JP2008114106A - 吐出方法及び液滴吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】吐出量を精度良く制御できる、描画方法及び液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１５の複数のノズル３１から、機能液を液滴３７にして基板８に吐出し、描画する描画方法に関する。ノズル３１から液滴３７をフラッシングユニット１８に吐出する予備吐出工程と、予備吐出工程の後に、ノズル３１から液滴３７を基板８に吐出する描画工程とを有し、予備吐出工程では、ノズル３１の温度が高いノズル３１から液滴３７を吐出する吐出回数に比べて、ノズル３１の温度が低いノズル３１から液滴３７を吐出する吐出回数が多くなるように吐出する。
【選択図】図５

Description

本発明は、吐出方法及び液滴吐出装置に関するものである。

従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向にガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。

ワークに対して、液滴にして吐出して塗布する機能液は、各種の材料が用いられている。機能液は、温度により粘度の変わる物が多く、粘度が変わることにより流体抵抗が変化する。流体抵抗が変わることにより、液滴吐出ヘッド内の流路を流れる機能液の流速が変化する。機能液の流速が変化することにより、１ドットあたりの吐出量が変動し、所望の量の機能液を塗布することが困難であった。

この課題を解決するために、特許文献１において、１ドットあたりの吐出量を制御する方法が開示されている。これによれば、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧する圧電素子を駆動する駆動波形と、駆動電圧と、吐出する液体の温度を制御するものであった。又、液体の温度を制御するために、液滴吐出ヘッド、供給パイプ、タンクにヒータを設置していた。

特開２００３−２６６７９号公報

液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧するとき、圧電素子の動作に加えられるエネルギの一部は、熱に変換し、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させる要因となっている。又、圧電素子が駆動されていないとき、圧電素子は発熱せず、液滴吐出ヘッドは放熱するため、温度が変動する要因となっている。液滴吐出ヘッド、供給パイプ、タンクにヒータを用いて加熱する方法は、装置を暖め、短い時間で液温を所定の温度にするのに有効であった。一方、液滴吐出ヘッドの動作による温度変動を、ヒータ加熱で一定の温度にする方法では、液温の変動に追従した制御をなし得ない場合があった。とくに、液滴吐出ヘッドの両端には、雰囲気の流れが、接して流れることにより熱を奪う為、中央付近より温度が低下し易い傾向があった。

本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、吐出量を精度良く制御できる、吐出方法及び液滴吐出装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明の吐出方法は、複数のノズルから機能液を吐出する吐出方法であって、機能液を予備吐出領域に吐出する予備吐出工程を有し、予備吐出工程では、ノズルの温度が高いノズルから液滴を吐出する吐出回数に比べて、ノズルの温度が低いノズルから液滴を吐出する吐出回数が多くなるように吐出することを特徴とする。

この吐出方法によれば、予備吐出工程では、複数のノズルから液滴を予備吐出領域に吐出する。機能液は、温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、ノズル間の温度差が少ない状態にて吐出する方が、温度差が大きい場合に比べて、ノズル間の吐出量の差を少なく、吐出することができる。

液滴を吐出しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、液滴を吐出する場合には、液滴を吐出するときのエネルギの一部が熱に変換されて、液滴吐出ヘッドが発熱する。そして、発熱する液滴吐出ヘッドの温度は上昇する。とくに、液滴を吐出するノズルの場所の温度が上昇する。

予備吐出工程では、液滴吐出ヘッドにおける複数のノズルの中には、温度の高いノズルと温度の低いノズルとが存在する。このとき、温度の高いノズルから液滴を吐出する吐出回数に比べて、温度の低いノズルから液滴を吐出する吐出回数が多くなるように吐出する。

吐出回数が多い方のノズルが、少ない方ノズルに比べて、温度上昇が大きくなる。温度の低い方のノズルにおける吐出回数を、温度の高い方のノズルにおける吐出回数より多くすることにより、温度の低い方のノズルは、温度上昇が、温度の高い方のノズルより大きくなる。従って、温度の低い方のノズルと温度の高い方のノズルの温度差が少なくなる。つまり、ノズル間の温度差を少なくすることができる。

予備吐出工程から、次の工程に移行するとき、各ノズル間の温度差を少なくすることができる為、次の工程において、最初に吐出する吐出量は、ノズル毎の差を少なくできる。その結果、吐出量を精度良く制御して吐出することができる。

上記課題を解決するために、本発明の吐出方法は、複数のノズルから機能液を吐出する吐出方法であって、機能液を予備吐出領域に吐出する予備吐出工程を有し、予備吐出工程では、複数のノズルの温度分布状態に応じて、各ノズルからの機能液の吐出回数を変えることを特徴とする。

この吐出方法によれば、予備吐出工程で、複数のノズルの温度分布状態に応じて、各ノズルからの機能液の吐出回数を変えて、機能液を吐出する。上記の様に、温度分布に応じて、吐出回数をかえることにより、温度の低い方のノズルと温度の高い方のノズルの温度差を少なくすることができる。つまり、ノズル間の温度差を少なくすることができる。その結果、吐出量を精度良く制御して吐出することができる。

上記課題を解決するために、本発明の吐出方法は、配列された複数のノズルから機能液を吐出する吐出方法であって、機能液を予備吐出領域に吐出する予備吐出工程を有し、予備吐出工程では、配列された複数のノズルの中央部と端部の温度差によって、各ノズルからの機能液の吐出回数を変えることを特徴とする。

この吐出方法によれば、ノズルに、雰囲気を構成する気体の流体が通過するとき、配列の中央に位置するノズルは、液滴吐出ヘッドの中央にあることから、流体が接し難くなっている。一方、配列の端に位置するノズルでは、片側にノズルが無く、液滴吐出ヘッドの端に近い場所に配置され、流体が接しやすくなっている。流体は、ヘッドの熱を奪うことから、流体の接しやすい液滴吐出ヘッドは端の温度が低くなる。従って、配列の端に位置するノズルは、中央の端に位置するノズルに比べて、温度が低くなり易くなっている。

温度の低くなり易い、配列の端に位置するノズルにおいて、予備吐出における吐出回数を中央より多くすることにより、液滴吐出ヘッド内における、ノズル温度の差を少なくすることができる。その結果、予備吐出工程の次の工程に移行する後において、吐出量を精度良く制御して吐出することができる。

本発明の吐出方法では、予備吐出工程は、部分ノズル吐出工程と全ノズル吐出工程とを有し、部分ノズル吐出工程では、ノズルの内、一部のノズルから液滴を吐出し、全ノズル吐出工程では、ノズルの内、総てのノズルから液滴を吐出することを特徴とする。

この吐出方法によれば、部分ノズル工程と、全ノズル工程とを行うことにより、ノズル間の温度差を少なくし、ノズル全体の温度を上昇させることができる。従って、予備吐出工程にて、各ノズルの温度を目標とするノズル温度と略同じにすることができる。その結果、吐出量を精度良く制御して吐出することができる。

本発明の吐出方法は、予備吐出工程において、ノズルの吐出回数を計数し、予め設定された回数を超えたノズルからは、吐出を停止することを特徴とする。

この吐出方法によれば、予備吐出工程において、ノズルの吐出回数を計数する。続いて、予め設定された回数を超えたノズルからは、吐出を停止している。ノズルの吐出回数とノズルの温度との相関関係が予め解っているとき、ノズルの温度を所定の温度にするための吐出回数を予測することが可能となる。従って、ノズルの温度を所定の温度にするために必要な吐出回数以上に吐出して、機能液を無駄にすることがない。その結果、省資源な吐出方法とすることができる。

本発明の吐出方法は、予備吐出工程において、複数のノズルの温度を計測する温度計測工程と、温度計測工程にて計測する複数のノズルの温度により、各ノズルから液滴を吐出するか、しないかを判断する吐出判断工程と、吐出判断工程で吐出すると判断したノズルから液滴を吐出する吐出工程とを備えることを特徴とする。

この吐出方法によれば、予備吐出工程は、温度計測工程と、吐出判断工程と、吐出工程とを備えている。温度計測工程にて、複数のノズルの温度を計測する。吐出判断工程では、温度計測工程にて計測する複数のノズルの温度により、各ノズルから液滴を吐出するか、しないかを判断する。続いて、吐出工程では、吐出すると判断したノズルから液滴を吐出する。

各ノズルの温度を計測して、各ノズルが所定の温度より低いノズルからのみ吐出している。各ノズルが所定の温度に達するとき、吐出を停止する為、必要な吐出回数以上に吐出して、機能液を無駄にすることがない。その結果、省資源な吐出方法とすることができる。

本発明の吐出方法は、吐出判断工程において、ノズルの温度が最も高いノズルの温度との温度差が、閾値より大きいノズルから液滴を吐出する判断をすることを特徴とする。

この吐出方法によれば、予備吐出工程は、温度計測工程と、吐出判断工程と、吐出工程とを備えている。温度計測工程にて、複数のノズルの温度を計測する。吐出判断工程では、ノズルの温度が最も高いノズルの温度との温度差が、閾値より大きいノズルから液滴を吐出する判断をする。続いて、吐出工程では、吐出すると判断したノズルから液滴を吐出する。

各ノズルの温度を計測して、各ノズルが他のノズルにおける温度より低いノズルからのみ吐出している。各ノズルの温度差が閾値の温度以内に達するとき、吐出を停止する為、各ノズルの温度差を閾値の温度以内に揃えることができる。

本発明の吐出方法は、吐出判断工程において、ノズルの温度が、予め設定した温度より低いノズルから、液滴を吐出する判断をすることを特徴とする。

この吐出方法によれば、予備吐出工程は、温度計測工程と、吐出判断工程と、吐出工程とを備えている。温度計測工程にて、複数のノズルの温度を計測する。吐出判断工程では、ノズルの温度が予め設定した温度より低いノズルから液滴を吐出する判断をする。続いて、吐出工程では、吐出すると判断したノズルから液滴を吐出する。

各ノズルの温度を計測して、各ノズルが予め設定した温度より低いノズルからのみ吐出している。各ノズルの温度が予め設定した温度に達するとき、吐出を停止する為、各ノズルの温度を予め設定した温度に揃えることができる。

上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドの複数のノズルから機能液を吐出する液滴吐出装置であって、ノズルから機能液を予備吐出する予備吐出領域と、液滴吐出ヘッドと予備吐出領域とを相対移動させるテーブルとを備え、予備吐出を行うとき、ノズルの温度が高いノズルから液滴を吐出する吐出回数に比べて、ノズルの温度が低いノズルから液滴を吐出する吐出回数が多くなるように、吐出制御する暖機吐出演算部を備えることを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、暖機吐出演算部は、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを制御して、機能液を液滴にしてワークに吐出している。ノズルから液滴をワークに吐出する前に予備吐出を行っている。予備吐出では、ノズルから液滴を予備吐出領域に吐出する。

機能液は、温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、ノズル間の温度差が少ない状態にて吐出する方が、温度差が大きい場合に比べて、ノズル間の吐出量の差を少なく、吐出することができる。

液滴を吐出しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、液滴を吐出する場合には、液滴を吐出するときのエネルギの一部が熱に変換されて、液滴吐出ヘッドが発熱する。そして、発熱する液滴吐出ヘッドの温度は上昇する。とくに、液滴を吐出するノズルの場所の温度が上昇する。

予備吐出を行うとき、液滴吐出ヘッドにおける複数のノズルの中には、温度の高いノズルと温度の低いノズルとが存在する。このとき、暖機吐出演算部は、温度の高いノズルから液滴を吐出する吐出回数に比べて、温度の低いノズルから液滴を吐出する吐出回数が多くなるように吐出回数を制御する。

吐出回数が多い方のノズルが、少ない方ノズルに比べて、温度上昇が大きくなる。温度の低い方のノズルにおける吐出回数を、温度の高い方のノズルにおける吐出回数より多くすることにより、温度の低い方のノズルは、温度上昇が、温度の高い方のノズルより大きくなる。従って、温度の低い方のノズルと温度の高い方のノズルの温度差が少なくなる。つまり、ノズル間の温度差を少なくすることができる。

予備吐出の次に、ワークに液滴を吐出するとき、各ノズル間の温度差を少なくすることができる為、ワークに最初に吐出する吐出量は、ノズル毎の差を少なくできる。その結果、吐出量を精度良く制御して描画することができる。

本発明の液滴吐出装置では、ノズルは配列して配置され、温度が高いノズルは、配列の中央又は、中央に近い場所に位置するノズルであり、温度が低いノズルは、配列の端又は、端に近い場所に位置するノズルであることを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドのノズルは、配列して配置されている。ノズルの中央と端とを比較するとき、ノズルの中央では、液滴吐出ヘッドの中央にノズルが配置されている。一方、端のノズルは、液滴吐出ヘッドの端に近い場所に配置される。

液滴吐出ヘッドに、雰囲気を構成する流体が通過するとき、中央のノズルは、液滴吐出ヘッドの中央にあることから、流体が接し難くなっている。一方、端のノズルでは、片側にノズルが無く、液滴吐出ヘッドの端に近い場所に配置され、流体が接しやすくなっている。流体は、ヘッドの熱を奪うことから、流体の接しやすい液滴吐出ヘッドは端の温度が低くなる。従って、端のノズルは、中央のノズルに比べて、温度が低くなり易くなっている。

温度の低くなり易い端のノズルにおいて、暖機吐出演算部は、予備吐出における吐出回数を中央より多く吐出するように制御することにより、液滴吐出ヘッド内における、ノズル温度の差を少なくすることができる。その結果、吐出量を精度良く制御して描画することができる。

本発明の液滴吐出装置は、予備吐出を行うとき、ワークに液滴を吐出するノズルの内、一部のノズルから液滴を吐出する部分ノズル吐出制御と、ワークに液滴を吐出するノズルの内、総てのノズルから液滴を吐出する全ノズル吐出制御とを行う暖機吐出演算部を備えることを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、暖機吐出演算部を備えている。暖機吐出演算部は、予備吐出において、部分ノズル吐出制御と、全ノズル吐出制御とを行う。部分ノズル制御では、ワークに液滴を吐出するノズルの内、一部のノズルから液滴を吐出する。一方、全ノズル吐出制御では、ワークに液滴を吐出するノズルの内、総てのノズルから液滴を吐出する。

部分ノズル吐出制御では、温度の低いノズルから液滴を吐出して、ノズル間の温度差を少なくすることができる。又、全ノズル吐出制御では、液滴を吐出するノズルの内、総てのノズルから液滴を吐出して、ノズル全体の温度を上昇させる。

部分ノズル吐出制御と、全ノズル吐出制御とを行うことにより、ノズル間の温度差を少なくし、ノズル全体の温度を上昇させることができる。従って、予備吐出するとき、各ノズルの温度をワークに吐出するときのノズル温度と略同じにすることができる。その結果、吐出量を精度良く制御して描画することができる。

本発明の液滴吐出装置では、予備吐出を行うとき、暖機吐出演算部は、ノズルの吐出回数を計数し、予め設定された回数を超えたノズルからは、吐出を停止する制御を行うことを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、予備吐出を行うとき、暖機吐出演算部は、ノズルの吐出回数を計数する。続いて、暖機吐出演算部は、予め設定された回数を超えたノズルからは、吐出を停止する制御を行う。ノズルの吐出回数とノズルの温度との相関関係が予め解っているとき、ノズルの温度を所定の温度にするための吐出回数を予測することが可能となる。従って、ノズルの温度を所定の温度にするために必要な吐出回数以上に吐出して、機能液を無駄にすることがない。その結果、省資源な液滴吐出装置とすることができる。

本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルの温度を計測する温度計測部を備え、予備吐出を行うとき、暖機吐出演算部は、温度計測部にて計測する複数のノズルの温度により、各ノズルから液滴を吐出するか、しないかを判断し、吐出する判断をしたノズルから、液滴を吐出する制御を行うことを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、温度計測部を備えている。予備吐出を行うとき、複数のノズルの温度を計測する。そして、温度計測する複数のノズルの温度により、各ノズルから液滴を吐出するか、しないかを判断する。続いて、吐出すると判断したノズルから液滴を吐出している。

各ノズルの温度を計測して、各ノズルが所定の温度より低いノズルからのみ吐出している。各ノズルが所定の温度に達するとき、吐出を停止する為、必要な吐出回数以上に吐出して、機能液を無駄にすることがない。その結果、省資源な液滴吐出装置とすることができる。

本発明の液滴吐出装置では、予備吐出を行うとき、暖機吐出演算部は、ノズルの温度が最も高いノズルの温度との温度差が、閾値より大きいノズルから液滴を吐出する判断し、吐出する判断をしたノズルから、液滴を吐出する制御を行うことを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、温度計測部を備えている。予備吐出を行うとき、複数のノズルの温度を計測する。そして、暖機吐出演算部は、ノズルの温度が最も高いノズルの温度との温度差が、閾値より大きいノズルから液滴を吐出する判断をする。続いて、吐出工程では、吐出すると判断したノズルから液滴を吐出する。

各ノズルの温度を計測して、各ノズルが他のノズルにおける温度より低いノズルからのみ吐出している。各ノズルの温度差が閾値の温度以内に達するとき、吐出を停止する為、各ノズルの温度差を閾値の温度以内に揃えることができる。

本発明の液滴吐出装置では、予備吐出を行うとき、暖機吐出演算部は、ノズルの温度が予め設定した温度より低いノズルから液滴を吐出する判断をすることを特徴とする。

この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、温度計測部を備えている。予備吐出を行うとき、複数のノズルの温度を計測する。そして、暖機吐出演算部は、ノズルの温度が予め設定した温度より低いノズルから液滴を吐出する判断をする。続いて、吐出工程では、吐出すると判断したノズルから液滴を吐出する。

各ノズルの温度を計測して、各ノズルが予め設定した温度より低いノズルからのみ吐出している。各ノズルの温度が予め設定した温度に達するとき、吐出を停止する為、各ノズルの温度を予め設定した温度に揃えることができる。

以下、本発明を具体化した実施例について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。

（第１の実施形態）
本実施形態では、本発明の特徴的な液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液滴を吐出する場合の例について図１〜図６に従って説明する。

（液滴吐出装置）
最初に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置１について図１〜図６に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。

図１は、液滴吐出装置１の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１により、機能液が吐出され塗布される。図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２が備えられている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。

基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するテーブルとしてのステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。

さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。

基台２において、案内レール３ａと主走査位置検出装置５との間、及び案内レール３ｂと主走査位置検出装置５との間には、通気孔６が形成されている。そして、液滴吐出装置１の上部の空気が、通気孔６を通過して、図中下の方向に流動するようになっている。

そのステージ４の上面には、載置面７が形成され、その載置面７には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面７にワークとしての基板８を載置すると、基板チャック機構によって、その基板８が載置面７の所定位置に位置決め固定されるようになっている。

基台２のＸ方向両側には、一対の支持台９ａ，９ｂが立設され、その一対の支持台９ａ，９ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材１０が架設されている。

案内部材１０の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１１が配設されている。一方、その案内部材１０の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１２がＸ方向全幅にわたり凸設されている。

案内レール１２に沿って移動可能に配置されるテーブルとしてのキャリッジ１３は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１３の直動機構は、例えば案内レール１２に沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ１３が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材１０とキャリッジ１３との間には、副走査位置検出装置１４が配置され、キャリッジ１３の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１３の下面（ステージ４側の面）には、液滴吐出ヘッド１５が凸設されている。

基台２の上側であって、ステージ４の片側の一方（図中右側）には、クリーニングユニット１６が配置されている。クリーニングユニット１６は、保守ステージ１７と、保守ステージ１７の上に配置されている、予備吐出領域としてのフラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、重量計測装置２１等により構成されている。

保守ステージ１７は、案内レール３ａ，３ｂ上に位置し、ステージ４と同様の直動機構を備えている。主走査位置検出装置５を用いて位置を検出し、直動機構で移動することにより、所望の場所に移動し、停止することが可能となっている。

フラッシングユニット１８は、液滴吐出ヘッド１５内の流路を洗浄するとき、液滴吐出ヘッド１５から吐出される液滴を受ける装置である。液滴吐出ヘッド１５内に固形物が混入した場合に、固形物を液滴吐出ヘッド１５から排除するため、液滴吐出ヘッド１５から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能をフラッシングユニット１８が行う。

キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１５に蓋をする装置である。液滴吐出ヘッド１５から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、液滴吐出ヘッド１５に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１５に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。

ワイピングユニット２０は、液滴吐出ヘッド１５のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、液滴吐出ヘッド１５において、基板８と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基板８とが接触して、基板８において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。ワイピングユニット２０は、ノズルプレートを拭くことにより、基板８において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。

重量計測装置２１には、電子天秤が複数設置され、各電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、液滴吐出ヘッド１５から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を計測するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。電子天秤は、液滴吐出ヘッド１５が液滴を吐出する前後で、受け皿の重量を計測する。吐出前後の受け皿の重量の差分を演算して、吐出する液滴の重量を計測する。

保守ステージ１７が、案内レール３ａ，３ｂに沿って移動することにより、液滴吐出ヘッド１５と対向する場所に、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、重量計測装置２１のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。

キャリッジ１３が、案内レール１２に沿って、Ｘ方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１５は、クリーニングユニット１６、又は、基板８と対向する場所に移動し、液滴を吐出するようになっている。

液滴吐出装置１は、四隅に支柱２２を備え、上部（図中上側）に、空気制御装置２３を備えている。空気制御装置２３は、ファン、フィルタ、冷暖房装置、湿度調整装置などを備えている。ファン（送風機）は、工場内の空気を取り込んで、フィルタを通過することにより、空気内の塵、埃を除去し、清浄化された空気を供給する。

冷暖房装置は、液滴吐出装置１の雰囲気温度を所定の温度範囲に保持するように、供給する空気の温度を制御する装置である。湿度調整装置は、液滴吐出装置１の雰囲気湿度を所定の湿度範囲に保持するように、空気を除湿、又は加湿して供給する空気の湿度を制御する装置である。

４本の支柱２２の間には、シート２４が配置され、空気の流れを遮断するようになっている。又、床２５には、孔が形成され、図示しない排気ダクトに接続され、液滴吐出装置１周辺の気圧に比べて、排気ダクト内が負圧になっている。空気制御装置２３から供給される空気は、空気制御装置２３から床２５に向かって（図中上から下の方向）流れ、シート２４に囲まれる空間内の塵や埃は、床２５に向かって流動する。それにより、基板８に塵や埃が付着しにくいようになっている。

図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドの模式平面図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッド１５の構造を説明するための要部模式断面図である。図２（ａ）に示すように、キャリッジ１３には、液滴吐出ヘッド１５が配置され、液滴吐出ヘッド１５の表面には、ノズルプレート３０が配置されている。ノズルプレート３０には、ノズル３１が配置されている。ノズル３１の数は、吐出するパターンと基板８の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、３０個に設定されている。

キャリッジ１３及び液滴吐出ヘッド１５の周囲では、空気が移動して、空気の流れ３２が形成されている。図中、空気の流れ３２の矢印の方向は、流れの方向を示す。空気の流れ３２は、キャリッジ１３の外周から中心方向に向かって流れ、図中Ｚ方向の逆方向に流れる。このとき、液滴吐出ヘッド１５の外周に空気の流れ３２が接して流動する。空気の流れ３２が接する部分は、空気の流れ３２により熱が奪われて、冷却される。

液滴吐出ヘッド１５に配列して形成されているノズル３１のうち、図中左側のノズル３１を、ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃとする。又、図中、中央の、ノズル３１を、ノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆとし、図中右側のノズル３１を、ノズル３１ｇ，３１ｈ，３１ｉとする。このとき、ノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆの付近では、Ｙ方向を向いている面１５ａ、１５ｂに接して、空気の流れ３２が通過する。ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃの付近では、Ｙ方向を向いている面１５ａ、１５ｂに接して、空気の流れ３２が通過するのに、加えて、図中左側の面１５ｃに接して、空気の流れ３２が通過する。従って、ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃの付近では、ノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆの付近に比較して、空気の流れ３２が多く接する為、冷却され易くなっている。同様に、ノズル３１ｇ，３１ｈ，３１ｉの付近では、Ｙ方向を向いている面１５ａ、１５ｂに接して、空気の流れ３２が通過するのに、加えて、図中右側の面１５ｄに接して、空気の流れ３２が通過する。従って、ノズル３１ｇ，３１ｈ，３１ｉの付近では、ノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆの付近に比較して、空気の流れ３２が多く接する為、冷却され易くなっている。

ノズル３１から液滴を吐出するとき、液滴を吐出する為に、液滴吐出ヘッド１５に加えられるエネルギの一部が、熱に変換される。そして、液滴を吐出するノズルの周辺は加熱されて、温度が上昇する。ノズル３１の配列の中央に位置するノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆの付近では、図中左右にノズル３１が配置されている。ノズル３１から液滴を吐出するとき、吐出するノズル３１の付近は、加熱されることから、ノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆの周辺は、温度が上昇し易くなっている。

一方、ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃでは、図中左側にノズル３１が形成されていないことから、中央のノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆに比べて、温度が上昇し難くなっている。同様に、ノズル３１ｇ，３１ｈ，３１ｉでは、図中右側にノズル３１が形成されていないことから、中央のノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆに比べて、温度が上昇し難くなっている。従って、ノズル３１の配列の端にあるノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ及びノズル３１ｇ，３１ｈ，３１ｉは、ノズル３１の配列の中央にあるノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆに比べて、加熱されにくく、冷却され易くなっている。

図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１５は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であってノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ３３が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１５のキャビティ３３には、収容タンク１１に貯留されている機能液３４が供給される。

キャビティ３３の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ３３内の容積を拡大縮小する振動板３５と、上下方向に伸縮して振動板３５を振動させる圧電素子３６が配設されている。圧電素子３６が上下方向に伸縮することにより、振動板３５が加圧されて振動し、振動板３５がキャビティ３３内の容積を拡大縮小してキャビティ３３を加圧する。それにより、キャビティ３３内の圧力が変動し、キャビティ３３内に供給された機能液３４は、ノズル３１を通って吐出されるようになっている。

詳しくは、液滴吐出ヘッド１５が圧電素子３６を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子３６が伸張して、振動板３５がキャビティ３３内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１５のノズル３１からは、縮小した容積分の機能液３４が液滴３７として吐出される。

図３は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４０と、各種情報を記憶するメモリ４１とを有する。

主走査駆動装置４２、副走査駆動装置４３、主走査位置検出装置５、副走査位置検出装置１４、液滴吐出ヘッド１５を駆動するヘッド駆動回路４４は、入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）４５及びデータバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。さらに、入力装置４７、ディスプレイ装置４８、図１に示す重量計測装置２１を構成する電子天秤４９、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０も入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）４５及びデータバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。同じく、クリーニングユニット１６において、１つのユニットを選択するクリーニング選択装置５０も入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）４５及びデータバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。

主走査駆動装置４２は、ステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置４３は、キャリッジ１３の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５が、ステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置４２が、ステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１４が、キャリッジ１３の位置を認識し、副走査駆動装置４３が、キャリッジ１３の移動を制御することにより、キャリッジ１３を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。

入力装置４７は、液滴を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板８に液滴を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ装置４８は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレイ装置４８に表示される情報を基に、入力装置４７を用いて操作を行う。

電子天秤４９は、液滴吐出ヘッド１５が吐出する液滴を、受ける受け皿の重量を計測する装置である。液滴が吐出される前後の受け皿の重量を計測して、計測値をＣＰＵ４０に送信する。図１に示す重量計測装置２１は、受け皿と電子天秤４９などから構成される。

クリーニング選択装置５０は、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、重量計測装置２１から１つの装置を選択して、液滴吐出ヘッド１５と対向する場所に位置するように、保守ステージ１７を移動する装置である。

メモリ４１は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５１を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板８内における吐出位置の座標データである吐出位置データ５２を記憶するための記憶領域も設定される。他にも、液滴吐出ヘッド１５の暖機駆動において、吐出するノズル３１の場所と吐出数データなどの暖機駆動データ５３が設定される。さらに、基板８を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１３を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４０のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。

ＣＰＵ４０は、メモリ４１内に記憶されたプログラムソフト５１に従って、基板８における表面の所定位置に機能液を液滴吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、電子天秤４９を用いた重量計測を実現するための演算を行う重量測定演算部５４を有する。さらに、液滴吐出ヘッド１５を洗浄するタイミングを演算する洗浄演算部５５や、液滴吐出ヘッド１５を暖機駆動するときに、暖機駆動して吐出するノズル３１の選択や、吐出数の計数を行う暖機吐出演算部５６を有する。他に、液滴吐出ヘッド１５によって液滴を吐出するための演算を行う吐出演算部５７などを有する。

吐出演算部５７を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド１５を液滴吐出のための初期位置へセットするための吐出開始位置演算部５８を有する。さらに、吐出演算部５７は、基板８を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部５９を有する。加えて、吐出演算部５７は、液滴吐出ヘッド１５を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部６０を有する。さらに、吐出演算部５７は液滴吐出ヘッド１５内に複数あるノズルのうち、どのノズルを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部６１等といった各種の機能演算部を有する。

（描画方法）
次に、上述した液滴吐出装置１を使って、基板８に描画する描画方法について図４〜図６にて説明する。図４は、基板に描画する製造工程を示すフローチャートであり、図５は、液滴吐出装置を使った描画方法を説明する図である。図６は、ノズルの温度変化を説明する図である。

図４のフローチャートを用いて、基板への描画方法に相当する製造工程のステップを説明する。図４において、ステップＳ１からステップＳ１０まで、同一の液滴吐出装置１によって製造するステップである。ステップＳ１は、部分ノズル吐出工程に相当し、複数配列されているノズルの内、一部のノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出し、液滴吐出ヘッドを暖機駆動する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は、全ノズル吐出工程に相当し、総てのノズルから液滴をフラッシングユニットに吐出し、液滴吐出ヘッドを暖機駆動する工程である。ステップＳ１及びステップＳ２を合わせて、ステップＳ１０の予備吐出工程とする。次にステップＳ３に移行する。

ステップＳ３は、描画工程に相当し、ノズルから基板に液滴を吐出して、機能液を塗布する工程である。この工程では、１つの工程で所定の領域を塗布する。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は、予定した領域総てに機能液を塗布したかを判断する工程に相当し、ＣＰＵが、機能液を塗布する予定の領域と、既に塗布した領域とを比較し、塗布する予定で、まだ塗布していない領域があるかを判断する工程である。塗布していない領域があるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ１に移行する。ステップＳ４において、塗布していない領域がないとき（ＹＥＳのとき）、基板に描画する製造工程を終了する。

次に、図５及び図６を用いて、図４に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。
図５（ａ）は、ステップＳ１に対応する図である。図５（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１５と対向する場所に、フラッシングユニット１８が位置するように、保守ステージ１７をＹ方向に移動する。続いて、液滴吐出ヘッド１５とフラッシングユニット１８とが対向するように、キャリッジ１３をＸ方向に移動する。

液滴吐出ヘッド１５とフラッシングユニット１８とが対向する場所に位置した後、液滴吐出ヘッド１５のノズル３１から液滴３７をフラッシングユニット１８に吐出する。このステップでは、ノズル３１の内、ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉから液滴３７を吐出する。

ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉは、液滴吐出ヘッド１５の両端にあることから、空気の流れ３２が接して通過する為、温度が低下し易くなっている。温度が低くなる場所において、ノズル３１から液滴３７を吐出することにより、液滴吐出ヘッド１５の両端の温度を上昇するようになっている。

図３に示す暖機吐出演算部５６は、暖機駆動データ５３を参照して、吐出するノズル３１を判断する。その結果、ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉから液滴３７が吐出される。又、暖機吐出演算部５６は、ノズル３１から吐出される吐出回数を計数する。そして、暖機駆動データ５３に格納されている、予め設定された回数と比較し、その回数を超えるとき、吐出を停止する。

暖機駆動データ５３には、ノズル３１の配列のなかで、温度が低くなる場所のデータが格納されている。本実施形態では、ノズル３１の配列の内、端に位置するノズル３１の温度が低くなることから、端に位置するノズル３１が、暖機駆動データ５３に格納されている。温度が低くなる場所に相当するノズル３１のデータは、例えば、ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉのデータとなっている。

図５（ｂ）は、ステップＳ２に対応する図である。図５（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１５のノズル３１から液滴３７をフラッシングユニット１８に吐出する。このステップでは、ノズル３１の総てのノズル３１から液滴３７を吐出する。総てのノズル３１から吐出することにより、ノズル３１の配列全体の温度が上昇するようになっている。

ステップＳ１と同様に、暖機吐出演算部５６は、ノズル３１から吐出される吐出回数を計数する。そして、暖機駆動データ５３に格納されている、予め設定された回数と比較し、その回数を超えるとき、吐出を停止する。

図５（ｃ）は、ステップＳ３に対応する図である。図５（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１５と対向する場所に、ステージ４が位置するように、ステージ４をＹ方向に移動する。ステージ４には、基板８が搭載され、固定されている。続いて、液滴吐出ヘッド１５と、基板８に機能液３４を塗布する場所とが対向するように、キャリッジ１３をＸ方向に移動する。

液滴吐出ヘッド１５は、機能液３４を塗布する場所と対向する場所に、ノズル３１が位置するとき、液滴３７を吐出する。液滴吐出装置１は、液滴３７の吐出とステージ４及びキャリッジ１３の移動とを繰り返して実施し、所望のパターンを描画する。

ステップＳ４において、基板８に機能液３４を塗布する予定の場所総てに、機能液３４を塗布したことを判断し、描画工程を終了する。

図６は、ノズルの温度変化を説明するための模式図である。図６において、図の横軸は時間６４の経過を示し、縦軸はノズル温度６５の変化を示す。実線は、液滴吐出ヘッド１５のノズルプレート３０に配列して形成されているノズル３１の中で、端に配置されているノズル３１ａの温度変化である端部ノズル温度変化線６６を示す。そして、一点鎖線は、液滴吐出ヘッド１５のノズルプレート３０に配列して形成されているノズル３１の中で、中央に配置されているノズル３１ｅの温度変化である中央部ノズル温度変化線６７を示す。

横軸の時間６４の経過において、図中左から右に、待機工程６８、部分ノズル吐出工程６９、全ノズル吐出工程７０、描画工程７１、待機工程７２の工程順に製造が行われる。待機工程６８では、液滴吐出ヘッド１５から液滴３７を吐出せずに待機している為、端部ノズル温度変化線６６と中央部ノズル温度変化線６７は、変動が少なく推移している。図２に示すように、中央に位置するノズル３１ｅは、端に位置するノズル３１ａに比べて、空気の流れ３２が接し難くなっていることから、ノズル３１ｅにおける温度は、ノズル３１ａにおける温度より高くなっている。従って、中央部ノズル温度変化線６７の待機温度６７ａは、端部ノズル温度変化線６６の待機温度６６ａより高くなっている。

部分ノズル吐出工程６９において、端に位置するノズル３１ａから液滴３７を吐出する部分ノズル吐出制御を行う。吐出のために供給されるエネルギの一部が熱に変換されることから、ノズル３１ａの温度が上昇する。従って、端部ノズル温度変化線６６は上昇する。このとき、中央部ノズル温度変化線６７は、待機温度６７ａのまま維持される。

続いて、全ノズル吐出工程７０において、総てのノズル３１から液滴３７を吐出する全ノズル吐出制御を行う。吐出のために供給されるエネルギの一部が熱に変換されることから、総てのノズル３１の温度が上昇する。従って、端部ノズル温度変化線６６及び中央部ノズル温度変化線６７は上昇する。ノズル３１において、発熱する熱量と、空気の流れ３２により奪われる熱量とが、略同じくなる連続吐出ノズル温度６６ｂ，６７ｂで、温度が平衡状態となる。

そして、描画工程７１に移行する。このとき、既に、ノズル温度は、上昇していることから、温度の変動が少ない状態で描画することができる。

描画工程７１が終了して、待機工程７２に移行すると、液滴３７の吐出に伴う加熱が停止する。従って、端部ノズル温度変化線６６は、待機温度６６ａまで低下し、中央部ノズル温度変化線６７は、待機温度６７ａまで低下する。

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、複数のノズル３１を有する液滴吐出ヘッド１５を用いて、機能液３４を液滴３７にして基板８に吐出し、描画している。予備吐出工程と描画工程とがこの順にて実施される。予備吐出工程では、ノズルから液滴３７を予備吐出領域に吐出する。描画工程では、ノズル３１から液滴３７をワークに吐出する。

機能液３４は、温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド１５内で、機能液３４に圧力が加わり、ノズル３１等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズル３１から吐出される機能液３４の吐出量が変化する。従って、ノズル３１間の温度差が少ない状態にて吐出する方が、温度差が大きい場合に比べて、ノズル３１間の吐出量の差を少なく、吐出することができる。

液滴３７を吐出しない場合には、液滴吐出ヘッド１５は、放熱して温度が下がる。一方、液滴３７を吐出する場合には、液滴３７を吐出するときのエネルギの一部が熱に変換されて、液滴吐出ヘッド１５が発熱する。そして、発熱する液滴吐出ヘッド１５の温度は上昇する。とくに、液滴３７を吐出するノズル３１の場所の温度が上昇する。

予備吐出工程では、液滴吐出ヘッド１５における複数のノズル３１の中には、温度の高いノズル３１と温度の低いノズル３１とが存在する。このとき、温度の高いノズル３１から液滴３７を吐出する吐出回数に比べて、温度の低いノズル３１から液滴３７を吐出する吐出回数が多くなるように吐出している。

吐出回数が多い方のノズル３１が、少ない方ノズル３１に比べて、温度上昇が大きくなる。温度の低い方のノズル３１における吐出回数を、温度の高い方のノズル３１における吐出回数より多くすることにより、温度の低い方のノズル３１は、温度上昇が、温度の高い方のノズル３１より大きくなる。従って、温度の低い方のノズル３１と温度の高い方のノズル３１の温度差が少なくなる。つまり、ノズル３１間の温度差を少なくすることができる。

予備吐出工程から、描画工程に移行するとき、各ノズル３１間の温度差を少なくすることができる為、描画工程において、最初に吐出する吐出量は、ノズル３１毎の差を少なくできる。その結果、吐出量を精度良く制御して描画することができる。

（２）本実施形態によれば、液滴吐出ヘッド１５のノズル３１は、配列して配置されている。中央のノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆは、液滴吐出ヘッド１５の中央にノズルが配置され、端のノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉは、液滴吐出ヘッド１５の端に近い場所に配置される。

液滴吐出ヘッド１５に、空気の流れ３２が通過するとき、中央のノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆは、液滴吐出ヘッド１５の中央にあることから、空気の流れ３２が接し難くなっている。一方、端のノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉでは、片側にノズル３１が無く、液滴吐出ヘッド１５の端に近い場所に配置され、空気の流れ３２が接しやすくなっている。空気の流れ３２は、液滴吐出ヘッド１５の熱を奪うことから、空気の流れ３２の接しやすい液滴吐出ヘッド１５の端に近い場所の温度が低くなる。従って、端のノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉは、中央のノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆに比べて、温度が低くなり易くなっている。

温度の低くなり易い端のノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉにおいて、暖機吐出演算部５６は、予備吐出における吐出回数を中央より多く吐出するように制御することにより、液滴吐出ヘッド１５内における、ノズル温度の差を少なくすることができる。その結果、描画工程に移行する後において、吐出量を精度良く制御して描画することができる。

（３）本実施形態によれば、予備吐出工程は、部分ノズル吐出工程と全ノズル吐出工程とを有している。暖機吐出演算部は、部分ノズル吐出工程において、部分ノズル吐出制御を行い、全ノズル吐出工程では、全ノズル吐出制御を行っている。

部分ノズル吐出工程では、暖機吐出演算部５６が、液滴吐出ヘッド１５を部分ノズル吐出制御して、描画工程にて吐出するノズルの３１の内、一部のノズル３１から液滴３７を吐出する。一方、全ノズル吐出工程では、暖機吐出演算部５６が、液滴吐出ヘッド１５を全ノズル吐出制御して、描画工程にて吐出するノズル３１の内、総てのノズル３１から液滴３７を吐出する。

部分ノズル吐出工程では、温度の低いノズル３１から液滴３７を吐出して、ノズル間の温度差を少なくすることができる。又、全ノズル吐出工程では、描画工程にて吐出するノズル３１の内、総てのノズル３１から液滴を吐出して、ノズル３１全体の温度を上昇させる。

部分ノズル吐出工程と、全ノズル吐出工程とを行うことにより、ノズル３１間の温度差を少なくし、ノズル３１全体の温度を上昇させることができる。従って、ステップＳ１０の予備吐出工程にて、各ノズルの温度をステップＳ３の描画工程におけるノズル温度と略同じにすることができる。その結果、ステップＳ３の描画工程において、吐出量を精度良く制御して描画することができる。

（４）本実施形態によれば、ステップＳ１０の予備吐出工程において、暖機吐出演算部５６は、ノズル３１の吐出回数を計数する。続いて、予め設定された回数を超えたノズル３１からは、吐出を停止している。ノズルの吐出回数とノズルの温度との相関関係が予め解っているとき、ノズル３１の温度を所定の温度にするための吐出回数を予測することが可能となる。従って、ノズル３１の温度を所定の温度にするために必要な吐出回数以上に吐出して、機能液３４を無駄にすることがない。その結果、省資源な描画方法とすることができる。

（５）本実施形態によれば、暖機吐出演算部５６は、複数のノズル３１を有する液滴吐出ヘッド１５を制御して、機能液３４を液滴３７にして基板８に吐出している。ノズル３１から液滴３７を基板８に吐出する前に予備吐出を行い、予備吐出では、ノズル３１から液滴３７を予備吐出領域に吐出する。

予備吐出を行うとき、液滴吐出ヘッド１５における複数のノズル３１の中には、温度の高いノズル３１と温度の低いノズル３１とが存在する。このとき、暖機吐出演算部５６は、温度の高いノズル３１から液滴３７を吐出する吐出回数に比べて、温度の低いノズル３１から液滴３７を吐出する吐出回数が多くなるように吐出回数を制御する。

吐出回数が多い方のノズル３１が、少ない方ノズル３１に比べて、温度上昇が大きくなる。温度の低い方のノズル３１における吐出回数を、温度の高い方のノズル３１における吐出回数より多くすることにより、温度の低い方のノズル３１は、温度上昇が、温度の高い方のノズル３１より大きくなる。従って、温度の低い方のノズル３１と温度の高い方のノズル３１の温度差が少なくなる。つまり、ノズル３１間の温度差を少なくすることができる。

予備吐出の次に、基板８に液滴３７を吐出するとき、各ノズル３１間の温度差を少なくすることができる為、基板８に最初に吐出する吐出量は、ノズル３１毎の差を少なくできる。その結果、吐出量を精度良く制御して描画することができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明を具体化した描画方法の一実施形態について図７〜図９を用いて説明する。
この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッドに温度センサが内蔵されている点にある。

図７は、液滴吐出ヘッドの要部模式断面図である。すなわち、本実施形態では、図７に示すように、液滴吐出ヘッド７５が構成されている。液滴吐出ヘッド７５は、ノズルプレート３０を備えている。ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であってノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ３３が形成されている。そして、ノズルプレート３０及びキャビティ３３内の機能液３４と接するように温度センサ７６が形成されている。

温度センサ７６は、ノズルプレート３０及びキャビティ３３内の機能液３４と接していることから、ノズルプレート３０及びキャビティ３３内の機能液３４の温度を検出可能となっている。このノズルプレート３０及び機能液３４は、ノズル３１付近に位置することから、温度センサ７６が検出する温度は、ノズル３１付近の温度（以下、ノズル温度と称す）とすることができる。

液滴吐出ヘッド７５は、複数のノズル３１を備え、１個のノズル３１と対応して、１個の温度センサ７６が、配置されている。そして、各ノズル３１付近の温度を検出可能となっており、配列されている総てのノズル３１における、ノズル温度の分布が検出される。

図８は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。液滴吐出装置７７は、液滴吐出ヘッド７５を１個配置し、液滴吐出ヘッド７５は、ノズル３１を３０個備えている。そして、温度センサ７６は、各ノズル３１に、１個配置されている。つまり、ノズル３１が３０個配置されていることから、温度センサ７６も３０個配置されている。

温度センサ７６は、ノズル温度検出装置７８と接続されている。又、ノズル温度検出装置７８は、入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）４５及びデータバス４６を介してＣＰＵ４０と接続されている。温度センサ７６及び、ノズル温度検出装置７８などから、温度計測部が構成されている。

温度センサ７６は、ノズル３１付近の温度に対応する電圧信号をノズル温度検出装置７８に出力する。ノズル温度検出装置７８は、電圧信号を入力して、温度に対応するデジタル信号に変換し、ＣＰＵ４０に出力する。温度センサ７６が各ノズル３１付近に配置され、ＣＰＵ４０は、各ノズル３１のノズル温度を認識可能となっている。

図９は、液滴吐出ヘッドから予備吐出して描画する製造工程を示すフローチャートである。
図９において、ステップＳ２１は、温度計測工程に相当し、ノズル温度検出装置を用いて、各ノズルのノズル温度を検出する工程である。次にステップＳ２２に移行する。
ステップＳ２２は、吐出判断工程に相当し、ノズル温度が設定値より低いノズルがあるかを、暖機吐出演算部５６が判断する工程である。そして、ノズル温度が、設定値より低いノズルがあるとき、（ＹＥＳのとき）、ステップＳ２３に移行する。ステップＳ２２において、ノズル温度が、設定値より低いノズルがないとき、（ＮＯのとき）、ステップＳ２４に移行する。

ステップＳ２３は、吐出工程に相当し、フラッシングユニットに吐出する工程である。次にステップＳ２１に移行する。ステップＳ２１〜ステップＳ２３をまとめてステップＳ３０とする。ステップＳ３０は、予備吐出工程に相当し、総てのノズル温度が設定値より高くなるまで、予備吐出を行う工程である。次にステップＳ２４に移行する。

ステップＳ２４は、描画工程に相当し、ノズルから基板に液滴を吐出して、機能液を塗布する工程である。この工程では、１つの工程で所定の領域を塗布する。次にステップＳ２５に移行する。ステップＳ２５は、予定した領域総てに機能液を塗布したかを判断する工程に相当し、ＣＰＵが、機能液を塗布する予定の領域と、既に塗布した領域とを比較して、塗布する予定で、まだ塗布していない領域があるかを判断する工程である。塗布していない領域があるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ２１に移行する。ステップＳ２５において、塗布していない領域がないとき（ＹＥＳのとき）、基板に描画する製造工程を終了する。

次に、図８を用いて、図９に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。
ステップＳ２１では、温度センサ７６が各液滴吐出ヘッド７５のノズル温度を検出し、電圧信号に変換して、ノズル温度検出装置７８に出力する。ノズル温度検出装置７８は、ノズル温度を示す電圧信号をデジタル信号に変換して、ＣＰＵ４０に出力する。ＣＰＵ４０は、ノズル温度を示すデジタル信号を受信して、各ノズル３１のノズル温度を認識する。

ステップＳ２２では、暖機吐出演算部５６が暖機駆動データ５３から、ノズル温度の設定値を読み取る。ノズル温度の設定値は、予め吐出実験により、定められた値であり、所定の時間の間、連続吐出するときのノズル温度が設定され、暖機駆動データ５３に格納されている。暖機吐出演算部５６は、ノズル温度の設定値と各ノズル３１のノズル温度とを比較し、ノズル温度がノズル温度の設定値より低いノズル３１を抽出する。

ステップＳ２３では、ＣＰＵ４０が、ヘッド駆動回路４４へ吐出の指示信号を出力する。このとき、ＣＰＵ４０は、ステップＳ２２で抽出したノズル３１から吐出する指示信号を出力する。ヘッド駆動回路４４は、指示信号を入力し、液滴吐出ヘッド７５を駆動する。そして、液滴吐出ヘッド７５は、ステップＳ２２で抽出されたノズル３１から、所定の回数分の液滴３７を吐出する。つまり、液滴吐出ヘッド１５は、ノズル温度がノズル温度の設定値より低いノズル３１から、所定の回数分の液滴３７を吐出する。

ステップＳ３０では、ステップＳ２１〜ステップＳ２３を繰り返すことにより、各ノズル３１の温度が上昇する。そして、総てのノズル３１のノズル温度が、設定値より高くなる。そのとき、ステップＳ２２からステップＳ２４へ移行する。

ステップＳ２４では、液滴吐出ヘッド７５のノズル３１から基板８へ液滴３７を吐出する。このとき、基板８へ液滴３７を吐出する前に、総てのノズル３１のノズル温度が、設定値より高くなっている。従って、基板８へ液滴３７を吐出するとき、吐出によるノズル温度の変動が少なくなる。

ステップＳ２５において、液滴３７を吐出する予定の場所に、総て吐出したことを確認し、描画の製造工程を終了する。

上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態の効果（１）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ３０の予備吐出工程を有し、ステップＳ３０の予備吐出工程は、ステップＳ２１の温度計測工程と、ステップＳ２２の吐出判断工程と、ステップＳ２３の吐出工程とを備えている。ステップＳ２１にて、複数のノズル３１の温度を計測する。ステップＳ２２では、計測する複数のノズル温度により、各ノズル３１から液滴３７を吐出するか、しないかを判断する。続いて、ステップＳ２３では、吐出すると判断したノズル３１から液滴３７を吐出する。

各ノズル３１の温度を計測して、各ノズル３１が予め設定されている温度より低いノズル３１からのみ吐出している。各ノズル３１が所定の温度に達するとき、吐出を停止する為、必要な吐出回数以上に吐出して、機能液３４を無駄にすることがない。その結果、省資源な描画方法とすることができる。

（２）本実施形態によれば、各ノズル３１の温度を計測して、各ノズル３１が予め設定した温度より低いノズル３１からのみ吐出している。各ノズル３１の温度が予め設定した温度に達するとき、吐出を停止する為、各ノズル３１の温度を予め設定した温度に揃えることができる。

（３）本実施形態によれば、各ノズル３１の温度を計測して、各ノズル３１が予め設定した温度より低いノズル３１からのみ吐出している。各ノズル３１の温度が予め設定した温度に達するとき、吐出を停止する。予め設定した温度は、所定の時間の間、連続吐出するときのノズル温度が設定されている。そして、ステップＳ２４の描画工程で吐出する前において、既に、ノズル温度が上昇している為、ステップＳ２４で連続吐出しても、ノズル温度の変動を少なくすることができる。その結果、吐出量を精度良く制御して描画することができる。

（第３の実施形態）
次に、本発明を具体化した描画方法の一実施形態について図８及び図１０を用いて説明する。
この実施形態が第２の実施形態と異なるところは、複数のノズル間における温度差を演算する工程が追加されている点にある。

図１０は、液滴吐出ヘッドから予備吐出して描画する製造工程を示すフローチャートである。図１０に示すように、第２の実施形態にステップＳ４１及びステップＳ４２が追加されている。他のステップは第２の実施形態と同様であり、説明を省略する。

ステップＳ２２の吐出判断工程でＮＯのとき、ステップＳ４１に移行する。ステップＳ４１は、温度差演算工程に相当し、各ノズルのノズル温度の温度差を演算する工程である。次にステップＳ４２に移行する。ステップＳ４２は、吐出判断工程に相当し、ノズル温度の温度差が閾値より低いノズルがあるかを暖機吐出演算部５６が判断する工程である。そして、ノズル温度の温度差が、閾値より低いノズルがあるとき、（ＹＥＳのとき）、ステップＳ２３に移行する。ステップＳ４２において、ノズル温度の温度差が、閾値より低いノズルがないとき、（ＮＯのとき）、ステップＳ２４に移行する。ステップＳ２１〜ステップＳ４２をまとめてステップＳ５０の予備吐出工程とする。

次に、図８を用いて、図１０に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。尚、ステップＳ２１〜ステップＳ２３は、第２の実施形態と同じであり、説明を省略する。
ステップＳ４１では、各ノズル３１におけるノズル温度の温度差を演算する。ノズル温度は、ステップＳ２１にて検出した温度の値を用いる。

ステップＳ４２において、暖機吐出演算部５６は、暖機駆動データ５３に格納されている温度差の閾値を参照する。温度差の閾値は、予め事前実験により、最適な値が求められ、設定されている。詳細には、ノズル３１から吐出する液滴３７の量である吐出量と、ノズル温度との相間を求める。続いて、吐出量の変動の許容範囲からノズル温度の許容範囲を求める。ノズル温度の許容範囲より狭い範囲を設定し、温度差の閾値とする。ノズル温度の許容範囲より温度差の閾値を狭く設定するのは、外乱の要因を配慮し、余裕を持たせている為である。

次に、暖機吐出演算部５６は、総てのノズル３１におけるノズル温度の中で最も高い温度である最高温度値を検索する。そして、最高温度値から各ノズル３１におけるノズル温度を引いた値である温度差値を演算する。続いて、温度差値と温度差の閾値とを比較演算して、温度差値が、温度差の閾値より大きい温度差となるノズル３１を選別する演算を行う。つまり、ノズル温度が最も高い温度に比べて、閾値の温度より低いノズル温度のノズル３１を選別する。

ステップＳ２３では、ステップＳ４２において、温度差が閾値より低いと判断されたノズル３１から、所定の回数分の液滴を吐出する。又、ステップＳ４２において、ノズル温度が最も高い温度に比べて、閾値の温度より低いノズル温度のノズル３１がないとき、ステップＳ２４に移行する。このとき、各ノズル３１のノズル温度差は、閾値内に入った状態となっている。

上述したように、本実施形態によれば、第２の実施形態の効果（１）〜（３）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ５０の予備吐出工程を有し、ステップＳ５０の予備吐出工程は、ステップＳ２１の温度計計測工程と、ステップＳ４１の温度差演算工程と、ステップＳ４２の吐出判断工程と、ステップＳ２３の吐出工程とを備えている。

ステップＳ２１にて、複数のノズル３１の温度を計測する。ステップＳ４１にて、暖機吐出演算部５６が、ノズル温度の温度差を演算する。ステップＳ４２では、暖機吐出演算部５６が、最も高いノズルの温度と各ノズル３１のノズル温度との温度差が、閾値より大きいノズル３１を選別する。続いて、ステップＳ２３では、選別したノズルから液滴を吐出している。

各ノズル３１の温度を計測して、各ノズル３１が他のノズル３１における温度より低いノズル３１からのみ吐出している。各ノズル３１の温度差が閾値の温度以内に達するとき、吐出を停止する為、各ノズルの温度差を閾値の温度以内に揃えることができる。その結果、ステップＳ２４の描画工程に移行する後において、吐出量を精度良く制御して描画することができる。

尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態において、図２（ａ）に示すように、キャリッジ１３に１つの液滴吐出ヘッド１５を配置したが、複数の液滴吐出ヘッド１５を配置しても良い。例えば、図１１に示すように、３個の液滴吐出ヘッド８０，８１，８２を配置しても良い。この場合においても、キャリッジ１３の周囲から空気の流れ３２が液滴吐出ヘッド８０，８１，８２に流れるとき、空気の流れ３２に接しやすいノズル３１と接し難いノズル３１とが存在する。例えば、ノズル３１のうち、図中左のノズル３１ｊと図中右のノズル３１ｋとは、Ｘ方向に流れる空気の流れ３２と接し易くなる為、温度が低くなり易い。

この場合にも、第１の実施形態と同様、他のノズル３１より多くノズル３１ｊ，３１ｋから予備吐出することにより、ノズル温度を上昇させることができる。又、ノズル３１を数多く設置したいとき、１つの液滴吐出ヘッド１５に、ノズル３１を多く設置する場合に比べて、液滴吐出ヘッド８０，８１，８２に分ける方が、液滴吐出ヘッド８０，８１，８２を製造し易くなる。これは、ノズル３１を数多く配置するとき、圧電素子３６やキャビティ３３を形成する歩留まりが下がることに起因する。従って、液滴吐出ヘッド８０，８１，８２を複数配置することにより製造し易い液滴吐出装置１とすることができる。

（変形例２）
第１の実施形態において、フラッシングユニット１８は、クリーニングユニット１６内に配置されたが、ステージ４に配置されてもよい。フラッシングユニット１８と基板８との距離を短くすることができることから、予備吐出の後、液滴吐出ヘッド１５が冷却されない間に、基板８に吐出して描画することができる。その結果、予備吐出工程から移行し、描画工程において、吐出量を精度良く制御して描画することができる。

（変形例３）
第１の実施形態において、予備吐出をフラッシングユニット１８に配置して予備吐出を実施したが、基板８に予備吐出領域も設けて予備吐出を行っても良い。予備吐出の後、液滴吐出ヘッド１５が冷却されない間に、基板８に吐出して描画することができる。その結果、予備吐出工程から移行し、描画工程において、吐出量を精度良く制御して描画することができる。

（変形例４）
第１の実施形態において、ステップＳ１０の予備吐出工程では、ステップＳ１の部分ノズル吐出工程の後、ステップＳ２の全ノズル吐出工程を行ったが、逆の順でも良い。ステップＳ２により、総てのノズル３１におけるノズル温度を上げた後、ステップＳ１で、温度の低いノズル３１から液滴３７を吐出して、一部のノズル３１の温度を上げても良い。同様な効果が得られる。

さらに、ステップＳ１、ステップＳ２、の後、再度ステップＳ１を行っても良い。ノズル３１間のノズル温度差をさらに少なくすることができる。

（変形例５）
第１の実施形態〜第３の実施形態において、総てのノズル３１を用いて、予備吐出をし、描画しているが、一部のノズル３１を使用せずに、予備吐出及び、描画をしても良い。使用しないノズル３１から予備吐出をしないことから、機能液３４を無駄に吐出することがない。その結果、省資源な描画方法とすることができる。

（変形例６）
第２の実施形態において、総てのノズル３１において、１個のノズル３１と対応して１個の温度センサ７６を配置したが、複数のノズル３１に対して１つの温度センサ７６を配置しても良い。つまり、例えば、２つのノズル３１に対して１つの温度センサ７６を配置しても良い。温度センサ７６の数が少なくとも、温度分布を認識可能となる場合には、ノズル３１の数に対して、温度センサ７６の数を減らしても良い。部品の数が減ることから、生産性良く液滴吐出装置７７を製造することができる。

（変形例７）
前記第１の実施形態〜第３の実施形態では、コンピュータのメモリ４１内に動作手順に沿ったプログラムを記憶し、プログラムにより液滴吐出装置１、７７の制御を行ったが、これに限らず、電気回路にて構成される制御装置にて制御しても良い。周辺機器が手順通りに制御されれば良い。

第１の実施形態に係る液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図。 液滴吐出ヘッドの模式図。 液滴吐出装置の電気制御ブロック図。 基板に描画する製造工程を示すフローチャート。 液滴吐出装置を使った描画方法を説明する図。 ノズルの温度変化を説明する図。 第２の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの要部模式断面図。 液滴吐出装置の電気制御ブロック図。 予備吐出して描画する製造工程を示すフローチャート。 第３の実施形態に係る予備吐出して描画する製造工程を示すフローチャート。 変形例１に係る液滴吐出ヘッドの模式図。

符号の説明

４…テーブルとしてのステージ、８…ワークとしての基板、１５，７５，８０，８１，８２…液滴吐出ヘッド、１８…予備吐出領域としてのフラッシングユニット、３１…ノズル、３４…機能液、３７…液滴、５６…暖機吐出演算部、７８…温度計測部としてのヘッド温度検出装置。

Claims (15)

1. 複数のノズルから機能液を吐出する吐出方法であって、
   前記機能液を予備吐出領域に吐出する予備吐出工程を有し、
   前記予備吐出工程では、前記ノズルの温度が高い前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出回数に比べて、前記ノズルの温度が低い前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出回数が多くなるように吐出することを特徴とする吐出方法。
2. 複数のノズルから機能液を吐出する吐出方法であって、
   前記機能液を予備吐出領域に吐出する予備吐出工程を有し、
   前記予備吐出工程では、前記複数のノズルの温度分布状態に応じて、前記各ノズルからの前記機能液の吐出回数を変えることを特徴とする吐出方法。
3. 配列された複数のノズルから機能液を吐出する吐出方法であって、
   前記機能液を予備吐出領域に吐出する予備吐出工程を有し、
   前記予備吐出工程では、前記配列された複数のノズルの中央部と端部の温度差によって、前記各ノズルからの前記機能液の吐出回数を変えることを特徴とする吐出方法。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の吐出方法であって、
   前記予備吐出工程は、部分ノズル吐出工程と全ノズル吐出工程とを有し、
   前記部分ノズル吐出工程では、前記ノズルの内、一部の前記ノズルから前記液滴を吐出し、
   全ノズル吐出工程では、前記ノズルの内、総ての前記ノズルから前記液滴を吐出することを特徴とする吐出方法。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の吐出方法であって、
   前記予備吐出工程において、前記ノズルの吐出回数を計数し、
   予め設定された回数を超えた前記ノズルからは、吐出を停止することを特徴とする吐出方法。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の吐出方法であって、
   前記予備吐出工程において、
   複数の前記ノズルの温度を計測する温度計測工程と、
   前記温度計測工程にて計測する複数の前記ノズルの温度により、各前記ノズルから前記液滴を吐出するか、しないかを判断する吐出判断工程と、
   前記吐出判断工程で吐出すると判断した前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出工程とを備えることを特徴とする吐出方法。
7. 請求項６に記載の吐出方法であって、
   前記吐出判断工程において、前記ノズルの温度が最も高い前記ノズルの温度との温度差が、閾値より大きい前記ノズルから前記液滴を吐出する判断をすることを特徴とする吐出方法。
8. 請求項６に記載の吐出方法であって、
   前記吐出判断工程において、
   前記ノズルの温度が、予め設定した温度より低い前記ノズルから、前記液滴を吐出する判断をすることを特徴とする吐出方法。
9. 液滴吐出ヘッドの複数のノズルから機能液を吐出する液滴吐出装置であって、
   前記ノズルから前記機能液を予備吐出する予備吐出領域と、
   前記液滴吐出ヘッドと前記予備吐出領域とを相対移動させるテーブルとを備え、
   前記予備吐出を行うとき、前記ノズルの温度が高い前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出回数に比べて、前記ノズルの温度が低い前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出回数が多くなるように、吐出制御する暖機吐出演算部を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
10. 請求項９に記載の液滴吐出装置であって、
    前記ノズルは配列して配置され、
    温度が高い前記ノズルは、配列の中央又は、中央に近い場所に位置する前記ノズルであり、
    温度が低い前記ノズルは、配列の端又は、端に近い場所に位置する前記ノズルであることを特徴とする液滴吐出装置。
11. 請求項９に記載の液滴吐出装置であって、
    前記予備吐出を行うとき、ワークに液滴を吐出する前記ノズルの内、一部の前記ノズルから前記液滴を吐出する部分ノズル吐出制御と、
    ワークに液滴を吐出する前記ノズルの内、総ての前記ノズルから前記液滴を吐出する全ノズル吐出制御とを行う暖機吐出演算部を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
12. 請求項９〜１１のいずれか一項に記載の液滴吐出装置であって、
    前記予備吐出を行うとき、前記暖機吐出演算部は、前記ノズルの吐出回数を計数し、
    予め設定された回数を超えた前記ノズルからは、吐出を停止する制御を行うことを特徴とする液滴吐出装置。
13. 請求項９に記載の液滴吐出装置であって、
    複数の前記ノズルの温度を計測する温度計測部を備え、
    前記予備吐出を行うとき、前記暖機吐出演算部は、前記温度計測部にて計測する複数の前記ノズルの温度により、各前記ノズルから前記液滴を吐出するか、しないかを判断し、
    吐出する判断をした前記ノズルから、前記液滴を吐出する制御を行うことを特徴とする液滴吐出装置。
14. 請求項１３に記載の液滴吐出装置であって、
    前記予備吐出を行うとき、前記暖機吐出演算部は、前記ノズルの温度が最も高い前記ノズルの温度との温度差が、閾値より大きい前記ノズルから前記液滴を吐出する判断をし、
    吐出する判断をした前記ノズルから、前記液滴を吐出する制御を行うことを特徴とする液滴吐出装置。
15. 請求項１３に記載の液滴吐出装置であって、
    前記予備吐出を行うとき、前記暖機吐出演算部は、前記ノズルの温度が予め設定した温度より低い前記ノズルから前記液滴を吐出する判断をすることを特徴とする液滴吐出装置。

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