JP2008028130A - 貼替装置および貼替方法 - Google Patents
貼替装置および貼替方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008028130A JP2008028130A JP2006198623A JP2006198623A JP2008028130A JP 2008028130 A JP2008028130 A JP 2008028130A JP 2006198623 A JP2006198623 A JP 2006198623A JP 2006198623 A JP2006198623 A JP 2006198623A JP 2008028130 A JP2008028130 A JP 2008028130A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- wafer
- plate
- bonding
- pasting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】第1の支持体1に支持されチップ化されたウエハWをエキスパンド状態とした後、第2の支持体2に貼り替える場合、第2の支持体2をウエハWに貼り合わせるのと同時に、ウエハW周辺の第1の支持体1と第2の支持体2とを貼り合わせ、第1の支持体1をエキスパンド状態から開放した後、第1の支持体1をウエハWから剥離する。
【選択図】図1
Description
2 第2の支持体
4 エキスパンド手段
23A プレスローラ(貼合部材)
23B プレス装置
29 加熱手段
C チップ
M 貼替装置
M2 エキスパンド部(エキスパンド手段)
M3 第2の支持体供給部(供給手段)
M4 シート貼合部(貼合手段)
M5 シート剥離部(剥離手段)
W ウエハ(板状部材)
Claims (4)
- 第1の支持体に支持されチップ化された板状部材を第2の支持体に貼り替える貼替装置であって、
前記第1の支持体を引き伸ばしてエキスパンド状態とすることにより前記板状部材のチップ間隔を広げるエキスパンド手段と、
前記第2の支持体を供給する供給手段と、
前記板状部材のチップ間隔を広げた状態で前記第2の支持体を当該板状部材に貼り合わせる貼合手段と、
前記第1の支持体を剥離する剥離手段とを有し、
前記貼合手段は、前記板状部材周辺の第2の支持体と第1の支持体とを貼り合せる貼合部材を含み、当該貼合部材によって前記第1の支持体と第2の支持体との貼り合わせ後、前記第1の支持体がエキスパンド状態から開放され、前記第1の支持体が板状部材から剥離されること
を特徴とする貼替装置。 - 前記貼合部材はプレスローラからなることを特徴とする請求項1に記載の貼替装置。
- 前記貼替装置は、前記第1の支持体を加熱するための加熱手段を更に含み、
前記第1の支持体は、熱収縮可能な接着シートからなり、前記加熱手段の熱によって収縮を伴いながらエキスパンド状態から開放されること
を特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の貼替装置。 - 第1の支持体に支持されチップ化された板状部材を第2の支持体に貼り替える貼替方法であって、
前記第1の支持体を引き伸ばしてエキスパンド状態とすることにより前記板状部材のチップ間隔を広げ、この状態で前記第2の支持体を板状部材に貼り合わせるとともに、当該板状部材周辺の第1の支持体と第2の支持体とを貼り合わせた後、前記第1の支持体がエキスパンド状態から開放され、前記第1の支持体を板状部材から剥離すること
を特徴とする貼替方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006198623A JP4643514B2 (ja) | 2006-07-20 | 2006-07-20 | 貼替装置および貼替方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006198623A JP4643514B2 (ja) | 2006-07-20 | 2006-07-20 | 貼替装置および貼替方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008028130A true JP2008028130A (ja) | 2008-02-07 |
JP4643514B2 JP4643514B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=39118458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006198623A Active JP4643514B2 (ja) | 2006-07-20 | 2006-07-20 | 貼替装置および貼替方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4643514B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009147087A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着フィルムの貼付装置及び接着フィルムの貼付方法 |
JP2012244012A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Lintec Corp | 転写装置および転写方法 |
JP2012244013A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Lintec Corp | 貼付装置および貼付方法 |
JP2012240809A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Lintec Corp | 剥離装置および剥離方法 |
WO2014002535A1 (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-03 | シャープ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2014011445A (ja) * | 2012-07-03 | 2014-01-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
CN114121695A (zh) * | 2022-01-27 | 2022-03-01 | 宁波鑫芯微电子科技有限公司 | 一种芯片封装多层叠装结构及叠装方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1167697A (ja) * | 1997-08-19 | 1999-03-09 | Nec Corp | 半導体ウェハのダイシング方法 |
JPH11251407A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-17 | Citizen Watch Co Ltd | ペレットボンダのエキスパンド装置及びエキスパンド方法 |
JP2002334852A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の分割処理方法および分割処理方法に用いるチップ間隔拡張装置 |
JP2004221187A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造装置及びその製造方法 |
JP2004288690A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品供給方法および電子部品の保持治具 |
JP2005109043A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | エキスパンド方法 |
JP2005332931A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハマウンタ |
-
2006
- 2006-07-20 JP JP2006198623A patent/JP4643514B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1167697A (ja) * | 1997-08-19 | 1999-03-09 | Nec Corp | 半導体ウェハのダイシング方法 |
JPH11251407A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-17 | Citizen Watch Co Ltd | ペレットボンダのエキスパンド装置及びエキスパンド方法 |
JP2002334852A (ja) * | 2001-05-10 | 2002-11-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の分割処理方法および分割処理方法に用いるチップ間隔拡張装置 |
JP2004221187A (ja) * | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造装置及びその製造方法 |
JP2004288690A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品供給方法および電子部品の保持治具 |
JP2005109043A (ja) * | 2003-09-29 | 2005-04-21 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | エキスパンド方法 |
JP2005332931A (ja) * | 2004-05-19 | 2005-12-02 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | ウェーハマウンタ |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009147087A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着フィルムの貼付装置及び接着フィルムの貼付方法 |
JP2012244012A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Lintec Corp | 転写装置および転写方法 |
JP2012244013A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Lintec Corp | 貼付装置および貼付方法 |
JP2012240809A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Lintec Corp | 剥離装置および剥離方法 |
WO2014002535A1 (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-03 | シャープ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2014011445A (ja) * | 2012-07-03 | 2014-01-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工方法 |
CN114121695A (zh) * | 2022-01-27 | 2022-03-01 | 宁波鑫芯微电子科技有限公司 | 一种芯片封装多层叠装结构及叠装方法 |
CN114121695B (zh) * | 2022-01-27 | 2022-04-26 | 宁波鑫芯微电子科技有限公司 | 一种芯片封装多层叠装结构及叠装方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4643514B2 (ja) | 2011-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4643514B2 (ja) | 貼替装置および貼替方法 | |
JP4632313B2 (ja) | 貼替装置および貼替方法 | |
CN101770980B (zh) | 工件分割方法以及带扩张装置 | |
JP5261522B2 (ja) | 貼付装置及び貼付方法 | |
TWI445067B (zh) | The method of expansion of the workpiece | |
JP2006316078A (ja) | 接着テープの剥離方法及び剥離装置 | |
JP2007109869A (ja) | 転着装置及び転着方法 | |
TW200933720A (en) | Ultraviolet irradiation method and device using the same | |
JP4485248B2 (ja) | 剥離装置及び剥離方法 | |
JP2008028131A (ja) | シート剥離装置およびシート剥離方法 | |
TWI750381B (zh) | 薄片貼附裝置及貼附方法 | |
JP7461175B2 (ja) | 巻取装置および巻取方法 | |
JP4886971B2 (ja) | 貼付装置 | |
JP2006319233A (ja) | 脆質部材の処理装置 | |
TWI818084B (zh) | 片貼附方法 | |
JP3210743U (ja) | シート貼付装置 | |
JP3222036U (ja) | 紫外線照射装置 | |
JP2005297458A (ja) | 貼付装置 | |
JP2005317882A (ja) | 貼付テーブル | |
JP5784298B2 (ja) | 加工方法及び加工装置 | |
JP2007088038A (ja) | 貼替装置及び貼替方法 | |
JP3235024U (ja) | 支持装置 | |
TWI846433B (zh) | 擴展裝置、半導體晶片之製造方法及半導體晶片 | |
JP2005317883A (ja) | ウエハ処理装置 | |
JP7149065B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090313 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101129 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101202 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4643514 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |