JP2008114106A - Discharge method and droplet discharge device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、吐出方法及び液滴吐出装置に関するものである。 The present invention relates to an ejection method and a droplet ejection apparatus.
従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向にガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド（以下、液滴吐出ヘッドと称す）を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。 2. Description of the Related Art Conventionally, an ink jet type droplet discharge device is known as a device for discharging droplets to a workpiece. The droplet discharge device includes: a table on which a workpiece such as a substrate is placed and the workpiece is moved in one direction; and a carriage that moves along a guide rail in a direction perpendicular to the movement direction of the table at a position above the table. I have. An ink jet head (hereinafter referred to as a droplet discharge head) is disposed on the carriage, and droplets are discharged onto the workpiece and applied.
ワークに対して、液滴にして吐出して塗布する機能液は、各種の材料が用いられている。機能液は、温度により粘度の変わる物が多く、粘度が変わることにより流体抵抗が変化する。流体抵抗が変わることにより、液滴吐出ヘッド内の流路を流れる機能液の流速が変化する。機能液の流速が変化することにより、１ドットあたりの吐出量が変動し、所望の量の機能液を塗布することが困難であった。 Various materials are used for the functional liquid that is discharged and applied to the workpiece as droplets. Many functional fluids change in viscosity with temperature, and fluid resistance changes as the viscosity changes. As the fluid resistance changes, the flow velocity of the functional liquid flowing through the flow path in the droplet discharge head changes. By changing the flow rate of the functional liquid, the discharge amount per dot fluctuated, and it was difficult to apply a desired amount of the functional liquid.
この課題を解決するために、特許文献１において、１ドットあたりの吐出量を制御する方法が開示されている。これによれば、液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧する圧電素子を駆動する駆動波形と、駆動電圧と、吐出する液体の温度を制御するものであった。又、液体の温度を制御するために、液滴吐出ヘッド、供給パイプ、タンクにヒータを設置していた。
In order to solve this problem,
液滴吐出ヘッドのキャビティを加圧するとき、圧電素子の動作に加えられるエネルギの一部は、熱に変換し、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させる要因となっている。又、圧電素子が駆動されていないとき、圧電素子は発熱せず、液滴吐出ヘッドは放熱するため、温度が変動する要因となっている。液滴吐出ヘッド、供給パイプ、タンクにヒータを用いて加熱する方法は、装置を暖め、短い時間で液温を所定の温度にするのに有効であった。一方、液滴吐出ヘッドの動作による温度変動を、ヒータ加熱で一定の温度にする方法では、液温の変動に追従した制御をなし得ない場合があった。とくに、液滴吐出ヘッドの両端には、雰囲気の流れが、接して流れることにより熱を奪う為、中央付近より温度が低下し易い傾向があった。 When pressurizing the cavity of the droplet discharge head, a part of the energy applied to the operation of the piezoelectric element is converted into heat, which causes the temperature of the droplet discharge head to rise. In addition, when the piezoelectric element is not driven, the piezoelectric element does not generate heat, and the droplet discharge head dissipates heat, which causes the temperature to fluctuate. The method of heating a droplet discharge head, a supply pipe, and a tank using a heater is effective in warming the apparatus and setting the liquid temperature to a predetermined temperature in a short time. On the other hand, in the method in which the temperature fluctuation due to the operation of the droplet discharge head is made constant by the heater heating, there is a case where control following the liquid temperature fluctuation cannot be performed. In particular, the flow of the atmosphere at both ends of the droplet discharge head takes heat away from it, so that the temperature tends to be lower than in the vicinity of the center.
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされたもので、その目的は、吐出量を精度良く制御できる、吐出方法及び液滴吐出装置を提供することにある。 The present invention has been made paying attention to such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a discharge method and a droplet discharge apparatus capable of controlling the discharge amount with high accuracy.
上記課題を解決するために、本発明の吐出方法は、複数のノズルから機能液を吐出する吐出方法であって、機能液を予備吐出領域に吐出する予備吐出工程を有し、予備吐出工程では、ノズルの温度が高いノズルから液滴を吐出する吐出回数に比べて、ノズルの温度が低いノズルから液滴を吐出する吐出回数が多くなるように吐出することを特徴とする。 In order to solve the above problems, the discharge method of the present invention is a discharge method for discharging functional liquid from a plurality of nozzles, and includes a preliminary discharge process for discharging functional liquid to a preliminary discharge region. Further, the discharge is performed such that the number of times of discharging the droplets from the nozzle having a low nozzle temperature is increased as compared with the number of times of discharging the droplets from a nozzle having a high nozzle temperature.
この吐出方法によれば、予備吐出工程では、複数のノズルから液滴を予備吐出領域に吐出する。機能液は、温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、ノズル間の温度差が少ない状態にて吐出する方が、温度差が大きい場合に比べて、ノズル間の吐出量の差を少なく、吐出することができる。 According to this discharge method, in the preliminary discharge step, droplets are discharged from the plurality of nozzles to the preliminary discharge region. Since the viscosity of the functional liquid changes when the temperature changes, pressure is applied to the functional liquid in the droplet discharge head, and the fluid resistance changes when passing through a nozzle or other flow path, causing the liquid to be discharged from the nozzle. The amount of liquid discharged changes. Therefore, when the discharge is performed in a state where the temperature difference between the nozzles is smaller, the discharge can be performed with a smaller difference in the discharge amount between the nozzles than when the temperature difference is large.
液滴を吐出しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、液滴を吐出する場合には、液滴を吐出するときのエネルギの一部が熱に変換されて、液滴吐出ヘッドが発熱する。そして、発熱する液滴吐出ヘッドの温度は上昇する。とくに、液滴を吐出するノズルの場所の温度が上昇する。 When droplets are not ejected, the droplet ejection head dissipates heat and the temperature drops. On the other hand, when ejecting a droplet, a part of energy when ejecting the droplet is converted into heat, and the droplet ejection head generates heat. Then, the temperature of the droplet discharge head that generates heat rises. In particular, the temperature at the location of the nozzle that ejects the droplets rises.
予備吐出工程では、液滴吐出ヘッドにおける複数のノズルの中には、温度の高いノズルと温度の低いノズルとが存在する。このとき、温度の高いノズルから液滴を吐出する吐出回数に比べて、温度の低いノズルから液滴を吐出する吐出回数が多くなるように吐出する。 In the preliminary ejection step, among the plurality of nozzles in the droplet ejection head, there are a high temperature nozzle and a low temperature nozzle. At this time, ejection is performed such that the number of ejections of droplets from a nozzle having a low temperature is increased as compared with the number of ejections of droplets from a nozzle having a high temperature.
吐出回数が多い方のノズルが、少ない方ノズルに比べて、温度上昇が大きくなる。温度の低い方のノズルにおける吐出回数を、温度の高い方のノズルにおける吐出回数より多くすることにより、温度の低い方のノズルは、温度上昇が、温度の高い方のノズルより大きくなる。従って、温度の低い方のノズルと温度の高い方のノズルの温度差が少なくなる。つまり、ノズル間の温度差を少なくすることができる。 The nozzle with the larger number of discharges has a higher temperature rise than the nozzle with the smaller number of discharges. By increasing the number of times of ejection from the nozzle having the lower temperature than the number of ejections from the nozzle having the higher temperature, the temperature rise of the nozzle having the lower temperature becomes larger than that of the nozzle having the higher temperature. Accordingly, the temperature difference between the lower temperature nozzle and the higher temperature nozzle is reduced. That is, the temperature difference between the nozzles can be reduced.
予備吐出工程から、次の工程に移行するとき、各ノズル間の温度差を少なくすることができる為、次の工程において、最初に吐出する吐出量は、ノズル毎の差を少なくできる。その結果、吐出量を精度良く制御して吐出することができる。 When shifting from the preliminary ejection process to the next process, the temperature difference between the nozzles can be reduced. Therefore, in the next process, the first ejection quantity can be reduced for each nozzle. As a result, the discharge amount can be accurately controlled and discharged.
上記課題を解決するために、本発明の吐出方法は、複数のノズルから機能液を吐出する吐出方法であって、機能液を予備吐出領域に吐出する予備吐出工程を有し、予備吐出工程では、複数のノズルの温度分布状態に応じて、各ノズルからの機能液の吐出回数を変えることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the discharge method of the present invention is a discharge method for discharging functional liquid from a plurality of nozzles, and includes a preliminary discharge process for discharging functional liquid to a preliminary discharge region. The number of functional liquid ejections from each nozzle is changed in accordance with the temperature distribution state of the plurality of nozzles.
この吐出方法によれば、予備吐出工程で、複数のノズルの温度分布状態に応じて、各ノズルからの機能液の吐出回数を変えて、機能液を吐出する。上記の様に、温度分布に応じて、吐出回数をかえることにより、温度の低い方のノズルと温度の高い方のノズルの温度差を少なくすることができる。つまり、ノズル間の温度差を少なくすることができる。その結果、吐出量を精度良く制御して吐出することができる。 According to this discharge method, in the preliminary discharge step, the functional liquid is discharged by changing the number of discharges of the functional liquid from each nozzle according to the temperature distribution state of the plurality of nozzles. As described above, the temperature difference between the lower temperature nozzle and the higher temperature nozzle can be reduced by changing the number of ejections according to the temperature distribution. That is, the temperature difference between the nozzles can be reduced. As a result, the discharge amount can be accurately controlled and discharged.
上記課題を解決するために、本発明の吐出方法は、配列された複数のノズルから機能液を吐出する吐出方法であって、機能液を予備吐出領域に吐出する予備吐出工程を有し、予備吐出工程では、配列された複数のノズルの中央部と端部の温度差によって、各ノズルからの機能液の吐出回数を変えることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a discharge method of the present invention is a discharge method for discharging a functional liquid from a plurality of arranged nozzles, and includes a preliminary discharge step of discharging the functional liquid to a preliminary discharge region. In the discharge step, the number of discharges of the functional liquid from each nozzle is changed according to the temperature difference between the central portion and the end portion of the plurality of arranged nozzles.
この吐出方法によれば、ノズルに、雰囲気を構成する気体の流体が通過するとき、配列の中央に位置するノズルは、液滴吐出ヘッドの中央にあることから、流体が接し難くなっている。一方、配列の端に位置するノズルでは、片側にノズルが無く、液滴吐出ヘッドの端に近い場所に配置され、流体が接しやすくなっている。流体は、ヘッドの熱を奪うことから、流体の接しやすい液滴吐出ヘッドは端の温度が低くなる。従って、配列の端に位置するノズルは、中央の端に位置するノズルに比べて、温度が低くなり易くなっている。 According to this discharge method, when the gaseous fluid constituting the atmosphere passes through the nozzle, the nozzle located at the center of the array is at the center of the droplet discharge head, so that it is difficult for the fluid to contact. On the other hand, the nozzles located at the end of the array have no nozzles on one side and are arranged near the end of the droplet discharge head so that the fluid can easily come into contact therewith. Since the fluid takes away the heat of the head, the temperature of the end of the droplet discharge head which is easily in contact with the fluid is lowered. Accordingly, the temperature of the nozzle located at the end of the array is likely to be lower than that of the nozzle located at the center end.
温度の低くなり易い、配列の端に位置するノズルにおいて、予備吐出における吐出回数を中央より多くすることにより、液滴吐出ヘッド内における、ノズル温度の差を少なくすることができる。その結果、予備吐出工程の次の工程に移行する後において、吐出量を精度良く制御して吐出することができる。 By increasing the number of ejections in the preliminary ejection from the center of the nozzles at the end of the array where the temperature tends to be low, the difference in nozzle temperature in the droplet ejection head can be reduced. As a result, after the transition to the next step of the preliminary discharge step, the discharge amount can be accurately controlled and discharged.
本発明の吐出方法では、予備吐出工程は、部分ノズル吐出工程と全ノズル吐出工程とを有し、部分ノズル吐出工程では、ノズルの内、一部のノズルから液滴を吐出し、全ノズル吐出工程では、ノズルの内、総てのノズルから液滴を吐出することを特徴とする。 In the discharge method of the present invention, the preliminary discharge step includes a partial nozzle discharge step and a full nozzle discharge step. In the partial nozzle discharge step, liquid droplets are discharged from some of the nozzles, and the full nozzle discharge is performed. The process is characterized in that droplets are ejected from all of the nozzles.
この吐出方法によれば、部分ノズル工程と、全ノズル工程とを行うことにより、ノズル間の温度差を少なくし、ノズル全体の温度を上昇させることができる。従って、予備吐出工程にて、各ノズルの温度を目標とするノズル温度と略同じにすることができる。その結果、吐出量を精度良く制御して吐出することができる。 According to this discharge method, by performing the partial nozzle process and the entire nozzle process, the temperature difference between the nozzles can be reduced and the temperature of the entire nozzle can be increased. Therefore, in the preliminary discharge step, the temperature of each nozzle can be made substantially the same as the target nozzle temperature. As a result, the discharge amount can be accurately controlled and discharged.
本発明の吐出方法は、予備吐出工程において、ノズルの吐出回数を計数し、予め設定された回数を超えたノズルからは、吐出を停止することを特徴とする。 The ejection method of the present invention is characterized in that, in the preliminary ejection step, the number of ejections of the nozzles is counted, and ejection is stopped from the nozzles exceeding the preset number.
この吐出方法によれば、予備吐出工程において、ノズルの吐出回数を計数する。続いて、予め設定された回数を超えたノズルからは、吐出を停止している。ノズルの吐出回数とノズルの温度との相関関係が予め解っているとき、ノズルの温度を所定の温度にするための吐出回数を予測することが可能となる。従って、ノズルの温度を所定の温度にするために必要な吐出回数以上に吐出して、機能液を無駄にすることがない。その結果、省資源な吐出方法とすることができる。 According to this discharge method, the number of nozzle discharges is counted in the preliminary discharge step. Subsequently, ejection is stopped from nozzles that have exceeded a preset number of times. When the correlation between the number of nozzle ejections and the nozzle temperature is known in advance, the number of ejections for setting the nozzle temperature to a predetermined temperature can be predicted. Accordingly, the functional liquid is not wasted by discharging more than the number of discharges necessary for setting the nozzle temperature to a predetermined temperature. As a result, a resource-saving discharge method can be obtained.
本発明の吐出方法は、予備吐出工程において、複数のノズルの温度を計測する温度計測工程と、温度計測工程にて計測する複数のノズルの温度により、各ノズルから液滴を吐出するか、しないかを判断する吐出判断工程と、吐出判断工程で吐出すると判断したノズルから液滴を吐出する吐出工程とを備えることを特徴とする。 In the preliminary discharge step, the discharge method of the present invention may or may not discharge droplets from each nozzle depending on the temperature measurement step of measuring the temperature of the plurality of nozzles and the temperature of the plurality of nozzles measured in the temperature measurement step. A discharge determining step for determining whether or not, and a discharge step for discharging droplets from the nozzles determined to be discharged in the discharge determining step.
この吐出方法によれば、予備吐出工程は、温度計測工程と、吐出判断工程と、吐出工程とを備えている。温度計測工程にて、複数のノズルの温度を計測する。吐出判断工程では、温度計測工程にて計測する複数のノズルの温度により、各ノズルから液滴を吐出するか、しないかを判断する。続いて、吐出工程では、吐出すると判断したノズルから液滴を吐出する。 According to this discharge method, the preliminary discharge process includes a temperature measurement process, a discharge determination process, and a discharge process. In the temperature measurement process, the temperature of a plurality of nozzles is measured. In the ejection determination step, it is determined whether or not to discharge droplets from each nozzle based on the temperatures of the plurality of nozzles measured in the temperature measurement step. Subsequently, in the ejection step, droplets are ejected from the nozzles determined to be ejected.
各ノズルの温度を計測して、各ノズルが所定の温度より低いノズルからのみ吐出している。各ノズルが所定の温度に達するとき、吐出を停止する為、必要な吐出回数以上に吐出して、機能液を無駄にすることがない。その結果、省資源な吐出方法とすることができる。 The temperature of each nozzle is measured, and each nozzle discharges only from a nozzle lower than a predetermined temperature. When each nozzle reaches a predetermined temperature, the discharge is stopped, so that the functional liquid is not wasted by discharging more than the required number of discharges. As a result, a resource-saving discharge method can be obtained.
本発明の吐出方法は、吐出判断工程において、ノズルの温度が最も高いノズルの温度との温度差が、閾値より大きいノズルから液滴を吐出する判断をすることを特徴とする。 The discharge method of the present invention is characterized in that, in the discharge determination step, it is determined to discharge a droplet from a nozzle whose temperature difference from the temperature of the nozzle having the highest nozzle temperature is greater than a threshold value.
この吐出方法によれば、予備吐出工程は、温度計測工程と、吐出判断工程と、吐出工程とを備えている。温度計測工程にて、複数のノズルの温度を計測する。吐出判断工程では、ノズルの温度が最も高いノズルの温度との温度差が、閾値より大きいノズルから液滴を吐出する判断をする。続いて、吐出工程では、吐出すると判断したノズルから液滴を吐出する。 According to this discharge method, the preliminary discharge process includes a temperature measurement process, a discharge determination process, and a discharge process. In the temperature measurement process, the temperature of a plurality of nozzles is measured. In the ejection determination step, it is determined that the droplets are ejected from a nozzle having a temperature difference from the nozzle having the highest nozzle temperature that is greater than a threshold value. Subsequently, in the ejection step, droplets are ejected from the nozzles determined to be ejected.
各ノズルの温度を計測して、各ノズルが他のノズルにおける温度より低いノズルからのみ吐出している。各ノズルの温度差が閾値の温度以内に達するとき、吐出を停止する為、各ノズルの温度差を閾値の温度以内に揃えることができる。 The temperature of each nozzle is measured, and each nozzle discharges only from a nozzle that is lower than the temperature of the other nozzles. When the temperature difference of each nozzle reaches within the threshold temperature, the discharge is stopped, so that the temperature difference of each nozzle can be made within the threshold temperature.
本発明の吐出方法は、吐出判断工程において、ノズルの温度が、予め設定した温度より低いノズルから、液滴を吐出する判断をすることを特徴とする。 The discharge method of the present invention is characterized in that, in the discharge determination step, it is determined to discharge a droplet from a nozzle whose nozzle temperature is lower than a preset temperature.
この吐出方法によれば、予備吐出工程は、温度計測工程と、吐出判断工程と、吐出工程とを備えている。温度計測工程にて、複数のノズルの温度を計測する。吐出判断工程では、ノズルの温度が予め設定した温度より低いノズルから液滴を吐出する判断をする。続いて、吐出工程では、吐出すると判断したノズルから液滴を吐出する。 According to this discharge method, the preliminary discharge process includes a temperature measurement process, a discharge determination process, and a discharge process. In the temperature measurement process, the temperature of a plurality of nozzles is measured. In the ejection determination step, it is determined that the droplet is ejected from a nozzle whose nozzle temperature is lower than a preset temperature. Subsequently, in the ejection step, droplets are ejected from the nozzles determined to be ejected.
各ノズルの温度を計測して、各ノズルが予め設定した温度より低いノズルからのみ吐出している。各ノズルの温度が予め設定した温度に達するとき、吐出を停止する為、各ノズルの温度を予め設定した温度に揃えることができる。 The temperature of each nozzle is measured, and each nozzle discharges only from a nozzle lower than a preset temperature. Since the discharge is stopped when the temperature of each nozzle reaches a preset temperature, the temperature of each nozzle can be made equal to the preset temperature.
上記課題を解決するために、本発明の液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドの複数のノズルから機能液を吐出する液滴吐出装置であって、ノズルから機能液を予備吐出する予備吐出領域と、液滴吐出ヘッドと予備吐出領域とを相対移動させるテーブルとを備え、予備吐出を行うとき、ノズルの温度が高いノズルから液滴を吐出する吐出回数に比べて、ノズルの温度が低いノズルから液滴を吐出する吐出回数が多くなるように、吐出制御する暖機吐出演算部を備えることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a droplet discharge device of the present invention is a droplet discharge device that discharges a functional liquid from a plurality of nozzles of a droplet discharge head, and a preliminary discharge region that predischarges the functional liquid from the nozzles And a table that relatively moves the droplet discharge head and the preliminary discharge area, and when performing preliminary discharge, the nozzle temperature is lower than the number of times of discharging droplets from the nozzle having a high nozzle temperature. And a warm-up discharge calculation unit that controls discharge so that the number of discharges of the liquid droplets is increased.
この液滴吐出装置によれば、暖機吐出演算部は、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを制御して、機能液を液滴にしてワークに吐出している。ノズルから液滴をワークに吐出する前に予備吐出を行っている。予備吐出では、ノズルから液滴を予備吐出領域に吐出する。 According to this droplet discharge device, the warm-up discharge calculation unit controls the droplet discharge head having a plurality of nozzles to discharge the functional liquid as droplets onto the workpiece. Preliminary discharge is performed before droplets are discharged from the nozzle onto the workpiece. In the preliminary discharge, droplets are discharged from the nozzle to the preliminary discharge region.
機能液は、温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド内で、機能液に圧力が加わり、ノズル等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズルから吐出される機能液の吐出量が変化する。従って、ノズル間の温度差が少ない状態にて吐出する方が、温度差が大きい場合に比べて、ノズル間の吐出量の差を少なく、吐出することができる。 Since the viscosity of the functional liquid changes when the temperature changes, pressure is applied to the functional liquid in the droplet discharge head, and the fluid resistance changes when passing through a nozzle or other flow path, causing the liquid to be discharged from the nozzle. The amount of liquid discharged changes. Therefore, when the discharge is performed in a state where the temperature difference between the nozzles is smaller, the discharge can be performed with a smaller difference in the discharge amount between the nozzles than when the temperature difference is large.
液滴を吐出しない場合には、液滴吐出ヘッドは、放熱して温度が下がる。一方、液滴を吐出する場合には、液滴を吐出するときのエネルギの一部が熱に変換されて、液滴吐出ヘッドが発熱する。そして、発熱する液滴吐出ヘッドの温度は上昇する。とくに、液滴を吐出するノズルの場所の温度が上昇する。 When droplets are not ejected, the droplet ejection head dissipates heat and the temperature drops. On the other hand, when ejecting a droplet, a part of energy when ejecting the droplet is converted into heat, and the droplet ejection head generates heat. Then, the temperature of the droplet discharge head that generates heat rises. In particular, the temperature at the location of the nozzle that ejects the droplets rises.
予備吐出を行うとき、液滴吐出ヘッドにおける複数のノズルの中には、温度の高いノズルと温度の低いノズルとが存在する。このとき、暖機吐出演算部は、温度の高いノズルから液滴を吐出する吐出回数に比べて、温度の低いノズルから液滴を吐出する吐出回数が多くなるように吐出回数を制御する。 When performing preliminary discharge, among the plurality of nozzles in the droplet discharge head, there are high temperature nozzles and low temperature nozzles. At this time, the warm-up ejection calculation unit controls the number of ejections so that the number of ejections of ejecting droplets from the nozzles having a low temperature is larger than the number of ejections of droplets ejecting from the nozzles having a high temperature.
吐出回数が多い方のノズルが、少ない方ノズルに比べて、温度上昇が大きくなる。温度の低い方のノズルにおける吐出回数を、温度の高い方のノズルにおける吐出回数より多くすることにより、温度の低い方のノズルは、温度上昇が、温度の高い方のノズルより大きくなる。従って、温度の低い方のノズルと温度の高い方のノズルの温度差が少なくなる。つまり、ノズル間の温度差を少なくすることができる。 The nozzle with the larger number of discharges has a higher temperature rise than the nozzle with the smaller number of discharges. By increasing the number of times of ejection from the nozzle having the lower temperature than the number of ejections from the nozzle having the higher temperature, the temperature rise of the nozzle having the lower temperature becomes larger than that of the nozzle having the higher temperature. Accordingly, the temperature difference between the lower temperature nozzle and the higher temperature nozzle is reduced. That is, the temperature difference between the nozzles can be reduced.
予備吐出の次に、ワークに液滴を吐出するとき、各ノズル間の温度差を少なくすることができる為、ワークに最初に吐出する吐出量は、ノズル毎の差を少なくできる。その結果、吐出量を精度良く制御して描画することができる。 Since the temperature difference between the nozzles can be reduced when the droplets are discharged onto the workpiece next to the preliminary discharge, the difference in the discharge amount for each nozzle can be reduced first. As a result, the discharge amount can be accurately controlled and drawn.
本発明の液滴吐出装置では、ノズルは配列して配置され、温度が高いノズルは、配列の中央又は、中央に近い場所に位置するノズルであり、温度が低いノズルは、配列の端又は、端に近い場所に位置するノズルであることを特徴とする。 In the droplet discharge device of the present invention, the nozzles are arranged in an array, the nozzle having a high temperature is a nozzle located at or near the center of the array, and the nozzle having a low temperature is the end of the array or The nozzle is located near the end.
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドのノズルは、配列して配置されている。ノズルの中央と端とを比較するとき、ノズルの中央では、液滴吐出ヘッドの中央にノズルが配置されている。一方、端のノズルは、液滴吐出ヘッドの端に近い場所に配置される。 According to this droplet discharge device, the nozzles of the droplet discharge head are arranged in an array. When comparing the center and end of the nozzle, the nozzle is arranged at the center of the droplet discharge head at the center of the nozzle. On the other hand, the nozzle at the end is arranged at a location near the end of the droplet discharge head.
液滴吐出ヘッドに、雰囲気を構成する流体が通過するとき、中央のノズルは、液滴吐出ヘッドの中央にあることから、流体が接し難くなっている。一方、端のノズルでは、片側にノズルが無く、液滴吐出ヘッドの端に近い場所に配置され、流体が接しやすくなっている。流体は、ヘッドの熱を奪うことから、流体の接しやすい液滴吐出ヘッドは端の温度が低くなる。従って、端のノズルは、中央のノズルに比べて、温度が低くなり易くなっている。 When the fluid constituting the atmosphere passes through the droplet discharge head, the center nozzle is at the center of the droplet discharge head, so that the fluid is difficult to contact. On the other hand, the nozzle at the end has no nozzle on one side and is disposed near the end of the droplet discharge head so that the fluid can easily come into contact therewith. Since the fluid takes away the heat of the head, the temperature of the end of the droplet discharge head which is easily in contact with the fluid is lowered. Therefore, the temperature at the end nozzle is likely to be lower than that at the center nozzle.
温度の低くなり易い端のノズルにおいて、暖機吐出演算部は、予備吐出における吐出回数を中央より多く吐出するように制御することにより、液滴吐出ヘッド内における、ノズル温度の差を少なくすることができる。その結果、吐出量を精度良く制御して描画することができる。 In the nozzle at the end where the temperature tends to be low, the warm-up discharge calculation unit reduces the nozzle temperature difference in the droplet discharge head by controlling the number of discharges in the preliminary discharge so that it is discharged more than the center. Can do. As a result, the discharge amount can be accurately controlled and drawn.
本発明の液滴吐出装置は、予備吐出を行うとき、ワークに液滴を吐出するノズルの内、一部のノズルから液滴を吐出する部分ノズル吐出制御と、ワークに液滴を吐出するノズルの内、総てのノズルから液滴を吐出する全ノズル吐出制御とを行う暖機吐出演算部を備えることを特徴とする。 The droplet discharge device according to the present invention includes a partial nozzle discharge control for discharging droplets from some of the nozzles for discharging droplets to a workpiece and a nozzle for discharging droplets to the workpiece when performing preliminary discharge. Among them, a warm-up discharge calculation unit that performs all-nozzle discharge control for discharging droplets from all nozzles is provided.
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、暖機吐出演算部を備えている。暖機吐出演算部は、予備吐出において、部分ノズル吐出制御と、全ノズル吐出制御とを行う。部分ノズル制御では、ワークに液滴を吐出するノズルの内、一部のノズルから液滴を吐出する。一方、全ノズル吐出制御では、ワークに液滴を吐出するノズルの内、総てのノズルから液滴を吐出する。 According to this droplet discharge device, the droplet discharge device includes the warm-up discharge calculation unit. The warm-up discharge calculation unit performs partial nozzle discharge control and full nozzle discharge control in the preliminary discharge. In partial nozzle control, droplets are ejected from some of the nozzles that eject droplets to the workpiece. On the other hand, in the all-nozzle ejection control, droplets are ejected from all of the nozzles that eject droplets onto the workpiece.
部分ノズル吐出制御では、温度の低いノズルから液滴を吐出して、ノズル間の温度差を少なくすることができる。又、全ノズル吐出制御では、液滴を吐出するノズルの内、総てのノズルから液滴を吐出して、ノズル全体の温度を上昇させる。 In the partial nozzle discharge control, it is possible to discharge a droplet from a nozzle having a low temperature and reduce a temperature difference between the nozzles. Further, in the all-nozzle discharge control, droplets are discharged from all nozzles that discharge droplets, and the temperature of the entire nozzle is increased.
部分ノズル吐出制御と、全ノズル吐出制御とを行うことにより、ノズル間の温度差を少なくし、ノズル全体の温度を上昇させることができる。従って、予備吐出するとき、各ノズルの温度をワークに吐出するときのノズル温度と略同じにすることができる。その結果、吐出量を精度良く制御して描画することができる。 By performing the partial nozzle discharge control and the total nozzle discharge control, the temperature difference between the nozzles can be reduced and the temperature of the entire nozzle can be raised. Therefore, when performing preliminary discharge, the temperature of each nozzle can be made substantially the same as the nozzle temperature when discharging to the workpiece. As a result, the discharge amount can be accurately controlled and drawn.
本発明の液滴吐出装置では、予備吐出を行うとき、暖機吐出演算部は、ノズルの吐出回数を計数し、予め設定された回数を超えたノズルからは、吐出を停止する制御を行うことを特徴とする。 In the droplet discharge device of the present invention, when performing preliminary discharge, the warm-up discharge calculation unit counts the number of nozzle discharges, and performs control to stop discharge from nozzles that have exceeded a preset number of times. It is characterized by.
この液滴吐出装置によれば、予備吐出を行うとき、暖機吐出演算部は、ノズルの吐出回数を計数する。続いて、暖機吐出演算部は、予め設定された回数を超えたノズルからは、吐出を停止する制御を行う。ノズルの吐出回数とノズルの温度との相関関係が予め解っているとき、ノズルの温度を所定の温度にするための吐出回数を予測することが可能となる。従って、ノズルの温度を所定の温度にするために必要な吐出回数以上に吐出して、機能液を無駄にすることがない。その結果、省資源な液滴吐出装置とすることができる。 According to this droplet discharge device, when performing preliminary discharge, the warm-up discharge calculation unit counts the number of nozzle discharges. Subsequently, the warm-up discharge calculation unit performs control to stop discharge from nozzles that have exceeded a preset number of times. When the correlation between the number of nozzle ejections and the nozzle temperature is known in advance, the number of ejections for setting the nozzle temperature to a predetermined temperature can be predicted. Accordingly, the functional liquid is not wasted by discharging more than the number of discharges necessary for setting the nozzle temperature to a predetermined temperature. As a result, a resource-saving droplet discharge device can be obtained.
本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルの温度を計測する温度計測部を備え、予備吐出を行うとき、暖機吐出演算部は、温度計測部にて計測する複数のノズルの温度により、各ノズルから液滴を吐出するか、しないかを判断し、吐出する判断をしたノズルから、液滴を吐出する制御を行うことを特徴とする。 The droplet discharge device of the present invention includes a temperature measurement unit that measures the temperature of a plurality of nozzles, and when performing preliminary discharge, the warm-up discharge calculation unit uses the temperature of the plurality of nozzles measured by the temperature measurement unit, It is determined whether or not to discharge a droplet from each nozzle, and control is performed to discharge a droplet from the nozzle that has been determined to discharge.
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、温度計測部を備えている。予備吐出を行うとき、複数のノズルの温度を計測する。そして、温度計測する複数のノズルの温度により、各ノズルから液滴を吐出するか、しないかを判断する。続いて、吐出すると判断したノズルから液滴を吐出している。 According to this droplet discharge device, the droplet discharge device includes the temperature measurement unit. When performing preliminary discharge, the temperature of a plurality of nozzles is measured. Then, whether or not to discharge droplets from each nozzle is determined based on the temperature of the plurality of nozzles for temperature measurement. Subsequently, droplets are discharged from the nozzles determined to be discharged.
各ノズルの温度を計測して、各ノズルが所定の温度より低いノズルからのみ吐出している。各ノズルが所定の温度に達するとき、吐出を停止する為、必要な吐出回数以上に吐出して、機能液を無駄にすることがない。その結果、省資源な液滴吐出装置とすることができる。 The temperature of each nozzle is measured, and each nozzle discharges only from a nozzle lower than a predetermined temperature. When each nozzle reaches a predetermined temperature, the discharge is stopped, so that the functional liquid is not wasted by discharging more than the required number of discharges. As a result, a resource-saving droplet discharge device can be obtained.
本発明の液滴吐出装置では、予備吐出を行うとき、暖機吐出演算部は、ノズルの温度が最も高いノズルの温度との温度差が、閾値より大きいノズルから液滴を吐出する判断し、吐出する判断をしたノズルから、液滴を吐出する制御を行うことを特徴とする。 In the droplet discharge device of the present invention, when performing preliminary discharge, the warm-up discharge calculation unit determines that the temperature difference from the nozzle temperature having the highest nozzle temperature is to discharge droplets from a nozzle greater than a threshold value, Control is performed to discharge droplets from the nozzles that have been determined to discharge.
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、温度計測部を備えている。予備吐出を行うとき、複数のノズルの温度を計測する。そして、暖機吐出演算部は、ノズルの温度が最も高いノズルの温度との温度差が、閾値より大きいノズルから液滴を吐出する判断をする。続いて、吐出工程では、吐出すると判断したノズルから液滴を吐出する。 According to this droplet discharge device, the droplet discharge device includes the temperature measurement unit. When performing preliminary discharge, the temperature of a plurality of nozzles is measured. Then, the warm-up discharge calculation unit determines that the droplets are discharged from a nozzle whose temperature difference from the nozzle having the highest nozzle temperature is greater than a threshold value. Subsequently, in the ejection step, droplets are ejected from the nozzles determined to be ejected.
各ノズルの温度を計測して、各ノズルが他のノズルにおける温度より低いノズルからのみ吐出している。各ノズルの温度差が閾値の温度以内に達するとき、吐出を停止する為、各ノズルの温度差を閾値の温度以内に揃えることができる。 The temperature of each nozzle is measured, and each nozzle discharges only from a nozzle that is lower than the temperature of the other nozzles. When the temperature difference of each nozzle reaches within the threshold temperature, the discharge is stopped, so that the temperature difference of each nozzle can be made within the threshold temperature.
本発明の液滴吐出装置では、予備吐出を行うとき、暖機吐出演算部は、ノズルの温度が予め設定した温度より低いノズルから液滴を吐出する判断をすることを特徴とする。 In the droplet discharge device of the present invention, when performing preliminary discharge, the warm-up discharge calculation unit determines that the droplet is discharged from a nozzle whose temperature is lower than a preset temperature.
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出装置は、温度計測部を備えている。予備吐出を行うとき、複数のノズルの温度を計測する。そして、暖機吐出演算部は、ノズルの温度が予め設定した温度より低いノズルから液滴を吐出する判断をする。続いて、吐出工程では、吐出すると判断したノズルから液滴を吐出する。 According to this droplet discharge device, the droplet discharge device includes the temperature measurement unit. When performing preliminary discharge, the temperature of a plurality of nozzles is measured. The warm-up discharge calculation unit determines that the droplets are discharged from the nozzle whose nozzle temperature is lower than a preset temperature. Subsequently, in the ejection step, droplets are ejected from the nozzles determined to be ejected.
各ノズルの温度を計測して、各ノズルが予め設定した温度より低いノズルからのみ吐出している。各ノズルの温度が予め設定した温度に達するとき、吐出を停止する為、各ノズルの温度を予め設定した温度に揃えることができる。 The temperature of each nozzle is measured, and each nozzle discharges only from a nozzle lower than a preset temperature. Since the discharge is stopped when the temperature of each nozzle reaches a preset temperature, the temperature of each nozzle can be made equal to the preset temperature.
以下、本発明を具体化した実施例について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
In addition, each member in each drawing is illustrated with a different scale for each member in order to make the size recognizable on each drawing.
（第１の実施形態）
本実施形態では、本発明の特徴的な液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液滴を吐出する場合の例について図１〜図６に従って説明する。
(First embodiment)
In the present embodiment, a characteristic droplet discharge device of the present invention and an example in which droplets are discharged using this droplet discharge device will be described with reference to FIGS.
（液滴吐出装置）
最初に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置１について図１〜図６に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。
(Droplet discharge device)
First, a
図１は、液滴吐出装置１の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置１により、機能液が吐出され塗布される。図１に示すように、液滴吐出装置１には、直方体形状に形成される基台２が備えられている。本実施形態では、この基台２の長手方向をＹ方向とし、同Ｙ方向と直交する方向をＸ方向とする。
FIG. 1 is a schematic perspective view showing the configuration of the
基台２の上面２ａには、Ｙ方向に延在する一対の案内レール３ａ，３ｂが同Ｙ方向全幅にわたり凸設されている。その基台２の上側には、一対の案内レール３ａ，３ｂに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するテーブルとしてのステージ４が取付けられている。そのステージ４の直動機構は、例えば案内レール３ａ，３ｂに沿ってＹ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＹ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がＹ軸モータに入力されると、Ｙ軸モータが正転又は逆転して、ステージ４が同ステップ数に相当する分だけ、Ｙ方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する（Ｙ方向に走査する）ようになっている。
On the
さらに、基台２の上面２ａには、案内レール３ａ，３ｂと平行に主走査位置検出装置５が配置され、ステージ４の位置が計測できるようになっている。
Further, a main scanning
基台２において、案内レール３ａと主走査位置検出装置５との間、及び案内レール３ｂと主走査位置検出装置５との間には、通気孔６が形成されている。そして、液滴吐出装置１の上部の空気が、通気孔６を通過して、図中下の方向に流動するようになっている。
In the
そのステージ４の上面には、載置面７が形成され、その載置面７には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面７にワークとしての基板８を載置すると、基板チャック機構によって、その基板８が載置面７の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
A placement surface 7 is formed on the upper surface of the stage 4, and a suction-type substrate chuck mechanism (not shown) is provided on the placement surface 7. When a
基台２のＸ方向両側には、一対の支持台９ａ，９ｂが立設され、その一対の支持台９ａ，９ｂには、Ｘ方向に延びる案内部材１０が架設されている。
A pair of
案内部材１０の上側には、吐出する機能液を供給可能に収容する収容タンク１１が配設されている。一方、その案内部材１０の下側には、Ｘ方向に延びる案内レール１２がＸ方向全幅にわたり凸設されている。
On the upper side of the
案内レール１２に沿って移動可能に配置されるテーブルとしてのキャリッジ１３は、略直方体形状に形成されている。そのキャリッジ１３の直動機構は、例えば案内レール１２に沿ってＸ方向に延びるネジ軸（駆動軸）と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するＸ軸モータ（図示しない）に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をＸ軸モータに入力すると、Ｘ軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ１３が同ステップ数に相当する分だけＸ方向に沿って往動又は復動する（Ｘ方向に走査する）。案内部材１０とキャリッジ１３との間には、副走査位置検出装置１４が配置され、キャリッジ１３の位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ１３の下面（ステージ４側の面）には、液滴吐出ヘッド１５が凸設されている。
A
基台２の上側であって、ステージ４の片側の一方（図中右側）には、クリーニングユニット１６が配置されている。クリーニングユニット１６は、保守ステージ１７と、保守ステージ１７の上に配置されている、予備吐出領域としてのフラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、重量計測装置２１等により構成されている。
A
保守ステージ１７は、案内レール３ａ，３ｂ上に位置し、ステージ４と同様の直動機構を備えている。主走査位置検出装置５を用いて位置を検出し、直動機構で移動することにより、所望の場所に移動し、停止することが可能となっている。
The
フラッシングユニット１８は、液滴吐出ヘッド１５内の流路を洗浄するとき、液滴吐出ヘッド１５から吐出される液滴を受ける装置である。液滴吐出ヘッド１５内に固形物が混入した場合に、固形物を液滴吐出ヘッド１５から排除するため、液滴吐出ヘッド１５から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能をフラッシングユニット１８が行う。
The
キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１５に蓋をする装置である。液滴吐出ヘッド１５から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、液滴吐出ヘッド１５に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット１９は、液滴吐出ヘッド１５に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。
The capping
ワイピングユニット２０は、液滴吐出ヘッド１５のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、液滴吐出ヘッド１５において、基板８と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基板８とが接触して、基板８において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。ワイピングユニット２０は、ノズルプレートを拭くことにより、基板８において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。
The wiping
重量計測装置２１には、電子天秤が複数設置され、各電子天秤には、受け皿が配置されている。液滴が、液滴吐出ヘッド１５から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を計測するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。電子天秤は、液滴吐出ヘッド１５が液滴を吐出する前後で、受け皿の重量を計測する。吐出前後の受け皿の重量の差分を演算して、吐出する液滴の重量を計測する。
The weight measuring device 21 is provided with a plurality of electronic balances, and a tray is arranged on each electronic balance. A droplet is discharged from the
保守ステージ１７が、案内レール３ａ，３ｂに沿って移動することにより、液滴吐出ヘッド１５と対向する場所に、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、重量計測装置２１のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。
As the
キャリッジ１３が、案内レール１２に沿って、Ｘ方向に移動することにより、液滴吐出ヘッド１５は、クリーニングユニット１６、又は、基板８と対向する場所に移動し、液滴を吐出するようになっている。
When the
液滴吐出装置１は、四隅に支柱２２を備え、上部（図中上側）に、空気制御装置２３を備えている。空気制御装置２３は、ファン、フィルタ、冷暖房装置、湿度調整装置などを備えている。ファン（送風機）は、工場内の空気を取り込んで、フィルタを通過することにより、空気内の塵、埃を除去し、清浄化された空気を供給する。
The
冷暖房装置は、液滴吐出装置１の雰囲気温度を所定の温度範囲に保持するように、供給する空気の温度を制御する装置である。湿度調整装置は、液滴吐出装置１の雰囲気湿度を所定の湿度範囲に保持するように、空気を除湿、又は加湿して供給する空気の湿度を制御する装置である。
The air conditioner is a device that controls the temperature of the supplied air so that the atmospheric temperature of the
４本の支柱２２の間には、シート２４が配置され、空気の流れを遮断するようになっている。又、床２５には、孔が形成され、図示しない排気ダクトに接続され、液滴吐出装置１周辺の気圧に比べて、排気ダクト内が負圧になっている。空気制御装置２３から供給される空気は、空気制御装置２３から床２５に向かって（図中上から下の方向）流れ、シート２４に囲まれる空間内の塵や埃は、床２５に向かって流動する。それにより、基板８に塵や埃が付着しにくいようになっている。
A
図２（ａ）は、液滴吐出ヘッドの模式平面図であり、図２（ｂ）は、液滴吐出ヘッド１５の構造を説明するための要部模式断面図である。図２（ａ）に示すように、キャリッジ１３には、液滴吐出ヘッド１５が配置され、液滴吐出ヘッド１５の表面には、ノズルプレート３０が配置されている。ノズルプレート３０には、ノズル３１が配置されている。ノズル３１の数は、吐出するパターンと基板８の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、３０個に設定されている。
FIG. 2A is a schematic plan view of the droplet discharge head, and FIG. 2B is a schematic cross-sectional view of a main part for explaining the structure of the
キャリッジ１３及び液滴吐出ヘッド１５の周囲では、空気が移動して、空気の流れ３２が形成されている。図中、空気の流れ３２の矢印の方向は、流れの方向を示す。空気の流れ３２は、キャリッジ１３の外周から中心方向に向かって流れ、図中Ｚ方向の逆方向に流れる。このとき、液滴吐出ヘッド１５の外周に空気の流れ３２が接して流動する。空気の流れ３２が接する部分は、空気の流れ３２により熱が奪われて、冷却される。
Air moves around the
液滴吐出ヘッド１５に配列して形成されているノズル３１のうち、図中左側のノズル３１を、ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃとする。又、図中、中央の、ノズル３１を、ノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆとし、図中右側のノズル３１を、ノズル３１ｇ，３１ｈ，３１ｉとする。このとき、ノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆの付近では、Ｙ方向を向いている面１５ａ、１５ｂに接して、空気の流れ３２が通過する。ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃの付近では、Ｙ方向を向いている面１５ａ、１５ｂに接して、空気の流れ３２が通過するのに、加えて、図中左側の面１５ｃに接して、空気の流れ３２が通過する。従って、ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃの付近では、ノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆの付近に比較して、空気の流れ３２が多く接する為、冷却され易くなっている。同様に、ノズル３１ｇ，３１ｈ，３１ｉの付近では、Ｙ方向を向いている面１５ａ、１５ｂに接して、空気の流れ３２が通過するのに、加えて、図中右側の面１５ｄに接して、空気の流れ３２が通過する。従って、ノズル３１ｇ，３１ｈ，３１ｉの付近では、ノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆの付近に比較して、空気の流れ３２が多く接する為、冷却され易くなっている。
Of the
ノズル３１から液滴を吐出するとき、液滴を吐出する為に、液滴吐出ヘッド１５に加えられるエネルギの一部が、熱に変換される。そして、液滴を吐出するノズルの周辺は加熱されて、温度が上昇する。ノズル３１の配列の中央に位置するノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆの付近では、図中左右にノズル３１が配置されている。ノズル３１から液滴を吐出するとき、吐出するノズル３１の付近は、加熱されることから、ノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆの周辺は、温度が上昇し易くなっている。
When a droplet is ejected from the
一方、ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃでは、図中左側にノズル３１が形成されていないことから、中央のノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆに比べて、温度が上昇し難くなっている。同様に、ノズル３１ｇ，３１ｈ，３１ｉでは、図中右側にノズル３１が形成されていないことから、中央のノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆに比べて、温度が上昇し難くなっている。従って、ノズル３１の配列の端にあるノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ及びノズル３１ｇ，３１ｈ，３１ｉは、ノズル３１の配列の中央にあるノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆに比べて、加熱されにくく、冷却され易くなっている。
On the other hand, in the
図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１５は、ノズルプレート３０を備え、ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であってノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ３３が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド１５のキャビティ３３には、収容タンク１１に貯留されている機能液３４が供給される。
As shown in FIG. 2B, the
キャビティ３３の上側には、上下方向（Ｚ方向）に振動して、キャビティ３３内の容積を拡大縮小する振動板３５と、上下方向に伸縮して振動板３５を振動させる圧電素子３６が配設されている。圧電素子３６が上下方向に伸縮することにより、振動板３５が加圧されて振動し、振動板３５がキャビティ３３内の容積を拡大縮小してキャビティ３３を加圧する。それにより、キャビティ３３内の圧力が変動し、キャビティ３３内に供給された機能液３４は、ノズル３１を通って吐出されるようになっている。
Above the
詳しくは、液滴吐出ヘッド１５が圧電素子３６を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子３６が伸張して、振動板３５がキャビティ３３内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド１５のノズル３１からは、縮小した容積分の機能液３４が液滴３７として吐出される。
Specifically, when the
図３は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図３において、液滴吐出装置１はプロセッサとして各種の演算処理を行うＣＰＵ（演算処理装置）４０と、各種情報を記憶するメモリ４１とを有する。
FIG. 3 is an electric control block diagram of the droplet discharge device. In FIG. 3, the
主走査駆動装置４２、副走査駆動装置４３、主走査位置検出装置５、副走査位置検出装置１４、液滴吐出ヘッド１５を駆動するヘッド駆動回路４４は、入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）４５及びデータバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。さらに、入力装置４７、ディスプレイ装置４８、図１に示す重量計測装置２１を構成する電子天秤４９、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０も入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）４５及びデータバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。同じく、クリーニングユニット１６において、１つのユニットを選択するクリーニング選択装置５０も入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）４５及びデータバス４６を介してＣＰＵ４０に接続されている。
The main
主走査駆動装置４２は、ステージ４の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置４３は、キャリッジ１３の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置５が、ステージ４の位置を認識し、主走査駆動装置４２が、ステージ４の移動を制御することにより、ステージ４を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置１４が、キャリッジ１３の位置を認識し、副走査駆動装置４３が、キャリッジ１３の移動を制御することにより、キャリッジ１３を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。
The main
入力装置４７は、液滴を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板８に液滴を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ装置４８は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレイ装置４８に表示される情報を基に、入力装置４７を用いて操作を行う。
The
電子天秤４９は、液滴吐出ヘッド１５が吐出する液滴を、受ける受け皿の重量を計測する装置である。液滴が吐出される前後の受け皿の重量を計測して、計測値をＣＰＵ４０に送信する。図１に示す重量計測装置２１は、受け皿と電子天秤４９などから構成される。
The
クリーニング選択装置５０は、フラッシングユニット１８、キャッピングユニット１９、ワイピングユニット２０、重量計測装置２１から１つの装置を選択して、液滴吐出ヘッド１５と対向する場所に位置するように、保守ステージ１７を移動する装置である。
The cleaning selection device 50 selects one device from the
メモリ４１は、ＲＡＭ、ＲＯＭ等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト５１を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板８内における吐出位置の座標データである吐出位置データ５２を記憶するための記憶領域も設定される。他にも、液滴吐出ヘッド１５の暖機駆動において、吐出するノズル３１の場所と吐出数データなどの暖機駆動データ５３が設定される。さらに、基板８を主走査方向（Ｙ方向）へ移動する主走査移動量と、キャリッジ１３を副走査方向（Ｘ方向）へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ４０のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
The
ＣＰＵ４０は、メモリ４１内に記憶されたプログラムソフト５１に従って、基板８における表面の所定位置に機能液を液滴吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、電子天秤４９を用いた重量計測を実現するための演算を行う重量測定演算部５４を有する。さらに、液滴吐出ヘッド１５を洗浄するタイミングを演算する洗浄演算部５５や、液滴吐出ヘッド１５を暖機駆動するときに、暖機駆動して吐出するノズル３１の選択や、吐出数の計数を行う暖機吐出演算部５６を有する。他に、液滴吐出ヘッド１５によって液滴を吐出するための演算を行う吐出演算部５７などを有する。
The
吐出演算部５７を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド１５を液滴吐出のための初期位置へセットするための吐出開始位置演算部５８を有する。さらに、吐出演算部５７は、基板８を主走査方向（Ｙ方向）へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部５９を有する。加えて、吐出演算部５７は、液滴吐出ヘッド１５を副走査方向（Ｘ方向）へ所定の副走査量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部６０を有する。さらに、吐出演算部５７は液滴吐出ヘッド１５内に複数あるノズルのうち、どのノズルを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部６１等といった各種の機能演算部を有する。
If the
（描画方法）
次に、上述した液滴吐出装置１を使って、基板８に描画する描画方法について図４〜図６にて説明する。図４は、基板に描画する製造工程を示すフローチャートであり、図５は、液滴吐出装置を使った描画方法を説明する図である。図６は、ノズルの温度変化を説明する図である。
(Drawing method)
Next, a drawing method for drawing on the
図４のフローチャートを用いて、基板への描画方法に相当する製造工程のステップを説明する。図４において、ステップＳ１からステップＳ１０まで、同一の液滴吐出装置１によって製造するステップである。ステップＳ１は、部分ノズル吐出工程に相当し、複数配列されているノズルの内、一部のノズルから機能液をフラッシングユニットに吐出し、液滴吐出ヘッドを暖機駆動する工程である。次にステップＳ２に移行する。ステップＳ２は、全ノズル吐出工程に相当し、総てのノズルから液滴をフラッシングユニットに吐出し、液滴吐出ヘッドを暖機駆動する工程である。ステップＳ１及びステップＳ２を合わせて、ステップＳ１０の予備吐出工程とする。次にステップＳ３に移行する。
The steps of the manufacturing process corresponding to the drawing method on the substrate will be described with reference to the flowchart of FIG. In FIG. 4, steps S <b> 1 to S <b> 10 are steps for manufacturing with the same
ステップＳ３は、描画工程に相当し、ノズルから基板に液滴を吐出して、機能液を塗布する工程である。この工程では、１つの工程で所定の領域を塗布する。次にステップＳ４に移行する。ステップＳ４は、予定した領域総てに機能液を塗布したかを判断する工程に相当し、ＣＰＵが、機能液を塗布する予定の領域と、既に塗布した領域とを比較し、塗布する予定で、まだ塗布していない領域があるかを判断する工程である。塗布していない領域があるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ１に移行する。ステップＳ４において、塗布していない領域がないとき（ＹＥＳのとき）、基板に描画する製造工程を終了する。 Step S3 corresponds to a drawing process, and is a process of discharging a droplet from a nozzle to a substrate and applying a functional liquid. In this step, a predetermined region is applied in one step. Next, the process proceeds to step S4. Step S4 corresponds to a step of determining whether or not the functional liquid has been applied to all the planned areas. The CPU compares the area where the functional liquid is scheduled to be applied with the area where the functional liquid has already been applied, and plans to apply it. This is a step of determining whether there is an area that has not been applied yet. When there is an uncoated region (NO), the process proceeds to step S1. In step S4, when there is no uncoated region (YES), the manufacturing process of drawing on the substrate is terminated.
次に、図５及び図６を用いて、図４に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。
図５（ａ）は、ステップＳ１に対応する図である。図５（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド１５と対向する場所に、フラッシングユニット１８が位置するように、保守ステージ１７をＹ方向に移動する。続いて、液滴吐出ヘッド１５とフラッシングユニット１８とが対向するように、キャリッジ１３をＸ方向に移動する。
Next, the manufacturing method will be described in detail with reference to FIGS. 5 and 6 in association with the steps shown in FIG.
FIG. 5A is a diagram corresponding to step S1. As shown in FIG. 5A, the
液滴吐出ヘッド１５とフラッシングユニット１８とが対向する場所に位置した後、液滴吐出ヘッド１５のノズル３１から液滴３７をフラッシングユニット１８に吐出する。このステップでは、ノズル３１の内、ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉから液滴３７を吐出する。
After the
ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉは、液滴吐出ヘッド１５の両端にあることから、空気の流れ３２が接して通過する為、温度が低下し易くなっている。温度が低くなる場所において、ノズル３１から液滴３７を吐出することにより、液滴吐出ヘッド１５の両端の温度を上昇するようになっている。
Since the
図３に示す暖機吐出演算部５６は、暖機駆動データ５３を参照して、吐出するノズル３１を判断する。その結果、ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉから液滴３７が吐出される。又、暖機吐出演算部５６は、ノズル３１から吐出される吐出回数を計数する。そして、暖機駆動データ５３に格納されている、予め設定された回数と比較し、その回数を超えるとき、吐出を停止する。
The warm-up
暖機駆動データ５３には、ノズル３１の配列のなかで、温度が低くなる場所のデータが格納されている。本実施形態では、ノズル３１の配列の内、端に位置するノズル３１の温度が低くなることから、端に位置するノズル３１が、暖機駆動データ５３に格納されている。温度が低くなる場所に相当するノズル３１のデータは、例えば、ノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉのデータとなっている。
In the warm-up
図５（ｂ）は、ステップＳ２に対応する図である。図５（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド１５のノズル３１から液滴３７をフラッシングユニット１８に吐出する。このステップでは、ノズル３１の総てのノズル３１から液滴３７を吐出する。総てのノズル３１から吐出することにより、ノズル３１の配列全体の温度が上昇するようになっている。
FIG. 5B is a diagram corresponding to step S2. As shown in FIG. 5B, the
ステップＳ１と同様に、暖機吐出演算部５６は、ノズル３１から吐出される吐出回数を計数する。そして、暖機駆動データ５３に格納されている、予め設定された回数と比較し、その回数を超えるとき、吐出を停止する。
Similarly to step S <b> 1, the warm-up
図５（ｃ）は、ステップＳ３に対応する図である。図５（ｃ）に示すように、液滴吐出ヘッド１５と対向する場所に、ステージ４が位置するように、ステージ４をＹ方向に移動する。ステージ４には、基板８が搭載され、固定されている。続いて、液滴吐出ヘッド１５と、基板８に機能液３４を塗布する場所とが対向するように、キャリッジ１３をＸ方向に移動する。
FIG. 5C is a diagram corresponding to step S3. As shown in FIG. 5C, the stage 4 is moved in the Y direction so that the stage 4 is located at a location facing the
液滴吐出ヘッド１５は、機能液３４を塗布する場所と対向する場所に、ノズル３１が位置するとき、液滴３７を吐出する。液滴吐出装置１は、液滴３７の吐出とステージ４及びキャリッジ１３の移動とを繰り返して実施し、所望のパターンを描画する。
The
ステップＳ４において、基板８に機能液３４を塗布する予定の場所総てに、機能液３４を塗布したことを判断し、描画工程を終了する。
In step S4, it is determined that the
図６は、ノズルの温度変化を説明するための模式図である。図６において、図の横軸は時間６４の経過を示し、縦軸はノズル温度６５の変化を示す。実線は、液滴吐出ヘッド１５のノズルプレート３０に配列して形成されているノズル３１の中で、端に配置されているノズル３１ａの温度変化である端部ノズル温度変化線６６を示す。そして、一点鎖線は、液滴吐出ヘッド１５のノズルプレート３０に配列して形成されているノズル３１の中で、中央に配置されているノズル３１ｅの温度変化である中央部ノズル温度変化線６７を示す。
FIG. 6 is a schematic diagram for explaining the temperature change of the nozzle. In FIG. 6, the horizontal axis of the figure indicates the passage of time 64, and the vertical axis indicates the change in the
横軸の時間６４の経過において、図中左から右に、待機工程６８、部分ノズル吐出工程６９、全ノズル吐出工程７０、描画工程７１、待機工程７２の工程順に製造が行われる。待機工程６８では、液滴吐出ヘッド１５から液滴３７を吐出せずに待機している為、端部ノズル温度変化線６６と中央部ノズル温度変化線６７は、変動が少なく推移している。図２に示すように、中央に位置するノズル３１ｅは、端に位置するノズル３１ａに比べて、空気の流れ３２が接し難くなっていることから、ノズル３１ｅにおける温度は、ノズル３１ａにおける温度より高くなっている。従って、中央部ノズル温度変化線６７の待機温度６７ａは、端部ノズル温度変化線６６の待機温度６６ａより高くなっている。
In the passage of time 64 on the horizontal axis, manufacturing is performed in the order of the
部分ノズル吐出工程６９において、端に位置するノズル３１ａから液滴３７を吐出する部分ノズル吐出制御を行う。吐出のために供給されるエネルギの一部が熱に変換されることから、ノズル３１ａの温度が上昇する。従って、端部ノズル温度変化線６６は上昇する。このとき、中央部ノズル温度変化線６７は、待機温度６７ａのまま維持される。
In the partial
続いて、全ノズル吐出工程７０において、総てのノズル３１から液滴３７を吐出する全ノズル吐出制御を行う。吐出のために供給されるエネルギの一部が熱に変換されることから、総てのノズル３１の温度が上昇する。従って、端部ノズル温度変化線６６及び中央部ノズル温度変化線６７は上昇する。ノズル３１において、発熱する熱量と、空気の流れ３２により奪われる熱量とが、略同じくなる連続吐出ノズル温度６６ｂ，６７ｂで、温度が平衡状態となる。
Subsequently, in the all-
そして、描画工程７１に移行する。このとき、既に、ノズル温度は、上昇していることから、温度の変動が少ない状態で描画することができる。
Then, the
描画工程７１が終了して、待機工程７２に移行すると、液滴３７の吐出に伴う加熱が停止する。従って、端部ノズル温度変化線６６は、待機温度６６ａまで低下し、中央部ノズル温度変化線６７は、待機温度６７ａまで低下する。
When the
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、複数のノズル３１を有する液滴吐出ヘッド１５を用いて、機能液３４を液滴３７にして基板８に吐出し、描画している。予備吐出工程と描画工程とがこの順にて実施される。予備吐出工程では、ノズルから液滴３７を予備吐出領域に吐出する。描画工程では、ノズル３１から液滴３７をワークに吐出する。
As described above, this embodiment has the following effects.
(1) According to this embodiment, using the
機能液３４は、温度が変わると粘性が変わる為、液滴吐出ヘッド１５内で、機能液３４に圧力が加わり、ノズル３１等の流路を通過するとき、流体抵抗が変化して、ノズル３１から吐出される機能液３４の吐出量が変化する。従って、ノズル３１間の温度差が少ない状態にて吐出する方が、温度差が大きい場合に比べて、ノズル３１間の吐出量の差を少なく、吐出することができる。
Since the viscosity of the functional liquid 34 changes as the temperature changes, pressure is applied to the
液滴３７を吐出しない場合には、液滴吐出ヘッド１５は、放熱して温度が下がる。一方、液滴３７を吐出する場合には、液滴３７を吐出するときのエネルギの一部が熱に変換されて、液滴吐出ヘッド１５が発熱する。そして、発熱する液滴吐出ヘッド１５の温度は上昇する。とくに、液滴３７を吐出するノズル３１の場所の温度が上昇する。
When the
予備吐出工程では、液滴吐出ヘッド１５における複数のノズル３１の中には、温度の高いノズル３１と温度の低いノズル３１とが存在する。このとき、温度の高いノズル３１から液滴３７を吐出する吐出回数に比べて、温度の低いノズル３１から液滴３７を吐出する吐出回数が多くなるように吐出している。
In the preliminary ejection step, among the plurality of
吐出回数が多い方のノズル３１が、少ない方ノズル３１に比べて、温度上昇が大きくなる。温度の低い方のノズル３１における吐出回数を、温度の高い方のノズル３１における吐出回数より多くすることにより、温度の低い方のノズル３１は、温度上昇が、温度の高い方のノズル３１より大きくなる。従って、温度の低い方のノズル３１と温度の高い方のノズル３１の温度差が少なくなる。つまり、ノズル３１間の温度差を少なくすることができる。
The
予備吐出工程から、描画工程に移行するとき、各ノズル３１間の温度差を少なくすることができる為、描画工程において、最初に吐出する吐出量は、ノズル３１毎の差を少なくできる。その結果、吐出量を精度良く制御して描画することができる。
When shifting from the preliminary discharge process to the drawing process, the temperature difference between the
（２）本実施形態によれば、液滴吐出ヘッド１５のノズル３１は、配列して配置されている。中央のノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆは、液滴吐出ヘッド１５の中央にノズルが配置され、端のノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉは、液滴吐出ヘッド１５の端に近い場所に配置される。
(2) According to the present embodiment, the
液滴吐出ヘッド１５に、空気の流れ３２が通過するとき、中央のノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆは、液滴吐出ヘッド１５の中央にあることから、空気の流れ３２が接し難くなっている。一方、端のノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉでは、片側にノズル３１が無く、液滴吐出ヘッド１５の端に近い場所に配置され、空気の流れ３２が接しやすくなっている。空気の流れ３２は、液滴吐出ヘッド１５の熱を奪うことから、空気の流れ３２の接しやすい液滴吐出ヘッド１５の端に近い場所の温度が低くなる。従って、端のノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉは、中央のノズル３１ｄ，３１ｅ，３１ｆに比べて、温度が低くなり易くなっている。
When the
温度の低くなり易い端のノズル３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｇ，３１ｈ，３１ｉにおいて、暖機吐出演算部５６は、予備吐出における吐出回数を中央より多く吐出するように制御することにより、液滴吐出ヘッド１５内における、ノズル温度の差を少なくすることができる。その結果、描画工程に移行する後において、吐出量を精度良く制御して描画することができる。
In the
（３）本実施形態によれば、予備吐出工程は、部分ノズル吐出工程と全ノズル吐出工程とを有している。暖機吐出演算部は、部分ノズル吐出工程において、部分ノズル吐出制御を行い、全ノズル吐出工程では、全ノズル吐出制御を行っている。 (3) According to the present embodiment, the preliminary discharge step includes a partial nozzle discharge step and a full nozzle discharge step. The warm-up discharge calculation unit performs partial nozzle discharge control in the partial nozzle discharge process, and performs full nozzle discharge control in the total nozzle discharge process.
部分ノズル吐出工程では、暖機吐出演算部５６が、液滴吐出ヘッド１５を部分ノズル吐出制御して、描画工程にて吐出するノズルの３１の内、一部のノズル３１から液滴３７を吐出する。一方、全ノズル吐出工程では、暖機吐出演算部５６が、液滴吐出ヘッド１５を全ノズル吐出制御して、描画工程にて吐出するノズル３１の内、総てのノズル３１から液滴３７を吐出する。
In the partial nozzle discharge process, the warm-up
部分ノズル吐出工程では、温度の低いノズル３１から液滴３７を吐出して、ノズル間の温度差を少なくすることができる。又、全ノズル吐出工程では、描画工程にて吐出するノズル３１の内、総てのノズル３１から液滴を吐出して、ノズル３１全体の温度を上昇させる。
In the partial nozzle discharge step, the
部分ノズル吐出工程と、全ノズル吐出工程とを行うことにより、ノズル３１間の温度差を少なくし、ノズル３１全体の温度を上昇させることができる。従って、ステップＳ１０の予備吐出工程にて、各ノズルの温度をステップＳ３の描画工程におけるノズル温度と略同じにすることができる。その結果、ステップＳ３の描画工程において、吐出量を精度良く制御して描画することができる。
By performing the partial nozzle ejection step and the entire nozzle ejection step, the temperature difference between the
（４）本実施形態によれば、ステップＳ１０の予備吐出工程において、暖機吐出演算部５６は、ノズル３１の吐出回数を計数する。続いて、予め設定された回数を超えたノズル３１からは、吐出を停止している。ノズルの吐出回数とノズルの温度との相関関係が予め解っているとき、ノズル３１の温度を所定の温度にするための吐出回数を予測することが可能となる。従って、ノズル３１の温度を所定の温度にするために必要な吐出回数以上に吐出して、機能液３４を無駄にすることがない。その結果、省資源な描画方法とすることができる。
(4) According to the present embodiment, the warm-up
（５）本実施形態によれば、暖機吐出演算部５６は、複数のノズル３１を有する液滴吐出ヘッド１５を制御して、機能液３４を液滴３７にして基板８に吐出している。ノズル３１から液滴３７を基板８に吐出する前に予備吐出を行い、予備吐出では、ノズル３１から液滴３７を予備吐出領域に吐出する。
(5) According to this embodiment, the warm-up
予備吐出を行うとき、液滴吐出ヘッド１５における複数のノズル３１の中には、温度の高いノズル３１と温度の低いノズル３１とが存在する。このとき、暖機吐出演算部５６は、温度の高いノズル３１から液滴３７を吐出する吐出回数に比べて、温度の低いノズル３１から液滴３７を吐出する吐出回数が多くなるように吐出回数を制御する。
When performing preliminary discharge, among the plurality of
吐出回数が多い方のノズル３１が、少ない方ノズル３１に比べて、温度上昇が大きくなる。温度の低い方のノズル３１における吐出回数を、温度の高い方のノズル３１における吐出回数より多くすることにより、温度の低い方のノズル３１は、温度上昇が、温度の高い方のノズル３１より大きくなる。従って、温度の低い方のノズル３１と温度の高い方のノズル３１の温度差が少なくなる。つまり、ノズル３１間の温度差を少なくすることができる。
The
予備吐出の次に、基板８に液滴３７を吐出するとき、各ノズル３１間の温度差を少なくすることができる為、基板８に最初に吐出する吐出量は、ノズル３１毎の差を少なくできる。その結果、吐出量を精度良く制御して描画することができる。
When the
（第２の実施形態）
次に、本発明を具体化した描画方法の一実施形態について図７〜図９を用いて説明する。
この実施形態が第１の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッドに温度センサが内蔵されている点にある。
(Second Embodiment)
Next, an embodiment of a drawing method embodying the present invention will be described with reference to FIGS.
This embodiment differs from the first embodiment in that a temperature sensor is built in the droplet discharge head.
図７は、液滴吐出ヘッドの要部模式断面図である。すなわち、本実施形態では、図７に示すように、液滴吐出ヘッド７５が構成されている。液滴吐出ヘッド７５は、ノズルプレート３０を備えている。ノズルプレート３０には、ノズル３１が形成されている。ノズルプレート３０の上側であってノズル３１と相対する位置には、ノズル３１と連通するキャビティ３３が形成されている。そして、ノズルプレート３０及びキャビティ３３内の機能液３４と接するように温度センサ７６が形成されている。
FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of a main part of the droplet discharge head. That is, in the present embodiment, a
温度センサ７６は、ノズルプレート３０及びキャビティ３３内の機能液３４と接していることから、ノズルプレート３０及びキャビティ３３内の機能液３４の温度を検出可能となっている。このノズルプレート３０及び機能液３４は、ノズル３１付近に位置することから、温度センサ７６が検出する温度は、ノズル３１付近の温度（以下、ノズル温度と称す）とすることができる。
Since the
液滴吐出ヘッド７５は、複数のノズル３１を備え、１個のノズル３１と対応して、１個の温度センサ７６が、配置されている。そして、各ノズル３１付近の温度を検出可能となっており、配列されている総てのノズル３１における、ノズル温度の分布が検出される。
The
図８は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。液滴吐出装置７７は、液滴吐出ヘッド７５を１個配置し、液滴吐出ヘッド７５は、ノズル３１を３０個備えている。そして、温度センサ７６は、各ノズル３１に、１個配置されている。つまり、ノズル３１が３０個配置されていることから、温度センサ７６も３０個配置されている。
FIG. 8 is an electric control block diagram of the droplet discharge device. The
温度センサ７６は、ノズル温度検出装置７８と接続されている。又、ノズル温度検出装置７８は、入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）４５及びデータバス４６を介してＣＰＵ４０と接続されている。温度センサ７６及び、ノズル温度検出装置７８などから、温度計測部が構成されている。
The
温度センサ７６は、ノズル３１付近の温度に対応する電圧信号をノズル温度検出装置７８に出力する。ノズル温度検出装置７８は、電圧信号を入力して、温度に対応するデジタル信号に変換し、ＣＰＵ４０に出力する。温度センサ７６が各ノズル３１付近に配置され、ＣＰＵ４０は、各ノズル３１のノズル温度を認識可能となっている。
The
図９は、液滴吐出ヘッドから予備吐出して描画する製造工程を示すフローチャートである。
図９において、ステップＳ２１は、温度計測工程に相当し、ノズル温度検出装置を用いて、各ノズルのノズル温度を検出する工程である。次にステップＳ２２に移行する。
ステップＳ２２は、吐出判断工程に相当し、ノズル温度が設定値より低いノズルがあるかを、暖機吐出演算部５６が判断する工程である。そして、ノズル温度が、設定値より低いノズルがあるとき、（ＹＥＳのとき）、ステップＳ２３に移行する。ステップＳ２２において、ノズル温度が、設定値より低いノズルがないとき、（ＮＯのとき）、ステップＳ２４に移行する。
FIG. 9 is a flowchart showing a manufacturing process for drawing by preliminary discharge from the droplet discharge head.
In FIG. 9, step S21 corresponds to a temperature measurement step, and is a step of detecting the nozzle temperature of each nozzle using a nozzle temperature detection device. Next, the process proceeds to step S22.
Step S22 corresponds to a discharge determination step, in which the warm-up
ステップＳ２３は、吐出工程に相当し、フラッシングユニットに吐出する工程である。次にステップＳ２１に移行する。ステップＳ２１〜ステップＳ２３をまとめてステップＳ３０とする。ステップＳ３０は、予備吐出工程に相当し、総てのノズル温度が設定値より高くなるまで、予備吐出を行う工程である。次にステップＳ２４に移行する。 Step S23 corresponds to a discharge step, and is a step of discharging to the flushing unit. Next, the process proceeds to step S21. Steps S21 to S23 are collectively referred to as step S30. Step S30 corresponds to a preliminary discharge step, and is a step of performing preliminary discharge until all nozzle temperatures are higher than a set value. Next, the process proceeds to step S24.
ステップＳ２４は、描画工程に相当し、ノズルから基板に液滴を吐出して、機能液を塗布する工程である。この工程では、１つの工程で所定の領域を塗布する。次にステップＳ２５に移行する。ステップＳ２５は、予定した領域総てに機能液を塗布したかを判断する工程に相当し、ＣＰＵが、機能液を塗布する予定の領域と、既に塗布した領域とを比較して、塗布する予定で、まだ塗布していない領域があるかを判断する工程である。塗布していない領域があるとき（ＮＯのとき）、ステップＳ２１に移行する。ステップＳ２５において、塗布していない領域がないとき（ＹＥＳのとき）、基板に描画する製造工程を終了する。 Step S24 corresponds to a drawing process, and is a process in which droplets are ejected from a nozzle onto a substrate and a functional liquid is applied. In this step, a predetermined region is applied in one step. Next, the process proceeds to step S25. Step S25 corresponds to a step of determining whether or not the functional liquid has been applied to all the planned areas. The CPU compares the area where the functional liquid is scheduled to be applied with the area where the functional liquid has already been applied, and plans to apply it. In this step, it is determined whether there is an area that has not been applied yet. When there is an uncoated region (NO), the process proceeds to step S21. In step S25, when there is no uncoated region (YES), the manufacturing process of drawing on the substrate is terminated.
次に、図８を用いて、図９に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。
ステップＳ２１では、温度センサ７６が各液滴吐出ヘッド７５のノズル温度を検出し、電圧信号に変換して、ノズル温度検出装置７８に出力する。ノズル温度検出装置７８は、ノズル温度を示す電圧信号をデジタル信号に変換して、ＣＰＵ４０に出力する。ＣＰＵ４０は、ノズル温度を示すデジタル信号を受信して、各ノズル３１のノズル温度を認識する。
Next, the manufacturing method will be described in detail with reference to FIG. 8 in association with the steps shown in FIG.
In step S 21, the
ステップＳ２２では、暖機吐出演算部５６が暖機駆動データ５３から、ノズル温度の設定値を読み取る。ノズル温度の設定値は、予め吐出実験により、定められた値であり、所定の時間の間、連続吐出するときのノズル温度が設定され、暖機駆動データ５３に格納されている。暖機吐出演算部５６は、ノズル温度の設定値と各ノズル３１のノズル温度とを比較し、ノズル温度がノズル温度の設定値より低いノズル３１を抽出する。
In step S <b> 22, the warm-up
ステップＳ２３では、ＣＰＵ４０が、ヘッド駆動回路４４へ吐出の指示信号を出力する。このとき、ＣＰＵ４０は、ステップＳ２２で抽出したノズル３１から吐出する指示信号を出力する。ヘッド駆動回路４４は、指示信号を入力し、液滴吐出ヘッド７５を駆動する。そして、液滴吐出ヘッド７５は、ステップＳ２２で抽出されたノズル３１から、所定の回数分の液滴３７を吐出する。つまり、液滴吐出ヘッド１５は、ノズル温度がノズル温度の設定値より低いノズル３１から、所定の回数分の液滴３７を吐出する。
In step S <b> 23, the
ステップＳ３０では、ステップＳ２１〜ステップＳ２３を繰り返すことにより、各ノズル３１の温度が上昇する。そして、総てのノズル３１のノズル温度が、設定値より高くなる。そのとき、ステップＳ２２からステップＳ２４へ移行する。
In step S30, the temperature of each
ステップＳ２４では、液滴吐出ヘッド７５のノズル３１から基板８へ液滴３７を吐出する。このとき、基板８へ液滴３７を吐出する前に、総てのノズル３１のノズル温度が、設定値より高くなっている。従って、基板８へ液滴３７を吐出するとき、吐出によるノズル温度の変動が少なくなる。
In step S <b> 24, the
ステップＳ２５において、液滴３７を吐出する予定の場所に、総て吐出したことを確認し、描画の製造工程を終了する。
In step S25, it is confirmed that all the
上述したように、本実施形態によれば、第１の実施形態の効果（１）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ３０の予備吐出工程を有し、ステップＳ３０の予備吐出工程は、ステップＳ２１の温度計測工程と、ステップＳ２２の吐出判断工程と、ステップＳ２３の吐出工程とを備えている。ステップＳ２１にて、複数のノズル３１の温度を計測する。ステップＳ２２では、計測する複数のノズル温度により、各ノズル３１から液滴３７を吐出するか、しないかを判断する。続いて、ステップＳ２３では、吐出すると判断したノズル３１から液滴３７を吐出する。
As described above, according to the present embodiment, in addition to the effect (1) of the first embodiment, the following effect is obtained.
(1) According to the present embodiment, the preliminary ejection process of step S30 includes the temperature measurement process of step S21, the ejection determination process of step S22, and the ejection process of step S23. It has. In step S21, the temperatures of the plurality of
各ノズル３１の温度を計測して、各ノズル３１が予め設定されている温度より低いノズル３１からのみ吐出している。各ノズル３１が所定の温度に達するとき、吐出を停止する為、必要な吐出回数以上に吐出して、機能液３４を無駄にすることがない。その結果、省資源な描画方法とすることができる。
The temperature of each
（２）本実施形態によれば、各ノズル３１の温度を計測して、各ノズル３１が予め設定した温度より低いノズル３１からのみ吐出している。各ノズル３１の温度が予め設定した温度に達するとき、吐出を停止する為、各ノズル３１の温度を予め設定した温度に揃えることができる。
(2) According to this embodiment, the temperature of each
（３）本実施形態によれば、各ノズル３１の温度を計測して、各ノズル３１が予め設定した温度より低いノズル３１からのみ吐出している。各ノズル３１の温度が予め設定した温度に達するとき、吐出を停止する。予め設定した温度は、所定の時間の間、連続吐出するときのノズル温度が設定されている。そして、ステップＳ２４の描画工程で吐出する前において、既に、ノズル温度が上昇している為、ステップＳ２４で連続吐出しても、ノズル温度の変動を少なくすることができる。その結果、吐出量を精度良く制御して描画することができる。
(3) According to this embodiment, the temperature of each
（第３の実施形態）
次に、本発明を具体化した描画方法の一実施形態について図８及び図１０を用いて説明する。
この実施形態が第２の実施形態と異なるところは、複数のノズル間における温度差を演算する工程が追加されている点にある。
(Third embodiment)
Next, an embodiment of a drawing method embodying the present invention will be described with reference to FIGS.
This embodiment is different from the second embodiment in that a step of calculating a temperature difference between a plurality of nozzles is added.
図１０は、液滴吐出ヘッドから予備吐出して描画する製造工程を示すフローチャートである。図１０に示すように、第２の実施形態にステップＳ４１及びステップＳ４２が追加されている。他のステップは第２の実施形態と同様であり、説明を省略する。 FIG. 10 is a flowchart showing a manufacturing process in which drawing is performed by preliminary discharge from the droplet discharge head. As shown in FIG. 10, step S41 and step S42 are added to the second embodiment. Other steps are the same as those in the second embodiment, and a description thereof will be omitted.
ステップＳ２２の吐出判断工程でＮＯのとき、ステップＳ４１に移行する。ステップＳ４１は、温度差演算工程に相当し、各ノズルのノズル温度の温度差を演算する工程である。次にステップＳ４２に移行する。ステップＳ４２は、吐出判断工程に相当し、ノズル温度の温度差が閾値より低いノズルがあるかを暖機吐出演算部５６が判断する工程である。そして、ノズル温度の温度差が、閾値より低いノズルがあるとき、（ＹＥＳのとき）、ステップＳ２３に移行する。ステップＳ４２において、ノズル温度の温度差が、閾値より低いノズルがないとき、（ＮＯのとき）、ステップＳ２４に移行する。ステップＳ２１〜ステップＳ４２をまとめてステップＳ５０の予備吐出工程とする。
When the discharge determination process in step S22 is NO, the process proceeds to step S41. Step S41 corresponds to a temperature difference calculation step, and is a step of calculating the temperature difference between the nozzle temperatures of the nozzles. Next, the process proceeds to step S42. Step S42 corresponds to a discharge determination step, in which the warm-up
次に、図８を用いて、図１０に示したステップと対応させて、製造方法を詳細に説明する。尚、ステップＳ２１〜ステップＳ２３は、第２の実施形態と同じであり、説明を省略する。
ステップＳ４１では、各ノズル３１におけるノズル温度の温度差を演算する。ノズル温度は、ステップＳ２１にて検出した温度の値を用いる。
Next, the manufacturing method will be described in detail with reference to FIG. 8 in association with the steps shown in FIG. Steps S21 to S23 are the same as those in the second embodiment, and a description thereof will be omitted.
In step S41, the temperature difference of the nozzle temperature in each
ステップＳ４２において、暖機吐出演算部５６は、暖機駆動データ５３に格納されている温度差の閾値を参照する。温度差の閾値は、予め事前実験により、最適な値が求められ、設定されている。詳細には、ノズル３１から吐出する液滴３７の量である吐出量と、ノズル温度との相間を求める。続いて、吐出量の変動の許容範囲からノズル温度の許容範囲を求める。ノズル温度の許容範囲より狭い範囲を設定し、温度差の閾値とする。ノズル温度の許容範囲より温度差の閾値を狭く設定するのは、外乱の要因を配慮し、余裕を持たせている為である。
In step S <b> 42, the warm-up
次に、暖機吐出演算部５６は、総てのノズル３１におけるノズル温度の中で最も高い温度である最高温度値を検索する。そして、最高温度値から各ノズル３１におけるノズル温度を引いた値である温度差値を演算する。続いて、温度差値と温度差の閾値とを比較演算して、温度差値が、温度差の閾値より大きい温度差となるノズル３１を選別する演算を行う。つまり、ノズル温度が最も高い温度に比べて、閾値の温度より低いノズル温度のノズル３１を選別する。
Next, the warm-up
ステップＳ２３では、ステップＳ４２において、温度差が閾値より低いと判断されたノズル３１から、所定の回数分の液滴を吐出する。又、ステップＳ４２において、ノズル温度が最も高い温度に比べて、閾値の温度より低いノズル温度のノズル３１がないとき、ステップＳ２４に移行する。このとき、各ノズル３１のノズル温度差は、閾値内に入った状態となっている。
In step S23, a predetermined number of droplets are ejected from the
上述したように、本実施形態によれば、第２の実施形態の効果（１）〜（３）に加え、以下の効果を有する。
（１）本実施形態によれば、ステップＳ５０の予備吐出工程を有し、ステップＳ５０の予備吐出工程は、ステップＳ２１の温度計計測工程と、ステップＳ４１の温度差演算工程と、ステップＳ４２の吐出判断工程と、ステップＳ２３の吐出工程とを備えている。
As described above, according to the present embodiment, in addition to the effects (1) to (3) of the second embodiment, the following effects are obtained.
(1) According to the present embodiment, the preliminary ejection process in step S50 includes the thermometer measurement process in step S21, the temperature difference calculation process in step S41, and the ejection in step S42. The determination process and the discharge process of step S23 are provided.
ステップＳ２１にて、複数のノズル３１の温度を計測する。ステップＳ４１にて、暖機吐出演算部５６が、ノズル温度の温度差を演算する。ステップＳ４２では、暖機吐出演算部５６が、最も高いノズルの温度と各ノズル３１のノズル温度との温度差が、閾値より大きいノズル３１を選別する。続いて、ステップＳ２３では、選別したノズルから液滴を吐出している。
In step S21, the temperatures of the plurality of
各ノズル３１の温度を計測して、各ノズル３１が他のノズル３１における温度より低いノズル３１からのみ吐出している。各ノズル３１の温度差が閾値の温度以内に達するとき、吐出を停止する為、各ノズルの温度差を閾値の温度以内に揃えることができる。その結果、ステップＳ２４の描画工程に移行する後において、吐出量を精度良く制御して描画することができる。
The temperature of each
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
（変形例１）
前記第１の実施形態において、図２（ａ）に示すように、キャリッジ１３に１つの液滴吐出ヘッド１５を配置したが、複数の液滴吐出ヘッド１５を配置しても良い。例えば、図１１に示すように、３個の液滴吐出ヘッド８０，８１，８２を配置しても良い。この場合においても、キャリッジ１３の周囲から空気の流れ３２が液滴吐出ヘッド８０，８１，８２に流れるとき、空気の流れ３２に接しやすいノズル３１と接し難いノズル３１とが存在する。例えば、ノズル３１のうち、図中左のノズル３１ｊと図中右のノズル３１ｋとは、Ｘ方向に流れる空気の流れ３２と接し易くなる為、温度が低くなり易い。
In addition, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A various change and improvement can also be added. A modification will be described below.
(Modification 1)
In the first embodiment, as shown in FIG. 2A, one
この場合にも、第１の実施形態と同様、他のノズル３１より多くノズル３１ｊ，３１ｋから予備吐出することにより、ノズル温度を上昇させることができる。又、ノズル３１を数多く設置したいとき、１つの液滴吐出ヘッド１５に、ノズル３１を多く設置する場合に比べて、液滴吐出ヘッド８０，８１，８２に分ける方が、液滴吐出ヘッド８０，８１，８２を製造し易くなる。これは、ノズル３１を数多く配置するとき、圧電素子３６やキャビティ３３を形成する歩留まりが下がることに起因する。従って、液滴吐出ヘッド８０，８１，８２を複数配置することにより製造し易い液滴吐出装置１とすることができる。
Also in this case, similarly to the first embodiment, the nozzle temperature can be increased by performing preliminary discharge from the
（変形例２）
第１の実施形態において、フラッシングユニット１８は、クリーニングユニット１６内に配置されたが、ステージ４に配置されてもよい。フラッシングユニット１８と基板８との距離を短くすることができることから、予備吐出の後、液滴吐出ヘッド１５が冷却されない間に、基板８に吐出して描画することができる。その結果、予備吐出工程から移行し、描画工程において、吐出量を精度良く制御して描画することができる。
(Modification 2)
In the first embodiment, the
（変形例３）
第１の実施形態において、予備吐出をフラッシングユニット１８に配置して予備吐出を実施したが、基板８に予備吐出領域も設けて予備吐出を行っても良い。予備吐出の後、液滴吐出ヘッド１５が冷却されない間に、基板８に吐出して描画することができる。その結果、予備吐出工程から移行し、描画工程において、吐出量を精度良く制御して描画することができる。
(Modification 3)
In the first embodiment, preliminary ejection is performed by arranging preliminary ejection in the
（変形例４）
第１の実施形態において、ステップＳ１０の予備吐出工程では、ステップＳ１の部分ノズル吐出工程の後、ステップＳ２の全ノズル吐出工程を行ったが、逆の順でも良い。ステップＳ２により、総てのノズル３１におけるノズル温度を上げた後、ステップＳ１で、温度の低いノズル３１から液滴３７を吐出して、一部のノズル３１の温度を上げても良い。同様な効果が得られる。
(Modification 4)
In the first embodiment, in the preliminary ejection process in step S10, the all-nozzle ejection process in step S2 is performed after the partial nozzle ejection process in step S1, but the reverse order may be used. After raising the nozzle temperature of all the
さらに、ステップＳ１、ステップＳ２、の後、再度ステップＳ１を行っても良い。ノズル３１間のノズル温度差をさらに少なくすることができる。
Further, step S1 may be performed again after step S1 and step S2. The nozzle temperature difference between the
（変形例５）
第１の実施形態〜第３の実施形態において、総てのノズル３１を用いて、予備吐出をし、描画しているが、一部のノズル３１を使用せずに、予備吐出及び、描画をしても良い。使用しないノズル３１から予備吐出をしないことから、機能液３４を無駄に吐出することがない。その結果、省資源な描画方法とすることができる。
(Modification 5)
In the first to third embodiments, all the
（変形例６）
第２の実施形態において、総てのノズル３１において、１個のノズル３１と対応して１個の温度センサ７６を配置したが、複数のノズル３１に対して１つの温度センサ７６を配置しても良い。つまり、例えば、２つのノズル３１に対して１つの温度センサ７６を配置しても良い。温度センサ７６の数が少なくとも、温度分布を認識可能となる場合には、ノズル３１の数に対して、温度センサ７６の数を減らしても良い。部品の数が減ることから、生産性良く液滴吐出装置７７を製造することができる。
(Modification 6)
In the second embodiment, one
（変形例７）
前記第１の実施形態〜第３の実施形態では、コンピュータのメモリ４１内に動作手順に沿ったプログラムを記憶し、プログラムにより液滴吐出装置１、７７の制御を行ったが、これに限らず、電気回路にて構成される制御装置にて制御しても良い。周辺機器が手順通りに制御されれば良い。
(Modification 7)
In the first to third embodiments, the program according to the operation procedure is stored in the
４…テーブルとしてのステージ、８…ワークとしての基板、１５，７５，８０，８１，８２…液滴吐出ヘッド、１８…予備吐出領域としてのフラッシングユニット、３１…ノズル、３４…機能液、３７…液滴、５６…暖機吐出演算部、７８…温度計測部としてのヘッド温度検出装置。 4 ... Stage as table, 8 ... Substrate as work, 15, 75, 80, 81, 82 ... Droplet ejection head, 18 ... Flushing unit as preliminary ejection area, 31 ... Nozzle, 34 ... Functional liquid, 37 ... Droplet, 56... Warm-up discharge calculation unit, 78... Head temperature detection device as a temperature measurement unit.
Claims (15)
前記機能液を予備吐出領域に吐出する予備吐出工程を有し、
前記予備吐出工程では、前記ノズルの温度が高い前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出回数に比べて、前記ノズルの温度が低い前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出回数が多くなるように吐出することを特徴とする吐出方法。 A discharge method for discharging functional liquid from a plurality of nozzles,
Having a preliminary discharge step of discharging the functional liquid to the preliminary discharge region;
In the preliminary ejection step, ejection is performed such that the number of ejections of the droplets from the nozzles having a low nozzle temperature is greater than the number of ejections of the droplets from the nozzles having a high nozzle temperature. A discharge method characterized by:
前記機能液を予備吐出領域に吐出する予備吐出工程を有し、
前記予備吐出工程では、前記複数のノズルの温度分布状態に応じて、前記各ノズルからの前記機能液の吐出回数を変えることを特徴とする吐出方法。 A discharge method for discharging functional liquid from a plurality of nozzles,
Having a preliminary discharge step of discharging the functional liquid to the preliminary discharge region;
In the preliminary discharge step, the discharge method is characterized in that the number of discharges of the functional liquid from each nozzle is changed according to the temperature distribution state of the plurality of nozzles.
前記機能液を予備吐出領域に吐出する予備吐出工程を有し、
前記予備吐出工程では、前記配列された複数のノズルの中央部と端部の温度差によって、前記各ノズルからの前記機能液の吐出回数を変えることを特徴とする吐出方法。 A discharge method for discharging functional liquid from a plurality of arranged nozzles,
Having a preliminary discharge step of discharging the functional liquid to the preliminary discharge region;
In the preliminary ejection step, the ejection method is characterized in that the number of ejections of the functional liquid from each nozzle is changed according to a temperature difference between a central portion and an end portion of the plurality of arranged nozzles.
前記予備吐出工程は、部分ノズル吐出工程と全ノズル吐出工程とを有し、
前記部分ノズル吐出工程では、前記ノズルの内、一部の前記ノズルから前記液滴を吐出し、
全ノズル吐出工程では、前記ノズルの内、総ての前記ノズルから前記液滴を吐出することを特徴とする吐出方法。 It is the discharge method according to any one of claims 1 to 3,
The preliminary ejection step includes a partial nozzle ejection step and an entire nozzle ejection step,
In the partial nozzle ejection step, the droplets are ejected from some of the nozzles of the nozzles,
In the all-nozzle discharge step, the droplets are discharged from all the nozzles among the nozzles.
前記予備吐出工程において、前記ノズルの吐出回数を計数し、
予め設定された回数を超えた前記ノズルからは、吐出を停止することを特徴とする吐出方法。 The discharge method according to any one of claims 1 to 4,
In the preliminary ejection step, the number of ejections of the nozzle is counted,
An ejection method, wherein ejection is stopped from the nozzles that have exceeded a preset number of times.
前記予備吐出工程において、
複数の前記ノズルの温度を計測する温度計測工程と、
前記温度計測工程にて計測する複数の前記ノズルの温度により、各前記ノズルから前記液滴を吐出するか、しないかを判断する吐出判断工程と、
前記吐出判断工程で吐出すると判断した前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出工程とを備えることを特徴とする吐出方法。 It is the discharge method according to any one of claims 1 to 5,
In the preliminary discharge step,
A temperature measuring step for measuring the temperature of the plurality of nozzles;
A discharge determination step of determining whether or not to discharge the droplets from each of the nozzles based on the temperature of the plurality of nozzles measured in the temperature measurement step;
A discharge step of discharging the droplets from the nozzles determined to be discharged in the discharge determination step.
前記吐出判断工程において、前記ノズルの温度が最も高い前記ノズルの温度との温度差が、閾値より大きい前記ノズルから前記液滴を吐出する判断をすることを特徴とする吐出方法。 The discharge method according to claim 6,
In the discharge determination step, it is determined that the droplet is discharged from the nozzle having a temperature difference from the nozzle temperature having the highest nozzle temperature greater than a threshold value.
前記吐出判断工程において、
前記ノズルの温度が、予め設定した温度より低い前記ノズルから、前記液滴を吐出する判断をすることを特徴とする吐出方法。 The discharge method according to claim 6,
In the discharge determination step,
A discharge method comprising: determining that the droplets are discharged from the nozzle whose temperature is lower than a preset temperature.
前記ノズルから前記機能液を予備吐出する予備吐出領域と、
前記液滴吐出ヘッドと前記予備吐出領域とを相対移動させるテーブルとを備え、
前記予備吐出を行うとき、前記ノズルの温度が高い前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出回数に比べて、前記ノズルの温度が低い前記ノズルから前記液滴を吐出する吐出回数が多くなるように、吐出制御する暖機吐出演算部を備えることを特徴とする液滴吐出装置。 A droplet discharge device that discharges a functional liquid from a plurality of nozzles of a droplet discharge head,
A preliminary discharge region for preliminary discharge of the functional liquid from the nozzle;
A table for relatively moving the droplet discharge head and the preliminary discharge area;
When performing the preliminary discharge, the number of times of discharging the droplets from the nozzle having a low nozzle temperature is increased compared to the number of times of discharging the droplets from the nozzle having a high nozzle temperature. A droplet discharge apparatus comprising a warm-up discharge calculation unit that controls discharge.
前記ノズルは配列して配置され、
温度が高い前記ノズルは、配列の中央又は、中央に近い場所に位置する前記ノズルであり、
温度が低い前記ノズルは、配列の端又は、端に近い場所に位置する前記ノズルであることを特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 9,
The nozzles are arranged in an array,
The nozzle having a high temperature is the nozzle located at or near the center of the array,
The nozzle having a low temperature is the nozzle located at the end of the array or at a location close to the end.
前記予備吐出を行うとき、ワークに液滴を吐出する前記ノズルの内、一部の前記ノズルから前記液滴を吐出する部分ノズル吐出制御と、
ワークに液滴を吐出する前記ノズルの内、総ての前記ノズルから前記液滴を吐出する全ノズル吐出制御とを行う暖機吐出演算部を備えることを特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 9,
A partial nozzle discharge control for discharging the droplets from a part of the nozzles among the nozzles for discharging the droplets to the workpiece when performing the preliminary discharge;
A droplet discharge apparatus comprising: a warm-up discharge calculation unit that performs discharge control of all nozzles that discharge droplets from all the nozzles among the nozzles that discharge droplets to a workpiece.
前記予備吐出を行うとき、前記暖機吐出演算部は、前記ノズルの吐出回数を計数し、
予め設定された回数を超えた前記ノズルからは、吐出を停止する制御を行うことを特徴とする液滴吐出装置。 It is a droplet discharge device according to any one of claims 9 to 11,
When performing the preliminary discharge, the warm-up discharge calculation unit counts the number of discharges of the nozzle,
A droplet discharge device that controls to stop discharge from the nozzle that has exceeded a preset number of times.
複数の前記ノズルの温度を計測する温度計測部を備え、
前記予備吐出を行うとき、前記暖機吐出演算部は、前記温度計測部にて計測する複数の前記ノズルの温度により、各前記ノズルから前記液滴を吐出するか、しないかを判断し、
吐出する判断をした前記ノズルから、前記液滴を吐出する制御を行うことを特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 9,
A temperature measuring unit for measuring the temperature of the plurality of nozzles;
When performing the preliminary discharge, the warm-up discharge calculation unit determines whether or not to discharge the droplets from each of the nozzles based on the temperature of the plurality of nozzles measured by the temperature measurement unit,
A droplet discharge apparatus that controls to discharge the droplet from the nozzle that has been determined to be discharged.
前記予備吐出を行うとき、前記暖機吐出演算部は、前記ノズルの温度が最も高い前記ノズルの温度との温度差が、閾値より大きい前記ノズルから前記液滴を吐出する判断をし、
吐出する判断をした前記ノズルから、前記液滴を吐出する制御を行うことを特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 13,
When performing the preliminary discharge, the warm-up discharge calculation unit determines to discharge the droplets from the nozzle having a temperature difference from the nozzle temperature at which the nozzle temperature is the highest, greater than a threshold value,
A droplet discharge apparatus that controls to discharge the droplet from the nozzle that has been determined to be discharged.
前記予備吐出を行うとき、前記暖機吐出演算部は、前記ノズルの温度が予め設定した温度より低い前記ノズルから前記液滴を吐出する判断をすることを特徴とする液滴吐出装置。 The droplet discharge device according to claim 13,
When performing the preliminary discharge, the warm-up discharge calculation unit determines to discharge the liquid droplets from the nozzle in which the temperature of the nozzle is lower than a preset temperature.
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101202141B1 (en) | 2009-04-03 | 2012-11-15 | 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 | Substrate processing apparatus |
-
2006
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