JP2007298358A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 30GHz以上30THz以下の周波数の領域に含まれる電磁波を伝播させるための伝送線路と、
   前記伝送線路を伝播する電磁波の電場分布の及ぶ範囲の少なくとも一部を含む部位に配置された導電性領域と、
   前記導電性領域の外部に設けられ、検体を保持し、該検体を前記伝送線路に供給するための検体供給手段と、
   前記検体供給手段と前記導電性領域との間に電界を発生させる手段と、を有し、
   前記検体供給手段から供給された検体を前記導電性領域に堆積するように構成されることを特徴とする検査装置。
2. 前記導電性領域は、前記伝送線路を伝播する電磁波の電場分布のピーク値の１／ｅ ^２ 以上の電場を有する領域、あるいは前記伝送線路の信号線となる金属で構成される領域であることを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
3. 前記検体供給手段は、前記発生された電界により、前記検体を噴霧させることを特徴とする請求項１または２に記載の検査装置。
4. 前記検体供給手段が前記検体を前記導電性領域に収束させて供給するために、前記検体供給手段の検体を保持する部分と前記導電性領域との間に設けられたコリメータ電極を更に有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の検査装置。
5. 30GHz以上30THz以下の周波数の領域に含まれる電磁波を前記伝送線路に供給するための電磁波供給手段と、
   前記伝送線路を伝播した前記電磁波を検出するための電磁波検出手段と、
   前記導電性領域上に検体が堆積されたときの乾燥状態を制御するために、検体が供給される空間及び前記導電性領域を囲む空間の湿度を調整する湿度制御手段と、を有することを特徴とする請求項1乃至４のいずれか１項に記載の検査装置。
6. 前記検体供給手段に印加する電圧に交流成分を重畳させ、
   前記堆積のレートを変動させ、
   前記変動に対する同期検波により検体の情報を取得することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の検査装置。
7. 前記検体の前記導電性領域上への堆積量の時間変化に応じて、検出される電磁波の信号の変化を時間経過に対して複数取得し、
   信号の変化の割合が所定値よりも小さくなったとき、前記検体の供給を停止することを特徴とする請求項６に記載の検査装置。
8. 基板と該基板に設けられた導電体とを含み構成される伝送線路を配置可能に構成される検体装置であって、
   前記伝送線路の外部に設けられ、且つ検体を保持するための検体保持部と、
   前記導電体と前記検体保持部との間に電界を発生させるための電界発生部と、を備え、
   前記発生された電界により、前記検体保持部から前記伝送線路に向けて噴霧された検体を、前記導電体に堆積するように構成されることを特徴とする検査装置。
9. 前記発生された電界により、前記噴霧された検体の飛散を防ぐことを特徴とする請求項８に記載の検査装置。
10. 前記導電体と前記検体保持部との間にコリメータ電極を備え、
    前記導電体と前記検体保持部との電位差よりも小さい電位を前記コリメータ電極に付与するように構成され、
    前記噴霧された検体を前記導電体に収束するように構成されることを特徴とする請求項８または９に記載の検査装置。