DE602007000740D1 - Terahertzprüfvorrichtung und Prüfverfahren - Google Patents

Terahertzprüfvorrichtung und Prüfverfahren

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    • G01N21/25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
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Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4217646B2 (ja) * 2004-03-26 2009-02-04 キヤノン株式会社 認証方法及び認証装置
JP4390147B2 (ja) * 2005-03-28 2009-12-24 キヤノン株式会社 周波数可変発振器
JP4250603B2 (ja) * 2005-03-28 2009-04-08 キヤノン株式会社 テラヘルツ波の発生素子、及びその製造方法
JP2006275910A (ja) * 2005-03-30 2006-10-12 Canon Inc 位置センシング装置及び位置センシング方法
JP4402026B2 (ja) 2005-08-30 2010-01-20 キヤノン株式会社 センシング装置
JP4773839B2 (ja) * 2006-02-15 2011-09-14 キヤノン株式会社 対象物の情報を検出する検出装置
JP4898472B2 (ja) 2006-04-11 2012-03-14 キヤノン株式会社 検査装置
JP5006642B2 (ja) * 2006-05-31 2012-08-22 キヤノン株式会社 テラヘルツ波発振器
JP5196750B2 (ja) 2006-08-25 2013-05-15 キヤノン株式会社 発振素子
JP4873746B2 (ja) * 2006-12-21 2012-02-08 キヤノン株式会社 発振素子
US7869036B2 (en) * 2007-08-31 2011-01-11 Canon Kabushiki Kaisha Analysis apparatus for analyzing a specimen by obtaining electromagnetic spectrum information
JP5144175B2 (ja) * 2007-08-31 2013-02-13 キヤノン株式会社 電磁波を用いる検査装置及び検査方法
JP5186176B2 (ja) * 2007-10-19 2013-04-17 株式会社ジェーシービー 認証システム及び認証用可搬媒体
JP4807707B2 (ja) * 2007-11-30 2011-11-02 キヤノン株式会社 波形情報取得装置
JP4975001B2 (ja) * 2007-12-28 2012-07-11 キヤノン株式会社 波形情報取得装置及び波形情報取得方法
JP4834718B2 (ja) * 2008-01-29 2011-12-14 キヤノン株式会社 パルスレーザ装置、テラヘルツ発生装置、テラヘルツ計測装置及びテラヘルツトモグラフィー装置
JP5357531B2 (ja) * 2008-02-05 2013-12-04 キヤノン株式会社 情報取得装置及び情報取得方法
JP5178398B2 (ja) * 2008-08-27 2013-04-10 キヤノン株式会社 光伝導素子
JP5665305B2 (ja) * 2008-12-25 2015-02-04 キヤノン株式会社 分析装置
JP5612842B2 (ja) 2009-09-07 2014-10-22 キヤノン株式会社 発振器
JP5654760B2 (ja) 2010-03-02 2015-01-14 キヤノン株式会社 光素子
JP2013167591A (ja) * 2012-02-17 2013-08-29 Murata Mfg Co Ltd 物質センシング方法及び物質センシング装置
DE202013003163U1 (de) * 2013-04-04 2013-05-27 Hübner GmbH Vorrichtung zur Identifizierung von Stoffen in z. B. einer Postsendung
CN103604985B (zh) * 2013-10-25 2016-04-27 西北核技术研究所 一种大功率微波脉冲圆波导探测结构及方法
EP3069120A4 (de) * 2013-11-15 2017-07-26 Picometrix, LLC System zur bestimmung mindestens einer eigenschaft einer probe einer dielektrischen folie mittels terahertzstrahlung
CN105057231B (zh) * 2015-08-21 2017-07-28 爱德森(厦门)电子有限公司 一种在线电磁材质分选的方法
CN106353634A (zh) * 2016-10-17 2017-01-25 深圳市太赫兹科技创新研究院 太赫兹时域反射***
KR102285056B1 (ko) * 2019-10-31 2021-08-04 주식회사 마인즈아이 테라헤르츠파 분광기술 기반 계측시스템
CN115121550A (zh) * 2022-06-27 2022-09-30 江苏大学 一种晶圆清洗装置及其方法
CN115825582B (zh) * 2022-11-01 2023-11-03 深圳技术大学 一种便携式微气象电磁参数测试装置

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3211100B2 (ja) * 1991-11-18 2001-09-25 長野日本無線株式会社 分注装置
US6593753B2 (en) * 1994-07-26 2003-07-15 Phase Dynamics, Inc. System and method for monitoring substances and reactions
US6297489B1 (en) * 1996-05-02 2001-10-02 Hamamatsu Photonics K.K. Electron tube having a photoelectron confining mechanism
US5929644A (en) * 1997-01-30 1999-07-27 Tlc Precision Wafer Technology, Inc. Non-destructive method and apparatus for monitoring a selected semiconductor characteristic of a semiconductor sample during fabrication
US7152007B2 (en) * 2000-02-28 2006-12-19 Tera View Limited Imaging apparatus and method
JP4425420B2 (ja) * 2000-04-03 2010-03-03 独立行政法人理化学研究所 マイクロアレイ作製装置
DE50109504D1 (de) * 2000-07-10 2006-05-24 Bolivar Peter Haring Verfahren zum nachweis von polynucleotidsequenzen
JP4025055B2 (ja) * 2001-11-05 2007-12-19 独立行政法人理化学研究所 固定化装置
US20040066207A1 (en) * 2002-10-05 2004-04-08 Bottoms Wilmer R. Flexible DUT interface assembly
DE10257225B3 (de) 2002-12-07 2004-04-08 Technische Universität Braunschweig Carolo-Wilhelmina Messeinrichtung zur Molekularanalyse chemischer oder biologischer Substanzen
KR100988085B1 (ko) * 2003-06-24 2010-10-18 삼성전자주식회사 고밀도 플라즈마 처리 장치
EP1903328B1 (de) * 2003-06-25 2011-12-21 Canon Kabushiki Kaisha Elektrisches Hochfrequenz-Signalsteuergerät und Sensorsystem
JP3950820B2 (ja) * 2003-06-25 2007-08-01 キヤノン株式会社 高周波電気信号制御装置及びセンシングシステム
JP4533044B2 (ja) 2003-08-27 2010-08-25 キヤノン株式会社 センサ
JP4136858B2 (ja) 2003-09-12 2008-08-20 キヤノン株式会社 位置検出装置、及び情報入力装置
CN1614391A (zh) * 2003-11-03 2005-05-11 中国科学院上海应用物理研究所 中草药真伪及质量鉴别的快速无损分析方法
JP2005157601A (ja) 2003-11-25 2005-06-16 Canon Inc 電磁波による積層状物体計数装置及び計数方法
JP4505629B2 (ja) * 2004-01-19 2010-07-21 国立大学法人静岡大学 界面検出装置及び界面検出方法
JP4217646B2 (ja) 2004-03-26 2009-02-04 キヤノン株式会社 認証方法及び認証装置
JP4546326B2 (ja) 2004-07-30 2010-09-15 キヤノン株式会社 センシング装置
JP4250603B2 (ja) 2005-03-28 2009-04-08 キヤノン株式会社 テラヘルツ波の発生素子、及びその製造方法
JP4390147B2 (ja) 2005-03-28 2009-12-24 キヤノン株式会社 周波数可変発振器
JP2006275910A (ja) 2005-03-30 2006-10-12 Canon Inc 位置センシング装置及び位置センシング方法
JP4402026B2 (ja) 2005-08-30 2010-01-20 キヤノン株式会社 センシング装置
JP4773839B2 (ja) 2006-02-15 2011-09-14 キヤノン株式会社 対象物の情報を検出する検出装置
JP4481946B2 (ja) 2006-03-17 2010-06-16 キヤノン株式会社 検出素子及び画像形成装置
JP5132146B2 (ja) 2006-03-17 2013-01-30 キヤノン株式会社 分析方法、分析装置、及び検体保持部材
JP4898472B2 (ja) 2006-04-11 2012-03-14 キヤノン株式会社 検査装置
JP5196750B2 (ja) 2006-08-25 2013-05-15 キヤノン株式会社 発振素子

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