JP2007284670A - 接着フィルム及びこれを用いた半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)官能基を含む重量平均分子量が10万以上である高分子量成分、(B)トリスエポキシ樹脂を含む熱硬化性樹脂、及び(C)BET比表面積が30m2/g以上の第1のフィラーを含有する樹脂組成物からなる接着剤層を備える接着フィルム。
【選択図】なし
Description
8.(C)BET比表面積が30m2/g以上の第1のフィラーが、SiO2であることを特徴とする項1〜7いずれかに記載の接着フィルム。
その他に使用できるフェノール樹脂としては特に制限はないが、分子中に少なくとも2個のフェノール性水酸基を有するもので、例えば、フェノールノボラック樹脂、クレゾールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック樹脂、ポリ−p−ビニルフェノール、、フェノール・ビフェニレン樹脂、フェノール・ヒドロキシベンズアルデヒド樹脂、トリスフェノール類等が挙げられる。
表1及び2に示す組成で、実施例1〜5及び比較例1〜4の接着フィルムを形成するためのワニス状の樹脂組成物をそれぞれ調製した。なお、表1及び2において、種々の記号は下記の意味である。また、表1及び2において、「部」は質量部を意味する。
VG3101L:三井化学(株)製、トリスエポキシ樹脂(エポキシ当量210)、(2−[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]−2−[4−[1,1−ビス[4−([2,3−エポキシプロポキシ]フェニル)]エチル]フェニル]プロパン)
ESCN−195:日本化薬(株)製、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量200)、
HXL−3L:日立化成工業(株)製、フェノール・キシリレン樹脂(OH当量172)、
NHN:日本化薬(株)製、クレゾール・ナフトール・ホルムアルデヒド重縮合物(OH当量141)、
H−1:明和化成(株)製、フェノールノボラック樹脂(OH当量106)、
2MA−OK:四国化成(株)製、イミダゾール系エポキシ樹脂硬化促進剤、
AEROSIL200:日本アエロジル(株)製、シリカ(BET比表面積:約200m2/g)、
AEROSIL50:日本アエロジル(株)製、シリカ(BET比表面積:約50m2/g)、
SO−C1:(株)アドマテックス製、シリカ(BET比表面積:約17m2/g)、
SO−C2:(株)アドマテックス製、シリカ(BET比表面積:約6m2/g)、
BN−GP:電気化学工業(株)、窒化ホウ素(BET比表面積:約8m2/g)。
実施例1〜5及び比較例1〜4の接着フィルムのピール接着力を以下の手順で測定した。まず、接着フィルムを5mm×5mmの大きさに切断し、基材フィルムを剥離した後、これを5mm×5mm×0.4mmのシリコンチップと42Aリードフレームとの間に挟み、500gの荷重をかけて、150℃で5秒間圧着させ、続いて180℃で60分間後硬化させて試験片を作製した。この試験片を用いて、260℃、20秒加熱した後、チップ引剥し強さ(kgf/chip)を、プッシュプルゲージを改良した図1に示す測定装置を用い、測定速度:0.5mm/secの条件下でピール強度(引き剥がし強度)を測定した。この装置によれば接着テープの面接着強度を測定することができる。その結果を表3及び4に示す。
実施例1〜5及び比較例1〜4の接着フィルムの低温ウェハー裏面ラミネート性を以下の手順で評価した。まず、基材フィルム付き接着フィルムをウェハーサイズより大きめに切り、ウェハー裏面を上向きにして、接着フィルムをウェハー裏面上に載せて0.15MPaで加圧、80℃で加熱した後、基材フィルムを剥離除去し、接着剤層付きウェハーを作製した。次に、接着剤層付きウェハーの接着剤層側の面にダイシングテープを貼り付け、ダイシング装置で5mm×5mmのサイズにフルカットすることにより接着剤層付き半導体素子に分割した。このとき、フルカット後の半導体素子が接着剤層から剥がれなかった場合を合格(表3及び4中、「OK」と示す)、剥がれがあった場合を不合格(表3及び4中、「NG」と示す)とした。
実施例1〜5及び比較例1〜4の接着フィルムの耐リフロー性を以下の手順で評価した。まず、接着フィルムを6.5mm×6.5mmの大きさに切断し、基材フィルムを剥離した後、これを6.5mm×6.5mm×0.28mmのシリコンチップとガラスエポキシ基板(日立化成工業製、E−679)との間に挟み、500gの荷重をかけて80℃(但し、比較例3のみ150℃)で5秒間圧着させた。次に、ワイヤーボンド相当の熱処理を行い、モールド用封止材(日立化成工業製、CEL−9600)にてモールドし、175℃で5時間硬化させてパッケージとした。次に、このパッケージをJEDEC所定の吸湿条件で吸湿させた後、IRリフロー炉にて260℃リフロー(最大温度265℃)を3回通過させ、パッケージの破損や厚みの変化、界面の剥離等がサンプル10個中1個も観察されない条件のうち最も厳しい吸湿条件をもって耐リフロー性のレベルとした。この時のJEDEC所定の吸湿条件とは、温度30℃、湿度60%の恒温恒湿槽にて192時間パッケージを吸湿させた条件を称してレベル3とする。同様に85℃、60%、168時間の条件をレベル2とする。このレベルの数値が小さいほど厳しい吸湿条件であり、より優れた耐リフロー性を有していることを示す。その結果を表3及び4に示す。
12 接着フィルム
13 半導体素子
14 リードフレーム(ダイパッド部)
15 支え
16 熱板
17 支え
20 ピール強度測定装置
Claims (12)
- (A)官能基を含む重量平均分子量が10万以上である高分子量成分、(B)トリスエポキシ樹脂を含む熱硬化性樹脂、及び(C)BET比表面積が30m2/g以上の第1のフィラーを含有する樹脂組成物からなる接着剤層を備えることを特徴とする接着フィルム。
- 前記樹脂組成物が、(D)BET比表面積が30m2/g未満の第2のフィラーを更に含有することを特徴とする請求項1に記載の接着フィルム。
- (A)官能基を含む重量平均分子量が10万以上である高分子量成分が、熱硬化性樹脂と非相溶であることを特徴とする請求項1又は2に記載の接着フィルム。
- (A)官能基を含む重量平均分子量が10万以上である高分子量成分が、グリシジルアクリレート又はグリシジルメタクリレート0.5〜6質量%を含む重量平均分子量が10万以上であるエポキシ基含有アクリル共重合体であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の接着フィルム。
- (B)熱硬化性樹脂に含まれるトリスエポキシ樹脂が、モノマー単位として2−[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]−2−[4−[1,1−ビス[4−([2,3−エポキシプロポキシ]フェニル)]エチル]フェニル]プロパン及び1,3−ビス[4−[1−[4−(2,3−エポキシプロポキシ)フェニル]−1−[4−[1−[4−(2,3−エポキシプロポキシフェニル)−1−メチルエチル]フェニル]エチル]フェノキシ]−2−プロパノールの一方又は両方を含むエポキシ樹脂であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の接着フィルム。
- (B)熱硬化性樹脂が、フェノール・キシリレン樹脂及びナフトール樹脂から選択される1以上の樹脂を含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の接着フィルム。
- (C)BET比表面積が30m2/g以上の第1のフィラーが、SiO2であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の接着フィルム。
- (D)BET比表面積が30m2/g未満の第2のフィラーが、窒化物であることを特徴とする請求項2〜8のいずれか1項に記載の接着フィルム。
- (A)高分子量成分:100重量部に対して、(B)熱硬化性樹脂:1〜200重量部、(C)第1のフィラー:1〜8000重量部を含有することを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の接着フィルム。
- (A)高分子量成分:100重量部に対して、(B)熱硬化性樹脂:1〜200重量部、(C)第1のフィラー:1〜8000重量部、(D)第2のフィラー:1〜8000重量部を含有することを特徴とする請求項2〜9のいずれか1項に記載の接着フィルム。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の接着フィルムを用いて作製した半導体装置。
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