JP2007298624A - Memsデバイス - Google Patents
Memsデバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007298624A JP2007298624A JP2006125119A JP2006125119A JP2007298624A JP 2007298624 A JP2007298624 A JP 2007298624A JP 2006125119 A JP2006125119 A JP 2006125119A JP 2006125119 A JP2006125119 A JP 2006125119A JP 2007298624 A JP2007298624 A JP 2007298624A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- terminal
- mems device
- movable electrode
- resistance substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明のMEMSデバイス1は、フレーム11と該フレーム11に対して揺動可能に支持された揺動部材12とを備えたMEMSデバイス1であって、前記フレーム11及び前記揺動部材12は、1枚の高抵抗基板10から形成され、前記フレーム11に、前記高抵抗基板10よりも電気抵抗が低い固定電極が形成され、揺動部材12に、前記高抵抗基板10よりも電気抵抗が低い可動電極が形成され、前記固定電極と前記可動電極との間に、交流電圧が印加されることによって生じる静電力によって前記揺動部材12が揺動するように構成されたことを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
10 高抵抗基板
11 フレーム
12 揺動部材
16 固定櫛歯部
17 可動櫛歯部
18 第1端子形成部
19 第2端子形成部
20 絶縁連結部
Claims (3)
- フレームと該フレームに対して揺動可能に支持された揺動部材とを備えたMEMSデバイスであって、
前記フレーム及び前記揺動部材は、1枚の高抵抗基板から形成され、
前記フレームに、前記高抵抗基板よりも電気抵抗が低い固定電極が形成され、
揺動部材に、前記高抵抗基板よりも電気抵抗が低い可動電極が形成され、
前記固定電極と前記可動電極との間に、交流電圧が印加されることによって生じる静電力によって前記揺動部材が揺動するように構成されたことを特徴とするMEMSデバイス。 - 前記固定電極は、前記フレーム表面に設けられた金属膜で形成され、前記可動電極は、前記揺動部材表面に設けられた金属膜で形成されたことを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。
- 前記固定電極は、前記フレームに不純物が注入されて設けられた、前記高抵抗基板よりも電気抵抗が低い不純物層で形成され、前記可動電極は、前記揺動部材に不純物が注入されて設けられた、前記高抵抗基板よりも電気抵抗が低い不純物層で形成されたことを特徴とする請求項1に記載のMEMSデバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006125119A JP2007298624A (ja) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | Memsデバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006125119A JP2007298624A (ja) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | Memsデバイス |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007298624A true JP2007298624A (ja) | 2007-11-15 |
Family
ID=38768182
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006125119A Pending JP2007298624A (ja) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | Memsデバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007298624A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016197060A (ja) * | 2015-04-03 | 2016-11-24 | 株式会社東芝 | 電子装置及びその製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08327927A (ja) * | 1995-04-25 | 1996-12-13 | Omron Corp | 光走査装置 |
JP2003066361A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-03-05 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器及びその製造方法、光走査モジュール、光走査装置、画像形成装置、画像表示装置 |
JP2003302586A (ja) * | 2002-04-09 | 2003-10-24 | Nec Corp | 光デバイス及びその製造方法 |
JP2004037757A (ja) * | 2002-07-02 | 2004-02-05 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および画像形成装置 |
JP2005292628A (ja) * | 2004-04-02 | 2005-10-20 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置、画像形成装置 |
-
2006
- 2006-04-28 JP JP2006125119A patent/JP2007298624A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08327927A (ja) * | 1995-04-25 | 1996-12-13 | Omron Corp | 光走査装置 |
JP2003066361A (ja) * | 2001-08-23 | 2003-03-05 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器及びその製造方法、光走査モジュール、光走査装置、画像形成装置、画像表示装置 |
JP2003302586A (ja) * | 2002-04-09 | 2003-10-24 | Nec Corp | 光デバイス及びその製造方法 |
JP2004037757A (ja) * | 2002-07-02 | 2004-02-05 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置および画像形成装置 |
JP2005292628A (ja) * | 2004-04-02 | 2005-10-20 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置、画像形成装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016197060A (ja) * | 2015-04-03 | 2016-11-24 | 株式会社東芝 | 電子装置及びその製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5229704B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP5272989B2 (ja) | 2次元光スキャナ | |
JP4982814B2 (ja) | 光ビーム走査装置 | |
JP2005308863A (ja) | 偏向ミラー、光走査装置及び画像形成装置 | |
JP5383065B2 (ja) | プレーナ型電磁アクチュエータ及びその製造方法 | |
JP2005134665A (ja) | 光偏向器 | |
JP5569236B2 (ja) | 光走査装置、画像形成装置および画像投影装置 | |
JP5233221B2 (ja) | アクチュエータ、光スキャナ、および画像形成装置 | |
JP2009258210A (ja) | 光学反射素子 | |
JP2006195290A (ja) | 画像読取装置及び画像形成装置 | |
JP2004341364A (ja) | 振動ミラーとその製造方法、光走査モジュール、光書込装置、画像形成装置 | |
JP2009251002A (ja) | アクチュエータ、画像形成装置及びアクチュエータの製造方法 | |
JP2008070863A (ja) | 振動ミラー、光書込装置および画像形成装置 | |
JP2007298624A (ja) | Memsデバイス | |
JP2003195204A (ja) | 光偏向器及び光偏向器アレイ | |
JP2003005124A (ja) | 可動板の変位検出機能を備えた光偏向器、及び光偏向器を用いた光学機器 | |
JP5850245B2 (ja) | 光スキャナ | |
JP5322844B2 (ja) | プレーナ型アクチュエータ | |
JP2009031643A (ja) | 揺動体装置、光偏向器およびそれを用いた画像形成装置 | |
JP2006201519A (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
JP2010019949A (ja) | アクチュエータおよび画像形成装置 | |
JP4566014B2 (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
JP2008020540A (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
JP2008191351A (ja) | 光学反射素子 | |
JP2009251143A (ja) | アクチュエータ、画像形成装置及びアクチュエータの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20090213 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20101130 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110107 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20110304 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20110325 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |