JP5685881B2 - 超音波洗浄方法 - Google Patents
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Description
印加した上で洗浄液を基板(被洗浄物)に向けて噴射することにより洗浄する方法がある。さらに、棒状の振動部材を斜めに切断して超音波照射面とし、切断面とは逆の端に超音波振動子を取り付けて、照射面を被洗浄物に対向して微小間隔を保って装着させて側部から洗浄液を流入させて被洗浄物を洗浄する超音波装置が開示されている(特許文献1参照)。
そのため、超音波の照射されていない部分にも洗浄液がさらされることで、例えば、フォトマスクのような被洗浄物に対して、寸法変動および膜ダメージを起こしやすい問題があった。
本発明の課題は、被洗浄物全面に超音波を照射し、洗浄時間を短縮することで洗浄液による被洗浄物へのダメージを低減させる超音波洗浄装置およびその方法の提供にある。
(請求項1)
面形状の超音波振動子と、
前記超音波振動子の片面に接着された面形状の振動部材と、
前記超音波振動子と振動部材の双方を貫通するように設けた複数の孔と、
前記複数の孔を通過し、前記振動部材の片面から洗浄液を吐出する複数のノズルとを備えた構成の超音波洗浄装置を用いて、
前記振動部材のうち、前記超音波振動子と接していない面と微小間隙を設けて対向するように被洗浄物を支持し、
被洗浄物全面に超音波を照射し、前記複数のノズルから洗浄液を吐出しながら、前記超音波振動子を振動させて、被洗浄物を洗浄することを特徴とする洗浄方法。
なお、後述する実施形態は、本発明の具体的な構成例であり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。
図1は本発明の超音波洗浄装置6を示す概略構成図である。
図で示されるとおり、超音波振動子2と振動部材1は面形状をしており、それぞれの片面で接着されている。そして、前記超音波振動子と振動部材の双方を貫通するように設けた複数の穴3(以下、洗浄液供給口3とも言う)に、複数の洗浄液供給用のノズル4とを備えられている。
洗浄を行う際には、振動部材1のうち、超音波振動子2と接していない面と微小間隙を設けて対向するように被洗浄物7を支持するようになっている。この時、複数のノズル4から洗浄液を吐出しながら、前記超音波振動子2を発振させて、振動部材1を振動させ、被洗浄物7を洗浄する。
効率的な洗浄を行うために振動部材は、前記被洗浄物の面積に対して、80%〜120%とすることが望ましい。
また、超音波振動子は各種知られているものを用いることができるが、特に石英を用いることが望ましい。
超音波振動の出力や振動数は、フォトマスクの大きさや異物の種類によって、洗浄が効率的に行われるように設定される。例えば、周波数950K〜2MHz、出力1〜30W、時間:30秒〜10分の条件下で超音波を付与することにより行うことができる。
まず、図1に示すような本発明の超音波洗浄装置6を用い、本発明に係る超音波洗浄装置を用いた超音波洗浄方法で図4に示すフォトマスク基板20(面積232cm2)上にMoSi(モリブデンシリコン)パターン21が形成された評価用フォトマスク22の洗浄を行った。
この時、振動部材及び超音波振動子の面積は250cm2、洗浄液供給口3として8つの穴を振動部材及び超音波振動子の双方の面に形成した。 フォトマスク基板20と超音波照射面5の隙間は1mmとし、超音波の発振周波数は2MHz、発振出力は4Wとした。また、洗浄液供給ノズル4から洗浄液(アンモニア過水)を毎分1.0Lで供給したところ、30秒で洗浄が完了した。
また、図3(b)に示す従来の超音波洗浄装置16を用い、従来の超音波洗浄方法で実施例1と同じ評価用フォトマスク22の洗浄を行ったところ、2分で洗浄が完了した。
この際、フォトマスク基板7と振動部材11は接触するようにし、超音波の発振周波数は2MHz、発振出力は4Wとした。また、洗浄液供給ノズル4から洗浄液(アンモニア過水)を毎分1.0Lで供給した。
2・・・超音波振動子
3・・・洗浄液供給口
4・・・洗浄液供給ノズル
5・・・超音波照射面
6・・・本発明の超音波洗浄装置
7・・・被洗浄物(フォトマスク基板)
11・・・従来の振動部材
11a・・・膨大部
12・・・従来の超音波振動子
13・・・振動子ケース
14・・・パッキン
15・・・ケーブル
15a・・・コードa
16・・・従来の超音波洗浄装置
20・・・フォトマスク基板
21・・・MoSiパターン
22・・・評価用フォトマスク
Claims (1)
- 面形状の超音波振動子と、
前記超音波振動子の片面に接着された面形状の振動部材と、
前記超音波振動子と振動部材の双方を貫通するように設けた複数の孔と、
前記複数の孔を通過し、前記振動部材の片面から洗浄液を吐出する複数のノズルとを備えた構成の超音波洗浄装置を用いて、
前記振動部材のうち、前記超音波振動子と接していない面と微小間隙を設けて対向するように被洗浄物を支持し、
被洗浄物全面に超音波を照射し、前記複数のノズルから洗浄液を吐出しながら、前記超音波振動子を振動させて、被洗浄物を洗浄することを特徴とする洗浄方法。
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