JPH10332792A - 基板検査用カメラの照明装置 - Google Patents
基板検査用カメラの照明装置Info
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- JPH10332792A JPH10332792A JP9155875A JP15587597A JPH10332792A JP H10332792 A JPH10332792 A JP H10332792A JP 9155875 A JP9155875 A JP 9155875A JP 15587597 A JP15587597 A JP 15587597A JP H10332792 A JPH10332792 A JP H10332792A
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- board
- light
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- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 検査対象の回路基板上における照度むらを低
減可能な基板検査用カメラの照明装置を提供することを
目的とする。 【解決手段】 検査対象の回路基板２を垂直方向から撮
影可能な基板検査用カメラ３２の視野範囲を照射するた
めの照射手段３４ａ〜３４ｄを備え、回路基板２におけ
るＸ−Ｙ方向に移動自在な移動体６ａ，６ｂに基板検査
用カメラ３２と共に固定されている基板検査用カメラの
照明装置４ａ，４ｂにおいて、回路基板２に対して垂直
方向に出射された照射手段３４ａ〜３４ｄの直接光を遮
光すると共に回路基板２に対して斜め方向に出射された
照射手段３４ａ〜３４ｄの直接光を通過可能な遮光手段
３５ａ，３５ｂを備えている。
減可能な基板検査用カメラの照明装置を提供することを
目的とする。 【解決手段】 検査対象の回路基板２を垂直方向から撮
影可能な基板検査用カメラ３２の視野範囲を照射するた
めの照射手段３４ａ〜３４ｄを備え、回路基板２におけ
るＸ−Ｙ方向に移動自在な移動体６ａ，６ｂに基板検査
用カメラ３２と共に固定されている基板検査用カメラの
照明装置４ａ，４ｂにおいて、回路基板２に対して垂直
方向に出射された照射手段３４ａ〜３４ｄの直接光を遮
光すると共に回路基板２に対して斜め方向に出射された
照射手段３４ａ〜３４ｄの直接光を通過可能な遮光手段
３５ａ，３５ｂを備えている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板、Ｉ
Ｃパッケージ、ハイブリッド用基板およびＭＣＭ（Mult
i Chip Module ）などの回路基板における回路パターン
や搭載された回路部品の良否を検査するための回路基板
検査に用いられている基板検査用カメラの照明装置に関
するものである。
Ｃパッケージ、ハイブリッド用基板およびＭＣＭ（Mult
i Chip Module ）などの回路基板における回路パターン
や搭載された回路部品の良否を検査するための回路基板
検査に用いられている基板検査用カメラの照明装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】いわゆるＸ−Ｙインサーキットテスタ、
つまり、２つのプローブを検査対象の回路基板における
Ｘ−Ｙ方向に所定の距離だけそれぞれ移動させた後に下
降させ、各回路パターンの両端に両プローブをそれぞれ
接触させることによって導通を検査するという基板検査
装置では、回路基板のＹ方向に移動可能に構成された２
つのＸ軸ガイドを備えている。ここで、各Ｘ軸ガイド
は、自身の長尺方向（Ｘ方向）に移動可能な移動体をそ
れぞれ備えており、各移動体には、上記したプローブ
と、検査用カメラおよびカメラ用照明装置とがそれぞれ
配設されている。このような基板検査装置では、まず、
実際の基板検査に先立って、回路基板上に印刷された基
点マークとしてのフィデューシャル（Fiducial）マーク
の位置を検査用カメラによって検出する。次いで、制御
装置が、検出したフィデューシャルマークの位置と、予
め規定した位置に回路基板２が精度よくセッティングさ
れたとしたときに在るべきフィデューシャルマークの基
準位置とのずれに基づいて、予め記憶している検査対象
回路基板における回路パターンなどの位置データを修正
することにより、その回路基板２のセッティング時にお
ける位置ずれを補正している。
つまり、２つのプローブを検査対象の回路基板における
Ｘ−Ｙ方向に所定の距離だけそれぞれ移動させた後に下
降させ、各回路パターンの両端に両プローブをそれぞれ
接触させることによって導通を検査するという基板検査
装置では、回路基板のＹ方向に移動可能に構成された２
つのＸ軸ガイドを備えている。ここで、各Ｘ軸ガイド
は、自身の長尺方向（Ｘ方向）に移動可能な移動体をそ
れぞれ備えており、各移動体には、上記したプローブ
と、検査用カメラおよびカメラ用照明装置とがそれぞれ
配設されている。このような基板検査装置では、まず、
実際の基板検査に先立って、回路基板上に印刷された基
点マークとしてのフィデューシャル（Fiducial）マーク
の位置を検査用カメラによって検出する。次いで、制御
装置が、検出したフィデューシャルマークの位置と、予
め規定した位置に回路基板２が精度よくセッティングさ
れたとしたときに在るべきフィデューシャルマークの基
準位置とのずれに基づいて、予め記憶している検査対象
回路基板における回路パターンなどの位置データを修正
することにより、その回路基板２のセッティング時にお
ける位置ずれを補正している。
【０００３】このような基板検査装置におけるカメラ用
照明装置としては、図５（ａ），（ｂ）および図６
（ａ），（ｂ）にそれぞれ示す照明装置６１，７１が従
来から知られている。
照明装置としては、図５（ａ），（ｂ）および図６
（ａ），（ｂ）にそれぞれ示す照明装置６１，７１が従
来から知られている。
【０００４】照明装置６１は、ＬＥＤ取付用のプリント
基板３１が、回路基板２のＸ−Ｙ方向に自在に移動可能
に構成された図外の移動体に固定されており、プリント
基板３１には、例えばＣＣＤによって構成された円柱状
の検査用カメラ３２と、検査用カメラ３２の周囲に配設
され検査用カメラ３２の視野範囲を照射するための４つ
のＬＥＤ３４ａ〜３４ｄとが取り付けられている。この
照明装置６１では、分散配置された各ＬＥＤ３４ａ〜３
４ｄの光によって回路基板２の表面を照射することによ
り、検査用カメラ３２の必要照度を確保すると共に、検
査用カメラ３２の視野範囲内全域において照射光による
回路部品の影が形成されないように考慮されている。
基板３１が、回路基板２のＸ−Ｙ方向に自在に移動可能
に構成された図外の移動体に固定されており、プリント
基板３１には、例えばＣＣＤによって構成された円柱状
の検査用カメラ３２と、検査用カメラ３２の周囲に配設
され検査用カメラ３２の視野範囲を照射するための４つ
のＬＥＤ３４ａ〜３４ｄとが取り付けられている。この
照明装置６１では、分散配置された各ＬＥＤ３４ａ〜３
４ｄの光によって回路基板２の表面を照射することによ
り、検査用カメラ３２の必要照度を確保すると共に、検
査用カメラ３２の視野範囲内全域において照射光による
回路部品の影が形成されないように考慮されている。
【０００５】一方、照明装置７１は、照明装置６１と同
様にして移動体に固定されており、椀状のＬＥＤ取付具
７２における底部の中心に形成されたカメラ取付孔７３
に貫通させた状態で検査用カメラ３２を取り付けると共
に、カメラ取付孔７３を中心として放射状に複数のＬＥ
Ｄ７４，７４・・をＬＥＤ取付具７２の内側に取り付け
ている。この照明装置７１では、照明装置６１と比較
し、より多くの方向から光を照射することにより、検査
用カメラ３２の視野範囲内に形成される回路部品の影の
影響を軽減することが可能となっている。
様にして移動体に固定されており、椀状のＬＥＤ取付具
７２における底部の中心に形成されたカメラ取付孔７３
に貫通させた状態で検査用カメラ３２を取り付けると共
に、カメラ取付孔７３を中心として放射状に複数のＬＥ
Ｄ７４，７４・・をＬＥＤ取付具７２の内側に取り付け
ている。この照明装置７１では、照明装置６１と比較
し、より多くの方向から光を照射することにより、検査
用カメラ３２の視野範囲内に形成される回路部品の影の
影響を軽減することが可能となっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、これらの照
明装置６１，７１には以下の問題点がある。すなわち、
照明装置６１では、ＬＥＤ３４ａ〜３４ｄから回路基板
２に対して垂直方向に出射されるスポット的な強い光
（以下、この光のことを、「スポット光」ともいう）に
よって回路基板２におけるＬＥＤ３４ａ〜３４ｄの真下
の位置が照射されている。このため、図５（ｃ）に示す
ように、そのスポット光の照射により、ＬＥＤ３４ａ〜
３４ｄの平面形状よりもやや大き目の光源影６２，６２
・・が形成される。この場合、光源影６２が形成された
部位が他の部位よりも明るいため、検査用カメラ３２の
視野範囲内に照度むらが生じる。したがって、フィデュ
ーシャルマークなどの位置を検出する際に、その位置検
出が不正確になることがある。かかる場合には、制御装
置による位置データの補正が正確に行われない結果、回
路基板２の検査に対する信頼性が低下しているという問
題点がある。一方、照明装置７１では、より多くの方向
から光が照射されるため、照明装置６１よりは軽減され
るものの、ＬＥＤ数に応じた数の光源影が形成される。
したがって、この照明装置７１においても、回路基板２
の検査に対する信頼性が低いという点については、同様
の問題点を有している。
明装置６１，７１には以下の問題点がある。すなわち、
照明装置６１では、ＬＥＤ３４ａ〜３４ｄから回路基板
２に対して垂直方向に出射されるスポット的な強い光
（以下、この光のことを、「スポット光」ともいう）に
よって回路基板２におけるＬＥＤ３４ａ〜３４ｄの真下
の位置が照射されている。このため、図５（ｃ）に示す
ように、そのスポット光の照射により、ＬＥＤ３４ａ〜
３４ｄの平面形状よりもやや大き目の光源影６２，６２
・・が形成される。この場合、光源影６２が形成された
部位が他の部位よりも明るいため、検査用カメラ３２の
視野範囲内に照度むらが生じる。したがって、フィデュ
ーシャルマークなどの位置を検出する際に、その位置検
出が不正確になることがある。かかる場合には、制御装
置による位置データの補正が正確に行われない結果、回
路基板２の検査に対する信頼性が低下しているという問
題点がある。一方、照明装置７１では、より多くの方向
から光が照射されるため、照明装置６１よりは軽減され
るものの、ＬＥＤ数に応じた数の光源影が形成される。
したがって、この照明装置７１においても、回路基板２
の検査に対する信頼性が低いという点については、同様
の問題点を有している。
【０００７】この場合、ＬＥＤを検査用カメラ３２に対
して、より離間させると共に、回路基板２に対し、より
斜め方向から照射することにより、スポット光に起因す
る照度むらを軽減することは可能である。ところが、数
多くの回路部品や回路パターンが密集している回路基板
を検査するためには、各１組の検査用カメラ３２および
照明装置がそれぞれ取り付けられている２つの移動体間
の最小離間距離をできるだけ短くできることが好まし
い。したがって、照明装置と検査用カメラ３２との離間
距離も短くする必要があるため、より斜め方向から回路
基板２を照射する構成を採用するのは極めて困難であ
る。また、検査用カメラ３２の絞りを自動調整すると共
に画像処理によってスポット光の影響をある程度排除す
ることも可能ではある。しかし、スポット光の影響を完
全には排除できないし、絞りの調整や画像処理に時間が
かかり、回路基板の迅速な検査を行うことが困難となる
という他の問題が生じる。
して、より離間させると共に、回路基板２に対し、より
斜め方向から照射することにより、スポット光に起因す
る照度むらを軽減することは可能である。ところが、数
多くの回路部品や回路パターンが密集している回路基板
を検査するためには、各１組の検査用カメラ３２および
照明装置がそれぞれ取り付けられている２つの移動体間
の最小離間距離をできるだけ短くできることが好まし
い。したがって、照明装置と検査用カメラ３２との離間
距離も短くする必要があるため、より斜め方向から回路
基板２を照射する構成を採用するのは極めて困難であ
る。また、検査用カメラ３２の絞りを自動調整すると共
に画像処理によってスポット光の影響をある程度排除す
ることも可能ではある。しかし、スポット光の影響を完
全には排除できないし、絞りの調整や画像処理に時間が
かかり、回路基板の迅速な検査を行うことが困難となる
という他の問題が生じる。
【０００８】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
ものであり、検査対象の回路基板上における照度むらを
低減可能な基板検査用カメラの照明装置を提供すること
を目的とする。
ものであり、検査対象の回路基板上における照度むらを
低減可能な基板検査用カメラの照明装置を提供すること
を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項１記載の基板検査用カメラの照明装置は、検査対象
の回路基板を垂直方向から撮影可能な基板検査用カメラ
の視野範囲を照射するための照射手段を備え、回路基板
におけるＸ−Ｙ方向に移動自在な移動体に基板検査用カ
メラと共に固定されている基板検査用カメラの照明装置
において、回路基板に対して垂直方向に出射された照射
手段の直接光を遮光すると共に回路基板に対して斜め方
向に出射された照射手段の直接光を通過可能な遮光手段
を備えていることを特徴とする。
求項１記載の基板検査用カメラの照明装置は、検査対象
の回路基板を垂直方向から撮影可能な基板検査用カメラ
の視野範囲を照射するための照射手段を備え、回路基板
におけるＸ−Ｙ方向に移動自在な移動体に基板検査用カ
メラと共に固定されている基板検査用カメラの照明装置
において、回路基板に対して垂直方向に出射された照射
手段の直接光を遮光すると共に回路基板に対して斜め方
向に出射された照射手段の直接光を通過可能な遮光手段
を備えていることを特徴とする。
【００１０】この基板検査用カメラの照明装置では、遮
光手段が、照射手段から出射された光のうち、回路基板
に対して垂直方向に出射された直接光を遮光し、かつ回
路基板に対して斜め方向に出射された直接光を通過させ
る。したがって、回路基板が照射手段から斜め方向に出
射された直接光によって照射されるため、照射手段によ
る光源影が検査用カメラの視野範囲に生じにくくなる。
また、検査用カメラの視野範囲を照射した光は入射角と
等しい反射角で反射するため、その反射光は、回路基板
に対して垂直に対向している検査用カメラの対物レンズ
側とは異なる方向に進行する。したがって、検査用カメ
ラの対物レンズ側には、特定の方向から照射された光が
集中して入射することはなく、回路基板の表面における
細かな凹凸によって乱反射された光が入射する。この結
果、検査用カメラの視野範囲は、実質的に均一に照射さ
れることになるため、検査用カメラによって映し出され
る画像に対する照度むらの影響が軽減する。
光手段が、照射手段から出射された光のうち、回路基板
に対して垂直方向に出射された直接光を遮光し、かつ回
路基板に対して斜め方向に出射された直接光を通過させ
る。したがって、回路基板が照射手段から斜め方向に出
射された直接光によって照射されるため、照射手段によ
る光源影が検査用カメラの視野範囲に生じにくくなる。
また、検査用カメラの視野範囲を照射した光は入射角と
等しい反射角で反射するため、その反射光は、回路基板
に対して垂直に対向している検査用カメラの対物レンズ
側とは異なる方向に進行する。したがって、検査用カメ
ラの対物レンズ側には、特定の方向から照射された光が
集中して入射することはなく、回路基板の表面における
細かな凹凸によって乱反射された光が入射する。この結
果、検査用カメラの視野範囲は、実質的に均一に照射さ
れることになるため、検査用カメラによって映し出され
る画像に対する照度むらの影響が軽減する。
【００１１】請求項２記載の基板検査用カメラの照明装
置は、請求項１記載の基板検査用カメラの照明装置にお
いて、回路基板に対して斜め方向に照射された照射手段
の直接光を拡散させる拡散手段を備えていることを特徴
とする。
置は、請求項１記載の基板検査用カメラの照明装置にお
いて、回路基板に対して斜め方向に照射された照射手段
の直接光を拡散させる拡散手段を備えていることを特徴
とする。
【００１２】この基板検査用カメラの照明装置では、拡
散手段によって照射手段の照射光が拡散されるため、検
査用カメラの視野範囲における照度むらが、より軽減さ
れる。
散手段によって照射手段の照射光が拡散されるため、検
査用カメラの視野範囲における照度むらが、より軽減さ
れる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係る基板検査用カメラの照明装置を基板検査装置に
適用した実施の形態について説明する。
明に係る基板検査用カメラの照明装置を基板検査装置に
適用した実施の形態について説明する。
【００１４】図３は、基板検査装置１の平面図を示して
いる。基板検査装置１は、検査対象物である回路基板２
を保持する基板保持具３と、撮影部４ａおよび導通検査
用のプローブ５ａが取り付けられた移動体６ａを回路基
板２の表面におけるＸ方向（紙面に対して左右方向）お
よびＸ方向に対して直交する方向であるＹ方向にそれぞ
れ移動させる第１移動機構７と、撮影部４ｂおよび導通
検査用のプローブ５ｂが取り付けられた移動体６ｂをＸ
方向およびＹ方向にそれぞれ移動させる第２移動機構８
と、両移動機構７，８の移動制御や回路基板２の良否の
判別などを行う制御装置９とを備えている。なお、撮影
部４ａ，４ｂ、プローブ５ａ，５ｂおよび移動体６ａ，
６ｂは、それぞれ同一に構成されているため、以下、区
別しないときは、それぞれ、撮影部４、プローブ５およ
び移動体６ともいう。
いる。基板検査装置１は、検査対象物である回路基板２
を保持する基板保持具３と、撮影部４ａおよび導通検査
用のプローブ５ａが取り付けられた移動体６ａを回路基
板２の表面におけるＸ方向（紙面に対して左右方向）お
よびＸ方向に対して直交する方向であるＹ方向にそれぞ
れ移動させる第１移動機構７と、撮影部４ｂおよび導通
検査用のプローブ５ｂが取り付けられた移動体６ｂをＸ
方向およびＹ方向にそれぞれ移動させる第２移動機構８
と、両移動機構７，８の移動制御や回路基板２の良否の
判別などを行う制御装置９とを備えている。なお、撮影
部４ａ，４ｂ、プローブ５ａ，５ｂおよび移動体６ａ，
６ｂは、それぞれ同一に構成されているため、以下、区
別しないときは、それぞれ、撮影部４、プローブ５およ
び移動体６ともいう。
【００１５】ここで、第１移動機構７は、移動体６ａを
Ｘ軸方向に移動させるためのＸ軸ガイド１１と、Ｘ軸ガ
イド１１をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸ガイド１２
とを備えている。Ｘ軸ガイド１１は、回路基板２の表面
に対して上下方向であるＺ軸方向にプローブ５ａを移動
させるためのモータ１３と、Ｘ軸ガイド１１内に配設さ
れているボールネジ１４の回動によって移動体６ａをＸ
軸方向に移動させるためのモータ１５とを備えている。
一方、Ｙ軸ガイド１２は、ボールネジ１６の回動によっ
てＸ軸ガイド１１をＹ軸方向に移動させるためのモータ
１７を備えている。この第１移動機構７では、制御装置
９によってモータ１５，１７が制御されることにより、
移動体６ａが、Ｘ軸およびＹ軸の任意の位置に移動させ
られると共に、移動した位置において、制御装置９によ
ってモータ１３が制御されることにより、プローブ５ａ
が上下動させられる。
Ｘ軸方向に移動させるためのＸ軸ガイド１１と、Ｘ軸ガ
イド１１をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸ガイド１２
とを備えている。Ｘ軸ガイド１１は、回路基板２の表面
に対して上下方向であるＺ軸方向にプローブ５ａを移動
させるためのモータ１３と、Ｘ軸ガイド１１内に配設さ
れているボールネジ１４の回動によって移動体６ａをＸ
軸方向に移動させるためのモータ１５とを備えている。
一方、Ｙ軸ガイド１２は、ボールネジ１６の回動によっ
てＸ軸ガイド１１をＹ軸方向に移動させるためのモータ
１７を備えている。この第１移動機構７では、制御装置
９によってモータ１５，１７が制御されることにより、
移動体６ａが、Ｘ軸およびＹ軸の任意の位置に移動させ
られると共に、移動した位置において、制御装置９によ
ってモータ１３が制御されることにより、プローブ５ａ
が上下動させられる。
【００１６】第２移動機構８は、移動体６ｂをＸ軸方向
に移動させるためのＸ軸ガイド２１と、Ｘ軸ガイド２１
をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸ガイド２２とを備え
ている。Ｘ軸ガイド２１は、Ｚ軸方向にプローブ５ｂを
移動させるためのモータ２３と、Ｘ軸ガイド２１内に配
設されているボールネジ２４の回動によって移動体６ｂ
をＸ軸方向に移動させるためのモータ２５とを備えてい
る。一方、Ｙ軸ガイド２２は、ボールネジ２６の回動に
よってＸ軸ガイド２１をＹ軸方向に移動させるためのモ
ータ２７を備えている。この第２移動機構８では、制御
装置９によってモータ２５，２７が制御されることによ
り、移動体６ｂが、Ｘ軸およびＹ軸の任意の位置に移動
させられると共に、移動した位置において、制御装置９
によってモータ２３が制御されることにより、プローブ
５ｂが上下動させられる。
に移動させるためのＸ軸ガイド２１と、Ｘ軸ガイド２１
をＹ軸方向に移動させるためのＹ軸ガイド２２とを備え
ている。Ｘ軸ガイド２１は、Ｚ軸方向にプローブ５ｂを
移動させるためのモータ２３と、Ｘ軸ガイド２１内に配
設されているボールネジ２４の回動によって移動体６ｂ
をＸ軸方向に移動させるためのモータ２５とを備えてい
る。一方、Ｙ軸ガイド２２は、ボールネジ２６の回動に
よってＸ軸ガイド２１をＹ軸方向に移動させるためのモ
ータ２７を備えている。この第２移動機構８では、制御
装置９によってモータ２５，２７が制御されることによ
り、移動体６ｂが、Ｘ軸およびＹ軸の任意の位置に移動
させられると共に、移動した位置において、制御装置９
によってモータ２３が制御されることにより、プローブ
５ｂが上下動させられる。
【００１７】次に、撮影部４の構成について、図１，２
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００１８】両図に示すように、撮影部４は、プリント
基板３１を備えており、プリント基板３１には、検査用
カメラ３２と、本発明における検査用カメラの照明装置
に相当する照明部３３が搭載されている。ここで、検査
用カメラ３２は、プリント基板３１に形成された孔部３
８に貫通させられた状態で、図示しない取付具によって
プリント基板３１に固定されている。
基板３１を備えており、プリント基板３１には、検査用
カメラ３２と、本発明における検査用カメラの照明装置
に相当する照明部３３が搭載されている。ここで、検査
用カメラ３２は、プリント基板３１に形成された孔部３
８に貫通させられた状態で、図示しない取付具によって
プリント基板３１に固定されている。
【００１９】一方、照明部３３は、４つのＬＥＤ３４ａ
〜３４ｄ（以下、区別しないときは、「ＬＥＤ３４」と
もいう）と、本発明における遮光手段および拡散手段に
それぞれ相当する遮光板３５ａ，３５ｂ（以下、区別し
ないときは、「遮光板３５」ともいう）および拡散板３
６ａ，３６ｂ（以下、区別しないときは、「拡散板３
６」ともいう）とを備えて構成されている。ここで、遮
光板３５は、黒色に塗装されて側面形状がコ字状に形成
された金属板によって構成されており、ＬＥＤ３４から
回路基板２に対して垂直方向に出射された直接光を遮光
する。拡散板３６は、側面形状がＬ字状に形成されると
共に、乳白色のポリカーボネイトや、表面処理したアク
リル板などによって構成されている。また、拡散板３６
は、遮光板３５と互いに対向するように遮光板３５に固
定されており、ＬＥＤ３４から遮光板３５の開口部側に
出射された光を拡散する。
〜３４ｄ（以下、区別しないときは、「ＬＥＤ３４」と
もいう）と、本発明における遮光手段および拡散手段に
それぞれ相当する遮光板３５ａ，３５ｂ（以下、区別し
ないときは、「遮光板３５」ともいう）および拡散板３
６ａ，３６ｂ（以下、区別しないときは、「拡散板３
６」ともいう）とを備えて構成されている。ここで、遮
光板３５は、黒色に塗装されて側面形状がコ字状に形成
された金属板によって構成されており、ＬＥＤ３４から
回路基板２に対して垂直方向に出射された直接光を遮光
する。拡散板３６は、側面形状がＬ字状に形成されると
共に、乳白色のポリカーボネイトや、表面処理したアク
リル板などによって構成されている。また、拡散板３６
は、遮光板３５と互いに対向するように遮光板３５に固
定されており、ＬＥＤ３４から遮光板３５の開口部側に
出射された光を拡散する。
【００２０】なお、同図において検査用カメラ３２の右
側のＬＥＤ３４ａ，３４ｂから出射された光は、拡散板
３６ａによって拡散された後、遮光板３５ａの底板３７
ａの端部と遮光板３５ｂの底板３７ｂとの間を通過して
回路基板２の所定範囲を照射する。一方、検査用カメラ
３２の左側のＬＥＤ３４ｃ，３４ｄから出射された光
は、遮光板３５ｂによって拡散された後、遮光板３５ｂ
の底板３７ｂの端部と遮光板３５ａの底板３７ａとの間
を通過して回路基板２の所定範囲を照射する。この場
合、ＬＥＤ３４ａ，３４ｂの出射光は、検査用カメラ３
２の視軸４１を含み底板３７ａの端面に対して平行とな
る平面４２と回路基板２とが交差する部位よりも左側
（ＬＥＤ３４ｃ，３４ｄ側）を主として照射し、ＬＥＤ
３４ｃ，３４ｄからの出射光は、平面４２と回路基板２
とが交差する部位よりも右側（ＬＥＤ３４ａ，３４ｂ
側）を主として照射する。したがって、ＬＥＤ３４ａ〜
３４ｄから斜め方向に出射された光によって照射される
ため、検査用カメラ３２の視野範囲には、ＬＥＤ３４ａ
〜３４ｄの光源影が生じにくくなる。また、検査用カメ
ラ３２の視野範囲を照射した光は入射角と等しい反射角
で反射するため、その反射光は、回路基板２に対して垂
直に対向している検査用カメラ３２の対物レンズ側とは
異なる方向に進行する。したがって、検査用カメラ３２
の対物レンズ側には、特定の方向から照射された光が集
中して入射することはなく、回路基板２の表面における
細かな凹凸によって乱反射された光が入射する。この結
果、検査用カメラ３２の視野範囲は、実質的に均一に照
射されることになるため、検査用カメラ３２によって映
し出される画像に対する照度むらの影響が軽減する。
側のＬＥＤ３４ａ，３４ｂから出射された光は、拡散板
３６ａによって拡散された後、遮光板３５ａの底板３７
ａの端部と遮光板３５ｂの底板３７ｂとの間を通過して
回路基板２の所定範囲を照射する。一方、検査用カメラ
３２の左側のＬＥＤ３４ｃ，３４ｄから出射された光
は、遮光板３５ｂによって拡散された後、遮光板３５ｂ
の底板３７ｂの端部と遮光板３５ａの底板３７ａとの間
を通過して回路基板２の所定範囲を照射する。この場
合、ＬＥＤ３４ａ，３４ｂの出射光は、検査用カメラ３
２の視軸４１を含み底板３７ａの端面に対して平行とな
る平面４２と回路基板２とが交差する部位よりも左側
（ＬＥＤ３４ｃ，３４ｄ側）を主として照射し、ＬＥＤ
３４ｃ，３４ｄからの出射光は、平面４２と回路基板２
とが交差する部位よりも右側（ＬＥＤ３４ａ，３４ｂ
側）を主として照射する。したがって、ＬＥＤ３４ａ〜
３４ｄから斜め方向に出射された光によって照射される
ため、検査用カメラ３２の視野範囲には、ＬＥＤ３４ａ
〜３４ｄの光源影が生じにくくなる。また、検査用カメ
ラ３２の視野範囲を照射した光は入射角と等しい反射角
で反射するため、その反射光は、回路基板２に対して垂
直に対向している検査用カメラ３２の対物レンズ側とは
異なる方向に進行する。したがって、検査用カメラ３２
の対物レンズ側には、特定の方向から照射された光が集
中して入射することはなく、回路基板２の表面における
細かな凹凸によって乱反射された光が入射する。この結
果、検査用カメラ３２の視野範囲は、実質的に均一に照
射されることになるため、検査用カメラ３２によって映
し出される画像に対する照度むらの影響が軽減する。
【００２１】また、検査用カメラ３２の視野範囲内にお
いては、ＬＥＤ３４ａ，３４ｂの出射光によって照射さ
れる部位とＬＥＤ３４ｃ，３４ｄの出射光によって照射
される部位とが互いに重なり合わないため、その照度が
さらに均一化される。この結果、検査用カメラ３２によ
って映し出される画像に対する照度むらの影響をさらに
軽減することができる。
いては、ＬＥＤ３４ａ，３４ｂの出射光によって照射さ
れる部位とＬＥＤ３４ｃ，３４ｄの出射光によって照射
される部位とが互いに重なり合わないため、その照度が
さらに均一化される。この結果、検査用カメラ３２によ
って映し出される画像に対する照度むらの影響をさらに
軽減することができる。
【００２２】次に、制御装置９によって実行される撮影
部４に対する制御処理と、基板検査に先立って行われる
回路パターンなどの位置データの補正処理とを合わせて
説明する。
部４に対する制御処理と、基板検査に先立って行われる
回路パターンなどの位置データの補正処理とを合わせて
説明する。
【００２３】まず、制御装置９は、モータ１５，１７，
２５，２７の回動を制御することにより、検査用カメラ
３２が回路基板２に印刷されたフィデューシャルマーク
の真上に位置するように、移動体６ａ，６ｂを移動させ
る。次いで、制御装置９は、照射開始信号を出力してＬ
ＥＤ３４ａ〜３４ｄを発光させることにより、検査用カ
メラ３２の視野範囲を照射させる。次に、制御装置９
は、撮像開始信号を検査用カメラ３２に出力することに
より、検査用カメラ３２に対してフィデューシャルマー
クを撮影させる。制御装置９は、ケーブル４３を介して
入力した画像信号に基づいて、フィデューシャルマーク
の実際の位置と、予め規定した位置に回路基板２が精度
よくセッティングされたとしたときに在るべきフィデュ
ーシャルマークの基準位置に対する位置ずれを検出す
る。次いで、制御装置９は、予め記憶している回路基板
２における回路パターンや回路部品などの位置データ
を、検出したフィデューシャルマークの位置ずれデータ
に基づいて補正する。この場合、ＬＥＤ３４ａ〜３４ｄ
のスポット光などに起因する照度むらの影響が極めて少
ないため、精度よく位置データを補正することができ
る。
２５，２７の回動を制御することにより、検査用カメラ
３２が回路基板２に印刷されたフィデューシャルマーク
の真上に位置するように、移動体６ａ，６ｂを移動させ
る。次いで、制御装置９は、照射開始信号を出力してＬ
ＥＤ３４ａ〜３４ｄを発光させることにより、検査用カ
メラ３２の視野範囲を照射させる。次に、制御装置９
は、撮像開始信号を検査用カメラ３２に出力することに
より、検査用カメラ３２に対してフィデューシャルマー
クを撮影させる。制御装置９は、ケーブル４３を介して
入力した画像信号に基づいて、フィデューシャルマーク
の実際の位置と、予め規定した位置に回路基板２が精度
よくセッティングされたとしたときに在るべきフィデュ
ーシャルマークの基準位置に対する位置ずれを検出す
る。次いで、制御装置９は、予め記憶している回路基板
２における回路パターンや回路部品などの位置データ
を、検出したフィデューシャルマークの位置ずれデータ
に基づいて補正する。この場合、ＬＥＤ３４ａ〜３４ｄ
のスポット光などに起因する照度むらの影響が極めて少
ないため、精度よく位置データを補正することができ
る。
【００２４】この後、回路部品の有無検査においては、
制御装置９は、補正した位置データに基づいて各モータ
１５，１７，２５，２７の回動を制御することにより移
動体６を所定位置に移動させた後、検査対象回路部品が
存在すべき位置を検査用カメラ３２に撮影させることに
より回路部品の有無を検査する。また、回路部品の抵抗
値検査においては、制御装置９は、補正した位置データ
に基づいて、回路パターンや回路部品にプローブ５を接
触させた後、これらの抵抗値を測定することによって回
路パターンのパターン切れなどを検査する。これらの場
合、位置データが正確に補正されているため、検査用カ
メラ３２やプローブ５を高精度で所定の位置に移動させ
ることができる結果、基板検査装置１は高信頼性の検査
を行うことができる。
制御装置９は、補正した位置データに基づいて各モータ
１５，１７，２５，２７の回動を制御することにより移
動体６を所定位置に移動させた後、検査対象回路部品が
存在すべき位置を検査用カメラ３２に撮影させることに
より回路部品の有無を検査する。また、回路部品の抵抗
値検査においては、制御装置９は、補正した位置データ
に基づいて、回路パターンや回路部品にプローブ５を接
触させた後、これらの抵抗値を測定することによって回
路パターンのパターン切れなどを検査する。これらの場
合、位置データが正確に補正されているため、検査用カ
メラ３２やプローブ５を高精度で所定の位置に移動させ
ることができる結果、基板検査装置１は高信頼性の検査
を行うことができる。
【００２５】このように、この実施形態に係る基板検査
装置１によれば、検査用カメラ３２とＬＥＤ３４ａ〜３
４ｄとを互いに近接して配置した場合であっても、検査
用カメラ３２によって映し出される画像がＬＥＤ３４ａ
〜３４ｄのスポット光に起因する照度むらの影響を受け
にくくなるため、フィデューシャルマークや回路部品な
どを高精度で位置検出することができる。
装置１によれば、検査用カメラ３２とＬＥＤ３４ａ〜３
４ｄとを互いに近接して配置した場合であっても、検査
用カメラ３２によって映し出される画像がＬＥＤ３４ａ
〜３４ｄのスポット光に起因する照度むらの影響を受け
にくくなるため、フィデューシャルマークや回路部品な
どを高精度で位置検出することができる。
【００２６】次に、図４（ａ），（ｂ）を参照して、他
の実施形態に係る撮影部５１について説明する。なお、
この実施形態では、撮影部４と同一の構成要素について
は同一の符号を付して、異なる点についてのみ説明す
る。
の実施形態に係る撮影部５１について説明する。なお、
この実施形態では、撮影部４と同一の構成要素について
は同一の符号を付して、異なる点についてのみ説明す
る。
【００２７】同図に示すように、撮影部５１では、４つ
のＬＥＤ５２ａ〜５２ｄが所定の円周上に等間隔で位置
するようにプリント基板３１に取り付けられている。ま
た、筒状の遮光板５３がＬＥＤ５２ａ〜５２ｄを取り囲
むようにプリント基板３１に立設されており、遮光板５
３には、孔部５４が形成された底部５５が形成されてい
る。さらに、遮光板５３には、筒状の拡散板５６が、遮
光板５３の立設方向と平行になるように立設されてお
り、拡散板５６と遮光板５３とで空間５７が形成される
結果、ＬＥＤ５２ａ〜５２ｄが、その空間５７内に位置
している。
のＬＥＤ５２ａ〜５２ｄが所定の円周上に等間隔で位置
するようにプリント基板３１に取り付けられている。ま
た、筒状の遮光板５３がＬＥＤ５２ａ〜５２ｄを取り囲
むようにプリント基板３１に立設されており、遮光板５
３には、孔部５４が形成された底部５５が形成されてい
る。さらに、遮光板５３には、筒状の拡散板５６が、遮
光板５３の立設方向と平行になるように立設されてお
り、拡散板５６と遮光板５３とで空間５７が形成される
結果、ＬＥＤ５２ａ〜５２ｄが、その空間５７内に位置
している。
【００２８】この撮影部５１では、ＬＥＤ５２ａ〜５２
ｄから回路基板２に対して垂直方向に出射された光は、
遮光板５３の底部５５によって遮光される。また、ＬＥ
Ｄ５２ａ〜５２ｄから回路基板２に対して斜め方向に出
射された光は、拡散板によって拡散された後、孔部５４
を介して回路基板２の所定の範囲を出射する。
ｄから回路基板２に対して垂直方向に出射された光は、
遮光板５３の底部５５によって遮光される。また、ＬＥ
Ｄ５２ａ〜５２ｄから回路基板２に対して斜め方向に出
射された光は、拡散板によって拡散された後、孔部５４
を介して回路基板２の所定の範囲を出射する。
【００２９】この撮像部５１においても、撮影部４と同
じようにして、検査用カメラ３２の視野範囲における照
度むらを軽減することができる。
じようにして、検査用カメラ３２の視野範囲における照
度むらを軽減することができる。
【００３０】なお、本発明は、上記の両実施形態に示し
た構成に限定されず、適宜変更することが可能である。
例えば、上記した実施形態では、照明手段としてＬＥＤ
３４ａ〜３４ｄまたは５２ａ〜５２ｄを用いた構成につ
いて説明したが、ハロゲンランプなど種々のランプを用
いることもできるし、蛍光管のようなドーナツ状の光源
を検査用カメラ３２の外周に配設させてもよい。また、
ＬＥＤの数についても、必要に応じて増減することがで
きる。さらに、遮光板３４，５３や拡散板３６，５６の
形状についても適宜変更が可能である。
た構成に限定されず、適宜変更することが可能である。
例えば、上記した実施形態では、照明手段としてＬＥＤ
３４ａ〜３４ｄまたは５２ａ〜５２ｄを用いた構成につ
いて説明したが、ハロゲンランプなど種々のランプを用
いることもできるし、蛍光管のようなドーナツ状の光源
を検査用カメラ３２の外周に配設させてもよい。また、
ＬＥＤの数についても、必要に応じて増減することがで
きる。さらに、遮光板３４，５３や拡散板３６，５６の
形状についても適宜変更が可能である。
【００３１】
【発明の効果】以上のように、請求項１記載の基板検査
用カメラの照明装置によれば、回路基板に対して垂直方
向に出射された照射手段の直接光を遮光すると共に回路
基板に対して斜め方向に出射された照射手段の直接光を
通過可能な遮光手段を備えたことにより、検査用カメラ
の視野範囲を均一に照射することができ、これにより、
検査用カメラによる画像撮影の際に、照射手段のスポッ
ト光に起因する照度むらの影響を軽減することができ
る。
用カメラの照明装置によれば、回路基板に対して垂直方
向に出射された照射手段の直接光を遮光すると共に回路
基板に対して斜め方向に出射された照射手段の直接光を
通過可能な遮光手段を備えたことにより、検査用カメラ
の視野範囲を均一に照射することができ、これにより、
検査用カメラによる画像撮影の際に、照射手段のスポッ
ト光に起因する照度むらの影響を軽減することができ
る。
【００３２】また、請求項２記載の基板検査用カメラの
照明装置によれば、回路基板に対して斜め方向に照射さ
れた照射手段の直接光を拡散させる拡散手段を備えたこ
とにより、検査用カメラの視野範囲における照度むら
を、より軽減することができる。
照明装置によれば、回路基板に対して斜め方向に照射さ
れた照射手段の直接光を拡散させる拡散手段を備えたこ
とにより、検査用カメラの視野範囲における照度むら
を、より軽減することができる。
【図１】本発明の実施の形態に係る基板検査装置におけ
る撮影部の側面図である。
る撮影部の側面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る基板検査装置におけ
る撮影部の底面図である。
る撮影部の底面図である。
【図３】本発明の実施の形態に係る基板検査装置の平面
図である。
図である。
【図４】（ａ）は本発明の他の実施の形態に係る撮影部
の側面断面図であり、（ｂ）はその撮影部の底面図であ
る。
の側面断面図であり、（ｂ）はその撮影部の底面図であ
る。
【図５】（ａ）は従来の照明装置の側面図であり、
（ｂ）はその底面図であり、（ｃ）はその照明装置にお
けるＬＥＤによって照射された際に回路基板上に生じる
照度むらを示した回路基板の表面図である。
（ｂ）はその底面図であり、（ｃ）はその照明装置にお
けるＬＥＤによって照射された際に回路基板上に生じる
照度むらを示した回路基板の表面図である。
【図６】（ａ）は従来の他の照明装置の側面断面図であ
り、（ｂ）は、その照明装置の底面図である。
り、（ｂ）は、その照明装置の底面図である。
１ 基板検査装置 ２ 回路基板 ４ａ，４ｂ 撮影部 ６ａ，６ｂ 移動体 ３２ 検査用カメラ ３３ 照明部 ３４ａ〜３４ｄ ＬＥＤ ３５ａ，３５ｂ 遮光板 ３６ａ，３６ｂ 拡散板 ５１ 撮影部 ５２ａ〜５２ｄ ＬＥＤ ５３ 遮光板 ５６ 拡散板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 13/08 Ｈ０５Ｋ 13/08 Ｑ
Claims (2)
- 【請求項１】 検査対象の回路基板を垂直方向から撮影
可能な基板検査用カメラの視野範囲を照射するための照
射手段を備え、前記回路基板におけるＸ−Ｙ方向に移動
自在な移動体に前記基板検査用カメラと共に固定されて
いる基板検査用カメラの照明装置において、 前記回路基板に対して垂直方向に出射された前記照射手
段の直接光を遮光すると共に当該回路基板に対して斜め
方向に出射された当該照射手段の直接光を通過可能な遮
光手段を備えていることを特徴とする基板検査用カメラ
の照明装置。 - 【請求項２】 前記回路基板に対して斜め方向に照射さ
れた前記照射手段の直接光を拡散させる拡散手段を備え
ていることを特徴とする請求項１記載の基板検査用カメ
ラの照明装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9155875A JPH10332792A (ja) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | 基板検査用カメラの照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9155875A JPH10332792A (ja) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | 基板検査用カメラの照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10332792A true JPH10332792A (ja) | 1998-12-18 |
Family
ID=15615422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9155875A Pending JPH10332792A (ja) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | 基板検査用カメラの照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10332792A (ja) |
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1203962A2 (en) * | 2000-11-03 | 2002-05-08 | Tektronix, Inc. | A test instrument powered video camera |
| JP2003098216A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-03 | Hioki Ee Corp | 回路基板検査装置 |
| JP2008102103A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Ccs Inc | 光照射装置 |
| JP2009015634A (ja) * | 2007-07-05 | 2009-01-22 | Denso Wave Inc | 光学情報読取装置 |
| KR100902349B1 (ko) | 2007-07-04 | 2009-06-12 | 주식회사 오킨스전자 | 인쇄회로기판 검사 장치 |
| JP2009524071A (ja) * | 2006-02-10 | 2009-06-25 | アーテーゲー ルーテル ウント メルツァー ゲーエムベーハー | コンポーネント化されていない印刷回路基板の検査のためのフィンガーテスター及びフィンガーテスターでコンポーネント化されていない印刷回路基板を検査する方法 |
| JP2010160006A (ja) * | 2009-01-07 | 2010-07-22 | Hioki Ee Corp | 基板検査用カメラのための照明装置を備える基板検査装置 |
| JP2011047837A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Jfe Steel Corp | リング照明装置およびリング照明装置を用いた表面検査装置 |
| JP2013157568A (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-15 | Sony Corp | 検査装置、検査方法及び基板の製造方法 |
| JP2017207380A (ja) * | 2016-05-19 | 2017-11-24 | Nok株式会社 | 表面欠陥検査装置 |
| JP2018017564A (ja) * | 2016-07-27 | 2018-02-01 | シーシーエス株式会社 | 照明装置 |
| JP2018017555A (ja) * | 2016-07-26 | 2018-02-01 | シーシーエス株式会社 | 照明装置 |
| CN109782107A (zh) * | 2019-01-28 | 2019-05-21 | 程慧玲 | 一种手机主板与触摸屏导通测试治具 |
| EP3587553A1 (en) * | 2018-06-29 | 2020-01-01 | Shibuya Corporation | Cell observation apparatus |
-
1997
- 1997-05-29 JP JP9155875A patent/JPH10332792A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1203962A3 (en) * | 2000-11-03 | 2003-01-15 | Tektronix, Inc. | A test instrument powered video camera |
| EP1203962A2 (en) * | 2000-11-03 | 2002-05-08 | Tektronix, Inc. | A test instrument powered video camera |
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| JP2011047837A (ja) * | 2009-08-28 | 2011-03-10 | Jfe Steel Corp | リング照明装置およびリング照明装置を用いた表面検査装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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