JP2008093214A - 超音波トランスデューサ及び超音波診断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基材上に固定された第1の電極と、該第1の電極に対向し空隙部を隔てて配設された振動膜と、該振動膜に支持され所定の電位に接続された第2の電極と、前記第1の電極に電気的に接続された強誘電体と、単パルスの電圧信号でありかつ出力ごとに極性の反転する駆動信号を、前記第1の電極に印加する駆動手段と、を具備する構成とする。
【選択図】図6
Description
以下、本発明の第1の実施形態を図面1から図9を参照して説明する。なお、以下の説明に用いた各図においては、各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせてある。図1は超音波内視鏡の概略構成を示す説明図である。図2は超音波内視鏡の先端部分の構成を示す斜視図である。図3は振動子アレイの斜視図である。図4は、振動子ユニットを超音波の送受方向から見た上面図である。
以下、本発明の第2の実施形態について、図10及び図11を参照して説明する。図10は、第2の実施形態に係る振動子セルの断面図である。図11は、第2の実施形態に係る振動子セル100の等価回路図である。
以下、本発明の第3の実施形態について、図12を参照して説明する。図12は、第3の実施形態に係る振動子セルの断面図である。第3の実施形態では、第2の実施形態の構成に対し、強誘電体膜130の配置のみが異なる。よって、以下ではこの相違点のみを説明するものとし、また、第1の実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し、その説明を適宜に省略するものとする。
以下、本発明の第4の実施形態について、図13を参照して説明する。図13は、第4の実施形態に係る振動子セルの断面図である。第4の実施形態では、第1の実施形態の構成に対し、振動子セルが形成される基板の材料が異なる。よって、以下ではこの相違点のみを説明するものとし、また、第1の実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し、その説明を適宜に省略するものとする。
Claims (12)
- 基板上に配設され、信号の入出力に使われる第1の電極と、
該第1の電極上に空隙部を隔てて配設された振動膜と、
該振動膜上に配設され、接地電位とされる第2の電極と、
前記第1の電極に電気的に接続された強誘電体と、を具備することを特徴とする静電容量型の超音波トランスデューサ。 - 前記強誘電体は、前記基板と前記第1の電極との間に配設されることを特徴とする請求項1に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記強誘電体は、前記第1の電極と前記空隙部との間に配設されることを特徴とする請求項1に記載の超音波トランスデューサ。
- 単パルスの電圧信号でありかつ出力ごとに極性の反転する駆動信号を、前記第1の電極に印加する駆動手段を具備することを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記基板は電気絶縁性の材料により構成され、かつ表面上に導電性の導電性処理部が配設された絶縁性基板であって、前記導電性処理部は接地電位とされることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記導電性処理部は、前記絶縁性基板上に配設された少なくとも一層の金属膜であることを特徴とする請求項5に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記導電性処理部は、前記絶縁性基板上に配設された二層の金属膜により構成され、該二層の金属膜のうち前記絶縁性基板側に配設される一方の金属膜はCr、Ni、Cu、Ti又はSnのいずれかからなり、他方の金属膜はPt、Au、W、Mo又はTaのいずれかからなることを特徴とする請求項5に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記基板は導電性の材料により構成された低抵抗基板であって、該低抵抗基板は接地電位とされることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記低抵抗基板は、シリコン半導体からなることを特徴とする請求項8に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記駆動手段の少なくとも一部は、前記シリコン半導体上に形成されることを特徴とする請求項9に記載の超音波トランスデューサ。
- 前記強誘電体は、ビスマス層状構造強誘電体からなることを特徴とする請求項1から10のいずれか一項に記載の超音波トランスデューサ。
- 請求項1から11のいずれか一項に記載の超音波トランスデューサを具備し、該超音波トランスデューサを体腔内に導入することで超音波診断像を取得することを特徴とする超音波診断装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006279238A JP4839176B2 (ja) | 2006-10-12 | 2006-10-12 | 超音波トランスデューサ及び超音波診断装置 |
PCT/JP2007/069831 WO2008044727A1 (en) | 2006-10-12 | 2007-10-11 | Ultrasonic transducer and ultrasonic diagnostic apparatus |
US12/422,504 US7995423B2 (en) | 2006-10-12 | 2009-04-13 | Ultrasound transducer and ultrasound diagnostic apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006279238A JP4839176B2 (ja) | 2006-10-12 | 2006-10-12 | 超音波トランスデューサ及び超音波診断装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008093214A true JP2008093214A (ja) | 2008-04-24 |
JP4839176B2 JP4839176B2 (ja) | 2011-12-21 |
Family
ID=39282917
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006279238A Expired - Fee Related JP4839176B2 (ja) | 2006-10-12 | 2006-10-12 | 超音波トランスデューサ及び超音波診断装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7995423B2 (ja) |
JP (1) | JP4839176B2 (ja) |
WO (1) | WO2008044727A1 (ja) |
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2006
- 2006-10-12 JP JP2006279238A patent/JP4839176B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-10-11 WO PCT/JP2007/069831 patent/WO2008044727A1/ja active Application Filing
-
2009
- 2009-04-13 US US12/422,504 patent/US7995423B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4839176B2 (ja) | 2011-12-21 |
WO2008044727A1 (en) | 2008-04-17 |
US20090204004A1 (en) | 2009-08-13 |
US7995423B2 (en) | 2011-08-09 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141007 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141007 Year of fee payment: 3 |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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