JP2007316091A - 慣性センサ - Google Patents
慣性センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007316091A JP2007316091A JP2007230971A JP2007230971A JP2007316091A JP 2007316091 A JP2007316091 A JP 2007316091A JP 2007230971 A JP2007230971 A JP 2007230971A JP 2007230971 A JP2007230971 A JP 2007230971A JP 2007316091 A JP2007316091 A JP 2007316091A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flexible resin
- resin substrate
- detection element
- inertial sensor
- outer container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【解決手段】可撓性樹脂基板7に検知素子8を支持するとともに、検知素子8を支持した状態の可撓性樹脂基板7の固有周波数が、検知素子8の駆動方向の固有周波数と検知方向の固有周波数の周波数差より大きく、かつ、外部からの振動により検知素子8に励起される最低周波数より小さい範囲としたものである。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の実施の形態1における慣性センサの一部分解斜視図である。図2は本発明の実施の形態1における慣性センサの可撓性樹脂基板の平面図である。図3は本発明の実施の形態1における慣性センサの検知素子を支持した可撓性樹脂基板の平面図である。図4は本発明の実施の形態1における慣性センサの検知素子を支持した可撓性樹脂基板の断面図である。
3a、3b 台
3c、3d、7b、7c 端子
3e 開口部
6 回路IC
6a パッド
6b ワイヤ
7 可撓性樹脂基板
7a 配線パターン
8 検知素子
9 導電性ペースト
10 バンプ
11 接着剤
Claims (3)
- 駆動振動し慣性量を検知する検知素子と、
前記検知素子を支持する基板と、
前記基板が内部に取り付けられた外容器とを備え、
前記基板が可撓性樹脂基板であり、
前記検知素子が前記可撓性樹脂基板により前記外容器の内空間において中空懸架された慣性センサ。 - 前記検知素子を駆動制御する駆動回路および前記検知素子からの信号を処理し慣性量に応じた信号に調整し出力する出力回路を含む回路ICを有し、
前記可撓性樹脂基板には前記検知素子を前記回路ICに電気的に接続するための配線パターンを形成した
請求項1に記載の慣性センサ。 - 前記回路ICは前記外容器に内蔵させた
請求項2に記載の慣性センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007230971A JP2007316091A (ja) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | 慣性センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007230971A JP2007316091A (ja) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | 慣性センサ |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005046752A Division JP2006234462A (ja) | 2005-02-23 | 2005-02-23 | 慣性センサ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007316091A true JP2007316091A (ja) | 2007-12-06 |
Family
ID=38850042
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007230971A Pending JP2007316091A (ja) | 2007-09-06 | 2007-09-06 | 慣性センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007316091A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011027708A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-02-10 | Panasonic Corp | 角速度センサユニット |
JP2013044524A (ja) * | 2011-08-21 | 2013-03-04 | Denso Corp | 角速度センサ装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0989570A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Alps Electric Co Ltd | 振動子の保護装置 |
JPH09133704A (ja) * | 1995-11-07 | 1997-05-20 | Murata Mfg Co Ltd | 加速度センサ |
JPH09170926A (ja) * | 1995-12-21 | 1997-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JPH1123285A (ja) * | 1997-07-08 | 1999-01-29 | Alps Electric Co Ltd | 振動子の支持構造 |
JP2002257553A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-09-11 | Bei Technologies Inc | 重複レートセンサおよび慣性レート感知方法 |
JP2003028647A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-01-29 | Murata Mfg Co Ltd | 振動型センサ部品およびその製造方法およびその振動型センサ部品を用いたセンサモジュール |
JP2004271479A (ja) * | 2003-03-12 | 2004-09-30 | Citizen Watch Co Ltd | 角速度センサ |
-
2007
- 2007-09-06 JP JP2007230971A patent/JP2007316091A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0989570A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Alps Electric Co Ltd | 振動子の保護装置 |
JPH09133704A (ja) * | 1995-11-07 | 1997-05-20 | Murata Mfg Co Ltd | 加速度センサ |
JPH09170926A (ja) * | 1995-12-21 | 1997-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
JPH1123285A (ja) * | 1997-07-08 | 1999-01-29 | Alps Electric Co Ltd | 振動子の支持構造 |
JP2002257553A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-09-11 | Bei Technologies Inc | 重複レートセンサおよび慣性レート感知方法 |
JP2003028647A (ja) * | 2001-07-18 | 2003-01-29 | Murata Mfg Co Ltd | 振動型センサ部品およびその製造方法およびその振動型センサ部品を用いたセンサモジュール |
JP2004271479A (ja) * | 2003-03-12 | 2004-09-30 | Citizen Watch Co Ltd | 角速度センサ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011027708A (ja) * | 2009-07-03 | 2011-02-10 | Panasonic Corp | 角速度センサユニット |
JP2013044524A (ja) * | 2011-08-21 | 2013-03-04 | Denso Corp | 角速度センサ装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7497117B2 (en) | Angular velocity mount arrangement | |
CN108507557B (zh) | 传感器装置 | |
JP4831949B2 (ja) | 物理量センサ装置 | |
US20070051182A1 (en) | Mechanical quantity sensor | |
JP5870532B2 (ja) | 物理量検出素子、物理量検出装置および電子機器 | |
JP2006194681A (ja) | 角速度センサ装置 | |
JP6512006B2 (ja) | センサ装置 | |
JP2006234463A (ja) | 慣性センサ | |
JP2006234462A (ja) | 慣性センサ | |
JP2006234462A5 (ja) | ||
JP2007316091A (ja) | 慣性センサ | |
JP2007033393A (ja) | 角速度センサ装置 | |
US9123883B2 (en) | Vibration device | |
JP2007316090A (ja) | 慣性センサ | |
JP2009150677A (ja) | 振動ジャイロ | |
US11662204B2 (en) | Vibrator device | |
JP7089590B2 (ja) | センサ素子および角速度センサ | |
JP2007071672A (ja) | 角速度センサ | |
WO2015075899A1 (ja) | 角速度センサ素子および角速度センサ | |
WO2019240175A1 (ja) | センサ素子および角速度センサ | |
JP2008039576A (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
JP2008185369A (ja) | 角速度センサ、角速度センサの製造方法、電子機器、及び回路基板 | |
JP4587466B2 (ja) | 圧電振動ジャイロおよびその製造方法 | |
JP2006058060A (ja) | ジャイロセンサおよび電子機器 | |
JP2006041298A (ja) | 電子装置および角速度検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070906 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20070906 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20070925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071002 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20080212 |