KR20050106510A - 관성 구동 스캐닝 기구 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
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- 입사광선을 반사시키는 진동가능한 스캔 소자(scan element);상기 스캔 소자를 지지하는 이동가능한 프레임(frame);상기 프레임 및 상기 스캔 소자 사이에 연결되고 힌지 축을 따라 연장되는 힌지(hinge); 그리고상기 프레임을 직접 이동시키고, 관성에 의해, 입사된 빛을 스캔하기 위해 상기 힌지축을 중심으로 상기 스캔 소자를 간접적으로 진동시키는 관성 구동장치(inertial drive);를 포함하는 광 스캐닝 기구(light scanning arrangement).
- 제1항에 있어서,상기 스캔 소자, 상기 프레임 및 상기 힌지가 단품(a one piece)의, 일반적으로는 평면의, 실리콘 기판(silicon substrate)인 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 기구.
- 제2항에 있어서,상기 스캔 소자는 거울면 코팅(specular coating)을 갖는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 기구.
- 제1항에 있어서,상기 힌지는, 상기 프레임에 연결되는 일단부 영역 및 상기 스캔 소자에 연결되는 반대편 타단부 영역을 구비한, 상기 힌지축을 따라 연장되는 2개의 연장된 힌지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 기구.
- 제1항에 있어서,상기 프레임은 상기 스캔 소자를 둘러싸며, 상기 기구의 비(非)진동 시에서 상기 스캔 소자 공통 평면(common plane)내에 위치하는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 기구.
- 제1항에 있어서,상기 스캔 소자는 이 스캔 소자의 질량 중심을 통하여 연장되는 대칭축을 가지며, 상기 힌지축은 이 대칭축과 동일 선상이며, 상기 구동장치(drive)는 상기 프레임을 직접 진동시키는 동작을 하는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 기구.
- 제1항에 있어서,상기 스캔 소자는 이 스캔 소자의 질량 중심을 통하여 연결되는 대칭축을 가지며, 상기 힌지축은 이 대칭축에 평행하게 가로지르는 방향을 따라서 떨어져 있으며, 상기 구동장치는 상기 가로지르는 방향에 대체로 수직한 구동 방향으로 상기 프레임을 선형적으로 직접 이동시키도록 동작하는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 기구.
- 제1항에 있어서,상기 구동장치(drive)는 1kHz 이상의 주파수 및 기계적으로 ±8° 범위(order)의 정교한 거리 이상으로 상기 스캔 소자를 진동시키도록 동작하는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 기구.
- 제1항에 있어서,상기 구동장치(drive)는 상기 프레임에 연결되는 적어도 하나의 압전 장치를 포함하며, 주기적인 구동 신호에 의해 전기적 에너지를 얻을 때 상기 힌지축을 중심으로 반대편 원주 방향으로 상기 프레임을 기계적으로 움직이도록 동작하는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 기구.
- 제1항에 있어서,상기 구동장치(drive)는 상기 힌지축의 양 대향측에서 상기 프레임에 연결되는 한 쌍의 압전 장치를 포함하고, 주기적인 구동 신호에 의해 전기적 에너지를 얻을 때 상기 힌지축을 중심으로 반대편 원주 방향으로 상기 프레임의 반대편 측면을 각각 기계적으로 밀고 당기도록 동작하는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 기구.
- a) 진동 가능한 스캔 소자에 입사된 빛을 반사하는 단계;b) 이동가능한 프레임에 상기 스캔 소자를 지지하는 단계;c) 힌지축을 따라서 연장되고 상기 프레임 및 상기 스캔 소자 사이에 연결되는 힌지를 연결하는 단계;d) 상기 프레임을 직접 움직이고, 관성에 의해, 상기 입사광을 스캔하도록 상기 힌지축에 대하여 상기 스캔 소자를 간접적으로 진동시키는 단계;를 포함하는 광 스캐닝 방법(light scanning method).
- 제11항에 있어서,상기 스캔 소자, 상기 프레임 및 상기 힌지를 대체로 평면의 실리콘 기판인 단품(a one-piece)으로 제조하는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 방법.
- 제12항에 있어서,상기 스캔 소자를 유리면 코팅(specular coating)으로 코팅하는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 방법.
- 제11항에 있어서,상기 스캔 소자는 이 스캔 소자의 질량 중심을 통하여 연장되는 대칭축을 갖고, 상기 힌지축은 이 대칭축과 동일선상에 형성되며, 상기 구동 단계는 상기 프레임을 직접 진동함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 방법.
- 제11항에 있어서,상기 스캔 소자는 이 스캔 소자의 질량 중심을 통하여 연장되는 대칭축을 갖고, 상기 힌지축은 이 대칭축에 평행하게 가로지르는 방향을 따라 떨어져 있으며, 상기 구동 단계는 상기 가로지르는 방향에 대체로 수직한 구동방향으로 상기 프레임을 선형적으로 직접 이동시킴으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 방법.
- 제11항에 있어서,상기 구동 단계(drive step)는 1kHz 이상의 주파수 및 공학적으로 ±8°차수의 정교한 거리 이상으로 상기 스캔 소자를 진동시킴으로서 수행되는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 방법.
- 제11항에 있어서,적어도 하나의 압전 장치를 상기 프레임에 연결하고 상기 구동단계는 주기적인 구동 신호에 의한 전기적 에너지를 얻었을 때 상기 힌지축을 중심으로 반대편 원주방향으로 상기 프레임을 기계적으로 이동시킴으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 관성 구동 스캐닝 방법.
- 제11항에 있어서,한 쌍의 압전 장치를 상기 힌지축의 양대향측에서 상기 프레임에 연결하고, 상기 구동단계는 주기적인 구동신호에 의한 전기적 에너지가 얻어졌을 때 상기 힌지축을 중심으로 반대편 원주 방향으로 상기 프레임의 반대측을 각각 기계적으로 밀고 당김으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 광 스캐닝 방법.
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Legal Events
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E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
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