JPH10332792A - 基板検査用カメラの照明装置 - Google Patents
基板検査用カメラの照明装置Info
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- JPH10332792A JPH10332792A JP9155875A JP15587597A JPH10332792A JP H10332792 A JPH10332792 A JP H10332792A JP 9155875 A JP9155875 A JP 9155875A JP 15587597 A JP15587597 A JP 15587597A JP H10332792 A JPH10332792 A JP H10332792A
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- board
- light
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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- Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査対象の回路基板上における照度むらを低
減可能な基板検査用カメラの照明装置を提供することを
目的とする。 【解決手段】 検査対象の回路基板2を垂直方向から撮
影可能な基板検査用カメラ32の視野範囲を照射するた
めの照射手段34a〜34dを備え、回路基板2におけ
るX−Y方向に移動自在な移動体6a,6bに基板検査
用カメラ32と共に固定されている基板検査用カメラの
照明装置4a,4bにおいて、回路基板2に対して垂直
方向に出射された照射手段34a〜34dの直接光を遮
光すると共に回路基板2に対して斜め方向に出射された
照射手段34a〜34dの直接光を通過可能な遮光手段
35a,35bを備えている。
減可能な基板検査用カメラの照明装置を提供することを
目的とする。 【解決手段】 検査対象の回路基板2を垂直方向から撮
影可能な基板検査用カメラ32の視野範囲を照射するた
めの照射手段34a〜34dを備え、回路基板2におけ
るX−Y方向に移動自在な移動体6a,6bに基板検査
用カメラ32と共に固定されている基板検査用カメラの
照明装置4a,4bにおいて、回路基板2に対して垂直
方向に出射された照射手段34a〜34dの直接光を遮
光すると共に回路基板2に対して斜め方向に出射された
照射手段34a〜34dの直接光を通過可能な遮光手段
35a,35bを備えている。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板、I
Cパッケージ、ハイブリッド用基板およびMCM(Mult
i Chip Module )などの回路基板における回路パターン
や搭載された回路部品の良否を検査するための回路基板
検査に用いられている基板検査用カメラの照明装置に関
するものである。
Cパッケージ、ハイブリッド用基板およびMCM(Mult
i Chip Module )などの回路基板における回路パターン
や搭載された回路部品の良否を検査するための回路基板
検査に用いられている基板検査用カメラの照明装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】いわゆるX−Yインサーキットテスタ、
つまり、2つのプローブを検査対象の回路基板における
X−Y方向に所定の距離だけそれぞれ移動させた後に下
降させ、各回路パターンの両端に両プローブをそれぞれ
接触させることによって導通を検査するという基板検査
装置では、回路基板のY方向に移動可能に構成された2
つのX軸ガイドを備えている。ここで、各X軸ガイド
は、自身の長尺方向(X方向)に移動可能な移動体をそ
れぞれ備えており、各移動体には、上記したプローブ
と、検査用カメラおよびカメラ用照明装置とがそれぞれ
配設されている。このような基板検査装置では、まず、
実際の基板検査に先立って、回路基板上に印刷された基
点マークとしてのフィデューシャル(Fiducial)マーク
の位置を検査用カメラによって検出する。次いで、制御
装置が、検出したフィデューシャルマークの位置と、予
め規定した位置に回路基板2が精度よくセッティングさ
れたとしたときに在るべきフィデューシャルマークの基
準位置とのずれに基づいて、予め記憶している検査対象
回路基板における回路パターンなどの位置データを修正
することにより、その回路基板2のセッティング時にお
ける位置ずれを補正している。
つまり、2つのプローブを検査対象の回路基板における
X−Y方向に所定の距離だけそれぞれ移動させた後に下
降させ、各回路パターンの両端に両プローブをそれぞれ
接触させることによって導通を検査するという基板検査
装置では、回路基板のY方向に移動可能に構成された2
つのX軸ガイドを備えている。ここで、各X軸ガイド
は、自身の長尺方向(X方向)に移動可能な移動体をそ
れぞれ備えており、各移動体には、上記したプローブ
と、検査用カメラおよびカメラ用照明装置とがそれぞれ
配設されている。このような基板検査装置では、まず、
実際の基板検査に先立って、回路基板上に印刷された基
点マークとしてのフィデューシャル(Fiducial)マーク
の位置を検査用カメラによって検出する。次いで、制御
装置が、検出したフィデューシャルマークの位置と、予
め規定した位置に回路基板2が精度よくセッティングさ
れたとしたときに在るべきフィデューシャルマークの基
準位置とのずれに基づいて、予め記憶している検査対象
回路基板における回路パターンなどの位置データを修正
することにより、その回路基板2のセッティング時にお
ける位置ずれを補正している。
【0003】このような基板検査装置におけるカメラ用
照明装置としては、図5(a),(b)および図6
(a),(b)にそれぞれ示す照明装置61,71が従
来から知られている。
照明装置としては、図5(a),(b)および図6
(a),(b)にそれぞれ示す照明装置61,71が従
来から知られている。
【0004】照明装置61は、LED取付用のプリント
基板31が、回路基板2のX−Y方向に自在に移動可能
に構成された図外の移動体に固定されており、プリント
基板31には、例えばCCDによって構成された円柱状
の検査用カメラ32と、検査用カメラ32の周囲に配設
され検査用カメラ32の視野範囲を照射するための4つ
のLED34a〜34dとが取り付けられている。この
照明装置61では、分散配置された各LED34a〜3
4dの光によって回路基板2の表面を照射することによ
り、検査用カメラ32の必要照度を確保すると共に、検
査用カメラ32の視野範囲内全域において照射光による
回路部品の影が形成されないように考慮されている。
基板31が、回路基板2のX−Y方向に自在に移動可能
に構成された図外の移動体に固定されており、プリント
基板31には、例えばCCDによって構成された円柱状
の検査用カメラ32と、検査用カメラ32の周囲に配設
され検査用カメラ32の視野範囲を照射するための4つ
のLED34a〜34dとが取り付けられている。この
照明装置61では、分散配置された各LED34a〜3
4dの光によって回路基板2の表面を照射することによ
り、検査用カメラ32の必要照度を確保すると共に、検
査用カメラ32の視野範囲内全域において照射光による
回路部品の影が形成されないように考慮されている。
【0005】一方、照明装置71は、照明装置61と同
様にして移動体に固定されており、椀状のLED取付具
72における底部の中心に形成されたカメラ取付孔73
に貫通させた状態で検査用カメラ32を取り付けると共
に、カメラ取付孔73を中心として放射状に複数のLE
D74,74・・をLED取付具72の内側に取り付け
ている。この照明装置71では、照明装置61と比較
し、より多くの方向から光を照射することにより、検査
用カメラ32の視野範囲内に形成される回路部品の影の
影響を軽減することが可能となっている。
様にして移動体に固定されており、椀状のLED取付具
72における底部の中心に形成されたカメラ取付孔73
に貫通させた状態で検査用カメラ32を取り付けると共
に、カメラ取付孔73を中心として放射状に複数のLE
D74,74・・をLED取付具72の内側に取り付け
ている。この照明装置71では、照明装置61と比較
し、より多くの方向から光を照射することにより、検査
用カメラ32の視野範囲内に形成される回路部品の影の
影響を軽減することが可能となっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、これらの照
明装置61,71には以下の問題点がある。すなわち、
照明装置61では、LED34a〜34dから回路基板
2に対して垂直方向に出射されるスポット的な強い光
(以下、この光のことを、「スポット光」ともいう)に
よって回路基板2におけるLED34a〜34dの真下
の位置が照射されている。このため、図5(c)に示す
ように、そのスポット光の照射により、LED34a〜
34dの平面形状よりもやや大き目の光源影62,62
・・が形成される。この場合、光源影62が形成された
部位が他の部位よりも明るいため、検査用カメラ32の
視野範囲内に照度むらが生じる。したがって、フィデュ
ーシャルマークなどの位置を検出する際に、その位置検
出が不正確になることがある。かかる場合には、制御装
置による位置データの補正が正確に行われない結果、回
路基板2の検査に対する信頼性が低下しているという問
題点がある。一方、照明装置71では、より多くの方向
から光が照射されるため、照明装置61よりは軽減され
るものの、LED数に応じた数の光源影が形成される。
したがって、この照明装置71においても、回路基板2
の検査に対する信頼性が低いという点については、同様
の問題点を有している。
明装置61,71には以下の問題点がある。すなわち、
照明装置61では、LED34a〜34dから回路基板
2に対して垂直方向に出射されるスポット的な強い光
(以下、この光のことを、「スポット光」ともいう)に
よって回路基板2におけるLED34a〜34dの真下
の位置が照射されている。このため、図5(c)に示す
ように、そのスポット光の照射により、LED34a〜
34dの平面形状よりもやや大き目の光源影62,62
・・が形成される。この場合、光源影62が形成された
部位が他の部位よりも明るいため、検査用カメラ32の
視野範囲内に照度むらが生じる。したがって、フィデュ
ーシャルマークなどの位置を検出する際に、その位置検
出が不正確になることがある。かかる場合には、制御装
置による位置データの補正が正確に行われない結果、回
路基板2の検査に対する信頼性が低下しているという問
題点がある。一方、照明装置71では、より多くの方向
から光が照射されるため、照明装置61よりは軽減され
るものの、LED数に応じた数の光源影が形成される。
したがって、この照明装置71においても、回路基板2
の検査に対する信頼性が低いという点については、同様
の問題点を有している。
【0007】この場合、LEDを検査用カメラ32に対
して、より離間させると共に、回路基板2に対し、より
斜め方向から照射することにより、スポット光に起因す
る照度むらを軽減することは可能である。ところが、数
多くの回路部品や回路パターンが密集している回路基板
を検査するためには、各1組の検査用カメラ32および
照明装置がそれぞれ取り付けられている2つの移動体間
の最小離間距離をできるだけ短くできることが好まし
い。したがって、照明装置と検査用カメラ32との離間
距離も短くする必要があるため、より斜め方向から回路
基板2を照射する構成を採用するのは極めて困難であ
る。また、検査用カメラ32の絞りを自動調整すると共
に画像処理によってスポット光の影響をある程度排除す
ることも可能ではある。しかし、スポット光の影響を完
全には排除できないし、絞りの調整や画像処理に時間が
かかり、回路基板の迅速な検査を行うことが困難となる
という他の問題が生じる。
して、より離間させると共に、回路基板2に対し、より
斜め方向から照射することにより、スポット光に起因す
る照度むらを軽減することは可能である。ところが、数
多くの回路部品や回路パターンが密集している回路基板
を検査するためには、各1組の検査用カメラ32および
照明装置がそれぞれ取り付けられている2つの移動体間
の最小離間距離をできるだけ短くできることが好まし
い。したがって、照明装置と検査用カメラ32との離間
距離も短くする必要があるため、より斜め方向から回路
基板2を照射する構成を採用するのは極めて困難であ
る。また、検査用カメラ32の絞りを自動調整すると共
に画像処理によってスポット光の影響をある程度排除す
ることも可能ではある。しかし、スポット光の影響を完
全には排除できないし、絞りの調整や画像処理に時間が
かかり、回路基板の迅速な検査を行うことが困難となる
という他の問題が生じる。
【0008】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、検査対象の回路基板上における照度むらを
低減可能な基板検査用カメラの照明装置を提供すること
を目的とする。
ものであり、検査対象の回路基板上における照度むらを
低減可能な基板検査用カメラの照明装置を提供すること
を目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項1記載の基板検査用カメラの照明装置は、検査対象
の回路基板を垂直方向から撮影可能な基板検査用カメラ
の視野範囲を照射するための照射手段を備え、回路基板
におけるX−Y方向に移動自在な移動体に基板検査用カ
メラと共に固定されている基板検査用カメラの照明装置
において、回路基板に対して垂直方向に出射された照射
手段の直接光を遮光すると共に回路基板に対して斜め方
向に出射された照射手段の直接光を通過可能な遮光手段
を備えていることを特徴とする。
求項1記載の基板検査用カメラの照明装置は、検査対象
の回路基板を垂直方向から撮影可能な基板検査用カメラ
の視野範囲を照射するための照射手段を備え、回路基板
におけるX−Y方向に移動自在な移動体に基板検査用カ
メラと共に固定されている基板検査用カメラの照明装置
において、回路基板に対して垂直方向に出射された照射
手段の直接光を遮光すると共に回路基板に対して斜め方
向に出射された照射手段の直接光を通過可能な遮光手段
を備えていることを特徴とする。
【0010】この基板検査用カメラの照明装置では、遮
光手段が、照射手段から出射された光のうち、回路基板
に対して垂直方向に出射された直接光を遮光し、かつ回
路基板に対して斜め方向に出射された直接光を通過させ
る。したがって、回路基板が照射手段から斜め方向に出
射された直接光によって照射されるため、照射手段によ
る光源影が検査用カメラの視野範囲に生じにくくなる。
また、検査用カメラの視野範囲を照射した光は入射角と
等しい反射角で反射するため、その反射光は、回路基板
に対して垂直に対向している検査用カメラの対物レンズ
側とは異なる方向に進行する。したがって、検査用カメ
ラの対物レンズ側には、特定の方向から照射された光が
集中して入射することはなく、回路基板の表面における
細かな凹凸によって乱反射された光が入射する。この結
果、検査用カメラの視野範囲は、実質的に均一に照射さ
れることになるため、検査用カメラによって映し出され
る画像に対する照度むらの影響が軽減する。
光手段が、照射手段から出射された光のうち、回路基板
に対して垂直方向に出射された直接光を遮光し、かつ回
路基板に対して斜め方向に出射された直接光を通過させ
る。したがって、回路基板が照射手段から斜め方向に出
射された直接光によって照射されるため、照射手段によ
る光源影が検査用カメラの視野範囲に生じにくくなる。
また、検査用カメラの視野範囲を照射した光は入射角と
等しい反射角で反射するため、その反射光は、回路基板
に対して垂直に対向している検査用カメラの対物レンズ
側とは異なる方向に進行する。したがって、検査用カメ
ラの対物レンズ側には、特定の方向から照射された光が
集中して入射することはなく、回路基板の表面における
細かな凹凸によって乱反射された光が入射する。この結
果、検査用カメラの視野範囲は、実質的に均一に照射さ
れることになるため、検査用カメラによって映し出され
る画像に対する照度むらの影響が軽減する。
【0011】請求項2記載の基板検査用カメラの照明装
置は、請求項1記載の基板検査用カメラの照明装置にお
いて、回路基板に対して斜め方向に照射された照射手段
の直接光を拡散させる拡散手段を備えていることを特徴
とする。
置は、請求項1記載の基板検査用カメラの照明装置にお
いて、回路基板に対して斜め方向に照射された照射手段
の直接光を拡散させる拡散手段を備えていることを特徴
とする。
【0012】この基板検査用カメラの照明装置では、拡
散手段によって照射手段の照射光が拡散されるため、検
査用カメラの視野範囲における照度むらが、より軽減さ
れる。
散手段によって照射手段の照射光が拡散されるため、検
査用カメラの視野範囲における照度むらが、より軽減さ
れる。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係る基板検査用カメラの照明装置を基板検査装置に
適用した実施の形態について説明する。
明に係る基板検査用カメラの照明装置を基板検査装置に
適用した実施の形態について説明する。
【0014】図3は、基板検査装置1の平面図を示して
いる。基板検査装置1は、検査対象物である回路基板2
を保持する基板保持具3と、撮影部4aおよび導通検査
用のプローブ5aが取り付けられた移動体6aを回路基
板2の表面におけるX方向(紙面に対して左右方向)お
よびX方向に対して直交する方向であるY方向にそれぞ
れ移動させる第1移動機構7と、撮影部4bおよび導通
検査用のプローブ5bが取り付けられた移動体6bをX
方向およびY方向にそれぞれ移動させる第2移動機構8
と、両移動機構7,8の移動制御や回路基板2の良否の
判別などを行う制御装置9とを備えている。なお、撮影
部4a,4b、プローブ5a,5bおよび移動体6a,
6bは、それぞれ同一に構成されているため、以下、区
別しないときは、それぞれ、撮影部4、プローブ5およ
び移動体6ともいう。
いる。基板検査装置1は、検査対象物である回路基板2
を保持する基板保持具3と、撮影部4aおよび導通検査
用のプローブ5aが取り付けられた移動体6aを回路基
板2の表面におけるX方向(紙面に対して左右方向)お
よびX方向に対して直交する方向であるY方向にそれぞ
れ移動させる第1移動機構7と、撮影部4bおよび導通
検査用のプローブ5bが取り付けられた移動体6bをX
方向およびY方向にそれぞれ移動させる第2移動機構8
と、両移動機構7,8の移動制御や回路基板2の良否の
判別などを行う制御装置9とを備えている。なお、撮影
部4a,4b、プローブ5a,5bおよび移動体6a,
6bは、それぞれ同一に構成されているため、以下、区
別しないときは、それぞれ、撮影部4、プローブ5およ
び移動体6ともいう。
【0015】ここで、第1移動機構7は、移動体6aを
X軸方向に移動させるためのX軸ガイド11と、X軸ガ
イド11をY軸方向に移動させるためのY軸ガイド12
とを備えている。X軸ガイド11は、回路基板2の表面
に対して上下方向であるZ軸方向にプローブ5aを移動
させるためのモータ13と、X軸ガイド11内に配設さ
れているボールネジ14の回動によって移動体6aをX
軸方向に移動させるためのモータ15とを備えている。
一方、Y軸ガイド12は、ボールネジ16の回動によっ
てX軸ガイド11をY軸方向に移動させるためのモータ
17を備えている。この第1移動機構7では、制御装置
9によってモータ15,17が制御されることにより、
移動体6aが、X軸およびY軸の任意の位置に移動させ
られると共に、移動した位置において、制御装置9によ
ってモータ13が制御されることにより、プローブ5a
が上下動させられる。
X軸方向に移動させるためのX軸ガイド11と、X軸ガ
イド11をY軸方向に移動させるためのY軸ガイド12
とを備えている。X軸ガイド11は、回路基板2の表面
に対して上下方向であるZ軸方向にプローブ5aを移動
させるためのモータ13と、X軸ガイド11内に配設さ
れているボールネジ14の回動によって移動体6aをX
軸方向に移動させるためのモータ15とを備えている。
一方、Y軸ガイド12は、ボールネジ16の回動によっ
てX軸ガイド11をY軸方向に移動させるためのモータ
17を備えている。この第1移動機構7では、制御装置
9によってモータ15,17が制御されることにより、
移動体6aが、X軸およびY軸の任意の位置に移動させ
られると共に、移動した位置において、制御装置9によ
ってモータ13が制御されることにより、プローブ5a
が上下動させられる。
【0016】第2移動機構8は、移動体6bをX軸方向
に移動させるためのX軸ガイド21と、X軸ガイド21
をY軸方向に移動させるためのY軸ガイド22とを備え
ている。X軸ガイド21は、Z軸方向にプローブ5bを
移動させるためのモータ23と、X軸ガイド21内に配
設されているボールネジ24の回動によって移動体6b
をX軸方向に移動させるためのモータ25とを備えてい
る。一方、Y軸ガイド22は、ボールネジ26の回動に
よってX軸ガイド21をY軸方向に移動させるためのモ
ータ27を備えている。この第2移動機構8では、制御
装置9によってモータ25,27が制御されることによ
り、移動体6bが、X軸およびY軸の任意の位置に移動
させられると共に、移動した位置において、制御装置9
によってモータ23が制御されることにより、プローブ
5bが上下動させられる。
に移動させるためのX軸ガイド21と、X軸ガイド21
をY軸方向に移動させるためのY軸ガイド22とを備え
ている。X軸ガイド21は、Z軸方向にプローブ5bを
移動させるためのモータ23と、X軸ガイド21内に配
設されているボールネジ24の回動によって移動体6b
をX軸方向に移動させるためのモータ25とを備えてい
る。一方、Y軸ガイド22は、ボールネジ26の回動に
よってX軸ガイド21をY軸方向に移動させるためのモ
ータ27を備えている。この第2移動機構8では、制御
装置9によってモータ25,27が制御されることによ
り、移動体6bが、X軸およびY軸の任意の位置に移動
させられると共に、移動した位置において、制御装置9
によってモータ23が制御されることにより、プローブ
5bが上下動させられる。
【0017】次に、撮影部4の構成について、図1,2
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【0018】両図に示すように、撮影部4は、プリント
基板31を備えており、プリント基板31には、検査用
カメラ32と、本発明における検査用カメラの照明装置
に相当する照明部33が搭載されている。ここで、検査
用カメラ32は、プリント基板31に形成された孔部3
8に貫通させられた状態で、図示しない取付具によって
プリント基板31に固定されている。
基板31を備えており、プリント基板31には、検査用
カメラ32と、本発明における検査用カメラの照明装置
に相当する照明部33が搭載されている。ここで、検査
用カメラ32は、プリント基板31に形成された孔部3
8に貫通させられた状態で、図示しない取付具によって
プリント基板31に固定されている。
【0019】一方、照明部33は、4つのLED34a
〜34d(以下、区別しないときは、「LED34」と
もいう)と、本発明における遮光手段および拡散手段に
それぞれ相当する遮光板35a,35b(以下、区別し
ないときは、「遮光板35」ともいう)および拡散板3
6a,36b(以下、区別しないときは、「拡散板3
6」ともいう)とを備えて構成されている。ここで、遮
光板35は、黒色に塗装されて側面形状がコ字状に形成
された金属板によって構成されており、LED34から
回路基板2に対して垂直方向に出射された直接光を遮光
する。拡散板36は、側面形状がL字状に形成されると
共に、乳白色のポリカーボネイトや、表面処理したアク
リル板などによって構成されている。また、拡散板36
は、遮光板35と互いに対向するように遮光板35に固
定されており、LED34から遮光板35の開口部側に
出射された光を拡散する。
〜34d(以下、区別しないときは、「LED34」と
もいう)と、本発明における遮光手段および拡散手段に
それぞれ相当する遮光板35a,35b(以下、区別し
ないときは、「遮光板35」ともいう)および拡散板3
6a,36b(以下、区別しないときは、「拡散板3
6」ともいう)とを備えて構成されている。ここで、遮
光板35は、黒色に塗装されて側面形状がコ字状に形成
された金属板によって構成されており、LED34から
回路基板2に対して垂直方向に出射された直接光を遮光
する。拡散板36は、側面形状がL字状に形成されると
共に、乳白色のポリカーボネイトや、表面処理したアク
リル板などによって構成されている。また、拡散板36
は、遮光板35と互いに対向するように遮光板35に固
定されており、LED34から遮光板35の開口部側に
出射された光を拡散する。
【0020】なお、同図において検査用カメラ32の右
側のLED34a,34bから出射された光は、拡散板
36aによって拡散された後、遮光板35aの底板37
aの端部と遮光板35bの底板37bとの間を通過して
回路基板2の所定範囲を照射する。一方、検査用カメラ
32の左側のLED34c,34dから出射された光
は、遮光板35bによって拡散された後、遮光板35b
の底板37bの端部と遮光板35aの底板37aとの間
を通過して回路基板2の所定範囲を照射する。この場
合、LED34a,34bの出射光は、検査用カメラ3
2の視軸41を含み底板37aの端面に対して平行とな
る平面42と回路基板2とが交差する部位よりも左側
(LED34c,34d側)を主として照射し、LED
34c,34dからの出射光は、平面42と回路基板2
とが交差する部位よりも右側(LED34a,34b
側)を主として照射する。したがって、LED34a〜
34dから斜め方向に出射された光によって照射される
ため、検査用カメラ32の視野範囲には、LED34a
〜34dの光源影が生じにくくなる。また、検査用カメ
ラ32の視野範囲を照射した光は入射角と等しい反射角
で反射するため、その反射光は、回路基板2に対して垂
直に対向している検査用カメラ32の対物レンズ側とは
異なる方向に進行する。したがって、検査用カメラ32
の対物レンズ側には、特定の方向から照射された光が集
中して入射することはなく、回路基板2の表面における
細かな凹凸によって乱反射された光が入射する。この結
果、検査用カメラ32の視野範囲は、実質的に均一に照
射されることになるため、検査用カメラ32によって映
し出される画像に対する照度むらの影響が軽減する。
側のLED34a,34bから出射された光は、拡散板
36aによって拡散された後、遮光板35aの底板37
aの端部と遮光板35bの底板37bとの間を通過して
回路基板2の所定範囲を照射する。一方、検査用カメラ
32の左側のLED34c,34dから出射された光
は、遮光板35bによって拡散された後、遮光板35b
の底板37bの端部と遮光板35aの底板37aとの間
を通過して回路基板2の所定範囲を照射する。この場
合、LED34a,34bの出射光は、検査用カメラ3
2の視軸41を含み底板37aの端面に対して平行とな
る平面42と回路基板2とが交差する部位よりも左側
(LED34c,34d側)を主として照射し、LED
34c,34dからの出射光は、平面42と回路基板2
とが交差する部位よりも右側(LED34a,34b
側)を主として照射する。したがって、LED34a〜
34dから斜め方向に出射された光によって照射される
ため、検査用カメラ32の視野範囲には、LED34a
〜34dの光源影が生じにくくなる。また、検査用カメ
ラ32の視野範囲を照射した光は入射角と等しい反射角
で反射するため、その反射光は、回路基板2に対して垂
直に対向している検査用カメラ32の対物レンズ側とは
異なる方向に進行する。したがって、検査用カメラ32
の対物レンズ側には、特定の方向から照射された光が集
中して入射することはなく、回路基板2の表面における
細かな凹凸によって乱反射された光が入射する。この結
果、検査用カメラ32の視野範囲は、実質的に均一に照
射されることになるため、検査用カメラ32によって映
し出される画像に対する照度むらの影響が軽減する。
【0021】また、検査用カメラ32の視野範囲内にお
いては、LED34a,34bの出射光によって照射さ
れる部位とLED34c,34dの出射光によって照射
される部位とが互いに重なり合わないため、その照度が
さらに均一化される。この結果、検査用カメラ32によ
って映し出される画像に対する照度むらの影響をさらに
軽減することができる。
いては、LED34a,34bの出射光によって照射さ
れる部位とLED34c,34dの出射光によって照射
される部位とが互いに重なり合わないため、その照度が
さらに均一化される。この結果、検査用カメラ32によ
って映し出される画像に対する照度むらの影響をさらに
軽減することができる。
【0022】次に、制御装置9によって実行される撮影
部4に対する制御処理と、基板検査に先立って行われる
回路パターンなどの位置データの補正処理とを合わせて
説明する。
部4に対する制御処理と、基板検査に先立って行われる
回路パターンなどの位置データの補正処理とを合わせて
説明する。
【0023】まず、制御装置9は、モータ15,17,
25,27の回動を制御することにより、検査用カメラ
32が回路基板2に印刷されたフィデューシャルマーク
の真上に位置するように、移動体6a,6bを移動させ
る。次いで、制御装置9は、照射開始信号を出力してL
ED34a〜34dを発光させることにより、検査用カ
メラ32の視野範囲を照射させる。次に、制御装置9
は、撮像開始信号を検査用カメラ32に出力することに
より、検査用カメラ32に対してフィデューシャルマー
クを撮影させる。制御装置9は、ケーブル43を介して
入力した画像信号に基づいて、フィデューシャルマーク
の実際の位置と、予め規定した位置に回路基板2が精度
よくセッティングされたとしたときに在るべきフィデュ
ーシャルマークの基準位置に対する位置ずれを検出す
る。次いで、制御装置9は、予め記憶している回路基板
2における回路パターンや回路部品などの位置データ
を、検出したフィデューシャルマークの位置ずれデータ
に基づいて補正する。この場合、LED34a〜34d
のスポット光などに起因する照度むらの影響が極めて少
ないため、精度よく位置データを補正することができ
る。
25,27の回動を制御することにより、検査用カメラ
32が回路基板2に印刷されたフィデューシャルマーク
の真上に位置するように、移動体6a,6bを移動させ
る。次いで、制御装置9は、照射開始信号を出力してL
ED34a〜34dを発光させることにより、検査用カ
メラ32の視野範囲を照射させる。次に、制御装置9
は、撮像開始信号を検査用カメラ32に出力することに
より、検査用カメラ32に対してフィデューシャルマー
クを撮影させる。制御装置9は、ケーブル43を介して
入力した画像信号に基づいて、フィデューシャルマーク
の実際の位置と、予め規定した位置に回路基板2が精度
よくセッティングされたとしたときに在るべきフィデュ
ーシャルマークの基準位置に対する位置ずれを検出す
る。次いで、制御装置9は、予め記憶している回路基板
2における回路パターンや回路部品などの位置データ
を、検出したフィデューシャルマークの位置ずれデータ
に基づいて補正する。この場合、LED34a〜34d
のスポット光などに起因する照度むらの影響が極めて少
ないため、精度よく位置データを補正することができ
る。
【0024】この後、回路部品の有無検査においては、
制御装置9は、補正した位置データに基づいて各モータ
15,17,25,27の回動を制御することにより移
動体6を所定位置に移動させた後、検査対象回路部品が
存在すべき位置を検査用カメラ32に撮影させることに
より回路部品の有無を検査する。また、回路部品の抵抗
値検査においては、制御装置9は、補正した位置データ
に基づいて、回路パターンや回路部品にプローブ5を接
触させた後、これらの抵抗値を測定することによって回
路パターンのパターン切れなどを検査する。これらの場
合、位置データが正確に補正されているため、検査用カ
メラ32やプローブ5を高精度で所定の位置に移動させ
ることができる結果、基板検査装置1は高信頼性の検査
を行うことができる。
制御装置9は、補正した位置データに基づいて各モータ
15,17,25,27の回動を制御することにより移
動体6を所定位置に移動させた後、検査対象回路部品が
存在すべき位置を検査用カメラ32に撮影させることに
より回路部品の有無を検査する。また、回路部品の抵抗
値検査においては、制御装置9は、補正した位置データ
に基づいて、回路パターンや回路部品にプローブ5を接
触させた後、これらの抵抗値を測定することによって回
路パターンのパターン切れなどを検査する。これらの場
合、位置データが正確に補正されているため、検査用カ
メラ32やプローブ5を高精度で所定の位置に移動させ
ることができる結果、基板検査装置1は高信頼性の検査
を行うことができる。
【0025】このように、この実施形態に係る基板検査
装置1によれば、検査用カメラ32とLED34a〜3
4dとを互いに近接して配置した場合であっても、検査
用カメラ32によって映し出される画像がLED34a
〜34dのスポット光に起因する照度むらの影響を受け
にくくなるため、フィデューシャルマークや回路部品な
どを高精度で位置検出することができる。
装置1によれば、検査用カメラ32とLED34a〜3
4dとを互いに近接して配置した場合であっても、検査
用カメラ32によって映し出される画像がLED34a
〜34dのスポット光に起因する照度むらの影響を受け
にくくなるため、フィデューシャルマークや回路部品な
どを高精度で位置検出することができる。
【0026】次に、図4(a),(b)を参照して、他
の実施形態に係る撮影部51について説明する。なお、
この実施形態では、撮影部4と同一の構成要素について
は同一の符号を付して、異なる点についてのみ説明す
る。
の実施形態に係る撮影部51について説明する。なお、
この実施形態では、撮影部4と同一の構成要素について
は同一の符号を付して、異なる点についてのみ説明す
る。
【0027】同図に示すように、撮影部51では、4つ
のLED52a〜52dが所定の円周上に等間隔で位置
するようにプリント基板31に取り付けられている。ま
た、筒状の遮光板53がLED52a〜52dを取り囲
むようにプリント基板31に立設されており、遮光板5
3には、孔部54が形成された底部55が形成されてい
る。さらに、遮光板53には、筒状の拡散板56が、遮
光板53の立設方向と平行になるように立設されてお
り、拡散板56と遮光板53とで空間57が形成される
結果、LED52a〜52dが、その空間57内に位置
している。
のLED52a〜52dが所定の円周上に等間隔で位置
するようにプリント基板31に取り付けられている。ま
た、筒状の遮光板53がLED52a〜52dを取り囲
むようにプリント基板31に立設されており、遮光板5
3には、孔部54が形成された底部55が形成されてい
る。さらに、遮光板53には、筒状の拡散板56が、遮
光板53の立設方向と平行になるように立設されてお
り、拡散板56と遮光板53とで空間57が形成される
結果、LED52a〜52dが、その空間57内に位置
している。
【0028】この撮影部51では、LED52a〜52
dから回路基板2に対して垂直方向に出射された光は、
遮光板53の底部55によって遮光される。また、LE
D52a〜52dから回路基板2に対して斜め方向に出
射された光は、拡散板によって拡散された後、孔部54
を介して回路基板2の所定の範囲を出射する。
dから回路基板2に対して垂直方向に出射された光は、
遮光板53の底部55によって遮光される。また、LE
D52a〜52dから回路基板2に対して斜め方向に出
射された光は、拡散板によって拡散された後、孔部54
を介して回路基板2の所定の範囲を出射する。
【0029】この撮像部51においても、撮影部4と同
じようにして、検査用カメラ32の視野範囲における照
度むらを軽減することができる。
じようにして、検査用カメラ32の視野範囲における照
度むらを軽減することができる。
【0030】なお、本発明は、上記の両実施形態に示し
た構成に限定されず、適宜変更することが可能である。
例えば、上記した実施形態では、照明手段としてLED
34a〜34dまたは52a〜52dを用いた構成につ
いて説明したが、ハロゲンランプなど種々のランプを用
いることもできるし、蛍光管のようなドーナツ状の光源
を検査用カメラ32の外周に配設させてもよい。また、
LEDの数についても、必要に応じて増減することがで
きる。さらに、遮光板34,53や拡散板36,56の
形状についても適宜変更が可能である。
た構成に限定されず、適宜変更することが可能である。
例えば、上記した実施形態では、照明手段としてLED
34a〜34dまたは52a〜52dを用いた構成につ
いて説明したが、ハロゲンランプなど種々のランプを用
いることもできるし、蛍光管のようなドーナツ状の光源
を検査用カメラ32の外周に配設させてもよい。また、
LEDの数についても、必要に応じて増減することがで
きる。さらに、遮光板34,53や拡散板36,56の
形状についても適宜変更が可能である。
【0031】
【発明の効果】以上のように、請求項1記載の基板検査
用カメラの照明装置によれば、回路基板に対して垂直方
向に出射された照射手段の直接光を遮光すると共に回路
基板に対して斜め方向に出射された照射手段の直接光を
通過可能な遮光手段を備えたことにより、検査用カメラ
の視野範囲を均一に照射することができ、これにより、
検査用カメラによる画像撮影の際に、照射手段のスポッ
ト光に起因する照度むらの影響を軽減することができ
る。
用カメラの照明装置によれば、回路基板に対して垂直方
向に出射された照射手段の直接光を遮光すると共に回路
基板に対して斜め方向に出射された照射手段の直接光を
通過可能な遮光手段を備えたことにより、検査用カメラ
の視野範囲を均一に照射することができ、これにより、
検査用カメラによる画像撮影の際に、照射手段のスポッ
ト光に起因する照度むらの影響を軽減することができ
る。
【0032】また、請求項2記載の基板検査用カメラの
照明装置によれば、回路基板に対して斜め方向に照射さ
れた照射手段の直接光を拡散させる拡散手段を備えたこ
とにより、検査用カメラの視野範囲における照度むら
を、より軽減することができる。
照明装置によれば、回路基板に対して斜め方向に照射さ
れた照射手段の直接光を拡散させる拡散手段を備えたこ
とにより、検査用カメラの視野範囲における照度むら
を、より軽減することができる。
【図1】本発明の実施の形態に係る基板検査装置におけ
る撮影部の側面図である。
る撮影部の側面図である。
【図2】本発明の実施の形態に係る基板検査装置におけ
る撮影部の底面図である。
る撮影部の底面図である。
【図3】本発明の実施の形態に係る基板検査装置の平面
図である。
図である。
【図4】(a)は本発明の他の実施の形態に係る撮影部
の側面断面図であり、(b)はその撮影部の底面図であ
る。
の側面断面図であり、(b)はその撮影部の底面図であ
る。
【図5】(a)は従来の照明装置の側面図であり、
(b)はその底面図であり、(c)はその照明装置にお
けるLEDによって照射された際に回路基板上に生じる
照度むらを示した回路基板の表面図である。
(b)はその底面図であり、(c)はその照明装置にお
けるLEDによって照射された際に回路基板上に生じる
照度むらを示した回路基板の表面図である。
【図6】(a)は従来の他の照明装置の側面断面図であ
り、(b)は、その照明装置の底面図である。
り、(b)は、その照明装置の底面図である。
1 基板検査装置 2 回路基板 4a,4b 撮影部 6a,6b 移動体 32 検査用カメラ 33 照明部 34a〜34d LED 35a,35b 遮光板 36a,36b 拡散板 51 撮影部 52a〜52d LED 53 遮光板 56 拡散板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H05K 13/08 H05K 13/08 Q
Claims (2)
- 【請求項1】 検査対象の回路基板を垂直方向から撮影
可能な基板検査用カメラの視野範囲を照射するための照
射手段を備え、前記回路基板におけるX−Y方向に移動
自在な移動体に前記基板検査用カメラと共に固定されて
いる基板検査用カメラの照明装置において、 前記回路基板に対して垂直方向に出射された前記照射手
段の直接光を遮光すると共に当該回路基板に対して斜め
方向に出射された当該照射手段の直接光を通過可能な遮
光手段を備えていることを特徴とする基板検査用カメラ
の照明装置。 - 【請求項2】 前記回路基板に対して斜め方向に照射さ
れた前記照射手段の直接光を拡散させる拡散手段を備え
ていることを特徴とする請求項1記載の基板検査用カメ
ラの照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9155875A JPH10332792A (ja) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | 基板検査用カメラの照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9155875A JPH10332792A (ja) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | 基板検査用カメラの照明装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10332792A true JPH10332792A (ja) | 1998-12-18 |
Family
ID=15615422
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9155875A Pending JPH10332792A (ja) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | 基板検査用カメラの照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10332792A (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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KR100902349B1 (ko) | 2007-07-04 | 2009-06-12 | 주식회사 오킨스전자 | 인쇄회로기판 검사 장치 |
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EP3587553A1 (en) * | 2018-06-29 | 2020-01-01 | Shibuya Corporation | Cell observation apparatus |
-
1997
- 1997-05-29 JP JP9155875A patent/JPH10332792A/ja active Pending
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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