JP2007327396A - クライオポンプおよび半導体製造装置 - Google Patents
クライオポンプおよび半導体製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007327396A JP2007327396A JP2006158619A JP2006158619A JP2007327396A JP 2007327396 A JP2007327396 A JP 2007327396A JP 2006158619 A JP2006158619 A JP 2006158619A JP 2006158619 A JP2006158619 A JP 2006158619A JP 2007327396 A JP2007327396 A JP 2007327396A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- baffle
- cryopump
- cryopanel
- cooling stage
- flat surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
【解決手段】真空槽30に吸気口12aを介して接続されたクライオポンプ本体部11を有し、クライオポンプ本体部11は、真空容器12と、その内部に、シールド部14、2段式の極低温冷凍機20、バッフル15、およびクライオパネル16から構成され、クライオパネル16のうち頂上面16a−1が最もバッフル15に近接した構成を有し、頂上面16a−1はバッフル15の下端部15に接するバッフル面BSと略平行に、すなわち、バッフル面BSから距離L1の等距離の平坦面を形成している。さらに、クライオパネル16は頂上面16a−1がバッフル面BSに最も近接して形成される。
【選択図】図5
Description
図3は、本発明の第1の実施の形態に係るクライオポンプの概略構成図である。
第2例のクライオポンプは、図3等に示した第1例のクライオポンプの変形例であり、クライオパネルの形状が異なる以外は、第1例のクライオポンプと同様の構成を有する。
第3例のクライオポンプは、図7に示した第2例のクライオポンプの変形例であり、クライオパネルの形状およびクライオパネルの第2冷却ステージへの固定方法が異なる以外は、第2例のクライオポンプと同様の構成を有する。
第1の実施の形態に係る実施例は、先の図8に示す構造を有し、8インチのサイズのクライオポンプを用いて、アルゴンガスおよび窒素ガスについて排気容量を測定した。なお、比較のため、図8に示すクライオパネル51の最もバッフルに近い金属板の形状を図1の構成にしたクライオポンプについても、同様にして排気容量を測定した。排気容量は、測定対象のガスを流量100sccmにて真空槽(容積10L)中に供給し、供給量25SL毎に30秒間供給を停止し、その停止時の真空槽内の圧力が1.33×10-5Pa以下を満たすことができるガスの総供給量を排気容量とした。
本発明の第2の実施の形態に係る半導体製造装置は、第1の実施の形態に係る第1例のクライオポンプを備える。ここでは、半導体製造装置としてスパッタ装置を例に説明する。
11 クライオポンプ本体部
12 真空容器
12a 吸気口
14 シールド部
14a 円筒状部材
14b フランジ
15 バッフル
16,41,51 クライオパネル
16a,41a,51a 頂上部
16a−1,41a−1,51c 頂上面
18 吸着パネル
19 おねじ
20 極低温冷凍機
21 動力室
22 第1段冷却部
23 第2段冷却部
24 第1冷却ステージ
25 第2冷却ステージ
28 圧縮器
29a 供給管
29b 回収管
30,62 真空槽
31 フロスト
41c 平坦面
52 ボルト
53 ナット
60 半導体製造装置
61 スパッタ装置本体部
63 載置台
64 ウェハ
65 マグネトロンスパッタ電極(兼ターゲット)
66 電源
68 粗引きバルブ
69 粗引きポンプ
BA バッフル面
Claims (9)
- 真空容器と、
前記真空容器の内部空間に、第1冷却ステージおよび第2冷却ステージを有する2段式冷凍機と、一端面側に排気対象の真空槽に開口された吸気口を有し、他端面側が第1冷却ステージに熱接触したシールド部と、該吸気口側にシールド部と熱接触したバッフルと、該シールド部およびバッフルに囲まれた空間に、第2冷却ステージに熱接触したクライオパネルと、該クライオパネルを第2冷却ステージに固定する固定部材とを備え、
前記クライオパネルはバッフル面と略平行な平坦面を有し、該平坦面が前記固定部材と同等かそれよりもバッフル面に近接してなることを特徴とするクライオポンプ。 - 前記固定部材は、前記平坦面よりもバッフル面側に突出しないように設けられてなることを特徴とする請求項1記載のクライオポンプ。
- 前記クライオパネルは、第2冷却ステージに接すると共に固定部材により固定された頂上部を有し、
前記頂上部が固定部材の頭部の全部を収容可能な厚さを有し、前記頂上部の表面が前記平坦面であることを特徴とする請求項1または2記載のクライオポンプ。 - 前記クライオパネルは、前記頂上部の外側に、バッフル面と略平行な他の平坦面がさらに延在することを特徴とする請求項3記載のクライオポンプ。
- 前記頂上部の表面と、他の平坦面が同一面を形成することを特徴とする請求項4記載のクライオポンプ。
- 前記他の平坦面の周縁部がバッフル面から離れる方向に屈曲されてなることを特徴とする請求項4または5記載のクライオポンプ。
- 前記クライオパネルは、第2冷却ステージに接すると共に固定部材により固定された凹部とその外側に前記平坦面とが形成されてなり、
前記凹部は、前記固定部材を収容可能な深さを有することを特徴とする請求項1または2記載のクライオポンプ。 - 前記平坦面の周縁部がバッフル面から離れる方向に屈曲されてなることを特徴とする請求項7記載のクライオポンプ。
- 真空槽と、
前記真空槽の内部に基板に成膜あるいは処理を行なう手段と、
前記真空槽内を排気する請求項1〜8のうち、いずれか一項記載のクライオポンプとを備える半導体製造装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006158619A JP4430042B2 (ja) | 2006-06-07 | 2006-06-07 | クライオポンプおよび半導体製造装置 |
US11/654,505 US20070283704A1 (en) | 2006-06-07 | 2007-01-18 | Cryopump and semiconductor device manufacturing apparatus using the cryopump |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006158619A JP4430042B2 (ja) | 2006-06-07 | 2006-06-07 | クライオポンプおよび半導体製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007327396A true JP2007327396A (ja) | 2007-12-20 |
JP4430042B2 JP4430042B2 (ja) | 2010-03-10 |
Family
ID=38820508
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006158619A Active JP4430042B2 (ja) | 2006-06-07 | 2006-06-07 | クライオポンプおよび半導体製造装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070283704A1 (ja) |
JP (1) | JP4430042B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010014066A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
JP2017015098A (ja) * | 2011-02-09 | 2017-01-19 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | クライオポンプ |
GB2588826A (en) * | 2019-11-11 | 2021-05-12 | Edwards Vacuum Llc | Cryopump |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101554866B1 (ko) * | 2010-11-24 | 2015-09-22 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 수소 가스 방출을 제어하는 저온 펌프 |
CN102743894B (zh) * | 2011-04-20 | 2015-03-11 | 住友重机械工业株式会社 | 冷阱及真空排气装置 |
JP5665714B2 (ja) * | 2011-09-29 | 2015-02-04 | 株式会社東芝 | 冷凍装置、窒素の水素化装置及びリークガス除去方法 |
JP6857046B2 (ja) * | 2016-03-29 | 2021-04-14 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
JP6806583B2 (ja) * | 2017-02-07 | 2021-01-06 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
JP6871751B2 (ja) * | 2017-02-07 | 2021-05-12 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ |
CN207111346U (zh) * | 2017-07-03 | 2018-03-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 低温泵 |
US11670490B2 (en) * | 2017-09-29 | 2023-06-06 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Integrated circuit fabrication system with adjustable gas injector |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4494381A (en) * | 1983-05-13 | 1985-01-22 | Helix Technology Corporation | Cryopump with improved adsorption capacity |
US5301511A (en) * | 1992-06-12 | 1994-04-12 | Helix Technology Corporation | Cryopump and cryopanel having frost concentrating device |
-
2006
- 2006-06-07 JP JP2006158619A patent/JP4430042B2/ja active Active
-
2007
- 2007-01-18 US US11/654,505 patent/US20070283704A1/en not_active Abandoned
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010014066A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプ |
US8261559B2 (en) | 2008-07-04 | 2012-09-11 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump |
JP2017015098A (ja) * | 2011-02-09 | 2017-01-19 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | クライオポンプ |
GB2588826A (en) * | 2019-11-11 | 2021-05-12 | Edwards Vacuum Llc | Cryopump |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20070283704A1 (en) | 2007-12-13 |
JP4430042B2 (ja) | 2010-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4430042B2 (ja) | クライオポンプおよび半導体製造装置 | |
JP5307785B2 (ja) | 真空排気システム | |
US5513499A (en) | Method and apparatus for cryopump regeneration using turbomolecular pump | |
JP4580042B2 (ja) | 真空排気システム、基板処理装置、電子デバイスの製造方法、真空排気システムの運転方法 | |
JP2574586B2 (ja) | クライオポンプを再生する方法及びこの方法を実施するのに適したクライオポンプ | |
US10036090B2 (en) | Trap mechanism, exhaust system, and film formation device | |
JP6124626B2 (ja) | クライオポンプ及びその再生方法 | |
WO2019208336A1 (ja) | クライオポンプ、クライオポンプシステム、クライオポンプの再生方法 | |
JP2013170568A (ja) | クライオポンプ、クライオポンプの再生方法、クライオポンプの制御装置 | |
US7997089B2 (en) | Method and apparatus for regeneration water | |
US5426865A (en) | Vacuum creating method and apparatus | |
US11015262B2 (en) | Apparatus and method for molecular beam epitaxy | |
JP6552335B2 (ja) | クライオポンプの再生方法 | |
US20070267144A1 (en) | Heating and Cooling Plate for a Vacuum Chamber | |
JP2007309184A (ja) | クライオポンプ及びその再生方法 | |
JPH1047245A (ja) | 真空排気装置 | |
JP2011137423A (ja) | クライオポンプ、基板処理装置、電子デバイスの製造方法 | |
JP4301532B2 (ja) | クライオポンプの再生方法 | |
KR100757805B1 (ko) | 스퍼터링 장치 및 이의 재생방법 | |
JPWO2020049915A1 (ja) | クライオポンプおよびクライオポンプの監視方法 | |
JP3200668B2 (ja) | クライオポンプ及び微細加工装置における排気方式 | |
JP2002070737A (ja) | クライオポンプの再生方法 | |
KR101241093B1 (ko) | 콜드트랩 및 진공배기장치 | |
JP3052096B2 (ja) | クライオポンプ | |
JP2009197266A (ja) | 気体溜め込み式排気系の再生方法及びこれを用いた基板処理装置の制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080402 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080408 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080610 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091216 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121225 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4430042 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121225 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131225 Year of fee payment: 4 |