、一つのヘッドキャリッジ73に、赤インク54Rを吐出するヘッド34R、緑インク54Gを吐出するヘッド34G、青インク54Bを吐出するヘッド34Bが、順々に整列配置される場合について説明したが、これに限らない。例えば、着色層形成装置4を各色毎(計3台)に用意して、あるヘッドユニット71(ヘッドキャリッジ73)の液滴吐出ヘッド34からは、同一色のインクの54R,54G,54Bを吐出するようにしてもよい。
また、一つのヘッドキャリッジ73に、赤インク54Rを吐出するヘッド34R、緑インク54Gを吐出するヘッド34G、青インク54Bを吐出するヘッド34Bが、順々に整列配置される場合について説明したが、これに限らない。例えば、着色層形成装置4を各色毎(計3台)に用意して、あるヘッドユニット71(ヘッドキャリッジ73)の液滴吐出ヘッド34からは、同一色のインクの54R,54G,54Bを吐出するようにしてもよい。
また、上記実施形態では本発明の描画装置をカラーフィルタの製造に応用する例を挙げたが、カラーフィルタのみならず、有機EL素子等のデバイス形成技術、あるいは各種配線形成技術に適用することも可能である。
1…カラーフィルタ製造装置、 4…着色層形成装置、 18…ノズル、 30…液晶装置、 34(34R,34G,34B)…液滴吐出ヘッド、 51…カラーフィルタ領域、 55…カラーフィルタ、 55R,55G,55B…着色層、 72…液滴吐出装置、 80…整備ユニット、 81…キャップユニット、 82a…吸引キャップ(吸引キャップ)、 90…ワイプユニット(ワイピング部、ワイピング装置)、 92…ワイピングシート、 98…カメラ(撮像部、検出装置)、 144…演算部(液滴跡面積演算部、ワイピング処理部)、 152…フラッシングユニット(フラッシング部)、 B…描画装置、 RL,GL,BL…インク跡、 L(54)…インク滴(液滴)、 S…基板(描画対象)
Claims (16)
- 液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング部の動作良否を検出する検査装置であって、
前記ワイピングシートに拭き取られた液滴跡を撮像する撮像部と、
撮像した液滴跡の面積を求める液滴跡面積演算部と、
を備えることを特徴とする検出装置。 - 液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング装置であって、
請求項1に記載の検査装置と、
前記検査装置により検出された液滴跡面積が予め設定された閾値よりも小さい場合には前記ワイピングシートによるワイピング処理を停止させるワイピング処理部と、
を備えることを特徴とするワイピング装置。 - 前記閾値は、液滴の種類毎に設定されることを特徴とする請求項2に記載のワイピング装置。
- 前記閾値は、既に測定された液滴跡の平均面積の50%以下に設定されることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のワイピング装置。
- 液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象の所定領域に描画する描画装置であって、
請求項2から請求項4のうちいずれか一項に記載のワイピング装置を備えることを特徴とする描画装置。 - 液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象の所定領域に描画する描画装置であって、
前記液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング部と、
請求項1に記載の検査装置と、
前記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出してノズル詰まりを検出するフラッシング部と、
前記検査装置により検出された液滴跡面積が予め設定された閾値よりも小さい場合には前記フラッシング部によるフラッシングを回避する制御部と、
を備えることを特徴とする描画装置。 - 前記閾値は、液滴の種類毎に設定されることを特徴とする請求項6に記載の描画装置。
- 前記閾値は、既に測定された液滴跡の平均面積の50%以下に設定されることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載の描画装置。
- 液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング部の動作良否を検出する検査方法であって、
ワイピングシートに拭き取られた液滴跡を撮像して、その液滴跡の面積を求めることを特徴とする検出方法。 - 液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング方法であって、
ワイピングシートに拭き取られた液滴跡を撮像して該液滴跡の面積を求める検出工程と、
検出された液滴跡面積が予め設定された閾値よりも小さい場合には前記ワイピングシートによるワイピング処理を停止させる工程と、
を有することを特徴とするワイピング方法。 - 前記閾値は、液滴の種類毎に設定されることを特徴とする請求項10に記載のワイピング方法。
- 前記閾値は、既に測定された液滴跡の平均面積の50%以下に設定されることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載のワイピング方法。
- 液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象の所定領域に描画する描画方法であって、
前記液滴吐出ヘッドの整備工程として、請求項10から請求項12のうちいずれか一項に記載のワイピング方法を実施することを特徴とする描画方法。 - 液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して描画対象の所定領域に描画する描画方法であって、
前記液滴吐出ヘッドに吸引キャップを当接して液滴を吸引する第一キャッピング工程と、
前記液滴吐出ヘッドにワイピングシートを当接しつつ相対移動させて液滴を拭き取るワイピング工程と、
ワイピングシートに拭き取られた液滴跡を撮像して該液滴跡の面積を求める検出工程と、
検出された液滴跡面積が予め設定された閾値よりも小さい場合には前記液滴吐出ヘッドに対して再度キャッピングを行う第二キャッピング工程と、
を有することを特徴とする描画方法。 - 前記閾値は、液滴の種類毎に設定されることを特徴とする請求項14に記載の描画方法。
- 前記閾値は、既に測定された液滴跡の平均面積の50%以下に設定されることを特徴とする請求項14又は請求項15に記載の描画方法。
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JP2006316949A JP2008126193A (ja) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | 検出装置、ワイピング装置及び描画装置並びに検出方法、ワイピング方法及び描画方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2014129009A1 (ja) * | 2013-02-22 | 2014-08-28 | 住友重機械工業株式会社 | 基板製造装置及び基板製造装置のメンテナンス方法 |
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2006
- 2006-11-24 JP JP2006316949A patent/JP2008126193A/ja not_active Withdrawn
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