JP2008095746A - 制振装置及び制振方法 - Google Patents
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- 230000001629 suppression Effects 0.000 title abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 title abstract description 13
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims abstract description 44
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 42
- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 35
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 20
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 12
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 17
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 13
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 13
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 12
- 230000006870 function Effects 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 6
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
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- F16C32/044—Active magnetic bearings
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- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
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- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
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Abstract
【解決手段】第1の振動センサ及び第2の振動センサで検出された振動信号を基に傾斜方向振動成分と並進方向振動成分とを分離し、傾斜方向振動成分を傾斜方向信号補償手段で信号補償された出力信号に対し加算して傾斜方向信号を生成し、並進方向振動成分を並進方向信号補償手段で信号補償された出力信号に対し加算して並進方向信号を生成し、並進方向信号及び傾斜方向信号を基に第1の位置センサに対応して配置された第1の径方向電磁石を駆動し、及び第2の位置センサに対応して配置された第2の径方向電磁石を駆動する。
【選択図】図1
Description
図2において、ターボ分子ポンプ100は、円筒状の外筒127の上端に吸気口101が形成されている。そして、外筒127の内方には、ガスを吸引排気するためのタービンブレードによる複数の回転翼102a、102b、102c・・・を周部に放射状かつ多段に形成した回転体103が備えられている。
制振構造物401において、両端支持梁の振動成分は図1中に示すように1次モードと2次モードとに代表される。そして、この2次モードを考慮するため、2次モード振動の腹に相当する位置に加速度センサ403A、403Bを配置する。
このx軸の制御系について、制振機能を追加する。即ち、加速度センサ403A、403Bで検出した信号は、先述したモード分離補償器501を介し、減算器561で減算、加算器563で加算されることで1次モードと2次モードとに分離される。
また、加速度センサ403A、403B及びワイヤ407A、407Bの取り付け位置は、2次モードの節以外であれば制振制御が可能である。
なお、ロッド607、609より上方にもロッドを配設、この上下の2箇所に加速度センサを配置すれば、第1実施形態と同様に鉛直振動の1次モード及び2次モードが制振可能である。
100a、100b リング
103 回転体
104 上側径方向電磁石
105 下側径方向電磁石
106A、106B 軸方向電磁石
107 上側径方向センサ
108 下側径方向センサ
109 軸方向センサ
111 金属ディスク
113 ロータ軸
127 外筒
401 制振構造物
403、403A、403B、433、603、605A、605B 加速度センサ
407A、407B、413A、413B、423A、423B ワイヤ
501 モード分離補償器
503、513、527、529、533、541、549、551、565、577 増幅器
505、535、543 疑似積分回路
507、537、545 補償器
509、539、547 位相進み器
511、557、559 ドライバ
515、567、579 ハイパスフィルター
517、569、581 積分回路
519、521、571、573、583、585 ローパスフィルター
523、531、553、563、575、587 加算器
525、555、561 減算器
607 ロッド
Claims (6)
- 第1の半径方向の位置を検出する第1の位置センサと、
該第1の位置センサと離隔して設置され、第2の半径方向の位置を検出する第2の位置センサと、
該第2の位置センサ及び前記第1の位置センサで検出された変位信号を基に傾斜方向変位成分と並進方向変位成分とを分離する変位分離手段と、
該変位分離手段で分離された傾斜方向変位成分に対し信号補償する傾斜方向信号補償手段と、
前記変位分離手段で分離された並進方向変位成分に対し信号補償する並進方向信号補償手段とを備えた磁気軸受において、
振動を検出可能な第1の振動センサと、
該第1の振動センサと離隔して設置された第2の振動センサと、
該第2の振動センサ及び前記第1の振動センサで検出された振動信号を基に傾斜方向振動成分と並進方向振動成分とを分離する振動分離手段と、
該振動分離手段で分離された傾斜方向振動成分を前記傾斜方向信号補償手段で信号補償された出力信号に対し加算する傾斜方向加算手段と、
前記振動分離手段で分離された並進方向振動成分を前記並進方向信号補償手段で信号補償された出力信号に対し加算する並進方向加算手段と、
該並進方向加算手段で出力された信号と前記傾斜方向加算手段で出力された信号を基に前記第1の位置センサに対応して配置された第1の径方向電磁石を駆動する第1の駆動信号、及び前記第2の位置センサに対応して配置された第2の径方向電磁石を駆動する第2の駆動信号とを生成する駆動信号生成手段とを備えたことを特徴とする制振装置。 - 軸方向の位置を検出する軸方向位置センサと、
該軸方向位置センサで検出された位置信号を補償する位置信号補償手段とを備えた磁気軸受において、
振動を検出可能な軸方向振動センサと、
該軸方向振動センサで出力された信号を基に生成された信号を前記位置信号補償手段で信号補償された出力信号に対し加算する出力信号加算手段と、
該出力信号加算手段で出力された信号を基に前記軸方向位置センサに対応して配置された軸方向電磁石を駆動する軸方向駆動信号を生成する軸方向駆動信号生成手段とを備えたことを特徴とする請求項1記載の制振装置。 - 前記第1の振動センサと前記第2の振動センサとは、振動の2次モードの節以外の正方向波と負方向波のそれぞれに対応して配置されたことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の制振装置。
- 前記磁気軸受は、
外筒と該外筒に固定されたフランジとを備えた真空ポンプに収納され、
該フランジと制振対象との間、及び/又は前記外筒と制振対象との間に前記真空ポンプで生成された反力を伝達する連結部材が配設されたことを特徴とする請求項1、2又は3記載の制振装置。 - 前記連結部材の連結方向と前記磁気軸受のx軸若しくはy軸が一致、又は前記連結部材の連結方向と前記磁気軸受のx軸若しくはy軸が45度隔てて配設されたことを特徴とする請求項4記載の制振装置。
- 第1の半径方向の位置を検出する第1の位置センサと、
該第1の位置センサと離隔して設置され、第2の半径方向の位置を検出する第2の位置センサと、
該第2の位置センサ及び前記第1の位置センサで検出された変位信号を基に傾斜方向変位成分と並進方向変位成分とを分離する変位分離手段と、
該変位分離手段で分離された傾斜方向変位成分に対し信号補償する傾斜方向信号補償手段と、
前記変位分離手段で分離された並進方向変位成分に対し信号補償する並進方向信号補償手段とを備えた磁気軸受において、
第1の振動センサと第2の振動センサとで振動を検出し、
該第2の振動センサ及び前記第1の振動センサで検出された振動信号を基に傾斜方向振動成分と並進方向振動成分とを分離し、
該傾斜方向振動成分を前記傾斜方向信号補償手段で信号補償された出力信号に対し加算して傾斜方向信号を生成し、
前記並進方向振動成分を前記並進方向信号補償手段で信号補償された出力信号に対し加算して並進方向信号を生成し、
該並進方向信号及び前記傾斜方向信号を基に前記第1の位置センサに対応して配置された第1の径方向電磁石を駆動する第1の駆動信号、及び前記第2の位置センサに対応して配置された第2の径方向電磁石を駆動する第2の駆動信号とを生成することを特徴とする制振方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006275571A JP4914165B2 (ja) | 2006-10-06 | 2006-10-06 | 制振装置及び制振方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006275571A JP4914165B2 (ja) | 2006-10-06 | 2006-10-06 | 制振装置及び制振方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008095746A true JP2008095746A (ja) | 2008-04-24 |
JP4914165B2 JP4914165B2 (ja) | 2012-04-11 |
Family
ID=39378816
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006275571A Active JP4914165B2 (ja) | 2006-10-06 | 2006-10-06 | 制振装置及び制振方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4914165B2 (ja) |
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-
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---|---|
JP4914165B2 (ja) | 2012-04-11 |
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Date | Code | Title | Description |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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