JP2007266261A - 搬送ピック、搬送装置、基板処理装置および搬送ピックのクリーニング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウエハ搬送装置16のピック17をイオン発生装置19の直下まで移動させ、イオン発生装置19からピック17へ向けて負の荷電粒子(マイナスイオン)を供給してピック17の当接部材17aを強制的に負に帯電させる。ピック17の当接部材17aの表面に付着したパーティクルは負に帯電しているため、静電気の反発力でパーティクルを当接部材17aから離脱させる。
【選択図】 図4
Description
前記基板保持面に突設されており、基板に当接する複数の当接部材と、
前記当接部材を帯電させるための電圧印加装置と、
を備え、電荷の反発力により前記当接部材に付着したパーティクルを除去するセルフクリーニング機能を有する、搬送ピックを提供する。
前記電圧印加装置は前記導電性部材と電気的に接続され、前記導電性部材に正または負の電圧を印加するものであることが好ましい。
前記搬送装置は、上記第1の観点の搬送ピックを備えた、基板処理装置を提供する。
前記搬送装置は、搬送アームと、該搬送アームの先端に取付けられ、基板を保持する基板保持面に複数の当接部材が突設された搬送ピックとを有するものであり、
前記当接部材に荷電粒子を供給し、該当接部材を強制的に帯電させる帯電装置を備えた、基板処理装置を提供する。
また、前記帯電装置は、前記搬送室内に配備されていてもよく、この場合、前記搬送室には、該搬送室内に強制的な気流を形成する気流形成装置と、前記搬送室内を排気する排気装置と、が配備されており、前記帯電装置は、前記搬送装置による基板搬送位置よりも前記気流の流れ方向下流位置に配備されていることが好ましい。
また、前記帯電装置は、前記真空予備室内に配備されていてもよい。
また、前記クリーニング工程の間、前記搬送ピックが配置された室内に気流形成装置により気流を発生させることが好ましい。
さらに、前記基板処理装置は、基板に対して所定の処理を行なう真空処理室と、前記真空処理室に基板を搬送する前記搬送装置が配備された搬送室と、前記真空処理室と前記搬送室の間に配置された真空予備室と、を備えており、前記クリーニング工程を前記搬送室内または前記真空予備室内で行なうことが好ましい。
前記制御プログラムは、実行時に、上記第5の観点または第6の観点の搬送ピックのクリーニング方法が行なわれるように前記基板処理装置を制御するものである、コンピュータ読取り可能な記憶媒体を提供する。
さらに、短時間で搬送ピックをクリーニングすることが可能であるため、例えば、搬送装置が待機状態の間にクリーニングを行なうことにより、基板処理装置のダウンタイムを削減でき、基板処理効率を向上させることができる。
図1は、本発明に係る基板処理装置の一実施形態であるプラズマ処理装置を概略的に示す水平断面図である。このプラズマ処理装置1は、所定の真空下で被処理基板としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」と記す)Wに対して、エッチング等の処理を行うものである。
また、ウエハ搬入出室8の天井部には、気流発生装置であるファンフィルタユニット(FFU)20が設けられ、このFFU20と対向してウエハ搬入出室8の床部近傍には、排気ファンユニット21が設けられている。そして、図2に矢印で示すように、FFU20によって清浄な空気がウエハ搬入出室8内にダウンフロー状態で供給され、排気ファンユニット21から排気されることにより、大気圧+1.3Pa以上の清浄空気雰囲気でウエハWの搬入出が行われるようになっている。なお、イオン発生装置19は、FFU20と排気ファンユニット21との間で、ウエハWの搬送位置よりもダウンフロー気流の流れ方向下流側(下方位置)に設置することが好ましい。
なお、MCは、例えばロードロック室6,7にも配備することが可能であり、これらもEC301の下で統括されるが、ここでは図示および説明を省略する。
なお、GHOSTネットワーク309には、I/O部310におけるデジタル信号、アナログ信号及びシリアル信号の入出力を制御するI/Oボート(図示せず)も接続されている。
なお、直流電源106から負の極性の電圧をピック101へ供給してピック101の当接部材101aを強制的に正に帯電させてもよいし、後述するように正の帯電状態と負の帯電状態を交互に繰り返すように正負の電圧を切替えて印加してもよい。
さらに、ピックに保持される基板の種類は、半導体ウエハに限るものではなく、例えばフラットパネルディスプレイ(FPD)用のガラス基板などの大型基板の搬送に用いる大型のピックにも本発明思想を適用できる。
2;処理ユニット
3;処理ユニット
16;ウエハ搬送装置
16a;アーム
17;ピック
17a;当接部材
19;イオン発生装置
20;ファンフィルタユニット(FFU)
21;排気フィルタユニット
100;プラズマ処理装置
101;ピック
102;アーム
W;ウエハ
Claims (19)
- 基板を搬送する搬送装置において、搬送アームの先端に取付けられ、基板保持面で基板を保持する搬送ピックであって、
前記基板保持面に突設されており、基板に当接する複数の当接部材と、
前記当接部材を帯電させるための電圧印加装置と、
を備え、電荷の反発力により前記当接部材に付着したパーティクルを除去するセルフクリーニング機能を有する、搬送ピック。 - 前記搬送ピックは、導電性部材と、その周囲を被覆する絶縁部材を有しており、
前記電圧印加装置は前記導電性部材と電気的に接続され、前記導電性部材に正または負の電圧を印加するものである、請求項1に記載の搬送ピック。 - 請求項1または請求項2に記載の搬送ピックを備えた搬送装置。
- 基板に対して所定の処理を行なう処理室と、前記処理室に基板を搬送する搬送装置が配備された搬送室と、を備えた基板処理装置であって、
前記搬送装置は、請求項1または請求項2に記載の搬送ピックを備えた、基板処理装置。 - 基板に対して所定の処理を行なう真空処理室と、前記真空処理室に基板を搬送する搬送装置が配備された搬送室と、前記真空処理室と前記搬送室の間に配置された真空予備室と、を備えた基板処理装置であって、
前記搬送装置は、搬送アームと、該搬送アームの先端に取付けられ、基板を保持する基板保持面に複数の当接部材が突設された搬送ピックとを有するものであり、
前記当接部材に荷電粒子を供給し、該当接部材を強制的に帯電させる帯電装置を備えた、基板処理装置。 - 前記帯電装置は、前記当接部材がそこに付着したパーティクルと同じ極性に帯電するように電圧を印加するものである、請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記帯電装置は、前記搬送室内に配備されている、請求項5または請求項6に記載の基板処理装置。
- 前記搬送室には、該搬送室内に強制的な気流を形成する気流形成装置と、前記搬送室内を排気する排気装置と、が配備されており、
前記帯電装置は、前記搬送装置による基板搬送位置よりも前記気流の流れ方向下流位置に配備されている、請求項7に記載の基板処理装置。 - 前記帯電装置は、前記搬送室に隣接して設けられたクリーニング室内に配備されている、請求項5または請求項6に記載の基板処理装置。
- 前記クリーニング室には、前記クリーニング室内に強制的な気流を形成する気流形成装置と、前記クリーニング室内を排気する排気装置と、が配備されている、請求項9に記載の基板処理装置。
- 前記帯電装置は、前記真空予備室内に配備されている、請求項5または請求項6に記載の基板処理装置。
- 基板処理装置において基板を搬送する搬送装置の搬送アームの先端に取付けられ、基板を保持する基板保持面と、前記基板保持面に突設され基板に当接する複数の当接部材と、前記当接部材を帯電させるための電圧印加装置と、を備えた搬送ピックに対し、前記電圧印加装置により正負の電圧を交互に印加することにより、前記当接部材の帯電極性が正負交互に切替わるよう繰り返し強制的に帯電させ、電荷の反発力により前記当接部材に付着したパーティクルを除去するクリーニング工程を含む、搬送ピックのクリーニング方法。
- 基板処理装置において基板を搬送する搬送装置の搬送アームの先端に取付けられ、基板を保持する基板保持面と、前記基板保持面に突設され基板に当接する複数の当接部材と、を備えた搬送ピックに対し、前記当接部材に荷電粒子を供給する帯電装置により、前記当接部材の帯電極性が正負交互に切替わるよう繰り返し強制的に帯電させ、電荷の反発力により前記当接部材に付着したパーティクルを除去するクリーニング工程を含む、搬送ピックのクリーニング方法。
- 前記クリーニング工程は、前記基板処理装置における搬送装置のアイドル時間に行なわれる、請求項12または請求項13に記載の搬送ピックのクリーニング方法。
- 前記クリーニング工程の間、前記搬送ピックが配置された室内に気流形成装置により気流を発生させる、請求項12から請求項14のいずれか1項に記載の搬送ピックのクリーニング方法。
- 前記基板処理装置は、基板に対して所定の処理を行なう真空処理室と、前記真空処理室に基板を搬送する前記搬送装置が配備された搬送室と、前記真空処理室と前記搬送室の間に配置された真空予備室と、を備えており、前記クリーニング工程を前記搬送室内または前記真空予備室内で行なう、請求項15に記載の搬送ピックのクリーニング方法。
- さらに、前記クリーニングの後で、前記当接部材の帯電状態を調節する工程を含む、請求項12から請求項16のいずれか1項に記載の搬送ピックのクリーニング方法。
- コンピュータ上で動作し、実行時に、請求項12から請求項17のいずれか1項に記載された搬送ピックのクリーニング方法が行なわれるように前記基板処理装置を制御する、制御プログラム。
- コンピュータ上で動作する制御プログラムが記憶されたコンピュータ読取り可能な記憶媒体であって、
前記制御プログラムは、実行時に、請求項12から請求項17のいずれか1項に記載された搬送ピックのクリーニング方法が行なわれるように前記基板処理装置を制御するものである、コンピュータ読取り可能な記憶媒体。
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