JP2008051581A - デバイス試験装置およびデバイス試験方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明のデバイス試験装置100は、複数のDUT140を載設するパフォーマンスボード130と嵌合し、該複数のDUTのデバイス端子に電気的に接続される複数のテスト端子が設けられたテストヘッド120と、テストヘッド内のテスト端子を所定数毎に分割したクラスタに制限されることなく、デバイス端子を複数のテスト端子に任意に割り当てさせ、デバイス端子とテスト端子との対応関係を示すデバイス定義ファイルを生成する端子設定部152と、デバイス定義ファイルに基づいて、テストプログラムにおけるデバイス端子の試験パラメータをテスト端子に割り当てるATE割当部154と、割り当てられた試験パラメータで複数のDUTの試験を遂行する試験遂行部と、を備える。
【選択図】 図2
Description
PIN(1){VIH=5V;}
と記述すると、テスト端子番号1と、テスト端子番号257にハイレベルである5Vが割り当てられる。
図1は、本実施形態におけるデバイス試験装置100全体の概略的な構成を示した機能ブロック図である。デバイス試験装置100は、本体110と、テストヘッド120とを含んで構成される。当該テストヘッド120には、パフォーマンスボード130が載設され、パフォーマンスボード130上にDUT140が配される。
PIN(1){V=5V;}
といった記述で、デバイス端子の1番に5Vを出力していた。
PIN(100:ATE){V=5V;}
といった記載をサポートする。
図4は、ATE割当部154とデータベース180との関係を示した機能ブロック図である。上記ATE割当部154は、デバイス定義解析ライブラリを介してデータベース180にあるデバイス定義ファイルを参照する。
MULIT
DUT 5
ENDMULTI
といった記載がされている。
1 PIN1 = 100;
をデバイス定義ファイルで定義すると、テストプログラム制御ライブラリは、一定のオフセット、ここでは、128をもってDUT毎にテスト端子を割り当てていた。
PIN(1){V=5V;}
となる。
1 PIN1 = 100,500,300,200,400;
2 PIN2 = 250,250,250,250,250;
と記載させることができる。
PIN(1){V=5V;}
という記載に基づいて、デバイス定義解析ライブラリに、上記デバイス端子の1番端子をテスト端子の番号に変換するよう指示し、本実施形態においては、DUT140のデバイス端子の1番端子は、テスト端子の100,200,300,400,500番目に割り当てられる。従って、テスト端子の100,200,300,400,500番には5Vの電圧出力がなされる。
システムソフトは、テストプログラムの実行に際し、DUT140を一つずつ順番に試験し、フェイルになったDUT140の以降のテストを行わないといった機能(DUTシーケンシャルテスト)を実行できる。このような機能を遂行するため、デバイス試験装置100は、特定のDUTに対応するハードウェア資源のみを指定し、動作もしくは停止させることができる。DUT140にクラスタが割り当てられている場合、クラスタに属す中継カード122自体を有効化もしくは無効化する。
また、上述したデバイス試験装置100を利用してDUT140を試験するデバイス試験方法も提供される。かかるデバイス試験方法では、まず、端子設定部152が複数のDUT140のデバイス端子をテストヘッド120の複数のテスト端子に割り当てさせ、デバイス端子とテスト端子との対応関係を示すデバイス定義ファイルを生成し、その後、ATE割当部154がデバイス定義ファイルに基づいて、テストプログラムにおけるデバイス端子の試験パラメータをテスト端子に割り当て、試験遂行部が割り当てられた試験パラメータで複数のDUT140の試験を遂行する。
120 テストヘッド
122,300 中継カード
140 DUT
152 端子設定部
154 ATE割当部
156 直接設定部
Claims (8)
- 複数の被試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験装置であって、
前記複数の被試験デバイスを載設するパフォーマンスボードと嵌合し、該複数の被試験デバイスのデバイス端子に電気的に接続される複数のテスト端子が設けられたテストヘッドと、
前記テストヘッド内のテスト端子を所定数毎に分割したクラスタに制限されることなく、前記デバイス端子を前記複数のテスト端子に任意に割り当てさせ、デバイス端子とテスト端子との対応関係を示すデバイス定義ファイルを生成する端子設定部と、
前記デバイス定義ファイルに基づいて、テストプログラムにおける前記デバイス端子の試験パラメータをテスト端子に割り当てるATE割当部と、
割り当てられた試験パラメータで前記複数の被試験デバイスの試験を遂行する試験遂行部と、
を備えることを特徴とする、デバイス試験装置。 - 前記複数の被試験デバイスのいずれか一つにおいて信号が共通するデバイス端子が設けられている場合、該共通する2以上のデバイス端子を一つのテスト端子に割り当てることを特徴とする、請求項1に記載のデバイス試験装置。
- 前記複数の被試験デバイスのうち2以上の被試験デバイスに跨って信号が共通するデバイス端子が設けられている場合、該共通する2以上のデバイス端子を一つのテスト端子に割り当てることを特徴とする、請求項1に記載のデバイス試験装置。
- 前記共通デバイス端子は、クロック信号、データ入力信号、電源信号、接地信号の群から選択された1または2以上の信号であることを特徴とする、請求項2または3のいずれかに記載のデバイス試験装置。
- 前記端子設定部は、前記複数の被試験デバイスの特定のデバイス端子に、複数のテスト端子を対応づけて割り当てさせることを特徴とする、請求項1に記載のデバイス試験装置。
- 前記テストプログラムにおいて、試験パラメータをテスト端子に直接定義させる直接設定部をさらに備えることを特徴とする、請求項1に記載のデバイス試験装置。
- 前記テストヘッドには、試験信号を中継する複数の中継カードがさらに設けられ、
前記中継カードは、
前記デバイス定義ファイルにおけるデバイス端子とテスト端子との対応関係を記憶する対応関係記憶部と、
被試験デバイス単位の有効/無効を示す効力信号と前記対応関係記憶部に記憶された対応関係とに基づいて有効なテスト端子を判断し、テストヘッドからのテスト端子の信号に制限をかける信号制限部と、
を備えることを特徴とする、請求項1に記載のデバイス試験装置。 - 複数の被試験デバイスのデバイス端子と、テストヘッドの複数のテスト端子とを電気的に接続して、該複数の被試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験方法であって、
前記テストヘッド内のテスト端子を所定数毎に分割したクラスタに制限されることなく、前記デバイス端子を前記複数のテスト端子に任意に割り当てさせ、デバイス端子とテスト端子との対応関係を示すデバイス定義ファイルを生成し、
前記デバイス定義ファイルに基づいて、テストプログラムにおける前記デバイス端子の試験パラメータをテスト端子に割り当て、
割り当てられた試験パラメータで前記複数の被試験デバイスの試験を遂行する
ことを特徴とする、デバイス試験方法。
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