JP2012240809A - 剥離装置および剥離方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
剥離装置1は、第1面W1が第1接着シートS1の一方の面に貼付されてフレーム部材としての第1リングフレームRL1に支持されるとともに、第2面W2が第2接着シートS2の一方の面に貼付された板状部材としてのウェハWから第1接着シートS1を剥離するものであり、第2接着シートS2の他方の面側に接する支持面21で第2接着シートS2を支持する第2シート支持手段2と、第2シート支持手段2をウェハWの第1面W1と平行な方向に移動可能な移動手段3と、第1接着シートS1にウェハWから離間する方向に剥離力を付与可能な剥離力付与手段5と、第1接着シートS1が剥離されたウェハWを回収する回収手段6と、を備えている。
【選択図】図1
Description
特許文献1に記載の装置では、第1UVテープを介して第1フレームと一体化されたウェハをダイシングしてチップを製造した後、これらチップを第2フレームが貼り付けられた第2UVテープに貼り付け、第1UVテープの一端側を当該第1UVテープの面方向に引っ張ることで、チップから剥離する。
さらに、本発明の剥離装置では、前記剥離力付与手段は、前記第2接着シートを前記板状部材の移動方向と同じ方向に搬送する第2搬送手段を有している、ことが好ましい。
さらに、剥離力付与手段が、第2搬送手段を有していれば、第2接着シートが板状部材の移動方向と同じ方向に移動する状態を維持できるので、第2接着シートに貼付された板状部材が第1接着シートの剥離力の付与方向に変位してしまうことがない。したがって、フレーム部材の離間を確実に行うことができ、第1接着シートの剥離を確実に行うことができる。
また、本実施形態では、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」といった方位を示す用語は、図1を基準として用いる。
図1において、剥離装置1は、第1面W1が第1接着シートS1の一方の面(上面)に貼付されてフレーム部材としての第1リングフレームRL1に支持されるとともに、第2面W2が第2接着シートS2の一方の面(下面)に貼付された板状部材としてのウェハWから第1接着シートS1を剥離するものであり、第2接着シートS2の他方の面(上面)側に接する支持面21で第2接着シートS2を支持する第2シート支持手段2と、第2シート支持手段2をウェハWの第1面W1と平行な方向に移動可能な移動手段3と、第1接着シートS1にウェハWから離間する方向に剥離力を付与可能な剥離力付与手段5と、第1接着シートS1が剥離されたウェハWを回収する回収手段6と、を備えている。
剥離力付与手段5は、図1において、第2接着シートS2の移動方向に向かって(右から左に向かって)厚みが増すくさび型のくさび部51と、くさび部51の左側に一体的に設けられ、右から左に向かって厚さが変わらない平板部52とを備えている。
そして、剥離力付与手段5は、移動手段3により移動中の第2リングフレームRL2と第1リングフレームRL1との間に入り込み、くさび部51の傾斜面512で第1リングフレームRL1を第2リングフレームRL2から離間する方向に案内することにより、第1接着シートS1にウェハWからの剥離力を付与する。
そして、第2シート支持手段2の移動方向の先端がくさび部51を通過して、図1中2Cで示したように平板部52に到達すると、図3(C)に示すように、ウェハWからの第1接着シートS1の剥離が完了し、第1リングフレームRL1と第1接着シートS1が図示しない回収手段で回収される。なお、図3(A),(B),(C)は剥離装置1を第2シート支持手段2の移動方向上流側から下流側に向かって見た図である。
そして、剥離力付与手段5Aは、くさび部51により第2リングフレームRL2から第1リングフレームRL1を離間させた後、図4中二点鎖線で示すように、直動モータ531Aにより変位部材533Aを下方に移動し、第1リングフレームRL1を強制的に下方に変位させて、第2リングフレームRL2から第1リングフレームRL1をさらに大きく離間させる。
一方、第1搬送手段54Bは、くさび部51Bにより第2リングフレームRL2から第1リングフレームRL1を離間させた後、図7(B)に示すように、第1搬送手段55Aの無端ベルト543Bにより傾斜面545Bに沿って第1リングフレームRL1をウェハWから徐々に離れる方向に搬送する。そして、図7(C)に示すように、第1リングフレームRL1をプーリ542Bの下方まで搬送すると、ウェハWからの第1接着シートS1の剥離が完了するとともに、第1リングフレームRL1の搬送を終了する。このとき、変位部材56Bは、リニアモータ562Bを駆動してプーリ542Bを下方に押し出すように変位させることができ、第1リングフレームRL1が第2リングフレームRL2からさらに大きく離間されるので、ウェハWからの第1接着シートS1の剥離が確実に行えるようになる。
さらに、第2シート支持手段2を停止させておき、剥離力付与手段5,5A,5Bを移動させたり、第2シート支持手段2と剥離力付与手段5,5A,5Bとの両方を移動させたりすることで、ウェハWからの第1接着シートS1の剥離を行うようにしてもよい。
また、板状部材はダイシングされていないウェハWであってもよい。
2…第2シート支持手段
3…移動手段
5,5A,5B…剥離力付与手段
53A…変位手段
54B…第1搬送手段
55B…第2搬送手段
RL1…第1リングフレーム(フレーム部材)
RL2…第2リングフレーム
S1…第1接着シート
S2…第2接着シート
W…ウェハ(板状部材)
W1…第1面
W2…第2面
Claims (5)
- 第1面が第1接着シートの一方の面に貼付されてフレーム部材に支持されるとともに、第2面が第2接着シートの一方の面に貼付された板状部材から、前記第1接着シートを剥離する剥離装置であって、
前記第2接着シートの他方の面側に接する支持面で前記第2接着シートを支持する第2シート支持手段と、
前記第2シート支持手段を前記板状部材の第1面と平行な方向に移動可能な移動手段と、
前記第1接着シートに前記板状部材から離間する方向に剥離力を付与可能な剥離力付与手段と、を備え、
前記剥離力付与手段は、前記移動手段により移動中の前記第2シート支持手段に支持された前記第2接着シートと前記フレーム部材との間に入り込み、前記フレーム部材を前記第2接着シートから離間させることにより前記第1接着シートに剥離力を付与可能に設けられていることを特徴とする剥離装置。 - 前記剥離力付与手段は、前記フレーム部材を前記板状部材から離間する方向に変位させる変位手段を有していることを特徴とする請求項1に記載の剥離装置。
- 前記剥離力付与手段は、前記フレーム部材を前記板状部材から徐々に離れる方向に搬送する第1搬送手段を有していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の剥離装置。
- 前記剥離力付与手段は、前記第2接着シートを前記板状部材の移動方向と同じ方向に搬送する第2搬送手段を有していることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の剥離装置。
- 第1面が第1接着シートの一方の面に貼付されるとともに、第2面が第2接着シートの一方の面に貼付された板状部材から、前記第1接着シートを剥離する剥離方法であって、
前記板状部材は、前記第1接着シートを介してフレーム部材に支持され、
前記第2接着シートの他方の面側から前記第2接着シートを支持する工程と、
前記第2接着シートを前記板状部材の第1面と平行な方向に移動する工程と、
前記移動中の第2接着シートと前記フレーム部材との間に剥離力付与手段を入り込ませることにより、前記第1接着シートに前記板状部材から離間する方向に剥離力を付与する工程と、を備えることを特徴とする剥離方法。
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