JP2008042202A - 角度分解分光リソグラフィの特徴付けのための方法および装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この再構成は、対象物の形状を推定することと、推定した形状からモデル回折パターンを入手することと、対象物を放射で照射することと、対象物により回折した放射の回折パターンを検出することと、モデル回折パターンと検出した回折パターンを比較することと、モデル回折パターンと検出した回折パターンの違いから実際の対象物の形状を決定することとを含み、前記モデル回折パターンがブロッホモード展開により決定される。
【選択図】図4
Description
前記対象物の形状を推定することと、
前記推定した形状からモデル回折パターンを入手することと、
前記モデル回折パターンと前記検出した回折パターンを比較することと、
前記モデル回折パターンと前記検出した回折パターンの違いから実際の対象物の形状を決定することと、を含み、
前記モデル回折パターンがブロッホモード展開により決定される、方法が提供される。
[00025]放射ビームB(例えば、UV放射またはEUV放射)を調整するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
[00026]パターニングデバイス(例えば、マスク)MAを支持するように組み立てられ、かつ特定のパラメータによりパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続しているサポート構造(例えば、マスクテーブル)MTと、
[00027]基板(例えば、レジストが塗布されたウェーハ)Wを保持するように組み立てられ、かつ特定のパラメータに従って基板を正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された基板テーブル(例えば、ウェーハテーブル)WTと、
[00028]基板Wのターゲット部分C(例えば、1つまたは複数のダイを含む)にパターニングデバイスMAにより、放射ビームBに与えるパターンを投影するように構成された投影システム(例えば、屈折投影レンズ系)PLとを備える。
Claims (21)
- 対象物の形状を該対象物を照射する放射の回折パターンから再構成するための方法であって、
前記対象物の形状を推定することと、
前記推定した形状からモデル回折パターンを入手することと、
前記モデル回折パターンと前記検出した回折パターンを比較することと、
前記モデル回折パターンと前記検出した回折パターンの違いから実際の対象物の形状を決定することと、を含み、
前記モデル回折パターンがブロッホモード展開により決定される、方法。 - 前記推定した対象物の形状が、一連の1次元周期構造である、請求項1に記載の方法。
- 前記推定した対象物の形状が、一連の2次元周期格子構造である、請求項1に記載の方法。
- 前記推定した対象物の形状が、その間に第2の材料を含む構造材料からできている一連の周期構造であり、
各層が、一連の周期的な1次元交互構造材料および前記第2の材料を含むように、前記対象物のプロファイルを複数の層に数学的に分割することと、
前記構造材料および前記第2の材料の間の各境界面のところに境界条件を適用することと、
各層に対するブロッホモードを決定することと、を含む、
請求項1に記載の方法。 - 第1の層に対するブロッホモードを決定することと、次に、ある層から次の層に前記構造材料および第2の材料の相対的サイズ内に小さな変化を含む他の層に対するブロッホモードを外挿することと、をさらに含む、請求項4に記載の方法。
- ブロッホモード展開が、前記対象物を照射するTEおよびTM偏光放射の両方に適用される、請求項1に記載の方法。
- ブロッホモード展開が、TEおよびTM偏光放射の両方に同時に適用される、請求項6に記載の方法。
- 前記モデル回折パターンと前記検出した回折パターンを比較している間に、下式
により平均二乗誤差を最小限度に低減する関数を適用することを含む、請求項1に記載の方法。 - 対象物の形状を該対象物を照射する放射の回折パターンから再構成するための方法を実行するコンピュータプログラムであって、前記方法が、
前記対象物の形状を推定することと、
前記推定した形状からモデル回折パターンを入手することと、
前記モデル回折パターンと前記検出した回折パターンを比較することと、
前記モデル回折パターンと前記検出した回折パターンの違いから実際の対象物の形状を決定することと、を含み、
前記モデル回折パターンがブロッホモード展開により決定される、
コンピュータプログラム。 - 前記推定した対象物の形状が、2次元周期格子構造である、請求項9に記載のコンピュータプログラム。
- 前記推定した対象物の形状が、その間に第2の材料を有する構造材料からできている一連の周期構造であり、前記方法が、
各層が、一連の周期的な1次元交互構造材料および前記第2の材料を含むように、前記対象物のプロファイルを複数の層に数学的に分割することと、
前記構造材料および前記第2の材料の間の各境界面のところに境界条件を適用することと、
各層に対する前記ブロッホモードを決定することと、を含む、請求項9に記載のコンピュータプログラム。 - ブロッホモード展開が、前記対象物を照射するTEおよびTM偏光放射の両方に適用される、請求項9に記載のコンピュータプログラム。
- 前記対象物を照射する放射の前記回折パターンから対象物の再構成へのブロッホモード展開の適用。
- 基板の特性を測定するように構成されている検査装置であって、
コンピュータに、
前記基板の対象物の形状を推定させ、
前記推定した形状からモデル回折パターンを入手させ、
前記対象物の前記モデル回折パターンと前記検出した回折パターンを比較し、
前記モデル回折パターンと前記検出した回折パターンの違いから実際の対象物の形状を決定させる
プログラムコードを記録している記録媒体を含み、
前記モデル回折パターンがブロッホモード展開により決定される、検査装置。 - 前記推定した対象物の形状が、2次元周期格子構造である、請求項14に記載の検査装置。
- 前記推定した対象物の形状が、その間に第2の材料を含む構造材料からできている一連の周期構造であり、前記記録媒体が、コンピュータに、
各層が、一連の周期的な1次元交互構造材料および前記第2の材料を含むように、前記対象物のプロファイルを複数の層に数学的に分割させ、
前記構造材料および前記第2の材料の間の各境界面のところに境界条件を適用させ、
各層に対する前記ブロッホモードを決定させる
プログラムコードを記録している、請求項14に記載の検査装置。 - ブロッホモード展開が、前記対象物を照射するTEおよびTM偏光放射の両方に適用される、請求項14に記載の検査装置。
- リソグラフィ装置および基板の特性を測定するように構成されている検査装置を備えるリソグラフィセルであって、前記検査装置が、コンピュータに、
前記基板の対象物の形状を推定させ、
前記推定した形状からモデル回折パターンを入手させ、
前記対象物の前記モデル回折パターンと検出した回折パターンを比較させ、
前記モデル回折パターンと前記検出した回折パターンの違いから実際の対象物の形状を決定させる
プログラムコードを記録している記録媒体を含み、
前記モデル回折パターンがブロッホモード展開により決定される、リソグラフィセル。 - 前記推定した対象物の形状が、2次元周期格子構造である、請求項18に記載のリソグラフィセル。
- 前記推定した対象物の形状が、その間に第2の材料を含む構造材料からできている一連の周期構造であり、前記記録媒体が、コンピュータに、
各層が、一連の周期的な1次元交互構造材料および前記第2の材料を含むように、前記対象物のプロファイルを複数の層に数学的に分割させ、
前記構造材料および前記第2の材料の間の各境界面のところに境界条件を適用させ、
各層に対する前記ブロッホモードを決定させる
プログラムコードを記録している、請求項18に記載のリソグラフィセル。 - ブロッホモード展開が、前記対象物を照射するTEおよびTM偏光放射の両方に適用される、請求項18に記載のリソグラフィセル。
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