JP2008126099A - 脱気装置及び方法 - Google Patents

Abstract

【課題】超音波振動子の発振から停止までの１回の脱気時間内で液体中の気泡を良好に浮上させて、効率良い脱気を促進できる脱気装置及び方法を提供する。
【解決手段】洗浄槽１内の液体２に超音波発振器１０及び超音波振動子４により超音波を照射する脱気装置であって、超音波発振器１０は、超音波振動子４の発振周波数に変調をかけた周波数を形成できる０／１信号Ａとともに超音波振動子４が発振／停止を複数繰り返して超音波を照射させるＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂとを各々出力するマイコン１１と、このマイコン１１の０／１信号Ａを入力して超音波振動子４を駆動させる信号波形Ｃを生成するＤＤＳ１２と、当該信号波形ＣをＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂに従って処理する駆動信号Ｄを出力するドライブＩＣ１３と、このドライブＩＣ１３の駆動信号Ｄを入力して超音波振動子４に停止と発振とを繰り返させるスイッチング電力Ｅを印加する出力段１４とを備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、脱気装置及び方法に係り、より詳細には、被洗浄物に対する洗浄力を向上させるために超音波振動子により超音波を照射して液体中に存在する気体を脱気する脱気装置及び方法に関する。

従来、脱気装置は、一般に、脱気された液体を用いて超音波洗浄を行うと被洗浄物（半導体ウェハ基板やＬＣＤ用ガラス基板などの電子デバイス用基板）に対する洗浄力が向上するということが知られており、このような洗浄技術としてよく採用されていた。そして、従来の脱気装置としては、洗浄槽内の液体に超音波振動子から照射する超音波を、所定の周波数帯域幅に連続して変調させることで、液体に照射する超音波の音圧分布の周期を連続的に変化させ、超音波定在波を緩和、消滅させる構造がよく知られている（例えば、特許文献１参照。）。
特開平１１−２９０６１１号公報 前述した構造による実施の形態を、図６および図７を参照して説明する。図６は、従来の脱気装置の一実施形態による液体２中の時間経過に伴う超音波の音圧分布２ａと脱泡２ｂ作用とをモデル的に示す図である。また、図７は、図６に示した液体２中で周期が連続的に変化する音圧分布２ａを示す図である。

図６に示すように、従来の脱気装置は、洗浄槽１の底部に装着した超音波振動子４から内部の液体２に超音波を伝播するように形成されている。この超音波振動子４には、液体に照射する周波数を、所定の周波数帯域幅に連続的に変調させることのできる超音波発振器２０が連結されている。そして、このような装置を用いた従来の脱気方法では、液体２中で周期的に変調された連続的な超音波の照射により疎密波が形成されて音圧分布２ａが発生し、所定の時間経過と共に最大音圧帯点ｃと最小音圧帯点ｄとからなる音圧分布２ａが、液体２中を小刻みに移動する。また、この時間経過と共に移動する音圧分布２ａは、図７に示すように、液体２中に伝播する疎密波により波長λの基準周波数、波長λ１の高周波数帯、及び波長λ２の低周波数帯のように各波長λ、λ１、λ２．．．λｎの間隔ごとに各々連続した音圧分布２ａによる定在波が生じ、液体２が満遍なく気層と触れる全体的なキャビテーションを発生させる。従って、液体２中を満遍なく移動するように発生したキャビテーションにより、液体２中の気泡２ｂ同士が頻繁に群集、融合し合い、一つの気泡に大きく成長し、速やかに浮上して分離でき、効率的な脱気を実現できる。

このように、従来の脱気装置及び方法では、超音波振動子４から照射する超音波を変調して液体２中で音圧分布２ａの周期を連続的に変化させることで、液体２中に満遍なく移動するキャビテーションが発生し、このキャビテーションによって気泡２ｂを押上げて頻繁に群集及び成長させながら速やかに浮上させて除去していた。

しかしながら、従来の脱気装置及び方法では、液体２を脱気する場合、図６に示したように、超音波振動子４の発振から停止までの１回の脱気時間内において、基準周波数、低周波数帯、及び高周波数帯を停止せずに連続して伝播させ、液体２中で常にキャビテーションを移動させるため、超音波振動子４の発振を停止しない限り、液体２中で細かい気泡２ｂが群集せず拡散してしまい全ての気泡２ｂを短時間で浮上させることは困難であった。この場合、液体２に基準周波数、低周波数帯、及び高周波数帯による連続した照射を完了した後、超音波振動子４の発振を停止して液体２中を安定させることで初めて細かい気泡２ｂが群集して浮上するため、浮上までの時間がかかり、例えば、浮上し切れない場合に再び発振を再開させて新たなキャビテーションを発生させるという発振及び停止を複数繰り返して脱気する必要があった。従って、従来の脱気装置及び方法では、気泡２ｂの除去状態に応じて超音波振動子４から連続的な超音波照射による長い脱気時間を複数回繰り返して脱気するため、脱気効率が悪く、洗浄工程に移行するまでの脱気工程に時間がかかり、全体的に生産が遅れるという不具合があった。

本発明は上記の点に鑑みなされたもので、その目的は、超音波振動子の発振から停止までの１回の脱気時間内で液体中の気泡を良好に浮上させて、効率良い脱気を促進できる脱気装置及び方法を提供することにある。

本発明は上述した課題を解決するためになされたもので、洗浄槽内の液体に超音波発振器及び超音波振動子により超音波を照射して脱気する脱気装置であって、超音波発振器は、超音波振動子から照射する超音波の発振周波数に基づいてプログラムにより所定の周波数帯域幅に連続して変調をかけた周波数を形成できる０／１信号とともに超音波振動子から超音波の発振／停止を複数繰り返して照射させるＯＮ／ＯＦＦ信号とを各々出力するマイコンと、このマイコンの０／１信号を入力して超音波振動子を駆動させる信号波形を生成するＤＤＳと、マイコンのＯＮ／ＯＦＦ信号及びＤＤＳの信号波形を各々入力して当該信号波形をＯＮ／ＯＦＦ信号に従って処理させる駆動信号を出力するドライブＩＣと、ドライブＩＣの駆動信号を入力して超音波振動子にスイッチング電力を印加してＯＮ／ＯＦＦ信号に従った信号波形による信号ＯＮ時の停止と信号ＯＦＦ時の発振とを１回の脱気時間内で複数繰り返すことで超音波を断続的に照射させる出力段とを備える。

また、本発明による脱気方法は、洗浄槽内の液体に超音波発振器及び超音波振動子により超音波を照射して脱気する脱気方法であって、超音波発振器のマイコンが超音波振動子から照射する超音波の発振周波数に基づいてプログラムにより所定の周波数帯域幅に連続して変調をかけた周波数を形成できる０／１信号とともに超音波振動子から超音波の発振／停止を複数繰り返して照射させるＯＮ／ＯＦＦ信号とを各々出力する第１ステップと、超音波発振器のＤＤＳがマイコンの０／１信号を入力して超音波振動子を駆動させる信号波形を生成する第２ステップと、超音波発振器のドライブＩＣがマイコンのＯＮ／ＯＦＦ信号及びＤＤＳの信号波形を各々入力して当該信号波形をＯＮ／ＯＦＦ信号に従って処理させる駆動信号を出力する第３ステップと、超音波発振器の出力段がドライブＩＣの駆動信号を入力して超音波振動子にスイッチング電力を印加してＯＮ／ＯＦＦ信号に従った信号波形による信号ＯＮ時の停止と信号ＯＦＦ時の発振とを１回の脱気時間内で複数繰り返すことで超音波を断続的に照射させる第４ステップとを備える。

以上のように、本発明による脱気装置及び方法によれば、超音波振動子４から超音波を１回照射して脱気する時間内に、変調された信号波形ＣがＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂにより発振と停止とを複数繰り返して超音波を断続的に照射するため、この段階的に複数繰り返される停止時間毎に液体２中の浮上し切れない気泡２ｂを群集して容易に浮上及び消滅させることが可能となり、超音波振動子４による１回の脱気時間内で液体２を効率良く脱気できることで、洗浄工程に移行するまでの脱気時間を短縮し、全体的な生産性を向上することができる。

次に、添付図面を参照して本発明による脱気装置及び方法の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明による脱気装置の実施形態を示す構成図である。また、図２は、図１に示したマイコン１１からドライブＩＣ１３に入力されるＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂを示す図である。また、図３は、図１に示したＤＤＳ１２から出力される周波数変調のかかった信号波形Ｃを示す図である。また、図４は、図１に示した信号波形ＣとＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂとを入力してドライブＩＣ１３から出力される駆動信号Ｄを示す図である。また、図５は、図１に示した超音波振動子４の発振及び停止による液体２中の超音波音圧分布と脱泡作用とを示す図である。ここで、図１に示した洗浄槽１（液体２を含む）と超音波振動子４とは、図６に示した従来技術と同一の構成要素であり、同じ構成要素には同一符号を記載する。

図１に示すように、本発明による脱気装置の実施形態は、図６に示した従来技術と同様に、洗浄槽１の底部に装着した超音波振動子４から内部の液体２に超音波を伝播するように形成されている。また、超音波振動子４には、液体２に照射する周波数を、所定の周波数帯域幅に連続的に変調できる超音波発振器１０が連結されている。ここで、本発明による脱気装置の実施形態は、図６に示した従来技術とは異なり、超音波発振器１０の変調した信号波形Ｃにより超音波振動子４を発振から停止まで連続的に動作させるのではなく、その変調した信号波形Ｃを、複数回オン・オフしながら繰り返し出力することで、超音波を断続的に照射して脱気できるように形成されている。

ここで、超音波発振器１０は、図１に示したように、超音波振動子４から照射する超音波の発振周波数に基づいてプログラムにより所定の周波数帯域幅に連続して変調をかけた周波数を形成できる０／１信号Ａとともに超音波振動子４から超音波の発振／停止を複数繰り返して照射させるＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂとを各々出力するマイコン１１と、このマイコン１１の０／１信号Ａを入力して超音波振動子４を駆動させる信号波形Ｃを生成するＤＤＳ１２と、マイコン１１のＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂ及びＤＤＳ１２の信号波形Ｃを各々入力して当該信号波形ＣをＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂに従って処理させる駆動信号Ｄを出力するドライブＩＣ１３と、このドライブＩＣ１３の駆動信号Ｄを入力して超音波振動子４にスイッチング電力Ｅを印加してＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂに従った信号波形Ｃによる信号ＯＮ時の停止と信号ＯＦＦ時の発振とを１回の脱気時間内で複数繰り返すことで超音波を断続的に照射させる出力段１４とを備えている。
即ち、本実施の形態は、マイコン１１からＤＤＳ１２を介してドライブＩＣ１３に接続された信号波形ラインと、このマイコン１１から直接ドライブＩＣ１３に接続されたＯＮ／ＯＦＦ信号ラインとの２つの接続ラインを備えている点で、従来技術のように連続的に駆動させる信号波形ラインに加えて、その信号波形をＯＮ／ＯＦＦして断続的に出力させるＯＮ／ＯＦＦ信号ラインを別途設けたことを特徴としている。

具体的に、マイコン１１は、超音波振動子４から照射する超音波の発振周波数を、プログラムにより所定の周波数帯域幅に連続して変調をかけた周波数に形成できる０／１信号Ａとして生成し、ＤＤＳ１２側に渡すように形成されている。ここで、超音波振動子４から照射する超音波の発振周波数は、超音波振動子４から液体２中に所定の周波数帯域幅に連続的に変調させながら照射する発振周波数の中心となる周波数であって、２０ＫＨｚ〜１５０ＫＨｚを用いている。そして、これに対して１％〜５０％の範囲（例えば、±２ＫＨｚ以内）でスイープ動作させて周波数変調する。また、マイコン１１は、超音波振動子４の個々の特性、洗浄槽１の固有振動数、液体２特性、或いは気泡および溶存空気量等の情報を予め取り込めるように形成されている。そして、マイコン１１は、所定のプログラムによって、上述した種々のデータに基づいて、変調した周波数の制御データとして数値で与えられる０／１信号Ａを、ＤＤＳ１２側に出力するように形成されている。

また、マイコン１１は、上述した０／１信号Ａの出力とともに、超音波振動子４を発振／停止させて複数繰り返して超音波を照射させるＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂ（図２参照）を出力するように形成されている。このＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂは、図２に示すように、超音波振動子４が超音波を照射する１回の脱気時間内において、信号ＯＦＦ時の発振と、信号ＯＮ時の停止とを、同一の間隔で複数繰り返す矩形波（Ｈｉ／Ｌｏ信号）として設定されてドライブＩＣ１３に出力される。また、ＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂは、超音波を発振させる信号ＯＦＦ時に、後述するＤＤＳ１２にて変調された０／１信号Ａに基づき生成される信号波形Ｃを対応させ、超音波振動子４を断続的に発振及び停止させる信号として設定される。

また、ＤＤＳ（ダイレクト・デジタル・シンセサイザ）１２は、前述した制御中枢となるマイコン１１から変調して数値で与えられる０／１信号Ａに基づいて、図３に示すように、超音波振動子４を発振させる波形としての信号波形Ｃを生成する。即ち、ＤＤＳ１２は、マイコン１１からのクロック信号（図示せず）に応じて動作し、数値で与えられる０／１信号Ａに従って変化する周波数の信号波形Ｃを出力する。従って、ＤＤＳ１２は、マイコン１１の数値制御に応じ、精密且つ自在に信号波形Ｃの周波数を調整できる。

また、ドライブＩＣ１３は、図１に示したマイコン１１からのＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂ及びＤＤＳ１２の信号波形Ｃを各々入力して増幅し、当該信号波形ＣをＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂに従って処理して、図４に示すように、超音波振動子４を発振／停止を繰り返す駆動信号Ｄを出力するように形成されている。ここで、駆動信号Ｄは、ドライブＩＣ１３に信号波形Ｃ及びＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂを各々入力して、信号ＯＦＦ時の発振と信号ＯＮ時の停止とを１回の脱気時間内で交互に複数繰り返す超音波振動子４の駆動信号として、出力段１４に出力される。

また、出力段１４は、図１に示したドライブＩＣ１３から出力された駆動信号Ｄに基づいて超音波振動子４にスイッチング電力Ｅを増幅して印加するとともに、この印加時にスイッチング用ＦＥＴとして作用して、ＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂに従った信号波形Ｃによる信号ＯＦＦ時の発振と信号ＯＮ時の停止とを交互にオン・オフして与えるように形成されている。即ち、出力段１４は、スイッチング回路であり、後述する電源１７及び整流回路１８から供給される電力を増幅し、駆動信号Ｄに従ってオン・オフしながらスイッチング電力Ｅ（高周波電圧及び高周波電流）を超音波振動子４に印加するものであって、超音波振動子４が１回の脱気時間内に停止と発振とを複数繰り返して超音波を断続的に照射するように作用させる役割をする。

そして、超音波発振器１０には、図１に示したように、出力段１４に交流電圧を供給する電源１７と、この電源１７からの交流電圧を直流に整流する整流回路１８と、出力段１４から出力されるオン・オフするスイッチング電力Ｅ（高周波電圧及び高周波電流）の電圧を昇圧又は降圧する出力トランス１５と、この出力トランス１５を介したスイッチング電力を力率補正して超音波振動子４に印加する力率補正部１６とを備えている。ここで、出力トランス１５は、出力段１４からのスイッチング電力Ｅを入力し、巻線比に応じてトランス１次側電圧を昇圧又は降圧して、トランス２次側電圧より力率補正部１６を介すことで超音波振動子４に高周波電力を印加するように形成されている。また、洗浄槽１に使われている超音波振動子４は、圧電素子なので容量性負荷である。故に、共振周波数で駆動させた時に、高周波電圧と高周波電流との位相差が無くなるように力率補正部１６を超音波振動子４に対して接続する必要がある。

このような構成からなる脱気装置を用いて脱気する本発明による脱気方法を、図１〜５を参照して詳細に説明する。本発明による脱気方法は、図１に示したように、まず、超音波発振器１０のマイコン１１により、超音波振動子４から照射する超音波の発振周波数に基づいてプログラムにより所定の周波数帯域幅に連続して変調をかけた周波数を形成できる０／１信号Ａとともに、超音波振動子４から超音波を発振／停止を複数繰り返して照射させるＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂとを、各々出力する第１ステップを実行する。
この際、０／１信号Ａを出力するマイコン１１での周波数変調は、前述した従来技術の特許文献１にも記載されているように、一例として、４０ＫＨｚの基準周波数に対して５％の周波数変調帯域幅を設定した場合に、３９ＫＨｚの低周波数側と４１ＫＨｚの高周波数側とが連続交互に変調され、所定の変調周期、例えば毎秒６０回連続して変調させることによって、液体２中の音圧分布を連続的に小刻みに移動させて、脱気（脱泡）効率を高めることができる。また、変調させる周波数の帯域幅は、基準周波数値に対し０．１％から１００％の範囲を用いることが好ましく、特に基準周波数値に対し１％から５０％の範囲を用いることが好ましい。また、超音波照射の変調周期は、毎秒１回から２０００回の範囲で用いることが好ましい。これらの周波数帯域幅と変調周期は、洗浄槽１の形状および大きさ、液体２の粘度および組成等の液体特性、液体２中に含有する気泡および溶存空気量等に応じて適宜決定することができる。
また、マイコン１１では、ＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂを出力する場合、前述した０／１信号Ａの変調データや、予め入力した超音波振動子４の個々の特性、洗浄槽１の固有振動数、液体２特性、或いは気泡および溶存空気量等の種々の情報に基づいて、ＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂを設定する。具体的に、マイコン１１は、例えば、超音波振動子４から前述した変調された超音波で連続して照射する場合の１回の脱気時間（６０秒〜６００秒）を算出し、この時間内に超音波の発振と停止とを少なくとも２回以上（複数）繰り返すようにＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂを設定する。即ち、図６に示した従来技術の連続した発振から停止までの１回の脱気時間と、図１に示した発振及び停止を複数繰り返して完全に停止するまでの１回の脱気時間とは、ほぼ同一であり一致させる。

次に、第１ステップによりマイコン１１から０／１信号Ａが出力されると、この０／１信号Ａを超音波発振器１０のＤＤＳ１２に入力し、図２に示した超音波振動子４を駆動させる周波数変調がかかった信号波形Ｃを生成する第２ステップを実行する。このＤＤＳ１２は、マイコン１１のクロック信号（図示せず）により駆動し、数値で与えられた０／１信号Ａに従って変化する変調した周波数の信号波形ＣをドライブＩＣ１３に出力する。ここで、信号波形Ｃは、例えば、図２に示したような矩形波、または図６に示した正弦波などの波形に生成される。

次に、第１及び第２ステップによりマイコン１１からのＯＮ／ＯＦＦ信号ＢとＤＤＳ１２からの信号波形Ｃとが各々出力されると、この両方の情報が超音波発振器１０のドライブＩＣ１３に各々入力され、当該信号波形ＣをＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂに従って処理する駆動信号Ｄを出力する第３ステップを実行する。即ち、ドライブＩＣ１３を介して初めて変調した信号波形Ｃと、発振／停止させるＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂとの二つの周波数成分が一つに併合され、図４に示した停止／発振を複数繰り返す駆動信号Ｄとして出力される。

そして、第３ステップによるドライブＩＣ１３から駆動信号Ｄが出力されると、超音波発振器１０のスイッチング用ＦＥＴである出力段１４に入力して、超音波振動子４にスイッチング電力（高周波電圧及び高周波電流）を印加するとともに、この印加時に前述したＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂに従った信号波形Ｃによる信号ＯＮ時の停止と信号ＯＦＦ時の発振とを１回の脱気時間内で複数繰り返すスイッチング動作により、超音波振動子４が超音波を断続的に照射させる第４ステップを実行する。
ここで、第４ステップでは、出力段１４から超音波振動子４にスイッチング電力を印加する場合、図１に示したように、まず電源１７からの交流電圧を整流回路１８に供給して直流に整流してやり、出力段１４で増幅することで、出力トランス１５にスイッチング電力Ｅとして伝送される。そして、出力トランス１５では、伝送されたスイッチング電力Ｅの電圧を、巻線比に応じてトランス１次側電圧として昇圧又は降圧し、トランス２次側電圧を力率補正部１６を介して、供給する。その後、このスイッチング電力を超音波振動子４に高周波電力として印加する。

このように、ドライブＩＣ１３から出力段１４に図４に示した駆動信号Ｄが入力され、最終的に超音波振動子４による１回の脱気時間内に発振及び停止を複数回繰り返して液体２中に超音波を断続的に照射することができるため、図５に示すように、１回の脱気時間内に発振及び停止を複数繰り返して、この停止時に洗浄槽１の液体２中から気泡２ｂを浮上させて効率よく段階的に除去することができる。

以上、本発明による脱気装置及び方法の実施の形態を詳細に説明したが、本発明は前述した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、超音波振動子が変調した超音波を連続的して照射する場合の１回の脱気時間を算出して、この時間内に超音波の発振と停止とを少なくとも２回以上（複数）繰り返すようにＯＮ／ＯＦＦ信号を設定した実施の形態を詳しく説明したが、これに限定されるものではなく、連続的して照射する１回の脱気時間を算出せず、変調した超音波の発振と停止とを自由な時間内で複数繰り返すようにＯＮ／ＯＦＦ信号を設定することもできる。具体的には、マイコンで時間が設置できるのは、図２に示した発振時間（Ｌｏ時間）と、発振及び停止を対に実行する併合時間（Ｈｉ＋Ｌｏ時間）とであり、故に、停止時間（Ｈｉ時間）は勝手に決まるように設定される。ここで通常、発振時間は０．３秒〜１秒に設定し、併合時間は１．３〜５秒に設定しており、この条件下で発振及び停止する併合時間を複数繰り返すことで、前述した１回の脱気時間６０〜６００秒や、その他任意の時間に自由に合わせて設定することができる。

本発明による脱気装置の実施形態を示す構成図。 図１に示したマイコンからドライブＩＣに入力されるＯＮ／ＯＦＦ信号を示す図。 図１に示したＤＤＳから出力される周波数変調のかかった信号波形を示す図。 図１に示した信号波形ＣとＯＮ／ＯＦＦ信号Ｂとを入力してドライブＩＣから出力される駆動信号を示す図。 図１に示した超音波振動子の発振及び停止による液体中の超音波音圧分布と脱泡作用とを示す図。 従来の脱気装置の一実施形態による液体中の時間経過に伴う超音波の音圧分布と脱泡作用とをモデル的に示す図。 図６に示した液体中で周期が連続的に変化する音圧分布を示す図。

符号の説明

１ 洗浄槽
２ 液体
４ 超音波振動子
１０ 超音波発振器
１１ マイコン
１２ ＤＤＳ
１３ ドライブＩＣ
１４ 出力段
１５ 出力トランス
１６ 力率補正部
１７ 電源
１８ 整流回路

Claims (2)

1. 洗浄槽（１）内の液体（２）に超音波発振器（１０）及び超音波振動子（４）により超音波を照射して脱気する脱気装置において、
   前記超音波発振器（１０）は、
   前記超音波振動子（４）から照射する超音波の発振周波数に基づいてプログラムにより所定の周波数帯域幅に連続して変調をかけた周波数を形成できる０／１信号（Ａ）とともに、前記超音波振動子（４）から前記超音波の発振／停止を複数繰り返して照射させるＯＮ／ＯＦＦ信号（Ｂ）とを各々出力するマイコン（１１）と、
   前記マイコン（１１）の０／１信号（Ａ）を入力して前記超音波振動子（４）を駆動させる信号波形（Ｃ）を生成するＤＤＳ（１２：ダイレクト・デジタル・シンセサイザ）と、
   前記マイコン（１１）のＯＮ／ＯＦＦ信号（Ｂ）及び前記ＤＤＳ（１２）の信号波形（Ｃ）を各々入力して当該信号波形（Ｃ）を前記ＯＮ／ＯＦＦ信号（Ｂ）に従って処理させる駆動信号（Ｄ）を出力するドライブＩＣ（１３）と、
   前記ドライブＩＣ（１３）の駆動信号（Ｄ）を入力して前記超音波振動子（４）にスイッチング電力（Ｅ）を印加して前記ＯＮ／ＯＦＦ信号（Ｂ）に従った前記信号波形（Ｃ）による信号ＯＮ時の停止と信号ＯＦＦ時の発振とを１回の脱気時間内で複数繰り返すことで超音波を断続的に照射させる出力段（１４）と、
   を備えたことを特徴とする脱気装置。
2. 洗浄槽（１）内の液体（２）に超音波発振器（１０）及び超音波振動子（４）により超音波を照射して脱気する脱気方法において、
   前記超音波発振器（１０）のマイコン（１１）が前記超音波振動子（４）から照射する超音波の発振周波数に基づいてプログラムにより所定の周波数帯域幅に連続して変調をかけた周波数を形成できる０／１信号（Ａ）とともに、前記超音波振動子（４）から前記超音波を発振／停止を複数繰り返して照射させるＯＮ／ＯＦＦ信号（Ｂ）とを各々出力する第１ステップと、
   前記超音波発振器（１０）のＤＤＳ（１２）が前記マイコン（１１）の前記０／１信号（Ａ）を入力して前記超音波振動子（４）を駆動させる信号波形（Ｃ）を生成する第２ステップと、
   前記超音波発振器（１０）のドライブＩＣ（１３）が前記マイコン（１１）のＯＮ／ＯＦＦ信号（Ｂ）及び前記ＤＤＳ（１２）の信号波形（Ｃ）を各々入力して当該信号波形（Ｃ）を前記ＯＮ／ＯＦＦ信号（Ｂ）に従って処理させる駆動信号（Ｄ）を出力する第３ステップと、
   前記超音波発振器（１０）の出力段（１４）が前記ドライブＩＣ（１３）の駆動信号（Ｄ）を入力して前記超音波振動子（４）にスイッチング電力（Ｅ）を印加して前記ＯＮ／ＯＦＦ信号（Ｂ）に従った前記信号波形（Ｃ）による信号ＯＮ時の停止と信号ＯＦＦ時の発振とを１回の脱気時間内で複数繰り返すことで超音波を断続的に照射させる第４ステップと、
   を備えたことを特徴とする脱気方法。

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