JP2008028008A - 基板処理装置、基板処理システムおよび基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スピンチャック2に基板Wを略水平姿勢で保持した状態で基板表面WfにDIWを供給して基板表面Wfに液膜を形成する。続いて、基板裏面Wbに液体冷媒を供給しながら基板Wを回転させる。これにより、基板Wに接液する液体冷媒に作用する遠心力によって、基板Wの裏面全体に液体冷媒が均一に行き渡る。その結果、基板Wが裏面Wbに接液する液体冷媒によって直接的に冷却され、液膜が比較的短時間で凍結する。また、基板表面Wfに形成された液膜に液体冷媒が接触することがないため、基板表面Wfを汚染させることなく液膜を凍結させることができる。
【選択図】図2
Description
本願発明者は、パーティクル除去効率を向上させる観点から、一連の洗浄処理(液膜形成+液膜凍結+膜除去)のうち、液膜の凍結処理に着目して種々の実験、検討を行った。具体的には、基板表面に形成された液膜を凍結させる際の冷却温度とパーティクル除去率との関係について評価を行った。
図2は、この発明にかかる基板処理装置の一実施形態を示す図である。また、図3は図2の基板処理装置の制御構成を示すブロック図である。この基板処理装置は半導体ウエハ等の基板Wの表面Wfに付着しているパーティクル等の汚染物質を除去するための洗浄処理に用いられる枚葉式の基板処理装置である。より具体的には、微細パターンが形成された基板表面Wfに液膜を形成した後、該液膜を凍結させてから凍結後の液膜を基板表面Wfから除去することにより、基板Wに対して一連の洗浄処理(液膜形成+液膜凍結+膜除去)を施す装置である。
上記実施形態では、本発明にかかる基板表面に形成された液膜を凍結させる基板処理装置および方法を基板表面に付着するパーティクル等の汚染物質を除去する洗浄処理に適用した場合について説明したが、本発明の適用はこれに限定されない。例えば、本発明にかかる基板処理装置および方法を用いて凍結させた液膜(凍結膜)を基板表面を保護するための保護膜として利用してもよい。以下、凍結膜を保護膜として利用した基板処理システムについて、図6および図7を参照しつつ説明する。
2…スピンチャック(基板保持手段)
3…洗浄ノズル(膜除去手段、液膜形成手段)
5…二流体ノズル(膜除去手段)
10…凍結ユニット
20…洗浄ユニット(膜除去ユニット)
22…チャック回転機構(回転手段)
28…冷媒ノズル(液膜凍結手段)
30…基板搬送機構(搬送ユニット)
97…ノズル(膜除去手段、液膜形成手段)
W…基板
Wf…基板表面
Wb…基板裏面
Claims (13)
- 基板表面に形成された液膜を凍結させる基板処理装置において、
液膜が形成された基板表面を上方に向けた状態で前記基板を略水平姿勢で保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持された前記基板の裏面に前記液膜を構成する液体の凝固点より低い温度を有する液体冷媒を供給して前記液膜を凍結させる液膜凍結手段と
を備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記基板保持手段に保持された前記基板を回転させる回転手段をさらに備え、
前記液膜凍結手段は、前記回転手段により回転される前記基板の裏面に前記液体冷媒を供給する請求項1記載の基板処理装置。 - 前記基板保持手段に保持された前記基板の表面から凍結後の液膜を除去する膜除去手段をさらに備える請求項1または2記載の基板処理装置。
- 前記膜除去手段は、前記基板表面に対して物理的な洗浄作用を有する物理洗浄、化学的な洗浄作用を有する化学洗浄または前記物理洗浄と前記化学洗浄とを組合わせた洗浄を前記基板表面に施して該基板表面から凍結後の液膜を除去する請求項3記載の基板処理装置。
- 前記液膜凍結手段と前記膜除去手段とは同一の処理チャンバー内に収容される請求項3または4記載の基板処理装置。
- 前記基板保持手段に保持された前記基板表面に前記液体を供給して前記基板表面に前記液膜を形成する液膜形成手段をさらに備え、
前記液膜形成手段、前記液膜凍結手段および前記膜除去手段は同一の処理チャンバー内に収容される請求項5記載の基板処理装置。 - 請求項1または2記載の基板処理装置と同一構成を有する凍結ユニットと、
前記凍結ユニットから分離して設けられるとともに、前記液膜が凍結された凍結膜を前記基板表面から除去する膜除去ユニットと、
前記凍結ユニットから前記膜除去ユニットに前記基板を搬送する搬送ユニットと
を備えたことを特徴とする基板処理システム。 - 前記膜除去ユニットは、前記基板表面に対して物理的な洗浄作用を有する物理洗浄、化学的な洗浄作用を有する化学洗浄または前記物理洗浄と前記化学洗浄とを組合わせた洗浄を前記基板表面に施して該基板表面から前記凍結膜を除去する請求項7記載の基板処理システム。
- 基板表面に形成された液膜を凍結させる基板処理方法において、
基板表面に液膜を形成する液膜形成工程と、
前記液膜が形成された前記基板表面を上方に向けた状態で前記基板を略水平姿勢で保持しながら前記基板の裏面に前記液膜を構成する液体の凝固点より低い温度を有する液体冷媒を供給して前記液膜を凍結させる液膜凍結工程と
を備えたことを特徴とする基板処理方法。 - 前記液膜凍結工程では、前記基板を回転させながら前記基板の裏面に前記液体冷媒を供給する請求項9記載の基板処理方法。
- 前記液膜凍結工程後に前記基板表面から凍結後の液膜を除去する膜除去工程をさらに備える請求項9または10記載の基板処理方法。
- 前記液膜形成工程、前記液膜凍結工程および前記膜除去工程を同一の処理チャンバー内で連続的に行う請求項11記載の基板処理方法。
- 前記液体冷媒は、エチレングリコール水溶液またはアルコール類である請求項9ないし12のいずれかに記載の基板処理方法。
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