JP2007525622A - 流れ制御デバイスのためのダイヤフラムモニタリング - Google Patents
流れ制御デバイスのためのダイヤフラムモニタリング Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007525622A JP2007525622A JP2006534213A JP2006534213A JP2007525622A JP 2007525622 A JP2007525622 A JP 2007525622A JP 2006534213 A JP2006534213 A JP 2006534213A JP 2006534213 A JP2006534213 A JP 2006534213A JP 2007525622 A JP2007525622 A JP 2007525622A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- sensor
- flow control
- valve
- control device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
- F16K31/1226—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston the fluid circulating through the piston
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/12—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid
- F16K31/122—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston
- F16K31/1221—Actuating devices; Operating means; Releasing devices actuated by fluid the fluid acting on a piston one side of the piston being spring-loaded
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
- F16K37/0025—Electrical or magnetic means
- F16K37/0041—Electrical or magnetic means for measuring valve parameters
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
- F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
- F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
- F16K7/17—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being actuated by fluid pressure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Abstract
ダイヤフラムバルブのためのダイヤフラムの位置検知および運動検知が、1つ以上のセンサー(50)を用いて実現される。このセンサー(50)は、ダイヤフラム(20)上に直接配置されるか、または他の関連部分よりはむしろダイヤフラムそれ自体を直接検出する。本発明は、多くの異なるタイプのセンサーを企図し、そして温度補償をも企図する。本発明は、実に様々な産業における用途を見出し、そして高温(例えば、200℃)、高サイクルおよび高偏向ダイヤフラムバルブ用途に適している。
Description
(関連出願)
本願は、以下の係属中の、DIAPHRAGM VALVE MONITORINGについての2004年3月1日出願の米国仮特許出願第60/549,005号、およびDIAPHRAGM VALVE MONITORINGについての2003年10月3日出願の同60/481,463号の利益を主張し、これらの開示の全体が本明細書中に参考として援用される。
本願は、以下の係属中の、DIAPHRAGM VALVE MONITORINGについての2004年3月1日出願の米国仮特許出願第60/549,005号、およびDIAPHRAGM VALVE MONITORINGについての2003年10月3日出願の同60/481,463号の利益を主張し、これらの開示の全体が本明細書中に参考として援用される。
(技術分野)
本発明は、ダイヤフラムを使用し、そしてこのようなシステムにおいて使用される流体取扱いシステムおよびダイヤフラムを使用し、そしてこのようなシステムにおいて使用される流れ制御デバイスに関する。本発明は、特に、そのダイヤフラムの状態の正確なフィードバックが望ましい任意の用途において、半導体加工、分析機器、生物学的製剤などにおいて使用されるバルブおよび調節器に適用可能である。
本発明は、ダイヤフラムを使用し、そしてこのようなシステムにおいて使用される流体取扱いシステムおよびダイヤフラムを使用し、そしてこのようなシステムにおいて使用される流れ制御デバイスに関する。本発明は、特に、そのダイヤフラムの状態の正確なフィードバックが望ましい任意の用途において、半導体加工、分析機器、生物学的製剤などにおいて使用されるバルブおよび調節器に適用可能である。
(発明の背景)
流体取扱いシステムは、多くの場合、システム内の流体流れを調節し、そして制御するためのダイヤフラムを含む。本発明の教示から恩恵を受け得るシステムのタイプのいくつかの例を挙げれば、いくつかの流体取扱いシステムは、高純度の物質または毒性物質または非常に高価な生物学的製剤製品の流れを制御する。例えば、半導体加工、分析機器、生物学的製剤などにおいては、そのバルブの状態の正確なフィードバックが望ましい。
流体取扱いシステムは、多くの場合、システム内の流体流れを調節し、そして制御するためのダイヤフラムを含む。本発明の教示から恩恵を受け得るシステムのタイプのいくつかの例を挙げれば、いくつかの流体取扱いシステムは、高純度の物質または毒性物質または非常に高価な生物学的製剤製品の流れを制御する。例えば、半導体加工、分析機器、生物学的製剤などにおいては、そのバルブの状態の正確なフィードバックが望ましい。
ダイヤフラムバルブの状態についての適切なフィードバックは、正確な流れ制御およびプロセス制御のために重要である。バルブ状態としては、ダイヤフラムが使用されて開閉するオリフィスに対するダイヤフラムの位置に言及する場合、開、閉または中間(遷移または別様)が挙げられ得る。ダイヤフラム位置は、アクチュエーターにより制御される。公知のアクチュエーターは、手動で、または空気式デバイス、油圧式デバイスもしくは電動式デバイスにより作動され得る。代表的には、アクチュエーターは、そのダイヤフラムの非湿潤表面に接触する心棒またはプランジャーを含み、その結果、その心棒の運動が、バルブを開閉するためのダイヤフラムの所望の偏向または運動を引き起こす。この心棒は、そのダイヤフラムに「接合され得る」かもしくは機械的に結合され得るか、または単純にそのダイヤフラムの一方の側面に接触され得る。空気式ピストンまたは油圧式ピストンまたは電気機械的プランジャーは、代表的には、上記心棒の運動を引き起こすために使用される。手動バルブに対しては、ハンドルの回転が、アクチュエーター心棒の運動を引き起こす。回転式のアクチュエーターはまた、空気式動力、油圧式動力または電気的動力を用いて作動され得る。
公知のダイヤフラムバルブにおいて、このダイヤフラムの一方の側は、そのアクチュエーター機構に面し、そしてプロセス流体には曝露されていない。ダイヤフラムのこの側は、一般に「非湿潤(non−wetted)」側または「非プロセス」側として公知である。そのダイヤフラムの反対側は、流れオリフィスのまわりの弁座に物理的に接触し、っ従って一般に「湿潤(wetted)」側または「プロセス」側と称される。接合ダイヤフラム設計において、ダイヤフラムの湿潤側のバルブ空洞中に延びる心棒は、代表的には、その弁座に接触しそれをシールする。
このプロセス流体を損ねるという危険を最小にするために、公知のダイヤフラムバルブ状態の表示器は、上記アクチュエーターの1つ以上の構成要素の位置または位置変化を検出することに基づいている。しかし、ダイヤフラムの屈曲および運動ならびに垂直公差スタックアップに起因して、そのアクチュエーター位置は、必ずしも、ダイヤフラム位置の正確な指標ではない。特に、接合ダイヤフラムを使用しないダイヤフラムバルブにおいては、アクチュエーター心棒は、ダイヤフラムが閉位置に重ねられ得るとしても、運動し得、そして垂直に働いているように見え得る。このような異常は、製品の遺失をもたらし得る。
圧力トランスデューサーはまた、上記の産業において一般に使用される。公知の圧力トランスデューサーは、プロセス流体バリア(いくつかの設計においては、ダイヤフラムを含む)に取り付けられたひずみ計を使用し得る。代表的には、このひずみ計は、接着剤結合のような適切な技術により取付けられる。圧力トランスデューサーダイヤフラムは、代表的には、ダイヤフラムの上下での圧力差に応答して、1インチの千分の2、3以下を偏向することを必要とするだけである。
(発明の要旨)
本発明は、ダイヤフラムバルブにおけるダイヤフラムの位置および/または運動を検出するための方法および装置に関する。本発明は、実に様々な産業における用途を見出し、そして高温(例えば、200℃)、高サイクルおよび高偏向ダイヤフラムバルブ用途に適している。しかし、本発明は、このような性能範囲に限定されず、そしてより低温またはより高温、より低サイクルまたはより高サイクルおよびより低偏向またはより高偏向の範囲の用途を見出し得る。本発明の1つの局面によれば、バルブ内のアクチュエーターまたは他の構造体を介して間接的にダイヤフラムの位置または運動を検出することとは明確に対照的に、ダイヤフラムそれ自体を直接検出することにより、ダイヤフラムの位置または運動を測定または検出するための装置および方法が提供される。このダイヤフラムは、単層または多層であり得る。1つの実施形態において、ひずみ計センサーが、そのダイヤフラムの表面上に、直接堆積されるか、または別な様に付与されるかもしくは配置される。好ましくは、必ずというわけではないが、上記センサーは、上記ダイヤフラムの非湿潤側に配置される。このセンサーはまた、多層ダイヤフラムの層間に配置され得る。
本発明は、ダイヤフラムバルブにおけるダイヤフラムの位置および/または運動を検出するための方法および装置に関する。本発明は、実に様々な産業における用途を見出し、そして高温(例えば、200℃)、高サイクルおよび高偏向ダイヤフラムバルブ用途に適している。しかし、本発明は、このような性能範囲に限定されず、そしてより低温またはより高温、より低サイクルまたはより高サイクルおよびより低偏向またはより高偏向の範囲の用途を見出し得る。本発明の1つの局面によれば、バルブ内のアクチュエーターまたは他の構造体を介して間接的にダイヤフラムの位置または運動を検出することとは明確に対照的に、ダイヤフラムそれ自体を直接検出することにより、ダイヤフラムの位置または運動を測定または検出するための装置および方法が提供される。このダイヤフラムは、単層または多層であり得る。1つの実施形態において、ひずみ計センサーが、そのダイヤフラムの表面上に、直接堆積されるか、または別な様に付与されるかもしくは配置される。好ましくは、必ずというわけではないが、上記センサーは、上記ダイヤフラムの非湿潤側に配置される。このセンサーはまた、多層ダイヤフラムの層間に配置され得る。
ひずみ計は、ダイヤフラムの位置および/または運動を直接かつ正確に検出するように、ダイヤフラム表面上に、密接に堆積されるかまたは配置される。このダイヤフラムバルブは、開位置および閉位置で使用され得るか、あるいは開位置と閉位置との間の中間位置でダイヤフラムを用いて計量機能を提供するために使用され得る。
本発明の別の局面によれば、例えば抵抗ひずみ計のようなひずみ計が、任意の適切な技術により、ダイヤフラムの表面上に堆積または配置される。本発明の1つの実施形態において、抵抗ひずみ計は、気相成長により上記ダイヤフラムの表面に付与される。商業的に利用可能でかつ本発明に適している気相成長の例としては、物理的気相成長(PVDまたはスパッタリング)および化学的気相成長(CVD)が挙げられるが、これらに限定されない。ひずみ計または他のセンサーが、代替的に、ダイヤフラムに隣接して結合され得るかまたは別な様式で取付けられ得るか、あるいは保持され得る。
本発明の別の実施形態において、複数のひずみ計が使用される。これらのひずみ計は、ダイヤフラムの中心軸に対して異なる配向で上記ダイヤフラムの表面上に配置される。結果として、このダイヤフラムが閉位置に向かって偏向される場合、上記センサーは、圧縮かつ緊張状態に置かれ、そして従って異なる符号の出力信号を提供する。このことは、上記システムの感度を上昇させるのに役立つ。
静電容量型センサーおよび誘導型センサーがまた、位置感知および圧力感知のために適切として開示される。
本発明のさらなる実施形態によれば、温度センサーが、任意の適切な技術で上記ダイヤフラムの表面上に堆積または配置される。その温度感知機能は、ひずみ計により提供される機能と補完的であり得るか、またはそれとは独立であり得る。具体的には、感知された温度は、このひずみ計センサーにより提供される圧力信号または位置信号の電子的補償を提供するために使用され得、ダイヤフラムの位置または運動のより正確な表示を提供する。あるいは、このひずみ計センサーの出力とは独立の温度読み取りを提供するために使用され得、プロセス温度のみを測定する。温度センサーは、バルブに対する加熱機構または冷却機構にフィードバックを提供するために使用され得る。
本発明のセンサーは、ダイヤフラムの位置以外の因子をモニタリングするために使用され得る。例えば、これらのセンサーは、圧力を検出するためおよび/または状況が問題になる前の、差し迫ったかもしくは初期のダイヤフラムの破壊(ひび割れ)の検出を可能にするために使用され得る。
本発明のこれらの局面および利点ならびに他の局面および利点は、添付の図面を参酌して、以下の好ましい実施形態の記載から当業者に明らかである。
(例示的な実施形態および最良の様式の説明)
図1を参照して、本発明の1つの実施形態を組込む例示的なダイヤフラムバルブが、縦断面図で図示される。本発明を取り入れるための改変を除き、このバルブは、Swagelok Company,Solon,Ohioから市販されているDP Seriesダイヤフラムバルブのような市販の設計である。適切なダイヤフラムバルブの設計はまた、以下の米国特許第6,394,417号;同6,189,861号;同6,123,320号;および同4,671,490号に教示され、これらの開示の全体が、完全に本明細書中に参考として援用される。しかし、本発明は、センサーがダイヤフラムの表面または他の部分に付与され得るかまたはそれらと作動可能に結合され得る任意のダイヤフラムバルブ設計における用途を見出す。本発明は、接合ダイヤフラムバルブ設計および非接合ダイヤフラムバルブ設計とともに使用され得る。
図1を参照して、本発明の1つの実施形態を組込む例示的なダイヤフラムバルブが、縦断面図で図示される。本発明を取り入れるための改変を除き、このバルブは、Swagelok Company,Solon,Ohioから市販されているDP Seriesダイヤフラムバルブのような市販の設計である。適切なダイヤフラムバルブの設計はまた、以下の米国特許第6,394,417号;同6,189,861号;同6,123,320号;および同4,671,490号に教示され、これらの開示の全体が、完全に本明細書中に参考として援用される。しかし、本発明は、センサーがダイヤフラムの表面または他の部分に付与され得るかまたはそれらと作動可能に結合され得る任意のダイヤフラムバルブ設計における用途を見出す。本発明は、接合ダイヤフラムバルブ設計および非接合ダイヤフラムバルブ設計とともに使用され得る。
本発明の種々の局面が、例示的な実施形態において組合せて具現化されるように、本明細書中に記載され図示されるが、これらの種々の局面は、多くの代替の実施形態において、個々にかまたはその種々の組合せおよび部分組合せかのいずれかにおいて、実現され得る。明示的に本明細書中で排除されない限り、すべてのこのような組合せおよび部分組合せは、本発明の範囲内であると意図される。なおさらに、本発明の種々の局面および特徴(例えば、代替の材料、構造、配置、方法、デバイス、ソフトウェア、ハードウェア、制御論理など)に関する種々の代替の実施形態が本明細書中に記載され得るが、このような記載は、現在公知であるか後に開発されるかにかかわらず、利用可能な代替の実施形態の完全かつ網羅的な一覧表であることを意図していない。当業者は、本発明の局面、思想、または特徴の1つ以上を、たとえそのような実施形態が本明細書中に明示的に記載されていなくとも、本発明の範囲内のさらなる実施形態に採用し得る。さらに、本発明のいくつかの特徴、思想または局面が、本明細書中に好ましい構造または方法であるとして記載され得るとしても、このような記載は、このような特徴が必要とされるかまたは必要であると明示的に述べられていない限り、そのようなことを示唆することを意図されていない。なおさらに、例示的または代表的な値および範囲が、本発明を理解する際の補助とするために含まれ得るが、このような値および範囲は、限定的な意味で解釈されるべきではなく、臨界値または臨界範囲であると明示的に記される場合にのみ、そのように意図される。
次いで図1の例示的なバルブにおいて、バルブアセンブリAは、入口または第1の流路12および出口または第2の流路14を有するバルブ本体10を含む。流路12、14は、バルブアセンブリAをプロセスフロー中に設置するための適切な継手または他の構造物(示さず)を含む。このバルブ本体10において、第1のオリフィス16は、バルブ本体10のバルブ空洞表面18中に機械加工される。第1のオリフィス16は、ダイヤフラム20の作動により流体流れへ開けられるかまたは閉じられる。図1において、バルブAは、開位置にある。開いている場合、第1のオリフィス16は、第2のオリフィス22と流体連通している。いずれかのオリフィス16、22および連結している流路12、14は、バルブアセンブリAについての入口流れ通路または出口流れ通路として機能する。
バルブアセンブリAは、ダイヤフラム20の運動および位置を制御してこのバルブを開閉し、そして/またはそれを通る流れを調節するためのアクチュエーターアセンブリ30を含む。この例において、アクチュエーター30は、空気式であり、アクチュエーターピストン34を滑動可能に保持するアクチュエーターハウジング32を含む。ピストン34は、必要な場合には、適切なシール34aを含み得る。供給源36からの空気圧が、適切な継手(示さず)を使用して、キャップ33を通して、ピストン34の一方の側の環状ピストンチャンバ35に提供される。代表的には、ばねのような付勢デバイス38が、上記バルブアクチュエーターを第1の位置に付勢するために使用される。上記空気圧は、アクチュエーターピストン34を、付勢力に対して第2の位置(示さず)に運動させるために使用される。図1のバルブは、通常は開いたバルブとして示されているが、しかし通常は閉じたバルブは、当該分野で周知のように、使用され得る。図2は、通常は閉じたバルブ配置を図示するが、本発明のすべての他の局面は、図2の実施形態に適用可能である。さらに、アクチュエーター30は、必要な場合は、空気式、油圧式、電気式などであり得、そして当該分野で周知である。本発明はまた、手動で作動するバルブとともに使用され得る。
バルブボンネット40は、バルブ本体に対して、ダイヤフラム20の周辺部をシールするようにクランプ止めするために使用される。ボンネット40は、ボンネットナット42により上記バルブ本体10に固定される。ボンネットナット42は、バルブ本体10とねじにより組み合わされる。アクチュエーターハウジング32はまた、ボンネットナット42にねじにより結合され得る。ボルトまたは溶接のような他の機構が、当該分野で周知のように、バルブアセンブリAを一緒に固定するために使用され得る。
バルブピストン34は、アクチューエーター心棒またはプランジャー44を含むか、またはそれと作動可能に結合される。心棒44が、ダイヤフラムの非湿潤側20a(湿潤側20bの反対側である)に接触するか、または多くの場合ボタン46が使用され得るかのいずれかである。あるいは、アクチュエーター心棒44は、公知のように、ダイヤフラム20に接合され得る。
これまで記載されるようなバルブアセンブリAは、古くからあり、そしてそれがどのように機能するかについて、当業者に周知である。そのバルブを閉じるために、付勢38に打ち勝つに十分な量の空気圧が、アクチュエーターハウジング32に導入される。これは、ピストン34、そして従って心棒44およびボタン46の直線的な運動または並進を引き起こす。心棒44のこのような並進(図1の視野では下向き)は、ダイヤフラム20がオリフィス16の周りで空洞表面18に載る場合は、バルブを閉じる。あるいは、上記ダイヤフラムは、バルブ本体に設置される弁座の一部である表面をシールし得る。空気圧が解放されて付勢部材38の付勢力未満になった場合、そのバルブは開く。中間バルブへの空気圧を制御することにより、バルブはまた流れ調整器として使用され得る。
種々のバルブ構成要素は、例えば、金属(ステンレス鋼が挙げられるがこれに限定されない)および非金属(例えば、プラスチック)のような、用途に適しかつプロセス流体と適合性の材料から作製され得る。
本発明の1つの局面によれば、センサー50は、ダイヤフラム20の表面上に配置される。例示的な実施形態では、センサー50は、非湿潤側20a上に配置されているが、あるいは湿潤側20b上または多層ダイヤフラム(示さず)の層の間、あるいは多層構造(示さず)の任意のダイヤフラム表面にあり得る。
そのセンサーは、好ましくは、抵抗ひずみ計であるが、そうである必要はない。あるいは、センサー50は、特定の用途に依存して、ピエゾ抵抗性、圧電性、光学的などであり得る。センサー50をダイヤフラム上に配置することによって、センサー50は、例えば信号のような出力を生成するか、または上記ダイヤフラムの屈曲または変位に起因するダイヤフラム20の運動および/または位置に関して変化する(この場合は抵抗率のような)特徴を示す。ワイヤ52は、外部からセンサー50の出力にアクセスするか、または上記特徴を検出するために使用され得る。センサーの電子回路54は、センサー出力を受け取るかまたはダイヤフラムの運動とともに変化するセンサー特徴を検出するように、信号ワイヤ52に接続される。抵抗ひずみ計タイプセンサー、ホイートストンブリッジ回路が、センサー出力を検出するために、従来の様式で使用され得る。あるいは、無線または光学的接続が、使用され得る。あるいは、回路54は、バルブA内に組込まれ得る。回路54は、任意の適切な形態の出力(視覚的読みとりおよび/または無線出力信号を含むがこれらに限定されない)を提供し得る。
図1に図示されるように、センサー50は、任意の適切な技術(ワイヤ52のようなハードワイヤの接続、光学的接続または無線接続を含むがこれらに限定されない)により、センサー回路54に結合される。図示される実施形態において、ワイヤ52は、バルブA構造体を通る適切な通路を経由して、(回路54が、バルブの外部にある用途に対して)センサー50から出て回路54へ経路決定される。例えば、ワイヤ52は、ボンネット40中の穴60を通り、ボンネットナット42ねじを貫通するスロット64を通り(またはあるいはボンネットナット42中の穴を通って)、ボンネットナット42またはアクチュエーターハウジング32中に形成されるスロットまたは穴66の外へ延び得る。センサー50へリンクするために回路54を経路決定するための他の代替的な技術が、特定のバルブ構造に依存して、利用可能である。
図2は、本発明とともに使用される、通常は閉じたバルブ構造を図示する。この場合、キャップ33は、ばね38をピストン34の上側に保持し、従ってピストン34を付勢し、従ってダイヤフラム40を、ばね付勢に打ち勝つに十分な空気圧の不存在下でバルブを閉じるような位置へ付勢するように改変されている。ピストンの加圧側の環状ピストンチャンバ35に空気を導入するために、通路68がピストン34を通って形成される。適切なシール70、72および34aがピストン34の流体密な作動を維持するために使用される。
従って、センサー50は、ひずみとともに変化する特徴(この場合は、抵抗率)を示す。開位置と閉位置との間のような、ダイヤフラムの運動は、センサーを横切るひずみを変化させ、従ってそのセンサーの測定可能な抵抗率の対応する変化を生成する。この抵抗率は、ダイヤフラムの運動および/または位置を確認するための公知の様式で検出され得る。本明細書中上記に記されたように、他のセンサーがまた使用され得、そのようなセンサーとしては、そのように必要とされる場合には、静電ひずみ計または光学的ひずみ計が挙げられるが、これらに限定されない。それゆえに、センサーが直接にダイヤフラム20の表面または他の部分上に配置され得るか、それらに別な様式で取付けられ得るか、あるいは結合され得る限り、本発明は、任意の特定のタイプのセンサーに限定されない。
ダイヤフラムの位置および/または運動を感知することに加えて、センサー50は、例えば、ダイヤフラム作動の数を数えるためおよびセンサー50からの信号を遮断する全体のダイヤフラムの異常を検出するために使用され得る。このセンサーはまた、圧力を感知するために使用され得る。なぜなら、センサー50の出力は、圧力信号が信号を基礎として/の基礎の上に重ね合わされるからである。圧力変動に起因するセンサー50の出力におけるより小さい変動は、従って、電子的に抽出され、流体の圧力が定量され得る。なおさらに、ダイヤフラムの作動の間のセンサー50の出力におけるこれらの変動は、メモリ中に保存されるかまたは別な様式で保存され得る初期ひずみプロフィールを確立するために使用され得る。ダイヤフラムの引き続く作動の間、現在のひずみプロフィールがこの初期ひずみプロフィールと比較され得、ダイヤフラムの摩滅または劣化を示す変化を検出する。従って、このひずみプロフィールは、寿命予測器の端末として使用され得る。
適切なセンサーとしては、スパッタリングによるようにステンレス鋼ダイヤフラム上に堆積される、封入されたコンスタンタンホイル計のような薄膜ひずみ計が挙げられるが、これらに限定されない。このようなセンサーをダイヤフラムの表面上に取付けるためのこのような技術は、Advanced Custom Sensors,Inc.,Irvine,CAから商業的に利用可能である。商業的に利用可能でありかつ本発明に適している気相成長としては、物理的気相成長(PVDまたはスパッタリング)および化学的気相成長(CVD)が挙げられるが、これらに限定されない。注記されるように、結合されたセンサーおよび他の技術によりバルブダイヤフラムに取り付けられたセンサーが、代替的に使用され得る。あるいは、ひずみ計または他のセンサーが、ダイヤフラムに隣接して結合され得るかまたは別な様式で取付けられ得、あるいは保持され得る。
図3は、上で議論されたような位置感知のために使用されるひずみ計の出力(図3の下側のグラフ)を、上記心棒の直線的な運動を感知するLVDTの出力から検出される場合の現実のダイヤフラムのストローク(図3の上側のグラフ)と比較する、図式による図示である。これら2つの間の密接な相関が存在し、従って上記ひずみ計がダイヤフラム位置ならびに位置または運動の変化の正確な表示を提供することが理解され得る。
図4は、本発明の別の局面を図示し、そこでは温度センサー80がダイヤフラム20の表面上に配置される。例示的な実施形態において、この温度センサー80は、非湿潤側20a上に配置されるが、あるいは湿潤面20b上または多層ダイヤフラム(示さず)の層の間、あるいは多層配置(示さず)の任意のダイヤフラム表面にあり得る。
温度センサー80は、このダイヤフラム上に直接堆積される白金ホイル温度センサーであり得る。あるいは、センサー80は、特定の用途に依存して、別のタイプのものであり得る。センサー80は、センサー50の堆積のために使用されるプロセスと同じプロセス、またはそれと類似のプロセスを使用して堆積され得る。
ダイヤフラム20上に直接配置されることにより、センサー80は、例えば、バルブA中のプロセス流体の温度の変化によるかまたは上記バルブに付与されている加熱または冷却における変化により引き起こされるダイヤフラムの温度とともに変化する、信号のような出力を生成するか、または特徴を示す。
センサー80は、センサー50(図4には示されていない)の近くまたはそれに隣接する位置に、センサー50と同時にダイヤフラム20上に堆積され得る。あるいは、センサー80は、センサー50とは別個の操作またはそれとは異なる位置に堆積され得る。さらなる代替として、センサー80の構造は、センサー50の構造の中へ、それらが、2つの異なる構造物が上記ダイヤフラム上に一緒に堆積されている1つの一体化センサーとして形成される程度まで、組込まれ得る。同じワイヤ52が使用され得、外部からセンサー80の出力にアクセスするかまたはその特徴を検出する;あるいは、別個のワイヤが使用され得る。センサーの電子回路82は、信号ワイヤ52(または別個のワイヤ)に接続され、その結果、センサー80からの出力を受容するか、またはダイヤフラムの温度とともに変化するセンサーの特徴を検出する。無線接続または光学的接続が、代替的に使用され得る。回路82は、あるいは、バルブA内に組込まれ得る。回路82は、任意の適切な形態の出力(視覚的読み取りおよび/または無線出力信号が挙げられるがこれらに限定されない)を提供し得る。
センサー80により提供される温度感知機能は、センサー50により提供される機能と補完的であってもよく、またはそれとは独立であってもよい。具体的には、感知された温度は、センサー50により提供される圧力信号または位置信号の電子的補償を提供するために使用され得る。このことは、ダイヤフラム20の位置または運動のより正確な表示を提供するのに役立つ。あるいは、感知された温度は、センサー50の出力とは独立の温度読み取りを提供するために使用され得る。例として、温度センサー80は、センサー50の存在がない場合でさえも、プロセス温度のみを測定するために、提供され得、そして作動し得る。温度センサー80は、バルブに対する加熱機構または冷却機構にフィードバックを提供するために使用され得る。
図5は、本発明の別の局面を図示し、そこでは、静電容量型センサーが、2つの導電性プレートの間の距離の変化により引き起こされるキャパシタンスの変化を測定することによりダイヤフラムの位置を感知するために、使用される。図5は、ダイヤフラムバルブ90において使用される静電容量型センサーを示す。バルブ90は、図1〜4に示されるバルブと同じであり得、それゆえに図5に部分的にのみかつ概略的にのみ示される。
図5に示される実施形態において、上記ダイヤフラム(その一部が92で概略的に示されている)は、金属から作製されるか、またはそうでない場合は導電性である。ダイヤフラム92は、可変コンデンサー94の1つのプレートを形成する。他のプレート96は、バルブ90の固定部分に、ダイヤフラム92に隣接して形成される。例えば、図5に示されるように、第2のプレート96は、上記バルブボンネット上に形成され得、その一部が98で概略的に示されている。絶縁層100は、第2のプレート96とバルブボンネット98との間に形成される。これら2つのプレート92および96は、これらプレート間の距離を示す出力信号を提供するために、適切な電子回路102と連結される。
ダイヤフラム92は、それがバルブの開閉の間にバルブ90内で運動する場合、バルブボンネット98に対して運動する。この運動が起こる場合、ダイヤフラム92と第2のプレート96との間の距離は変化し、そしてキャパシタンスもまた変化する。センサー94の出力信号は、従って、プレート92とプレート96との間の距離を示す。第2のプレート96は、バルブ90中の適所に固定されているので、プレート92とプレート96との間の距離の値は、既知の位置に対する既知の値と比較して、バルブ90内部のダイヤフラム92の位置を示す。結果として、センサー94の出力は、ダイヤフラムの位置を示す。第2のプレート96の位置決めは、上記バルブの開状態、閉状態および遷移状態を最も効果的に決定するように最適化される。
図6は、本発明の別の局面を図示し、そこではダイヤフラムの位置は、静電容量型近接センサー内のキャパシタンスの変化を測定することにより感知または決定される。図6は、ダイヤフラムバルブ112中で使用される静電容量型近接センサー100を示す。バルブ112は、図1〜4に示されるバルブと同じバルブであり得、それ故に図6に部分的にのみかつ概略的にのみ示される。
静電容量型近接センサー110は、NASAにより設計されたタイプのものであり得、その技術は、Capaciflectorの名前で頒布されている。このタイプのセンサーは、2つ以上の電気的プレートを一緒に提供することにより作用し、それらの間の電圧差が存在し、それらのプレートのまわりの電場を生成する。この電場は、そのセンサーから出てかつそれのまわりに延びる。物体(金属または非金属)がその場に入ると、その場は乱れ、発振器回路のキャパシタンスを変化させる。発振器の振幅は、そのセンサーとその物体との間の距離を示す。
図6は、114で概略的かつ部分的に示されるバルブボンネット上に取付けられる静電容量型近接センサー110を図示する。この静電容量型近接センサー110は、複数の絶縁層118に挟まれた複数の導電プレートまたは導電層116を含む。バルブボンネット114の近くに、バルブダイヤフラム120が存在し、それは金属製であっても非金属製であってもよい。静電容量型近接センサー110およびダイヤフラム102は、適切な電子回路122により電気的に接続される。
静電容量型近接センサー110は、その静電結合場がダイヤフラム120の方向に延びるように、電気的に駆動される。ダイヤフラム120の運動は、静電結合の比例した変化を引き起こし、それが、測定されるキャパシタンスの変化をもたらす。キャパシタンスの変化は、ダイヤフラム120とセンサー110との間の距離を示す。センサー110は、バルブ112に対して位置が固定されているので、そのセンサーとダイヤフラム120との間の距離の値は、既知の位置に対する既知の値と比較して、バルブ内部のダイヤフラムの位置を示す。結果として、センサー110の出力は、ダイヤフラム位置を示す。センサー110におけるプレートの位置決めおよび数は、上記バルブの開状態、閉状態および遷移状態を最も効果的に決定するように最適化され得る。
図7〜9は、本発明の別の実施形態を図示する。この実施形態において、図1〜3を参照して上で議論されたタイプの複数のひずみ計が、単一のダイヤフラム上で使用される。具体的には、図7は、図1〜3を参照して上で議論されたタイプのダイヤフラムバルブの一部を形成するダイヤフラム130の平面図である。ダイヤフラム130は、平面図では、軸132に中心をおく円形配置を有する。図7は、多数のひずみ計が単一のダイヤフラム上で使用される方法のただ一つの例を図示する。
ひずみ計134は、任意の適切な技術により、ダイヤフラム130の非湿潤表面136上に堆積または配置される。ひずみ計134は、その軸をそのダイヤフラムの半径138に直交して配向して配置される。別のひずみ計140は、任意の適切な技術によりダイヤフラム130の非湿潤表面136上に堆積または配置される。ひずみ計140は、その軸をそのダイヤフラムの半径142に平行に配向して堆積または配置される。さらなるひずみ計144は、選択された配向でダイヤフラムのまわりに分配される。
図8は、非偏向状態で示される、図7のダイヤフラム130の概略的断面図である。そのバルブ中の流体圧力は、ダイヤフラム130の凹(湿潤)面146上で作用し、このダイヤフラムを図8に示される非偏向状態に配置する。この流体圧力は、ダイヤフラム上のすべての点でダイヤフラム130上の引張りひずみを付与する。結果として、その軸が半径138に直交して配向しているひずみ計134とその軸が半径142に平行に配向しているひずみ計140との両方は、ひずみのレベルを記録する。
ダイヤフラム130が、図9に示されるように偏向している場合、そのバルブを閉状態に運動させるために、上記ダイヤフラムの中央部分148は、外部周辺部分150に対して(図9に見られるように)下向きに運動される。ダイヤフラム130のこの偏向は、軸が半径142と整列しているひずみ計140中に引張りひずみを生成し、そして同時に、軸を半径138と直交して整列させているひずみ計134中に圧縮ひずみを生成する。
ダイヤフラム130のこの偏向は、従って、ダイヤフラム上の異なる配向とともにひずみ計中に反対の符号のひずみ信号を生成し、他方、このダイヤフラムが(図8におけるような)非偏向状態の場合は、すべての信号は、同符号を有する。この特徴は、いくつかの様式で有利に使用され得る。
第1に、このひずみ信号は、ダイヤフラム位置の検出の感度を改良するためにさらに精密にされ得る。そのダイヤフラムが異なる偏向状態にある場合、異なる信号の組合せが生成される。具体的には、図8に示されるように、ダイヤフラム130が加圧され、かつ非偏向状態にある場合の、2つのセンサー134および140からの信号の比較は、それら2つのセンサーの信号の間の比較的小さい差を示す。対照的に、ダイヤフラムが偏向している場合、2つのセンサー134および140が反対符号の信号を生成するので、これらの信号の間の差は比較的大きい。この差の変化の大きさは、いずれか1つのセンサーのみの信号における変化の大きさよりも有意に大きい。従って、偏向の存在またはその大きさを決定する場合、このシステムは、1つ〜いくつかのひずみ計からの信号の大きさのみに頼る必要はない。
第2に、複数のひずみ計の使用は、ダイヤフラムが結合しているバルブにおける流体圧力の量のような(ダイヤフラム位置以外の)さらなる情報を抽出する能力を改良し得る。ダイヤフラムの偏向およびひずみは、圧力の量とともに変化し、そして複数のひずみ計の使用は、より正確な測定能力を提供するのに役立ち得る。別の例として、ダイヤフラム上のひずみの量および方向を、その表面上の異なる位置で、読み取ることは、ひび割れの存在またはダイヤフラムの局在化した偏向のような診断的情報を提供する能力を高め得る。また、複数のひずみ計の使用は、単一のひずみ計の故障の事象における上記システムに冗長度を付与し得る。
図10〜12は、バルブ10のようなダイヤフラムバルブにおけるダイヤフラムの位置および/または他の局面を感知するための誘導型近接センサーの使用を図示する。誘導型センサーは、磁場における金属の存在または運動に起因して、磁場において誘導される変化を感知することにより、金属物体を検出する。誘導型近接センサーは、磁場を発生するために、電磁コイルまたは永久磁石を組み込む。金属物体がその場に入ると、その場は乱される。検出素子は、この乱れを感知し、その物体の存在を示す適切な信号を生成する。このセンサーを含むシステムは、そのセンサー特定の距離内へのその物体の運動に応答して反応するように配置され得る。多くの異なるタイプのこのようなセンサーが、一般に利用可能であり、そして、例えば誘導型近接センサーとして公知である。
図10および11は、構成においてバルブ10と類似しているバルブと関連した、本発明に従う誘導型近接センサーの使用の1つの実施形態を概略的に示す。誘導型近接センサー160は、ボンネット162の下側に、ダイヤフラム164に面して取付けられる。このセンサーは、電磁コイルのような磁場供給源166と感知コイルまたはホール効果センサーのような検出素子168との両方を含む。磁場供給源166は、金属から作製されているかまたは少なくとも一部は金属製であるダイヤフラム164上に磁場を放出する。ダイヤフラム164および検出素子168は、適切な発振器電子機器(示さず)に、ボンネット162およびボンネットナット174を通るワイヤ172を通して、電気接続される。あるいは、センサー160の出力は、RF信号を介してバルブの外に向けられ得る。
ダイヤフラム164が磁場供給源166から近くへまたは遠くへ運動するにつれて、検出素子168における磁場の強さは変化する。センサー160は、検出素子168における磁場の強さの変化を直接に感知することによるか、または磁場供給源166の測定可能な電気的パラメータの変化として間接的にか、この変化を感知する。従って、センサー160の出力は、ダイヤフラムの運動または位置を示す。
図12は、本発明に従う誘導型近接センサーの使用の代替の実施形態を概略的に図示する。図12に示される誘導型近接センサー180は、1つのユニットではなく互いから隔てられている磁場供給源182および検出素子184を含む。センサー180の作動は、図11および12を参照して上に記載されたセンサー160の作動と類似である。
複数の誘導型センサーは、1つのダイヤフラムに集められ得る。それらのセンサーの数および位置は、ダイヤフラムの位置または偏向に反映されるような、上記バルブの開状態、閉状態および遷移状態を最も効果的に決定するように最適化される。バルブの状態をモニタリングすることに加えて、誘導型センサーは、圧力を検出するため、そして/または差し迫ったかもしくは初期のダイヤフラムの劣化の検出を可能にするために使用され得る。
本発明が、好ましい実施形態を参照して記載された。改変および変更は、本明細書および図面を読んで理解する際に他の人に思い浮かぶ。本発明は、それらが添付の特許請求の範囲またはその等価物の範囲内にある限り、すべてのそのような改変および変更を含むことが意図される。
Claims (42)
- 流れ制御デバイスであって、以下:
該流れ制御デバイスを通る流れを制御するために移動可能であるダイヤフラム;および
該ダイヤフラム上に配置されるセンサーであって、該ダイヤフラムの運動を検出するセンサー、
を備える、デバイス。 - 前記センサーが、ひずみ計を備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記デバイスが、前記ダイヤフラムを運動させるためのアクチュエーターを備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記ダイヤフラム上に配置される温度センサーを備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記センサーが、前記ダイヤフラムの表面に配置される、請求項1に記載のデバイス。
- 前記センサーが、前記ダイヤフラムの表面上に堆積される、請求項5に記載のデバイス。
- 前記センサーが、前記ダイヤフラムの非湿潤側に配置される、請求項5に記載のデバイス。
- 前記デバイスが、バルブを備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記デバイスが、流れ調節器を備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記ダイヤフラムが、多層ダイヤフラムである、請求項1に記載のデバイス。
- 前記センサーが、前記ダイヤフラムの位置に対応する出力を生成する、請求項1に記載のデバイス。
- 前記センサーが、ダイヤフラムのひずみを示す出力を生成し、そして初期ひずみプロフィールと比較される場合に、前記ダイヤフラムの寿命の終わりを予測するために使用され得る、請求項1に記載のデバイス。
- 前記ダイヤフラム上に配置される少なくとも2つのセンサーを備え、各センサーが参照物に対してそれぞれの角度で配置される、請求項1に記載のデバイス。
- デバイスを通る流体の流れ制御のためにダイヤフラムを使用するタイプの流れ制御デバイスにおけるダイヤフラム性能を検出するための方法であって、以下:
該ダイヤフラム上にセンサーを配置する工程;
該ダイヤフラムの運動または位置に対応するセンサー出力を生成する工程、
を包含する、方法。 - 前記センサーを使用して、ひずみを検出する工程を包含する、請求項14に記載の方法。
- 前記センサーを使用して、前記ダイヤフラムの初期ひずみプロフィールを生成する工程;
該センサーを使用して、該ダイヤフラムの引き続くひずみプロフィールを生成する工程;および
引き続くひずみプロフィールを該初期プロフィールまたは前プロフィールと比較して、ダイヤフラムの状態を分析する工程、
を包含する、請求項15に記載の方法。 - 組合せにおける、流れ制御デバイスを通る流体の流れを制御するために該デバイス中に設置され得るダイヤフラム、および該ダイヤフラム中に配置されるセンサー。
- 前記センサーが、ひずみ計を備える、請求項17に記載のアセンブリ。
- 前記センサーが、前記ダイヤフラムの表面に配置される、請求項17に記載のアセンブリ。
- 前記センサーが、流れ制御デバイスにおいて使用される場合に、前記ダイヤフラムの運動または位置に対応する出力を生成する、請求項17に記載のアセンブリ。
- 前記ダイヤフラム上に配置される温度センサーを備える、請求項17に記載のアセンブリ。
- 前記センサーが、ひずみ計を備え、そして温度センサーがまた、前記ダイヤフラム上に配置される、請求項17に記載のアセンブリ。
- 流れ制御デバイスであって、以下:
該流れ制御デバイスを通る流れを制御するために移動可能であるダイヤフラム;および
該流れ制御デバイスの部分であって、コンデンサーを形成するために、該ダイヤフラムに対して固定されている、該流れ制御デバイスの部分、
を備える、デバイス。 - 前記ダイヤフラムおよび該ダイヤフラムに対して固定されている前記部分が、該ダイヤフラムと該ダイヤフラムに対して固定されている該部分との間の距離を示す出力シグナルを提供するために、適切な電子回路で接続されている、請求項23に記載のデバイス。
- 前記ダイヤフラムに対して固定されている前記部分が、前記デバイスの固定部分上に配置される、請求項23に記載のデバイス。
- 前記デバイスが、前記ダイヤフラムを運動させるためのアクチュエーターを備える、請求項23に記載のデバイス。
- 前記デバイスが、バルブを備える、請求項23に記載のデバイス。
- 前記ダイヤフラムに対して固定されている前記部分が、バルブボンネット上に形成される、請求項27に記載のデバイス。
- 前記ダイヤフラムに対して固定されている前記部分に隣接する絶縁層をさらに備える、請求項23に記載のデバイス。
- 前記デバイスが、流れ調節器を備える、請求項23に記載のデバイス。
- 前記ダイヤフラムが、多層ダイヤフラムである、請求項23に記載のデバイス。
- デバイスを通る流体の流れ制御のためにダイヤフラムを使用するタイプの流れ制御デバイスにおけるダイヤフラム性能を検出するための方法であって、以下:
該ダイヤフラムと該流れ制御デバイス上の部分との間のキャパシタンスを生成する工程;
該ダイヤフラムの運動に対応するキャパシタンスの変化を検出する工程、
を包含する、方法。 - 流れ制御デバイスであって、以下:
該流れ制御デバイスを通る流れを制御するために移動可能であるダイヤフラム;および
静電結合場を生成するセンサーであって、該ダイヤフラムの運動が、該静電結合場を乱す、センサー、
を備える、流れ制御デバイス。 - 前記静電結合場の乱れが、前記ダイヤフラムと前記センサーとの間の距離を示すキャパシタンスの変化をもたらす、請求項33に記載のデバイス。
- 前記デバイスが、前記ダイヤフラムを運動させるためのアクチュエーターを備える、請求項33に記載のデバイス。
- 前記デバイスが、バルブを備える、請求項33に記載のデバイス。
- 前記センサーが、前記バルブ中の適所に固定されている、請求項36に記載のデバイス。
- 前記センサーが、複数の絶縁層に挟まれた複数の導電層を含む、請求項33に記載のデバイス。
- 前記デバイスが、流れ調節器を備える、請求項33に記載のデバイス。
- 前記ダイヤフラムが、多層ダイヤフラムである、請求項33に記載のデバイス。
- 前記ダイヤフラムが、非金属製である、請求項33に記載のデバイス。
- デバイスを通る流体の流れ制御のためにダイヤフラムを使用するタイプの流れ制御デバイスにおけるダイヤフラム性能を検出するための方法であって、以下:
該ダイヤフラムの運動が乱す静電結合場を生成する工程;
該静電結合場における乱れに対応するセンサー出力を生成する工程、
を包含する、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US48146303P | 2003-10-03 | 2003-10-03 | |
US54900504P | 2004-03-01 | 2004-03-01 | |
PCT/US2004/032591 WO2005036039A1 (en) | 2003-10-03 | 2004-10-04 | Diaphragm monitoring for flow control devices |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007525622A true JP2007525622A (ja) | 2007-09-06 |
Family
ID=34437247
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006534213A Withdrawn JP2007525622A (ja) | 2003-10-03 | 2004-10-04 | 流れ制御デバイスのためのダイヤフラムモニタリング |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050092079A1 (ja) |
JP (1) | JP2007525622A (ja) |
KR (1) | KR20060097012A (ja) |
WO (1) | WO2005036039A1 (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007139769A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-07 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ |
JP2014511462A (ja) * | 2011-02-21 | 2014-05-15 | エマソン エレクトリック コー. | 加熱器具のための弁、感圧デバイス及びコントローラ |
WO2014188717A1 (ja) * | 2013-05-24 | 2014-11-27 | ベックマン コールター, インコーポレイテッド | 電磁弁および電磁弁の故障判定装置 |
JP2019027518A (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-21 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁 |
WO2020012828A1 (ja) * | 2018-07-09 | 2020-01-16 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
WO2020031628A1 (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-13 | 株式会社フジキン | 流体制御機器、流体制御機器の異常検知方法、異常検知装置、及び異常検知システム |
JP2020034052A (ja) * | 2018-08-28 | 2020-03-05 | 株式会社フジキン | アクチュエータ、流体制御弁及び弁監視装置 |
JP2020159377A (ja) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁 |
JPWO2020171018A1 (ja) * | 2019-02-19 | 2021-12-16 | 株式会社フジキン | バルブ |
JP2022016571A (ja) * | 2017-03-17 | 2022-01-21 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
Families Citing this family (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050081638A1 (en) * | 2003-09-05 | 2005-04-21 | Couch Philip R. | Sensing diaphragm for a differential pressure sensor with over-pressure protection and methods |
DE602006021506D1 (de) | 2005-05-25 | 2011-06-09 | Big Dutchman Skandinavien As | Nahrungsmittelventil mit einem integrierten Leckstelle- Sensor |
US8172197B2 (en) * | 2006-07-06 | 2012-05-08 | Mks Instruments, Inc. | Fast-acting pneumatic diaphragm valve |
KR100765692B1 (ko) * | 2006-12-11 | 2007-10-12 | 주식회사 엔케이 | 비례 제어용 유체 혼합기 |
US20080202606A1 (en) * | 2007-02-27 | 2008-08-28 | O'hara Dennis E | Methods and apparatus to monitor diaphragm condition |
US9199022B2 (en) | 2008-09-12 | 2015-12-01 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Modular reservoir assembly for a hemodialysis and hemofiltration system |
US9358331B2 (en) | 2007-09-13 | 2016-06-07 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Portable dialysis machine with improved reservoir heating system |
US8240636B2 (en) | 2009-01-12 | 2012-08-14 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Valve system |
US8105487B2 (en) | 2007-09-25 | 2012-01-31 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Manifolds for use in conducting dialysis |
US8597505B2 (en) | 2007-09-13 | 2013-12-03 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Portable dialysis machine |
US9308307B2 (en) | 2007-09-13 | 2016-04-12 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Manifold diaphragms |
WO2009073567A1 (en) | 2007-11-29 | 2009-06-11 | Xcorporeal. Inc. | System and method for conducting hemodialysis and hemofiltration |
KR100944149B1 (ko) * | 2007-12-26 | 2010-02-24 | 주식회사 동부하이텍 | 밸브 어셈블리 및 밸브 어셈블리 작동방법 |
EP3586946B1 (en) | 2008-10-07 | 2023-03-29 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Priming system and method for dialysis systems |
NZ614023A (en) | 2008-10-30 | 2014-11-28 | Fresenius Med Care Hldg Inc | Modular, portable dialysis system |
EP2561671B1 (en) * | 2010-04-23 | 2020-01-08 | BlackBerry Limited | Slidable mobile phone deactivates the touch screen while sliding the housings |
DE102010033499A1 (de) * | 2010-08-05 | 2012-02-09 | Knorr-Bremse Systeme für Schienenfahrzeuge GmbH | Optische Druckanzeigeeinrichtung |
IT1403038B1 (it) * | 2010-12-06 | 2013-09-27 | Cps Color Equipment Spa | Valvola di dosaggio e procedimento connesso |
DE102011008173A1 (de) * | 2011-01-10 | 2012-07-12 | Krones Aktiengesellschaft | Blasventil zum expandieren von Kunststoffbehältnissen |
DE102011108179B4 (de) * | 2011-07-22 | 2013-09-19 | Festo Ag & Co. Kg | Ventilmodul |
US9201036B2 (en) | 2012-12-21 | 2015-12-01 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Method and system of monitoring electrolyte levels and composition using capacitance or induction |
US9157786B2 (en) | 2012-12-24 | 2015-10-13 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Load suspension and weighing system for a dialysis machine reservoir |
DK2764881T3 (da) * | 2013-02-06 | 2019-10-28 | Medirio Sa | System til medicinsk behandling |
US9423050B2 (en) * | 2013-04-09 | 2016-08-23 | Fisher Controls International Llc | Intelligent actuator and method of monitoring actuator health and integrity |
DE102013214304A1 (de) | 2013-07-22 | 2015-01-22 | Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft | Membran und Verfahren zu deren Herstellung |
US9354640B2 (en) * | 2013-11-11 | 2016-05-31 | Fresenius Medical Care Holdings, Inc. | Smart actuator for valve |
JP6372998B2 (ja) * | 2013-12-05 | 2018-08-15 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置 |
JP6336345B2 (ja) * | 2014-06-30 | 2018-06-06 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁、流体制御装置、半導体製造装置および半導体製造方法 |
DE102015203552A1 (de) | 2015-02-27 | 2016-09-01 | Robert Bosch Gmbh | Anordnung und Verfahren zur Dichtheitsüberprüfung eines Behältnisses |
DE102015210208A1 (de) | 2015-06-02 | 2016-12-08 | Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft | Verfahren zum Ermitteln einer Zustandsgröße einer Ventilmembran eines elektronisch gesteuerten und motorisch angetriebenen Membranventils, sowie Membranventilsystem |
DE102015210204A1 (de) * | 2015-06-02 | 2016-12-08 | Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft | Verfahren zum Betreiben eines Membranventils, sowie System und Ausleseeinrichtung |
US20170082205A1 (en) * | 2015-09-21 | 2017-03-23 | Hamilton Sundstrand Corporation | Integrated bypass valve with pressure, position, and flowrate feedback capabilities |
US10352470B2 (en) * | 2015-11-17 | 2019-07-16 | Ge Aviation Systems Llc | Control valve and air starting system |
TWI726082B (zh) * | 2016-04-01 | 2021-05-01 | 美商恩特葛瑞斯股份有限公司 | 具有完全關閉之一薄膜閥 |
US10156297B2 (en) * | 2016-09-09 | 2018-12-18 | Control Concepts, Inc. | Sanitary high pressure aerator valve assembly |
DE102017117910A1 (de) * | 2017-08-07 | 2019-02-07 | Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft | Absperrkörper für ein Fluidventil und Verfahren zur Herstellung eines Absperrkörpers |
KR102592722B1 (ko) * | 2018-03-19 | 2023-10-24 | 가부시키가이샤 프로테리아루 | 다이어프램 밸브 및 그것을 사용한 질량 유량 제어 장치 |
EP3775632A4 (en) * | 2018-04-04 | 2022-01-05 | Lake Products Limited | WATERPROOFING DEVICE |
US11092982B2 (en) * | 2018-07-23 | 2021-08-17 | Schaeffler Technologies AG & Co. KG | Temperature sensor for coolant control valve |
US11435257B2 (en) * | 2018-07-27 | 2022-09-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | System and method for monitoring vacuum valve closing condition in vacuum processing system |
EP3604876B2 (de) | 2018-08-03 | 2024-04-03 | SISTO Armaturen S.A. | Membrandiagnose über luftschnittstelle |
EP3604873B1 (de) | 2018-08-03 | 2021-06-02 | SISTO Armaturen S.A. | Membran mit lasche |
US11585462B2 (en) * | 2019-07-17 | 2023-02-21 | Baker Hughes Oilfield Operations Llc | Dual purpose position indicator |
WO2021087348A1 (en) * | 2019-10-31 | 2021-05-06 | DJ Instruments | Temperature compensation of strain gauge output |
DE102020101178A1 (de) * | 2020-01-20 | 2021-07-22 | Sisto Armaturen S.A. | System zur Zustandsüberwachung |
DE102020121968A1 (de) | 2020-08-21 | 2022-02-24 | Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft | Sensorlage, Membranventil und Verfahren |
US11767929B2 (en) | 2021-03-26 | 2023-09-26 | Ford Global Technologies, Llc | Assembly for sensor cleaning with solenoid |
IT202100018260A1 (it) * | 2021-07-12 | 2023-01-12 | Dolphin Fluidics S R L | Dispositivo fluidodinamico con elemento sensore integrato. |
DE102022118896A1 (de) | 2022-07-27 | 2024-02-01 | Bürkert Werke GmbH & Co. KG | Ventileinheit, Membranventil und Verfahren |
CN115370819B (zh) * | 2022-08-11 | 2023-11-14 | 苏州协昌环保科技股份有限公司 | 电磁脉冲阀用膜片组件及含有其的电磁脉冲阀 |
DE102023101834A1 (de) | 2023-01-25 | 2024-07-25 | Krones Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum Umformen von Kunststoffvorformlingen zu Kunststoffbehältnissen mit sterilisierbarem Aseptikventil |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4671490A (en) * | 1986-05-16 | 1987-06-09 | Nupro Co. | Diaphragm valve |
US4888988A (en) * | 1987-12-23 | 1989-12-26 | Siemens-Bendix Automotive Electronics L.P. | Silicon based mass airflow sensor and its fabrication method |
DE3809597A1 (de) * | 1988-03-22 | 1989-10-05 | Fraunhofer Ges Forschung | Mikromechanisches stellelement |
DE3838756C1 (ja) * | 1988-11-01 | 1991-08-29 | Dr. Huelle Energie - Engineering Gmbh, 3000 Hannover, De | |
US5749226A (en) * | 1993-02-12 | 1998-05-12 | Ohio University | Microminiature stirling cycle cryocoolers and engines |
EP0941435B1 (en) * | 1997-02-03 | 2003-05-21 | Swagelok Company | Diaphragm valve |
US6164933A (en) * | 1998-04-27 | 2000-12-26 | Matsushita Electric Works, Ltd. | Method of measuring a pressure of a pressurized fluid fed through a diaphragm pump and accumulated in a vessel, and miniature pump system effecting the measurement |
US6123320A (en) * | 1998-10-09 | 2000-09-26 | Swagelok Co. | Sanitary diaphragm valve |
US6394417B1 (en) * | 1998-10-09 | 2002-05-28 | Swagelok Co. | Sanitary diaphragm valve |
DE19849700C2 (de) * | 1998-10-28 | 2001-06-28 | Festo Ag & Co | Mikroventilanordnung |
US6411192B1 (en) * | 1998-12-28 | 2002-06-25 | Lansense, Llc | Method and apparatus for sensing and measuring plural physical properties, including temperature |
US6524674B1 (en) * | 2000-02-24 | 2003-02-25 | Glass Unlimited Of High Point, Inc. | Glass panel with simulated metal strip |
US6761063B2 (en) * | 2001-07-02 | 2004-07-13 | Tobi Mengle | True position sensor for diaphragm valves |
JP4396095B2 (ja) * | 2002-06-03 | 2010-01-13 | セイコーエプソン株式会社 | ポンプ |
US6978611B1 (en) * | 2003-09-16 | 2005-12-27 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | MEMS closed chamber heat engine and electric generator |
-
2004
- 2004-10-04 WO PCT/US2004/032591 patent/WO2005036039A1/en active Application Filing
- 2004-10-04 KR KR1020067006453A patent/KR20060097012A/ko not_active Application Discontinuation
- 2004-10-04 JP JP2006534213A patent/JP2007525622A/ja not_active Withdrawn
- 2004-10-04 US US10/957,832 patent/US20050092079A1/en not_active Abandoned
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007139769A (ja) * | 2005-11-14 | 2007-06-07 | Immobilien Ges Helmut Fischer Gmbh & Co Kg | 特に、薄層の厚さ測定装置用の測定プローブ |
JP2014511462A (ja) * | 2011-02-21 | 2014-05-15 | エマソン エレクトリック コー. | 加熱器具のための弁、感圧デバイス及びコントローラ |
WO2014188717A1 (ja) * | 2013-05-24 | 2014-11-27 | ベックマン コールター, インコーポレイテッド | 電磁弁および電磁弁の故障判定装置 |
JP2022016571A (ja) * | 2017-03-17 | 2022-01-21 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
JP7226847B2 (ja) | 2017-03-17 | 2023-02-21 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
JP2019027518A (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-21 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁 |
WO2020012828A1 (ja) * | 2018-07-09 | 2020-01-16 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
US11536385B2 (en) | 2018-07-09 | 2022-12-27 | Fujikin Incorporated | Fluid control device |
JP7189631B2 (ja) | 2018-07-09 | 2022-12-14 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
CN111989514A (zh) * | 2018-07-09 | 2020-11-24 | 株式会社富士金 | 流体控制设备 |
TWI711810B (zh) * | 2018-07-09 | 2020-12-01 | 日商富士金股份有限公司 | 流體控制機器 |
JPWO2020012828A1 (ja) * | 2018-07-09 | 2021-07-15 | 株式会社フジキン | 流体制御機器 |
CN112119291A (zh) * | 2018-08-10 | 2020-12-22 | 株式会社富士金 | 流体控制设备、流体控制设备的异常检测方法、异常检测装置以及异常检测*** |
JPWO2020031628A1 (ja) * | 2018-08-10 | 2021-08-26 | 株式会社フジキン | 流体制御機器、流体制御機器の異常検知方法、異常検知装置、及び異常検知システム |
WO2020031628A1 (ja) * | 2018-08-10 | 2020-02-13 | 株式会社フジキン | 流体制御機器、流体制御機器の異常検知方法、異常検知装置、及び異常検知システム |
JP7315963B2 (ja) | 2018-08-10 | 2023-07-27 | 株式会社フジキン | 流体制御機器、流体制御機器の異常検知方法、異常検知装置、及び異常検知システム |
JP7161157B2 (ja) | 2018-08-28 | 2022-10-26 | 株式会社フジキン | アクチュエータ、流体制御弁及び弁監視装置 |
JP2020034052A (ja) * | 2018-08-28 | 2020-03-05 | 株式会社フジキン | アクチュエータ、流体制御弁及び弁監視装置 |
JPWO2020171018A1 (ja) * | 2019-02-19 | 2021-12-16 | 株式会社フジキン | バルブ |
JP7374513B2 (ja) | 2019-02-19 | 2023-11-07 | 株式会社フジキン | バルブ |
JP2020159377A (ja) * | 2019-03-25 | 2020-10-01 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁 |
JP7240718B2 (ja) | 2019-03-25 | 2023-03-16 | 株式会社フジキン | ダイヤフラム弁 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2005036039A1 (en) | 2005-04-21 |
KR20060097012A (ko) | 2006-09-13 |
US20050092079A1 (en) | 2005-05-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007525622A (ja) | 流れ制御デバイスのためのダイヤフラムモニタリング | |
WO2018123852A1 (ja) | 圧電素子駆動式バルブおよび流量制御装置 | |
US9983595B2 (en) | Method and apparatus for gas flow control | |
US7401522B2 (en) | Pressure sensor using compressible sensor body | |
CA2269214C (en) | Fluid pressure sensing unit incorporating diaphragm deflection sensing array | |
US6898968B2 (en) | Method and device for measuring a path that has been covered | |
EP2356360B1 (en) | Solenoid valve with sensor for determining stroke, velocities and/or accelerations of a moveable core of the valve as indication of failure modus and health status | |
US6761063B2 (en) | True position sensor for diaphragm valves | |
KR20030090485A (ko) | 비오염 본체를 가진, 화학적 불활성의 흐름 제어장치 | |
CN111406243A (zh) | 流量控制装置 | |
US4385525A (en) | Strain gauge pressure transducer | |
EP3060835B1 (en) | Fluid flow regulator device, comprising a valve member and a valve seat defining a fluid flow surface area, as well as method of using the same | |
JP2002530635A (ja) | 位置検出装置 | |
JP2018092622A (ja) | 圧電駆動式バルブおよび流量制御装置 | |
WO1990011503A1 (en) | Differential pressure gauge | |
US20240102578A1 (en) | Method of operating a diaphragm valve and diaphragm valve | |
JPH0392687A (ja) | 方向制御弁の動作確認機構 | |
NL2002208C2 (en) | Solenoid valve with an inductive proximity sensor. | |
US20240044416A1 (en) | Systems and Methods for Determining Set Pressure and Lift of a Spring-Operated Relief Valve | |
CN117469425A (zh) | 阀单元、膜片阀和方法 | |
CN113167673B (zh) | 包括用于使隔离膜片偏转的装置的压力计 | |
EP3803171B1 (en) | Actuator, in particular valve actuator and method for operating a valve actuator | |
US7026747B2 (en) | Flexural actuator and an actuator means fitted with same | |
JP2000121471A (ja) | 圧力検出素子及び圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20071204 |