JP2010007972A

JP2010007972A - Box-shaped unit device for blowing and supplying clean air

Info

Publication number: JP2010007972A
Application number: JP2008168602A
Authority: JP
Inventors: Keiichi Kamimura; 佳一上村; Atsushi Kamibayashi; 篤上林; Yasushi Nakao; 靖中尾; Ryuichi Ikeuchi; 隆一池内
Original assignee: KAMIMURA KOGYO KK
Current assignee: KAMIMURA KOGYO KK
Priority date: 2008-06-27
Filing date: 2008-06-27
Publication date: 2010-01-14
Anticipated expiration: 2028-06-27
Also published as: MY148832A; SG158003A1; TW201000832A; JP4827893B2; TWI412711B; CN101614425A; CN101614425B; KR101215749B1; KR20100002053A

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a box-shaped unit device for blowing and supplying clean air, efficiently forming a number of box-shaped units by forming a clean air blower as a module of a common shape, and simply assembling the same in outer casings of variable sizes. <P>SOLUTION: In this box-shaped unit device for blowing and supplying clean air, a number of box-shaped units of variable sizes for blowing clean air are provided on the back whole surface of a ceiling board, and clean air is blown and supplied to the interior of a clean room under the ceiling board. Modules of clean air blowers of a common shape are formed to be fitted in outer casings of various sizes constituting the box-shaped unit, and the modules are fitted in the outer casings of various sizes by fitting members to form box-shaped units of various sizes. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は精密機器などを据付けするクリーンルーム内に天井面からクリーンエアーを吹出し供給する箱形ユニット装置に関するものである。 The present invention relates to a box-type unit device that blows and supplies clean air from a ceiling surface into a clean room in which precision equipment is installed.

従来クリーンルーム内に天井面からクリーンエアーを吹出し供給する箱形ユニットは、クリーンルーム内に据付けする半導体製造装置などの機器の大小と配列および天井裏の構造に対応して大小各種の箱形ユニットを天井裏の全面に配備して、クリーンエアーをルーム内に吹出し供給するようにしている。各箱形ユニットの代表的な外形寸法は６１０ｍｍ×１２２０ｍｍ，７５０ｍｍ×１５００ｍｍ，９００ｍｍ×１５００ｍｍ、７５０ｍｍ×１８００ｍｍ，１２００ｍｍ×１２００ｍｍの縦横比であって重量のあるものとなっている。
なし Conventional box-type units that supply clean air from the ceiling surface into the clean room have a variety of large and small box-type ceiling units that correspond to the size and arrangement of equipment such as semiconductor manufacturing equipment installed in the clean room and the structure of the ceiling. It is installed on the entire back surface so that clean air is blown into the room. The typical external dimensions of each box-shaped unit are 610 mm × 1220 mm, 750 mm × 1500 mm, 900 mm × 1500 mm, 750 mm × 1800 mm, 1200 mm × 1200 mm, and have a heavy weight.
None

しかしながら、クリーンエアーを吹出し供給する多数の箱形ユニットは、ルーム内に据付けする大小の生産機器または半製品一時保管場所の直上に配列することが多いが、天井裏の箱形ユニットの支え枠構造に合わせて配備する必要もあるために、ユニットを構成する外箱は上記の代表的な大小大きさのほか、それぞれの大きさから数ミリ乃至数センチ大小する外箱も作製せねばならず、しかも各外箱の大きさに応じて吹出し出力を大小したエアー吹出し機器を個別に取付けることで著しく手間がかかり、従って多数の箱形ユニットを形成するのに多くの時日を要し、しかも作り置きすることもできないために、天井裏に配備する納期に遅れるということがしばしば生じているという課題があった。 However, many box-type units that blow out and supply clean air are often arranged directly above large and small production equipment or semi-finished product temporary storage places installed in the room. In addition to the above-mentioned representative large and small sizes, the outer box that constitutes the unit must also be made an outer box that is several millimeters to several centimeters in size from each size, Moreover, it takes a lot of time and effort to individually install air blowing devices with large and small blowing output according to the size of each outer box, so it takes a lot of time to form a large number of box units. Since it cannot be placed, there was a problem that it often occurred that the delivery time to be deployed behind the ceiling was delayed.

また大小する多数の外箱の内部には大きさによって出力容量が大小する交流モータ，制御器，大きさの異なるファンを取付けるので、取付け部材も多岐となることもあって取付け作業員の負担も大きいという課題があった。 In addition, AC motors, controllers, and fans with different sizes are installed inside a large number of large and small outer boxes, so the mounting members can be varied and the burden on the installation workers can be reduced. There was a problem of being big.

また大小各種の箱形ユニットの出荷前の性能試験もこれに見合った大型の試験装置を要すこととなるために取扱いに難儀するという課題があった。 In addition, performance tests before shipment of large and small box-shaped units require a large-sized test apparatus corresponding to this, and there is a problem that handling is difficult.

本発明は、天井裏の全面にクリーンエアーを吹出しする大小多数の箱形ユニットを配備して該天井下のクリーンルーム内にクリーンエアーを吹出し供給する装置において、該箱形ユニットを構成する大小各種の外箱内に取付け可能とするクリーンエアー吹出し機器の共用形モジュウルを形成し、該モジュウルを大小各種の外箱内に取付部材にて取付けて大小各種の箱形ユニットを形成するようにして、かかる課題を解決するようにしたのである。 The present invention provides a large and small box-shaped unit that blows clean air over the entire surface of the ceiling and blows and supplies clean air into a clean room under the ceiling. Form a shared module for clean air blowing equipment that can be installed in the outer box, and attach the module with mounting members in various types of outer boxes to form large and small box units. The problem was solved.

本発明は、クリーンエアー吹出し機器を吹出し効率を減ずることなしに大小すべての外箱内に取付けることができる共用形のモジュウルを形成したので、大小する各種の外箱内に吹出し機器を簡単且つ素早く取付けすることができて、納期に遅れるということが解消するという効果を生ずる。 The present invention forms a common module that can be installed in a large and small outer box without reducing the blowing efficiency of the clean air blowing device, so that the blowing device can be easily and quickly placed in various large and small outer boxes. It can be attached, and the effect of eliminating the delay in delivery is produced.

モジュウルは共用形としたことで、作業員の労力負担も少なくなり、外箱内に能率よく取付けすることになるという効果を生ずる。 Since the module is shared, the labor burden on the worker is reduced, and the module is efficiently installed in the outer box.

クリーンエアーの吹出し供給用の箱形ユニットは内部取付け前のモジュウル状態にて出荷前の性能試験をすることができるので、試験設備を小型にして取扱いやすいものにすることができるという効果を生ずる。また大小する多数の箱形ユニットをモジュウル単位にて保管することができるという効果を生ずる。 Since the box-type unit for supplying clean air can be subjected to performance tests before shipment in a modular state before being mounted internally, the test equipment can be made small and easy to handle. In addition, there is an effect that a large number of box units can be stored in a modular unit.

クリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニットは内部の吹出し機器を共用形のモジュウルとしたので、外箱とともにロスのない在庫生産を可能にして、コストを大幅に低減することができるという効果を生ずる。 The box unit for supplying clean air has an effect that the internal blow-out device is a common type module, so that it can be produced in stock together with the outer box without loss, and the cost can be greatly reduced.

モジュウル内のモータを回転可変機能付の制御機器を備えた直流モータにすることによって共用形にかかわらずクリーンエアーの吹出し効率を減ずることが生じないという効果を生ずる。 By making the motor in the module a direct current motor equipped with a control device with a variable rotation function, the effect of reducing the blowing efficiency of clean air does not occur regardless of the common type.

本発明は、天井裏の全面にクリーンエアーを吹出しする大小多数の箱形ユニットを配備して該天井下のクリーンルーム内にクリーンエアーを吹出し供給する装置において、該箱形ユニットを構成する大小各種の外箱内に取付け可能とするクリーンエアー吹出し機器の共用形モジュウルを形成し、該モジュウルを大小各種の外箱内に取付部材にて取付けて大小各種の箱形ユニットを形成して、天井裏配備の大小のクリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニットとするようにしたのである。 The present invention provides a large and small box-shaped unit that blows clean air over the entire surface of the ceiling and blows and supplies clean air into a clean room under the ceiling. Forms a common module for clean air blowout equipment that can be installed in the outer box, and mounts the module in various types of outer boxes with mounting members to form a box unit of various sizes. This is a box unit for supplying large and small clean air.

大小各種の外箱１ａ内に取付けするエアー吹出し機器は内部取付けがしやすい側面視凸形形状にした共用形のモジュウル２にて形成する。３はモジュウル内の回転可変機能付の制御機器を備えた直流モータ、４は該モータ３の回転軸に取付けた水平回転ファン、５はモータの制御器である。 The air blowing device to be mounted in various types of large and small outer boxes 1a is formed by a shared module 2 having a convex shape in side view that is easy to mount internally. 3 is a DC motor provided with a control device with a variable rotation function in the module, 4 is a horizontal rotating fan attached to the rotating shaft of the motor 3, and 5 is a motor controller.

内部に回転可変機能付の制御機器を備えた直流モータ３などを組立て入れしてなるモジュウル２は、外箱１内に取付けする前のモジュウル２の状態にて出荷前の動作確認，風力値の検査等の性能試験を小型の試験機にて受けさせることができて、合格したモジュウル２を省スペース保管することができる。 The module 2, which is assembled with a DC motor 3 equipped with a control device with a variable rotation function inside, confirms the operation before shipping in the state of the module 2 before being installed in the outer box 1, A performance test such as an inspection can be performed with a small testing machine, and the passed module 2 can be stored in a space-saving manner.

このようにして共用形のモジュウル２は取付けやすい凸形且つ小型によって大小すべての外箱１ａ内に大小した単一の取付金具６をもってカシメ止めなどの簡易作業により簡単且つ能率良く取付けて大小各種のクリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニット１とすることができる。７は箱形ユニット１の吹出し口１ｂに交換自在において取付けるエアーフィルターである。完成した箱形ユニット１はモジュウル２の段階で性能試験を済ませているのでそのまま梱包して迅速に出荷することができて箱形ユニット１を保管するスペースを要しないこととなる。 In this way, the common module 2 can be easily and efficiently mounted by a simple operation such as caulking with a single mounting bracket 6 that is large and small in a large and small outer box 1a due to its convex shape and small size. A box-type unit 1 for supplying clean air can be obtained. An air filter 7 is attached to the outlet 1b of the box-type unit 1 in a replaceable manner. Since the completed box unit 1 has been subjected to a performance test at the stage of the module 2, it can be packaged as it is and shipped quickly, and a space for storing the box unit 1 is not required.

モジュウル２内のモータを回転可変機能付の制御機器を備えた直流モータ３とすることで水平回転ファン４を高効率にて作動することになって共用のモジュウル２を取付けた大型の外箱ユニット１もクリーンエアー吹出し効率を減ずることが全く生じないものとなる。直流モータ３の特徴である低負荷時に効率が上昇する特性を利用してそのまま小容量のモジュウル２としても使用することができることとなる。 A large outer box unit in which the horizontal rotating fan 4 is operated with high efficiency by using the DC motor 3 having a control device with a variable rotation function as the motor in the module 2, and the shared module 2 is mounted. No. 1 does not cause any reduction in clean air blowing efficiency. Utilizing the characteristic that the efficiency increases at the time of low load, which is a feature of the DC motor 3, it can be used as it is as a small capacity module 2.

クリーンルーム８に搬送された多数の大小した箱形ユニット１は天井９裏の形状に合わせて大小を組合わせて全面に配備することとなる。クリーンルーム８内には配備した全ユニット１からクリーンエアーが吹出し供給されることとなる。 A large number of large and small box-shaped units 1 conveyed to the clean room 8 are arranged on the entire surface by combining large and small according to the shape of the back of the ceiling 9. Clean air is blown out and supplied from all the deployed units 1 into the clean room 8.

本発明は、クリーンルーム内にクリーンエアーを吹出し供給するための大小する箱形ユニットの製造に広く利用することができるものである。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be widely used for manufacturing large and small box-shaped units for blowing and supplying clean air into a clean room.

モジュウルの１実施例を示す斜視図、および同、モジュウルと大小する外箱の例を示す断面図The perspective view which shows one Example of a module, and sectional drawing which shows the example of the outer box which is large and small with the module モジュウルを外箱内に取付けした箱形ユニットを示す断面図Sectional view showing a box-type unit with a module mounted in the outer box （ａ）は箱形ユニットをクリーンルームの天井裏に並べて配備した１例を示す平面図、（ｂ）は同、クリーンルームの断面図(A) is a plan view showing an example in which box-shaped units are arranged side by side on the ceiling of a clean room, and (b) is a cross-sectional view of the clean room.

符号の説明Explanation of symbols

１は箱形ユニット
１ａは外箱
１ｂは吹出し口
２はモジュウル
３は回転可変機能付の制御機器を備えた直流モータ
４は水平回転ファン
５は制御器
６は取付金具
７はエアーフィルター
８はクリーンルーム
９は天井
１０は通気床
１１は循環通風路
１２は機器 1 is a box unit 1a is an outer box 1b is a blowout port 2 is a module 3 3 is a DC motor equipped with a control device with a variable rotation function 4 is a horizontal rotating fan 5 is a controller 6 is a mounting bracket 7 is an air filter 8 is a clean room 9 is ceiling 10 is ventilated floor 11 is circulation ventilation path 12 is equipment

Claims

天井裏の全面にクリーンエアーを吹出しする大小多数の箱形ユニットを配備して該天井下のクリーンルーム内にクリーンエアーを吹出し供給する装置において、該箱形ユニットを構成する大小各種の外箱内に取付け可能とするクリーンエアー吹出し機器の共用形モジュウルを形成し、該モジュウルを大小各種の外箱内に取付部材にて取付けて大小各種の箱形ユニットを形成するようにしたことを特徴とするクリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニット装置。 A large and small box-shaped unit that blows clean air over the entire surface of the ceiling and supplies clean air into the clean room under the ceiling. A clean module that can be attached to a clean air blowout device, and a module that is attached to a large or small outer box with a mounting member to form a large or small box unit. Box-type unit device for air supply.

モジュウル内のクリーンエアー吹出し機器のモータはモジュウル単体にて性能試験が可能でクリーンエアーの吹出し効力の高い回転可変機能付の制御機器を備えた直流モータである請求項１に記載のクリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニット装置。 2. The clean air blow-out supply according to claim 1, wherein the motor of the clean air blow-out device in the module is a direct current motor equipped with a control device with a variable rotation function capable of performing a performance test with a single module and having a high clean-air blowing effect. Box-type unit device.

モジュウルは外箱内に取付けやすい側面視凸形にて形成する請求項１または２に記載のクリーンエアー吹出し供給用の箱形ユニット装置。 3. A box-type unit device for supplying clean air according to claim 1, wherein the module is formed in a convex shape in side view that is easy to mount in the outer box.