JP2007271909A - 光偏向子及びこれを用いた表示装置 - Google Patents

Abstract

【課題】光強度の強いレーザ光が用いられた場合でも共振周波数の変動が低減
され、レーザ光によりスクリーン上に投影される画像の偏向角度の変化を低減
した光偏向子及びこれを用いた表示装置を提供する。
【解決手段】凹部２３Ａを有する固定部２３と、凹部２３Ａ内に配置された反射ミラー部１２と、反射ミラー部１２の重心Ｇを通る軸に対しこの軸の近傍の軸対称位置の両端と固定部２３の凹部２３Ａを挟んだ両辺を連結する一対の捩じりバネ部２４Ａ，２４Ｂと、凹部２３Ａの底部及び反射ミラー部１２に設けられた放熱手段２０，２１と、反射ミラー部１２を一対の捩じりバネ部２４Ａ，２４Ｂを中心として駆動させる駆動部４と、を備えている。
【選択図】 図１

Description

本発明は、レーザビーム等の光を所定方向に反射させる光偏向子及びこれを用いた表示装置に関するものである。

電子写真式複写機、レーザビームプリンタ、バーコードリーダ等の光学機器の走査装置、光ディスクのトラッキング制御装置の光偏向装置やレーザ光をスキャニングして映像を投影する表示装置などには光偏向子が使用されている。

このような光偏向子は、特許文献１に記載されている。
この特許文献１に記載されている光偏向子について、図１１を用いて説明する。
図１１に示すように、光偏向子４１は、固定部２と、この固定部２上に固定される振動体３と、振動体３の反射ミラー部１２を駆動する駆動部４とから構成されている。
固定部２は、ベース６と、このベース６の両端部に一体化して形成された一対の支持部７，８とからなり、コ字形状を有している。一対の支持部７，８の間のベース６の中央部には、凹部６Ａが形成されている。

振動体３は、互いに対向するコ字状の一対の振動子９，１０と、この一対の振動子９，１０のコ字状側が対向することにより形成される空間領域１１内に捩じりバネ部１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂを介して一対の振動子９，１０に連続的に形成された反射ミラー部１２とからなる。この振動体３の材料としては、シリコンが用いられている。各振動子９，１０は、振動固定部９Ａ，１０Ａと、この振動固定部９Ａ，１０Ａの両端部に形成された各２本ずつのアーム部９Ｂ，９Ｃ，１０Ｂ，１０Ｃを有している。
即ち、一対の振動子９，１０、捩じりバネ部１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂ及び光反射ミラー部１２は、全体として一体化されている。
そして、反射ミラー部１２の表面には、光反射膜１２Ａが形成されている。

駆動部４は、ベース６の凹部６Ａに隣接する凸部６Ｂ上に一対の支持部７，８を結ぶ方向に沿い、かつ各アーム部９Ｂ，９Ｃ，１０Ｂ，１０Ｃの先端部に対応させて形成された固定電極１５，１５，１６，１６と、固定電極１５，１５と振動体３或いは固定電極１６，１６と振動体３に接続された電圧を供給する電源１７と、固定電極１５，１５と、固定電極１６，１６とを選択的に切り換えるスイッチＳＷとからなる。

この光偏向子４１は、一方の固定電極１５，１５に電圧を印加して一方の振動子９のアーム部９Ｂ，９Ｃを静電力によって吸引して下方に移動させて、これに連動した捩じりバネ部１３Ａ，１３Ｂを介して反射ミラー部１２の重心Ｇを通る軸Ｌを中心として反射ミラー部１２を反時計方向に回転させ、また他方の固定電極１６，１６に電圧を印加した場合には、同様にして反射ミラー部１２を時計方向に回転させて、反射ミラー部１２を振動させるようにしている。

また、画像変調されたレーザ光を上記した光偏向子４１の反射ミラー部１２に照射して反射させ、反射ミラー部１２の回転角度に対応した操作をスクリーン上で行うことによって画像表示を行うようにした表示装置についても記載されている。
特開２０００−２１４４０７号公報

ところで、ビーム走査型リアプロジェクションに光偏向子４１を用いた場合のように、光強度の強いレーザ光が反射ミラー部１２に照射すると、反射ミラー部１２でこのレーザ光の一部が吸収され熱に変換されて、反射ミラー部１２の温度が上昇する。
そして、この反射ミラー部１２の温度上昇は、捩じりバネ部１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂへ伝導して、この捩じりバネ部１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂのバネ定数を変化させるので、光偏向子の共振周波数を変化させてしまう。

ここで、この光偏向子４１の材料にシリコンを用いた場合の共振周波数、シリコンのヤング率及び共振特性について調べたところ図１２乃至図１４に示すような結果になった。
図１２は、シリコンの共振周波数の温度依存性を示す図である。図１３は、シリコンのヤング率の温度依存性を示す図である。図１４は、光偏向子の共振特性を示す図である。
図１２に示すシリコンの共振周波数の温度依存性の横軸は温度（℃）、縦軸は共振周波数（Ｈｚ）であり、図１３に示すシリコンのヤング率の温度依存性の横軸は温度（℃）、縦軸はシリコンのヤング率（ＭＰａ）であり、図１４に示す光偏向子の共振特性の横軸は周波数（Ｈｚ）、縦軸は光偏向子にレーザ光を照射した時の反射光の偏向角度（ｄｅｇ）である。

図１２に示すように、光偏向子４１の共振周波数は、温度が高くなると、直線的に減少する傾向があり、共振周波数は、温度が３０℃の時では、２１１４０Ｈｚであったものが、温度が８０℃の時では、２１０９０Ｈｚまでに減少する。このように、温度変化が５０℃の場合には、５０Ｈｚの共振周波数の変化を生じる。
また、図１３に示すように、シリコンのヤング率は、温度が高くなると、直線的に減少する傾向があり、シリコンのヤング率は、温度が３０℃では、１６５．６ＭＰａであったものが、温度が８０℃では、１６４．７ＭＰａまで減少し、この温度間では、−０．１％／℃の割合で減少する。

更に、図１４に示すように、偏向角度は共振周波数となる３１６７５Ｈｚにピークを有し、それ以外では急峻に減少する。このときのＱ値は２０００以上である。
上記したように、光偏向子４１に５０℃の温度上昇がある場合には、５０Ｈｚの周波数変動を生じるので、光偏向子４１が発熱を生じて８０℃の温度になった場合には、３０℃の温度のときのＱ値が得られる共振周波数で動作している光偏向子の偏向角度は、大幅に変化してしまうことになる。
光偏向子４１の反射ミラー部１２は、ミクロンオーダーの大きさであり、アーム部９Ｂ，９Ｃ，１０Ｂ，１０Ｃと捩じりバネ部１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂを介して接続されているため、反射ミラー部１２で吸収されたレーザ光の発熱が逃げにくい構造である。
このため、反射ミラー部１２で反射されるレーザ光の偏向角度が変化してしまうので、スクリーン上に所定の位置に画像を投影することができなくなってしまう。

そこで、本発明は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、光強度の強いレーザ光が用いられた場合でも共振周波数の変動が低減され、レーザ光によりスクリーン上に投影される画像の偏向角度の変化を低減した光偏向子及びこれを用いた表示装置を提供することを目的とする。

本願に係る第１の発明は、凹部を有する固定部と、前記凹部内に配置された反射ミラー部と、前記反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の軸対称位置の両端と前記固定部の凹部を挟んだ両辺を連結する一対の捩じりバネ部と、前記凹部の底部及び前記反射ミラー部に設けられた放熱手段と、前記反射ミラー部を前記一対の捩じりバネ部を中心として駆動させる駆動手段と、を備えたことを特徴とする光偏向子を提供する。
第２の発明は、間隔を置いて設けられた一対の支持部の一方に外側端部が固定され、内側端部が自由端である２本のアーム部を有する一方の振動子と、前記一対の支持部の他方に外側端部が固定され、内側端部が自由端である２本のアーム部を有する他方の振動子と、この一対の振動子の前記各２本のアーム部の間に配置された反射ミラー部と、この反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の一方の軸対称位置の両端と前記一方の振動子の前記各アーム部の内側端部とをそれぞれ連結する一方の捩じりバネ部と、前記反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の他方の軸対称位置の両端と前記他方の振動子の前記各アーム部の内側端部とをそれぞれ連結する他方の捩じりバネ部と、前記反射ミラー部の一方の面に接するか、或いは前記反射ミラー部の一方の面に接し、かつ前記一対及び他方の振動子並びに前記一対及び他方の捩じりバネ部にも接する放熱手段と、前記一対の振動子の少なくとも一方に対し別個独立に駆動力を作用し、前記各アーム部の内側端部を上下方向に別個独立に移動できる駆動手段と、を備えたことを特徴とする光偏向子を提供する。
第３の発明は、前記第１乃第２の発明に記載のいずれかの光偏向子において、前記放熱手段の温度調節を行う温度調整手段に接していることを特徴とする光偏向子を提供する。
第４の発明は、前記第１乃至第３の発明に記載のいずれかの光偏向子において、前記放熱手段は、熱放射特性の高い固体伝熱体又は固体熱放射体であり、前記固体伝熱体は、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ａｌ，ＡｌＮ，ＳｉＣ，ＤＬＣ，ダイヤモンド，カーボングラファイトのうちのいずれかの薄膜又は複合素材であり、前記固体放射体はＡｌ_２Ｏ_３薄膜又はＡｌ_２Ｏ_３を含む複合素材であることを特徴とする光偏向子を提供する。
第５の発明は、前記第１乃至第４の発明に記載のいずれかの光偏向素子にレーザ光を照射して、前記光偏向素子の反射ミラー部で反射されたレーザ光をスクリーンに投影する表示装置において、前記レーザ光を出射するレーザ光源と、前記光偏向素子の反射ミラー部で反射されたレーザ光を前記スクリーン上で２次元的に走査する走査手段と、を備えたことを特徴とする表示装置を提供する。

本願発明によれば、凹部の底部及び前記反射ミラー部に設けられた放熱手段を有するので、光強度の強いレーザ光が用いられた場合でも共振周波数の変動が低減される。
また、表示装置は、放熱手段を備えた光偏向子を有する構成であるので、レーザ光によりスクリーン上に投影される画像の偏向角度の変化を低減でき、所定位置に画像を形成できる。

以下に本発明の実施の形態に係る光偏向子及びこれを用いた表示装置について図１乃至図１０を用いて説明する。
図１は、本発明の実施例１の光偏向子を示す斜視図である。
図２は、実施例１の光偏向子における固定部、固体伝熱体及び振動体を一体化した様子を示す斜視図である。図３は、振動体の平面図である。図４は、光偏向子の側面図である。
図５は、本発明の実施例２の光偏向子を示す斜視図である。
図６は、本発明の実施例３の光偏向子を示す斜視図である。
図７は、本発明の実施例４の光偏向子を示す斜視図である。
図８は、本発明の実施例５の光偏向子を示す斜視図である。
図９は、本発明の実施例１〜４の光偏向子を用いた表示装置を示す概略図である。
図１０は、本発明の実施例１〜４の光偏向子を用いた他の表示装置を示す概略図である。

本発明の実施の形態は、少なくとも、従来の光偏向子における反射ミラー部に熱伝導率の良好な固体伝熱体を接触するようにしたものであり、それ以外は同様である。以下に、各実施例について説明する。従来例と同一構成には同一符号を付す。

図１及び図２において、光偏向子１は、固定部２と、この固定部２に載置される振動体３、駆動部４と、高い伝導率を有する固体伝熱体５とから構成されている。
固定部２は、ベース６と、このベース６の両端部に一体化して形成された一対の支持部７，８とからなり、コ字形状を有している。一対の支持部７，８の間のベース６の中央部には、凹部６Ａが形成されている。

振動体３は、コ字状の一対の振動子９，１０と、一対の振動子９，１０のコ字状側が対向する空間領域１１内に一対の振動子９，１０と一体的に形成されて振動する反射ミラー部１２とからなる。
一対の振動子９，１０は、振動固定部９Ａ，１０Ａの両端部に形成された各２本ずつのアーム部９Ｂ，９Ｃ，１０Ｂ，１０Ｃと、各アーム部９Ｂ，９Ｃ，１０Ｂ，１０Ｃの先端に反射ミラー部１２と連結する捩じりバネ部１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂとを有している。この光偏向子１を共振モードで動作させる時は、捩じりバネ部１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂと反射ミラー部１２で構成される振動系の共振モードの中で軸Ｌを中心とした回転を生ずるモード（第１次回転モード）を用いる。

図３に示すように、反射ミラー部１２の表面には光反射膜１２Ａが形成され、反射ミラー部１２はその最も低次な共振周波数が上記した第１次回転モードより高くなるように設定されている。反射ミラー部１２の共振周波数は、反射ミラー部１２の目的とする振動周波数にほぼ一致するように設定するのが好ましい。
光反射膜１２Ａの材料としてはＡｌ，Ａｕ等を用いることができる。

駆動部４は、一対の支持部７，８と結ぶ方向に沿い、かつ各アーム部９Ｂ，９Ｃ，１０Ｂ，１０Ｃの先端部に対応させてベース６の凸部６Ｂ上に形成された固定電極１５，１５，１６，１６と、各固定電極１５，１５，１６，１６及び振動体３に接続された電圧を供給する電源１７と、各固定電極１５，１５，１６，１６を選択的に切り換えて、この切り換えられたいずれかの固定電極１５，１５，１６，１６と振動体３との間に電源１７からの電圧を供給するスイッチＳＷとからなる。
尚、振動子９，１０の各アーム部９Ｂ，９Ｃ，１０Ｂ，１０Ｃへの電圧印加は、前述した様に振動子９，１０同士が捩じり部１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂ及び反射ミラー部１２を介して接続されているため、いずれか一方の振動子をコモン電極として印加すれば良い。

固体伝熱体５は、振動体３及び一対の支持部７，８を覆って、一対の振動子９，１０、反射ミラー部１２並びに一対の捩じりバネ部１３Ａ，１３Ｂ、一対の捩じりバネ部１４Ａ，１４Ｂに接するように形成されている。固体伝熱体５を設けるのは、反射ミラー部１２にレーザ光を照射して、スクリーン上に画像を撮影する場合に、反射ミラー部１２で吸収されるレーザ光による熱が固体伝熱体５により放熱されるので、反射ミラー部１２での温度上昇を低減できるようにするためである。
固体伝熱体５は、熱伝導率の高い材料からなり、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ａｌ，ＡｌＮ，ＳｉＣ，ＤＬＣ，Ａｌ_２Ｏ_３，ダイヤモンド，カーボングラファイト又はそれらの混合物が用いられる。固体伝熱体５に代えて、放熱体でも良く、この放熱体の材料としては、熱伝達率が高い材料が用いられる。

次に、その動作について説明する。
図４（Ａ）に示すように、固定電極１５，１５に電圧が印加された時には振動子９のアーム部９Ｂ，９Ｃの先端部が静電力によって吸引されて下方に移動する。すると、アーム部９Ｂ，９Ｃの下方移動が捩じりバネ部１３Ａ，１３Ｂを介して反射ミラー部１２に伝達され、これが回転トルクとなって反射ミラー部１２が重心Ｇを通る軸Ｌを中心として反時計方向に回転する。

また、図４（Ｂ）に示すように、固定電極１６，１６に電圧が印加された時には、振動子９のアーム部９Ｂ，９Ｃの吸引力が解除されて一方のアーム部９Ｂ，９Ｃが上方に戻ると共に、振動子１０のアーム部１０Ｂ，１０Ｃの先端部が静電力によって吸引されて下方に移動する。すると、アーム部１０Ｂ，１０Ｃの下方移動が捩じりバネ部１４Ａ，１４Ｂを介して反射ミラー部１２に伝達され、これが回転トルクとなって反射ミラー部１２が重心Ｇを通る軸Ｌを中心として時計方向に回転する。

そして、駆動部４によって一対の固定電極１５，１５と一対の固定電極１６，１６に交互に電圧を印加して、反射ミラー部１２の回転を繰り返し、これによって反射ミラー部１２に振動させるものである。

以上のように、固体伝熱体５が振動体３及び一対の支持部７，８を覆って、一対の振動子９，１０、反射ミラー部１２並びに一対の捩じりバネ部１３Ａ，１３Ｂ、一対の捩じりバネ部１４Ａ，１４Ｂに接するように形成されているので、反射ミラー部１２にレーザ光を照射してスクリーン上に画像を投影する場合に反射ミラー部１２で発生する熱が固体伝熱体５を伝導して外部に放出でき、反射ミラー部１２の温度上昇を低減できる。
この結果、光偏向子１の共振周波数の変動を低減することができるため、画像の偏向角度の変化を低減することができる。

図５に示すように、実施例２の光偏向子１８は、実施例１に示す固体伝熱体５を固定部２と振動体３との間に挿入して、反射ミラー部１２の裏面（反射ミラー部１２の固定部２に対向する面）に接し、かつ一対の振動子７，８、一対の捩じりバネ部１３Ａ，１３Ｂ、一対の捩じりバネ部１４Ａ，１４Ｂに接するようにしたものであり、それ以外は同様である。
実施例２についても、実施例１と同様な効果が得られる。

図６に示すように、実施例３の光偏向子１９は、実施例１の固体伝熱体５の代わりに、ベース６の凹部６Ａに対向する裏面側の反射ミラー部１２の面及び凹部６Ａに固体伝熱体２０，２１をそれぞれ形成したものであり、それ以外は同様である。
実施例３についても、実施例１と同様な効果が得られる。
なお、反射ミラー部１２の表面に固体伝熱体２０を設けても良い。

図７に示すように、実施例５の光偏向子２２は、凹部２３Ａを有する固定部２３と、凹部２３Ａ内に配置された反射ミラー部１２と、この反射ミラー部１２の重心Ｇを通る軸Ｌに対しこの軸Ｌの近傍の軸対称位置の両端と固定部２３の凹部２３Ａを挟んだ両辺を連結する一対の捩じりバネ部２４Ａ、２４Ｂと、反射ミラー部１２の裏面（反射ミラー部１２の固定部２に対向する面）及び凹部２３Ａの底部に形成されたそれぞれ固体伝熱体２０，２１と、前記反射ミラー部１２を一対の捩じりバネ部２４Ａ，２４Ｂを中心として駆動させる駆動部４と、を備えている。

駆動部４は、固定部２３の凹部２３Ａの底部に配置された一対の固定電極１５，１６と、一対の固定電極１５，１６及び固定部２３に接続され、一対の固定電極１５，１６及び固定部２３を介して反射ミラー部１２に電圧を供給する電源１７と、各固定電極１５，１６を選択的に切り換えて、この切り換えられたいずれかの固定電極１５，１６と一対の捩じりバネ部２４Ａ，２４Ｂとの間に電源１７からの電圧を供給するスイッチＳＷとからなる。

この光偏向子２２は、一方の固定電極１５，１５に電圧を印加して反射ミラー部１２を静電力によって吸引して下方に移動させて、これに連動した捩じりバネ部２４Ａ，２４Ｂを介して反射ミラー部１２の重心Ｇを通る軸Ｌを中心として反射ミラー部１２を反時計方向に回転させ、また他方の固定電極１６，１６に電圧を印加した場合には、同様にして反射ミラー部１２を時計方向に回転させて、反射ミラー部１２を振動させるようにしている。

実施例４についても、実施例１と同様な効果が得られる。
なお、固体伝熱体２０は、反射ミラー部１２の表面に形成しても良い。

図８に示すように、実施例５の光偏向子２５は、実施例１〜４に示す光偏向子１，１８，１９，２２のいずれかを温度調節台２６上に載置したものである。図
を載置した様子を示している。
この温度調節台２６としては、Ｃｕ製プレートとヒータ、ペルチェ素子、温度センサ等を組み合わせたもの、ヒータ内蔵のヒートシンク構造、このヒートシンクに組み込まれた冷却ファン及び温度センサが一体となったものが用いられる。

以上のように、実施例１〜４に示す光偏向子が温度調節台２６上に載置されているので、温度調節が可能となり、各光偏向子の共振周波数が安定し、偏向角度を一定にすることができる。

次に、実施例１〜５の光偏向子を用いた表示装置２７，３２について説明する。
図９に示すように、表示装置２７は、レーザ光を出射するレーザ光源２８と、外部から供給される水平周波数に同期して反射ミラー部を水平方向に振動させて、レーザ光源２８から出射されたレーザ光を水平走査する水平走査用光偏向子２９と、外部から供給される垂直周波数に同期して反射ミラー部が垂直方向に振動させて、水平走査用光偏向子２９で水平走査されたレーザ光を垂直走査して、スクリーン３１に２次元画像を投影する垂直走査用光偏向子３０とから構成される。

水平走査用偏向子２９及び垂直走査用偏向子３０には、上記した実施例１〜５の光偏向子１，１８，１９，２２，２５のいずれかが用いられており、これらの水平走査用偏向子２９及び垂直走査用偏向子３０は、数十ｋＨｚの走査周波数に同期させて振動させることができる。
水平走査用偏向子２９及び垂直走査用偏向子３０の偏向角度の変化が低減できるので、スクリーン３１上の所定位置にレーザ光による２次元画像を投影することができる。

図１０に示すように、表示装置３２は、レーザ光を出射するレーザ光源２８と、外部から供給される水平周波数に同期して反射ミラー部１２を水平方向に振動させて、レーザ光源２８から出射されたレーザ光を水平走査する水平走査用光偏向子２９と、外部から供給される垂直周波数に同期して反射ミラー部１２を垂直方向に振動させ、水平走査用光偏向子２９で水平走査されたレーザ光を垂直走査して、スクリーン３１に投影する垂直走査用光偏向子３０と、垂直走査用光偏向子３０で垂直走査されたレーザ光を集光する集光レンズ３３とから構成される。

更に、表示装置３２は、集光レンズ３３で集光されたレーザ光による光情報を書き込む一方、集光レンズ３３側と反対側から照射される読み出し光により光情報が読み出される光アドレス型空間光変調素子３４を備えている。
光アドレス型空間光変調素子３４の読み出し側には、ランプ３５と、ランプ３５から出射された光をカットする赤外線カットフィルタ３６と、赤外線カットフィルタでカットされた光を集光するレンズ３７と、レンズ３７で集光された光のうち所定の波長を通過させる波長フィルタ３８とが順次配置されている。

更に、表示装置３２は、波長フィルタ３８を通過した光を反射させて、光アドレス型空間光変調素子３４に上記した読み出し光として入射させ、光アドレス型空間光変調素子３４から読み出された光情報を通過させるポラリゼーション・ビームスプリッタ３９と、このポラリゼーション・ビームスプリッタ３９から出射した光情報をスクリーン３１に投影する投影レンズ４０とを備えている。
実施例７も、実施例６と同様な効果が得られる。

この単色のレーザ光の代わりにＲＧＢ色の３原色レーザ光を用いれば、安定した偏向角度及び共振周波数によるカラー画像をスクリーン上に投影することができる。なお、固体伝熱体５は、熱を効率よく外部へ伝達できるものであれば、良く、これに限られず、熱を効率よく放出する一般的な放熱手段を用いることが可能である。

本発明の実施例１の光偏向子を示す斜視図である。 振動体の平面図である。 光偏向子の側面図である。 実施例１の光偏向子における固定部、固体伝熱体及び振動体を一体化した様子を示す斜視図である。 本発明の実施例２の光偏向子を示す斜視図である。 本発明の実施例３の光偏向子を示す斜視図である。 本発明の実施例４の光偏向子を示す斜視図である。 本発明の実施例５の光偏向子を示す斜視図である。 本発明の実施例１〜４の光偏向子を用いた表示装置を示す概略図である。 本発明の実施例１〜４の光偏向子を用いた他の表示装置を示す概略図である。 従来の光偏向子を示す斜視図である。 シリコンの共振周波数の温度依存性を示す図である。 シリコンヤング率の温度依存性を示す図である。 光偏向子の共振曲線特性を示す図である。

符号の説明

１，１８，１９，２２，２５…光偏向子、２，２３…固定部、３…振動体、４…駆動部、５…固体伝熱体、６…ベース、６Ａ，２３Ａ…凹部、７，８…支持部、９，１０…振動子、９Ａ，１０Ａ…振動固定部、アーム部…９Ｂ，９Ｃ，１０Ｂ，１０Ｃ、１１…空間領域、１２…反射ミラー部、１２Ａ…光反射膜、１３Ａ，１３Ｂ，１４Ａ，１４Ｂ，２４Ａ，２４Ｂ…捩じりバネ部、１５、１６…固定電極、１７…電源、２０，２１…固体伝熱体、２６…温度調節台、２７、３２…表示装置、２８…レーザ光源、２９…水平走査用光偏向子、３０…垂直走査用光偏向子、３１…スクリーン、３３…集光レンズ、３４…光アドレス型空間光変調素子、３５…ランプ、３６…赤外線カットフィルタ、３７…レンズ、３８…波長フィルタ、３９…ポラリゼーション・ビームスプリッタ、４０…投影レンズ

Claims (5)

1. 凹部を有する固定部と、
   前記凹部内に配置された反射ミラー部と、
   前記反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の軸対称位置の両端と前記固定部の凹部を挟んだ両辺を連結する一対の捩じりバネ部と、
   前記凹部の底部及び前記反射ミラー部に設けられた放熱手段と、
   前記反射ミラー部を前記一対の捩じりバネ部を中心として駆動させる駆動手段と、
   を備えたことを特徴とする光偏向子。
2. 間隔を置いて設けられた一対の支持部の一方に外側端部が固定され、内側端部が自由端である２本のアーム部を有する一方の振動子と、
   前記一対の支持部の他方に外側端部が固定され、内側端部が自由端である２本のアーム部を有する他方の振動子と、
   この一対の振動子の前記各２本のアーム部の間に配置された反射ミラー部と、
   この反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の一方の軸対称位置の両端と前記一方の振動子の前記各アーム部の内側端部とをそれぞれ連結する一方の捩じりバネ部と、
   前記反射ミラー部の重心を通る軸に対しこの軸の近傍の他方の軸対称位置の両端と前記他方の振動子の前記各アーム部の内側端部とをそれぞれ連結する他方の捩じりバネ部と、
   前記反射ミラー部の一方の面に接するか、或いは前記反射ミラー部の一方の面に接し、かつ前記一対及び他方の振動子並びに前記一対及び他方の捩じりバネ部にも接する放熱手段と、
   前記一対の振動子の少なくとも一方に対し別個独立に駆動力を作用し、前記各アーム部の内側端部を上下方向に別個独立に移動できる駆動手段と、
   を備えたことを特徴とする光偏向子。
3. 請求項１及び２に記載のいずれかの光偏向子において、
   前記放熱手段の温度調節を行う温度調整手段に接していることを特徴とする光偏向子。
4. 前記１乃至３に記載のいずれかの光偏向子において、
   前記放熱手段は、熱放射特性の高い固体伝熱体又は固体熱放射体であり、前記固体伝熱体は、Ａｕ，Ａｇ，Ｃｕ，Ａｌ，ＡｌＮ，ＳｉＣ，ＤＬＣ，ダイヤモンド，カーボングラファイトのうちのいずれかの薄膜又は複合素材であり、前記固体放射体はＡｌ_２Ｏ_３薄膜又はＡｌ_２Ｏ_３を含む複合素材であることを特徴とする光偏向子。
5. 請求項１乃至４に記載のいずれかの光偏向素子にレーザ光を照射して、前記光偏向素子の反射ミラー部で反射されたレーザ光をスクリーンに投影する表示装置において、
   前記レーザ光を出射するレーザ光源と、
   前記光偏向素子の反射ミラー部で反射されたレーザ光を前記スクリーン上で２次元的に走査する走査手段と、
   を備えたことを特徴とする表示装置。

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