JP6609448B2 - 試料搬送装置 - Google Patents
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- 基板の端又は側面若しくは縁を把持するハンドリングアームと、当該ハンドリングアームを搬送する搬送装置を備えた試料搬送装置において、
前記ハンドリングアームの前記基板の接触部分と異なる位置に、気体を吸引する吸引口を備え、
前記吸引口は、前記基板の外周面部分、前記基板の下面端部分、および前記基板と前記ハンドリングアームの接触部分のうち、いずれか一つの部分に向かって設けられていることを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1において、
前記吸引口は、前記基板の上方、及び下方の少なくとも一方に設けられることを特徴とする試料搬送装置。 - 基板を支持するハンドリングアームと、当該ハンドリングアームを搬送する搬送装置を備えた試料搬送装置において、
前記ハンドリングアームの前記基板の接触部分と異なる位置に、気体を吸引する吸引口、及び気体を放出する放出口の少なくとも一方を備えるとともに、
前記吸引口、或いは前記放出口から気体を吸引、或いは放出する気体吸引/放出機構と、当該気体吸引/放出機構を制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記ハンドリングアームの動作回数が規定回数に達したとき、又はハンドリングアームの使用時間が所定時間に達したときに、前記吸引口、或いは前記放出口から気体を吸引、或いは放出するように、前記気体吸引/放出機構を制御することを特徴とする試料搬送装置。 - 基板を支持するハンドリングアームと、当該ハンドリングアームを搬送する搬送装置を備えた試料搬送装置において、
前記ハンドリングアームの前記基板の接触部分と異なる位置に、気体を吸引する吸引口、及び気体を放出する放出口の少なくとも一方を備えるとともに、
前記ハンドリングアームが内蔵された空間を与圧するファンフィルタユニットと、前記吸引口、或いは前記放出口から気体を吸引、或いは放出する気体吸引/放出機構と、当該気体吸引/放出機構と、前記ファンフィルタユニット、及び前記気体吸引/放出機構を制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記吸引口、或いは前記放出口から前記気体を吸引、或いは放出するときに、前記ファンフィルタユニットの風量を上昇させることを特徴とする試料搬送機構。 - 基板の端又は側面若しくは縁を把持するハンドリングアームと、当該ハンドリングアームを搬送する搬送装置を備えた試料搬送装置において、
前記ハンドリングアームに設けられた開口と、当該開口から気体を吸引する気体吸引機構と、当該気体吸引機構を制御する制御装置を備え、
前記開口は、前記基板の外周面部分、前記基板の下面端部分、および前記基板と前記ハンドリングアームの接触部分のうち、いずれか一つの部分に向かって設けられており、
当該制御装置は、前記ハンドリングアームによる試料搬送後に、前記開口から前記気体を吸引するように、前記気体吸引機構を制御することを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項5において、
前記開口は、前記基板の上方、及び下方の少なくとも一方に設けられることを特徴とする試料搬送装置。 - 基板を支持するハンドリングアームと、当該ハンドリングアームを搬送する搬送装置を備えた試料搬送装置において、
前記ハンドリングアームに設けられた開口と、当該開口から気体を吸引、或いは放出する気体吸引/放出機構と、当該気体吸引/放出機構を制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記ハンドリングアームによる試料搬送後に、前記開口から前記気体を吸引、或いは放出するように、前記気体吸引/放出機構を制御するとともに、
前記制御装置は、前記ハンドリングアームの動作回数が規定回数に達したとき、又はハンドリングアームの使用時間が所定時間に達したときに、前記開口から気体を吸引、或いは放出するように、前記気体吸引/放出機構を制御することを特徴とする試料搬送装置。 - 基板を支持するハンドリングアームと、当該ハンドリングアームを搬送する搬送装置を備えた試料搬送装置において、
前記ハンドリングアームに設けられた開口と、当該開口から気体を吸引、或いは放出する気体吸引/放出機構と、当該気体吸引/放出機構を制御する制御装置を備え、当該制御装置は、前記ハンドリングアームによる試料搬送後に、前記開口から前記気体を吸引、或いは放出するように、前記気体吸引/放出機構を制御するとともに、
前記ハンドリングアームが内蔵された空間を与圧するファンフィルタユニットを備え、前記制御装置は、前記開口から前記気体を吸引、或いは放出するときに、前記ファンフィルタユニットの風量を上昇させることを特徴とする試料搬送機構。 - 請求項1において、
前記吸引口は、前記把持によって前記接触部分から発生する異物を、前記気体とともに吸引する吸引口であることを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項1において、
前記基板の最外周面と前記ハンドリングアームとが接触する第1の接触部分と、
前記基板の下面と前記ハンドリングアームとが接触する第2の接触部分と、
前記第1の接触部分と前記第2の接触部分との間に設けられた、前記基板と前記ハンドリングアームとが非接触となる空間と、を備え、
前記吸引口は、前記空間に連通していることを特徴とする試料搬送装置。 - 請求項10において、
前記基板は、前記端又は側面若しくは縁が楔状に形成された基板であることを特徴とする試料搬送装置。
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JP2015192506A JP6609448B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | 試料搬送装置 |
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JP2015192506A JP6609448B2 (ja) | 2015-09-30 | 2015-09-30 | 試料搬送装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2017069357A JP2017069357A (ja) | 2017-04-06 |
JP6609448B2 true JP6609448B2 (ja) | 2019-11-20 |
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Family Applications (1)
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