JP2008047657A - 静電チャック装置 - Google Patents
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Abstract
【構成】 チャック側端子31を、静電チャック1aの裏面4に接合された基端部材32と、その基端部材32の先端35に接合された先端部材36とで形成した。基端部材32の先端35をプラグ端子32bとし、先端部材36の基端をソケット端子37として両端子を嵌合して接合した。ソケット端子37とプラグ端子32bの内外周面間に、弾性変形可能の金属製中継接合部材61を介在させ、これの変形によって先端部材36を基端部材32に対して偏心又は傾斜可能に接合した。先端部材36は、ソケット端子37の外周面のネジ38により、ベース部材21の貫通孔26内に固定された絶縁部材51の内周面のねじ56に螺合した。
【選択図】 図2
Description
前記チャック側端子を、前記静電チャックの裏面に基端が接合された基端部材と、その基端部材の先端に接合された先端部材とで形成し、しかも、前記基端部材の先端と前記先端部材の基端のいずれか一方をソケット端子とすると共に他方をプラグ端子として両端子を嵌合して接合する端子構造とし、
前記ソケット端子と前記プラグ端子の内外周面間に、弾性変形可能の金属製中継接合部材を介在させ、この金属製中継接合部材の変形によって前記先端部材を前記基端部材に対して偏心及び傾斜の少なくともいずれかを可能に接合してなることを特徴とする。
前記チャック側端子を、前記静電チャックの裏面に基端が接合された基端部材と、その基端部材の先端に接合された先端部材とで形成し、しかも前記基端部材の先端をプラグ端子とすると共に前記先端部材の基端をソケット端子として両端子を嵌合して接合する端子構造とし、
前記ソケット端子と前記プラグ端子の内外周面間に、弾性変形可能の金属製中継接合部材を介在させ、この金属製中継接合部材の変形によって前記先端部材を前記基端部材に対して偏心及び傾斜の少なくともいずれかを可能に接合してなると共に、
該先端部材を、そのソケット端子又はソケット端子寄り部位の外周面を介して、前記金属製ベース部材の貫通孔の内周面に固定された前記絶縁部材の内周面に固定してなることを特徴とする。
1a 静電チャック
2 セラミック基板
4 静電チャックの裏面
5 静電電極
15 ヒーター
21 金属製ベース部材
26 ベース部材の貫通孔
31 チャック側端子
32 基端部材
32b プラグ端子
34 基端部材の基端
35 基端部材の先端
36 先端部材
36b 先端部材の基端
37 ソケット端子
38 先端部材のソケット端子の外周面のオスねじ
51 絶縁部材
56 絶縁部材の内周面のメスねじ
61 金属製中継接合部材
Claims (7)
- セラミック基板に静電電極が形成されてなる静電チャックと、この静電チャックの裏面に接合された金属製ベース部材とを含んでなる静電チャック装置であって、前記静電チャックの裏面から突出状に形成されたチャック側端子が、前記金属製ベース部材に形成された貫通孔内に絶縁を保持して配置されてなるものにおいて、
前記チャック側端子を、前記静電チャックの裏面に基端が接合された基端部材と、その基端部材の先端に接合された先端部材とで形成し、しかも、前記基端部材の先端と前記先端部材の基端のいずれか一方をソケット端子とすると共に他方をプラグ端子として両端子を嵌合して接合する端子構造とし、
前記ソケット端子と前記プラグ端子の内外周面間に、弾性変形可能の金属製中継接合部材を介在させ、この金属製中継接合部材の変形によって前記先端部材を前記基端部材に対して偏心及び傾斜の少なくともいずれかを可能に接合してなることを特徴とする静電チャック装置。 - セラミック基板に静電電極が形成されてなる静電チャックと、この静電チャックの裏面に接合された金属製ベース部材とを含んでなる静電チャック装置であって、前記静電チャックの裏面から突出状に形成されたチャック側端子が、前記金属製ベース部材に形成された貫通孔の内周面に固定された環状をなす絶縁部材の内側に配置されてなるものにおいて、
前記チャック側端子を、前記静電チャックの裏面に基端が接合された基端部材と、その基端部材の先端に接合された先端部材とで形成し、しかも前記基端部材の先端をプラグ端子とすると共に前記先端部材の基端をソケット端子として両端子を嵌合して接合する端子構造とし、
前記ソケット端子と前記プラグ端子の内外周面間に、弾性変形可能の金属製中継接合部材を介在させ、この金属製中継接合部材の変形によって前記先端部材を前記基端部材に対して偏心及び傾斜の少なくともいずれかを可能に接合してなると共に、
該先端部材を、そのソケット端子又はソケット端子寄り部位の外周面を介して、前記金属製ベース部材の貫通孔の内周面に固定された前記絶縁部材の内周面に固定してなることを特徴とする静電チャック装置。 - 前記絶縁部材が、前記貫通孔の内周面に接着により固定されていることを特徴とする請求項2に記載の静電チャック装置。
- 前記絶縁部材はその内周面にメスねじを備える一方、前記先端部材のソケット端子又はソケット端子寄り部位の外周面にはこのメスねじに螺合するオスねじを備えており、これらのねじにより、前記絶縁部材に前記先端部材をねじ込むことで固定すると共に、該先端部材を前記基端部材に接合してなることを特徴とする請求項2又は3に記載の静電チャック装置。
- 前記先端部材は、そのソケット端子又はソケット端子寄り部位の外周面を介して、前記絶縁部材の内周面に接着により固定されていることを特徴とする請求項2〜4のいずれか1項に記載の静電チャック装置。
- 前記先端部材の先端をオス端子形状とした請求項1〜5のいずれか1項に記載の静電チャック装置。
- 前記静電チャックはその内部に抵抗発熱体からなるヒーターが設けられており、前記チャック側端子が、そのヒーターへの給電用のものであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の静電チャック装置。
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