JP2007284306A - 炭化珪素単結晶及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】種結晶(炭化珪素単結晶)1を用いた昇華再結晶法により炭化珪素単結晶を製造する方法において、充填時の比表面積が0.001m2/g以上0.05m2/g以下である炭化珪素粉末を原料2として用いる。得られる炭化珪素単結晶のポリタイプは3C、4H又は6Hである。また、炭化珪素単結晶を加工、研磨して炭化珪素単結晶ウェハを作製する。炭化珪素単結晶ウェハの口径は50mm以上とする。
【選択図】図1
Description
Yu. M. Tairov and V. F. Tsvetkov, Journal of Crystal Growth, vol.52 (1981) pp.146
(1) 種結晶を用いた昇華再結晶法により炭化珪素単結晶を製造する方法において、充填時の比表面積が0.001m2/g以上0.05m2/g以下である炭化珪素を原料粉として用いることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法、
(2) 前記(1)に記載の製造方法で得られる炭化珪素単結晶であって、そのポリタイプが3C、4H又は6Hである炭化珪素単結晶、
(3) 前記(2)に記載の炭化珪素単結晶を加工、研磨してなる炭化珪素単結晶ウェハ、
(4) 前記単結晶ウェハの口径が50mm以上である前記(3)に記載の炭化珪素単結晶ウェハ、
である。
(実施例1、2及び比較例1、2)
原料粉として4種類(原料A、原料B、原料C、原料D)の炭化珪素を準備した。比表面積は、原料Aは0.118m2/g、原料Bは0.008m2/g、原料Cは0.030m2/g、原料Dは0.069m2/gであった。原料粉を使用し、種結晶を用いる通常の昇華再結晶法によって、直径50mm、ポリタイプが4Hである単結晶を作製した。
上記と同様な原料A、原料B、原料C及び原料Dを使用し、[実施例1、2及び比較例1、2]と同様の昇華再結晶法によって、直径77mm、ポリタイプが4Hである単結晶を作製した。使用した種結晶のマイクロパイプ密度は18個/cm2である。黒鉛坩堝に前述の原料粉をそれぞれ充填し、種結晶を所定の位置に装着して、炉内圧力を1.3×103Paに調整し、約2000℃以上の高温状態にして結晶成長を実施した。それぞれの原料で結晶成長を各1回試みて、原料Aから得られた結晶を結晶P、原料Bから得られた結晶を結晶Q、原料Cから得られた結晶を結晶R、原料Dから得られた結晶を結晶Sとした。
2 SiC粉末原料
3 グラファイト坩堝
4 二重石英管(水冷式)
5 断熱材
6 真空排気装置
7 高周波加熱コイル
Claims (4)
- 種結晶を用いた昇華再結晶法により炭化珪素単結晶を製造する方法において、充填時の比表面積が0.001m2/g以上0.05m2/g以下である炭化珪素を原料粉として用いることを特徴とする炭化珪素単結晶の製造方法。
- 請求項1に記載の製造方法で得られる炭化珪素単結晶であって、そのポリタイプが3C、4H又は6Hである炭化珪素単結晶。
- 請求項2に記載の炭化珪素単結晶を加工、研磨してなる炭化珪素単結晶ウェハ。
- 前記単結晶ウェハの口径が50mm以上である請求項3に記載の炭化珪素単結晶ウェハ。
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