JP2007212765A - Manual cleaner and cleaner device of proximity exposure apparatus - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manual cleaner of a proximity exposure apparatus for easily cleaning a work stage and a mask stage without vertically moving the mask stage. <P>SOLUTION: The cleaner comprises a belt type cleaning sheet 32 having a tacky surface 32a, a roll 34 which can be inserted as wrapped with the cleaning sheet into a narrow space between the mask stage 1 and the work stage 2, and a handle 36 linked with the roll as rotatable to insert the roll to the narrow space. The roll inserted into the narrow space by holding the handle is reciprocally moved near the surface to be cleaned, so that the roll is normally rotated in an outward path to pull out the cleaning sheet and to adhere the tacky surface of the sheet to the surface to be cleaned and that the roll is reversely rotated in a return path to wind up the cleaning sheet having adhered to the surface to be cleaned on the roll. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、上下方向に対向配置されているワークステージ及びマスクステージの一方の清掃すべき面を清掃する近接露光装置の手動式クリーナ及びクリーナ装置に関する。   The present invention relates to a manual cleaner and a cleaner apparatus of a proximity exposure apparatus that cleans one surface to be cleaned of a work stage and a mask stage that are opposed to each other in the vertical direction.

近接露光装置は、ワークステージ及びマスクステージが上下方向に対向配置されており、表面に感光剤を塗布した透光性のワーク（被露光材）がワークステージ上に保持され、このワークを、マスクステージの下面で保持されているマスクに接近させて両者のすき間を例えば数１０μｍ〜数１００μｍにし、マスクの上方に配置した照射手段から露光用の光をマスクに向けて照射することによりワーク上にマスクに描かれたパターンを露光転写する装置である。   In the proximity exposure apparatus, a work stage and a mask stage are opposed to each other in the vertical direction, and a translucent work (material to be exposed) coated with a photosensitive agent on the surface is held on the work stage. The mask is held close to the lower surface of the stage so that the gap between the two is, for example, several tens of μm to several hundreds of μm, and exposure light is irradiated toward the mask from the irradiation means arranged above the mask. An apparatus for exposing and transferring a pattern drawn on a mask.

この近接露光装置は、ワークステージのワークチャック面に保持されているワークや、ワークを外したワークチャック面の清掃、或いは、マスクステージのマスクチャック面に吸着保持されているマスクや、マスクを外したマスクチャック面の清掃を定期的に行っている。ワークステージは、上面にゴミや埃が溜まりやすいので、例えば３日毎に頻繁に清掃作業を行っており、マスクステージは、ワークステージの清掃より長い周期（例えば１ヶ月毎）で清掃作業を行っている。   This proximity exposure apparatus cleans the workpiece held on the workpiece chuck surface of the workpiece stage, cleans the workpiece chuck surface after removing the workpiece, or removes the mask held on the mask chuck surface of the mask stage, or removes the mask. Regular cleaning of the mask chuck surface is performed. Since the work stage tends to collect dust and dirt on the upper surface, it is frequently cleaned every 3 days, for example, and the mask stage is cleaned at a longer cycle (for example, every month) than the work stage is cleaned. Yes.

ところで、ワークステージ及びマスクステージの間は、上下方向に６０mm程度しか離れていない狭い空間であり、従来、マスクステージ又はワークステージを清掃する場合には、上下移動機構によりマスクステージを上方に移動させて作業を行っていた。
なお、従来のワークステージ及びマスクステージの清掃方法は、慣用されているものであるので、先行技術文献情報は特に記載しない。 By the way, the space between the work stage and the mask stage is a narrow space that is only about 60 mm apart in the vertical direction. Conventionally, when cleaning the mask stage or the work stage, the mask stage is moved upward by the vertical movement mechanism. I was working.
Since conventional work stage and mask stage cleaning methods are commonly used, prior art document information is not particularly described.

しかし、清掃作業を行うためにマスクステージを上方に移動させる従来の方法では、マスクのパターンをワークに転写する精度誤差が生じるおそれがあり、清掃作業を行った後には近接露光装置の微調整に多くの時間と手間が必要であった。
そこで、本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、マスクステージを上方移動させずにワークステージ及びマスクステージの清掃を簡単に行うことができる近接露光装置の手動式クリーナ及びクリーナ装置を提供することを目的とする。 However, the conventional method in which the mask stage is moved upward in order to perform the cleaning operation may cause an error in accuracy of transferring the mask pattern to the workpiece. After performing the cleaning operation, fine adjustment of the proximity exposure apparatus may be performed. It took a lot of time and effort.
Therefore, the present invention has been made to eliminate such inconvenience, and a manual cleaner for a proximity exposure apparatus that can easily clean the work stage and the mask stage without moving the mask stage upward, and An object is to provide a cleaner device.

前述した課題を解決するため、本発明に係る近接露光装置の手動式クリーナは、上下方向に対向配置されているワークステージ及びマスクステージの間の空間に挿入し、前記ワークステージ及び前記マスクステージの一方の清掃すべき面を清掃する近接露光装置の手動式クリーナであって、粘着面を有する帯状のクリーニングシートと、このクリーニングシートを巻き付けた状態で前記空間に挿入可能なロールと、このロールが回転自在に連結しており、該ロールを前記空間に挿入させる柄部とを備えており、前記柄部を持って前記空間に挿入した前記ロールを前記清掃すべき面上近くで往復移動させ、往路において前記ロールを正回転させることで前記クリーニングシートが引き出されて前記粘着面を前記清掃すべき面に粘着させ、復路で前記ロールを逆回転させることで前記清掃すべき面に粘着していた前記クリーニングシートを前記ロールに巻き戻していくことを特徴とする近接露光装置の手動式クリーナである。   In order to solve the above-described problem, a manual cleaner of a proximity exposure apparatus according to the present invention is inserted into a space between a work stage and a mask stage that are arranged to face each other in the vertical direction, and the work stage and the mask stage are A manual cleaner for a proximity exposure apparatus that cleans one surface to be cleaned, a strip-shaped cleaning sheet having an adhesive surface, a roll that can be inserted into the space while the cleaning sheet is wound, and the roll It is connected rotatably, and has a handle part that inserts the roll into the space, and reciprocates the roll inserted into the space with the handle part near the surface to be cleaned, By rotating the roll forward in the forward path, the cleaning sheet is pulled out to adhere the adhesive surface to the surface to be cleaned, and in the return path The cleaning sheet which has been adhered to the surface to be the cleaning by reversely rotating the serial roll a manual cleaner proximity exposure apparatus characterized by gradually unwinding the roll.

また、本発明に係る近接露光装置のクリーナ装置は、上下方向に対向配置されているワークステージ及びマスクステージの間の空間を移動し、前記ワークステージ及び前記マスクステージの一方の清掃すべき面を清掃する近接露光装置のクリーナ装置であって、前記マスクステージに、粘着面を有する帯状のクリーニングシートを巻き付けたロールを前記空間の前記清掃すべき面上近くで往復移動させるロール移動機構を設け、当該ロール移動機構が前記ロールを正回転させて往路移動させると、前記クリーニングシートが前記ロールから引き出されて前記粘着面が前記清掃すべき面に粘着していき、前記ロール移動機構が前記ロールを逆回転させて復路移動させると、前記清掃すべき面に粘着していた前記クリーニングシートが前記ロールに巻き戻されていくようにしたことを特徴とする近接露光装置のクリーナ装置である。   Further, the cleaner device of the proximity exposure apparatus according to the present invention moves a space between the work stage and the mask stage that are opposed to each other in the vertical direction, and cleans one surface of the work stage and the mask stage to be cleaned. A cleaning device for a proximity exposure device for cleaning, wherein the mask stage is provided with a roll moving mechanism for reciprocally moving a roll wound with a belt-like cleaning sheet having an adhesive surface near the surface to be cleaned in the space, When the roll moving mechanism rotates the roll forward and moves forward, the cleaning sheet is pulled out of the roll and the adhesive surface sticks to the surface to be cleaned, and the roll moving mechanism causes the roll to move. When it is rotated backward and moved backward, the cleaning sheet adhered to the surface to be cleaned becomes the roll. It has to go rewound a cleaner of proximity exposure apparatus according to claim.

本発明の近接露光装置の手動式クリーナによると、柄部を持ってロールをマスクステージ及びワークステージのの狭い空間に挿入し、ロールを清掃すべき面上で往復移動させることで、ロールから引き出したクリーニングシートの粘着面が清掃すべき面に粘着した後、粘着面を清掃すべき面から剥がす動作を行うことで、清掃すべき面に付着していたゴミや塵等の異物が粘着面に付着するので、清掃すべき面に付着していた異物を簡単に除去することができる。   According to the manual cleaner of the proximity exposure apparatus of the present invention, the roll is inserted into the narrow space between the mask stage and the work stage with the handle, and the roll is reciprocated on the surface to be cleaned, thereby being pulled out from the roll. After the adhesive surface of the cleaning sheet has adhered to the surface to be cleaned, the adhesive surface is peeled off from the surface to be cleaned. Since it adheres, the foreign material adhering to the surface to be cleaned can be easily removed.

また、本発明の近接露光装置のクリーナ装置によると、ロール移動機構によりロールをマスクステージとワークステージの間の空間に移動し、ロールを清掃すべき面上で往復移動させることで、ロールから引き出したクリーニングシートの粘着面が清掃すべき面に粘着した後、粘着面を清掃すべき面から剥がす動作が自動的に行われ、清掃すべき面に付着していたゴミや塵等の異物が粘着面に付着するので、清掃すべき面に付着していた異物を簡単に除去することができる。   Further, according to the cleaner of the proximity exposure apparatus of the present invention, the roll is moved from the roll stage to the space between the mask stage and the work stage, and the roll is moved back and forth on the surface to be cleaned, thereby being pulled out from the roll. After the adhesive surface of the cleaning sheet has adhered to the surface to be cleaned, the operation of peeling the adhesive surface from the surface to be cleaned is automatically performed, and foreign matter such as dust and dirt adhering to the surface to be cleaned adheres. Since it adheres to the surface, the foreign matter adhering to the surface to be cleaned can be easily removed.

以下、本発明に係る近接露光装置の手動式クリーナ及びクリーナ装置について、図面を参照しながら説明する。
本実施形態に係る近接露光装置は、図１に示すように、露光すべきパターンが描かれているマスクＭをマスクステージ１で保持すると共に、大型のワークＷをワークステージ２で保持し、この状態でワークステージ２をマスクＭに対してＸ軸方向とＹ軸方向の二軸方向にステップ移動させて各ステップ毎にマスクＭとワークＷとを近接配置した状態で、照射手段３からパターン露光用の光をマスクＭに向けて照射することにより、マスクＭの複数のパターンをワークＷ上に露光転写するようにした装置である。 Hereinafter, a manual cleaner and a cleaner apparatus of a proximity exposure apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the proximity exposure apparatus according to the present embodiment holds a mask M on which a pattern to be exposed is drawn on a mask stage 1 and holds a large work W on a work stage 2. In this state, the workpiece stage 2 is moved stepwise in the X-axis direction and the Y-axis direction relative to the mask M, and the mask M and the workpiece W are arranged close to each other at each step. In this apparatus, a plurality of patterns of the mask M are exposed and transferred onto the work W by irradiating the mask M with light for use.

装置ベース４上には、ワークステージ２をＹ軸方向にステップ移動させるためのＹ軸ステージ送り機構５が設置され、Ｙ軸ステージ送り機構５のＹ軸送り台５ａ上にはワークステージ２をＸ軸方向にステップ移動させるためのＸ軸ステージ送り機構６が設置され、該Ｘ軸ステージ送り機構６のＸ軸送り台６ａ上にワークステージ２が設置されている。また、装置ベース上４には、後述するワークステージ２を上下移動させるＸ軸マスクステージ粗動機構４ａも設置されている。   A Y-axis stage feed mechanism 5 for step-moving the work stage 2 in the Y-axis direction is installed on the apparatus base 4, and the work stage 2 is placed on the Y-axis feed base 5 a of the Y-axis stage feed mechanism 5. An X-axis stage feed mechanism 6 for stepping in the axial direction is installed, and the work stage 2 is installed on an X-axis feed base 6 a of the X-axis stage feed mechanism 6. Further, an X-axis mask stage coarse movement mechanism 4a for moving the work stage 2 described later up and down is also installed on the apparatus base 4.

このワークステージ２の上面のワークチャック面２ａに、ワークＷが真空吸引された状態で保持されるようになっている。
Ｘ軸ステージ送り機構６とワークステージ２の間には、ワークステージ２の単純な上下動作を行うことにより該ワークステージ２を予め設定した位置までマスクＭとワークＷとのすき間の計測を行うことなく昇降させる上下粗動装置７と、ワークステージ２を上下に微動させてマスクＭとワークＷとの対向面間のすき間を所定量に微調整する上下微動装置８が設置されている。 The workpiece W is held on the workpiece chuck surface 2a on the upper surface of the workpiece stage 2 in a vacuum sucked state.
Between the X-axis stage feed mechanism 6 and the work stage 2, the clearance between the mask M and the work W is measured to a predetermined position by performing a simple vertical movement of the work stage 2. There are provided a vertical coarse motion device 7 that moves up and down, and a vertical fine motion device 8 that finely moves the work stage 2 up and down to finely adjust the gap between the opposing surfaces of the mask M and the work W to a predetermined amount.

上下微動装置８は、Ｚ軸送り台６ａのＸ軸方向の一端側（図１の左端側）に１台、他端側に２台合計３台設置されてそれぞれが独立に駆動制御されるようになっている。
また、符号３０で示すアライメントカメラは、マスクＭの位置調整を行なう際に使用するもので、後述する真空吸着板２６のＹ軸方向に沿う二辺の各内側上方でＹ軸方向の略中央部にそれぞれ一カ所ずつ合計２カ所配置されており、これらの２個のアライメントカメラ２９の画像データに基づいてマスク位置調整手段が、マスク保持枠２５をＸ，Ｙ，θ方向（Ｘ，Ｙ平面内）に移動させてマスク保持枠２５に保持されたマスクＭの位置を調整するようになっている。 The vertical fine movement device 8 is installed on one end side (left end side in FIG. 1) in the X-axis direction of the Z-axis feed base 6a and two on the other end side, so that three units are installed and controlled independently. It has become.
An alignment camera denoted by reference numeral 30 is used when adjusting the position of the mask M, and is substantially centered in the Y-axis direction on the inner sides of two sides along the Y-axis direction of the vacuum suction plate 26 described later. The mask position adjusting means moves the mask holding frame 25 in the X, Y, and θ directions (in the X, Y plane) based on the image data of the two alignment cameras 29. ) To adjust the position of the mask M held by the mask holding frame 25.

マスクステージ１は、マスクフレーム２４と、このマスクフレーム２４の中央部開口に空間を介して挿入されてＸ，Ｙ，θ方向（Ｘ，Ｙ平面内）に移動可能に支持されたマスク保持枠２５と、マスク保持枠２５の中央部開口の下面周囲に設けた真空吸着板（マスクチャック面）２６とを備え、真空吸着板２６の下面に当接したマスクＭが真空吸引された状態で保持されるようになっている。
ここで、露光転写を行う前であって、互いに上下方向に離間して所定位置に設置されているマスクステージ１の真空吸着板２６とワークチャック面２ａとの間は、上下方向の距離Ｔが６０mm程度の狭い空間である。 The mask stage 1 includes a mask frame 24 and a mask holding frame 25 that is inserted into a central opening of the mask frame 24 via a space and supported so as to be movable in the X, Y, and θ directions (in the X, Y plane). And a vacuum suction plate (mask chuck surface) 26 provided around the lower surface of the central opening of the mask holding frame 25, and the mask M that is in contact with the lower surface of the vacuum suction plate 26 is held in a vacuumed state. It has become so.
Here, there is a vertical distance T between the vacuum chucking plate 26 of the mask stage 1 and the work chuck surface 2a, which is set at a predetermined position apart from each other in the vertical direction, before the exposure transfer. It is a narrow space of about 60mm.

次に、本発明に係る第１実施形態のマスクステージ１又はワークステージ２清掃を行う手動式のクリーナについて、図２から図７を参照して説明する。
本実施形態のクリーナ３０は、図２に示すように、帯状のクリーニングシート３２と、このクリーニングシート３２が巻き付いており、マスクステージ１の真空吸着板２６とワークステージ２のワークチャック面２ａとの間の空間に挿入可能な外径としたロール３４と、ロール３４が回転自在に連結している柄部３６と、柄部３６に回転自在に連結している補助ローラ３８とを備えている。 Next, a manual cleaner for cleaning the mask stage 1 or the work stage 2 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 2, the cleaner 30 of the present embodiment has a belt-like cleaning sheet 32 and the cleaning sheet 32 wound around, and a vacuum suction plate 26 of the mask stage 1 and a work chuck surface 2 a of the work stage 2. There are provided a roll 34 having an outer diameter that can be inserted into the space therebetween, a handle portion 36 to which the roll 34 is rotatably connected, and an auxiliary roller 38 that is rotatably connected to the handle portion 36.

クリーニングシート３２は、ロール３４に巻き付く際に外側を向く面が粘着面３２ａとなっている。
柄部３６は、棒状のグリップ部３６ａと、ロール３４の両端部を回転自在に支持している支持軸３６ｂと、支持軸３６ｂ及びグリップ部３６ａを連結している連結部３６ｃとで構成されている。
補助ローラ３８は、ロール３４からクリーニングシート３２が引き出される側に位置するように、連結部３６ｃに一体に連結した回転支持軸３８ａに回転自在に支持されている。 When the cleaning sheet 32 is wound around the roll 34, the surface facing the outside is an adhesive surface 32a.
The handle portion 36 includes a rod-like grip portion 36a, a support shaft 36b that rotatably supports both ends of the roll 34, and a connecting portion 36c that connects the support shaft 36b and the grip portion 36a. Yes.
The auxiliary roller 38 is rotatably supported by a rotation support shaft 38a integrally connected to the connecting portion 36c so as to be positioned on the side where the cleaning sheet 32 is drawn from the roll 34.

また、図３に示すように、中空形状となっているロール３４の内部には、一端が支持軸３６ｂに固定され、他端がロール３４の内面に固定された渦巻きバネ（バネ部材）４０が配置されている。この渦巻きバネ４０は、クリーニングシート３２を引き出す方向にロール３４が正方向に回転すると（図３の矢印方向）、ロール３４を逆回転（図３の矢印方向に対して逆方向）させる方向のバネ付勢力が作用するように配置されている。   As shown in FIG. 3, a spiral spring (spring member) 40 having one end fixed to the support shaft 36 b and the other end fixed to the inner surface of the roll 34 is inside the roll 34 having a hollow shape. Has been placed. The spiral spring 40 is a spring in a direction that rotates the roll 34 in the reverse direction (reverse to the arrow direction in FIG. 3) when the roll 34 rotates in the forward direction in the direction in which the cleaning sheet 32 is pulled out (the arrow direction in FIG. 3). It arrange | positions so that a biasing force may act.

次に、上記構成のクリーナ３０を使用し、真空吸着板２６の下面に吸着保持されているマスクＭの清掃を行う手順について、図４及び図５を参照して説明する。
図４に示すように、先ず、柄部３６のグリップ部３６ａを持ってロール３４をマスクステージ１とワークステージ２の間の狭い空間に挿入する。そして、クリーニングシート３２の粘着面３２ａを真空吸着板２６の端部に粘着させる。次いで、柄部３６に一体化した補助ローラ３８で真空吸着板２６に粘着したクリーニングシート３２を押圧しながら、柄部３６をマスクＭ側に向けて移動（往路移動）していき、ロール３４を図４の矢印方向の正方向に回転させていくことで、クリーニングシート３２をロール３４から引き出し、粘着面３２ａをマスクＭの下面に粘着していく。なお、クリーニングシート３２のマスクＭ下面への押圧を補助ローラ３８のみにより行なっているが、往路移動時は、ロール３４もクリーニングシート３２のマスクＭ下面への押圧を行なうようにしてもよい。 Next, a procedure for cleaning the mask M sucked and held on the lower surface of the vacuum suction plate 26 using the cleaner 30 having the above-described configuration will be described with reference to FIGS. 4 and 5.
As shown in FIG. 4, first, the roll 34 is inserted into a narrow space between the mask stage 1 and the work stage 2 with the grip portion 36 a of the handle portion 36. Then, the adhesive surface 32 a of the cleaning sheet 32 is adhered to the end of the vacuum suction plate 26. Next, while pressing the cleaning sheet 32 adhered to the vacuum suction plate 26 with the auxiliary roller 38 integrated with the handle portion 36, the handle portion 36 is moved toward the mask M side (forward movement), and the roll 34 is moved. The cleaning sheet 32 is pulled out from the roll 34 by rotating in the positive direction indicated by the arrow in FIG. 4, and the adhesive surface 32 a is adhered to the lower surface of the mask M. Although the cleaning sheet 32 is pressed to the lower surface of the mask M only by the auxiliary roller 38, the roll 34 may also press the cleaning sheet 32 to the lower surface of the mask M during the forward movement.

そして、ロール３４から引き出したクリーニングシート３２の粘着面３２ａがマスクＭの全域に粘着すると、今度は、図５に示すように、柄部３６を引き寄せることでロール３４を元の位置まで移動（復路移動）させていく。このとき、ロール３４は渦巻きバネ４０からバネ付勢力が作用して逆方向に回転するので、マスクＭに粘着していたクリーニングシート３２は弛まずにロール３４に巻き戻されていく。そして、マスクＭに付着していたゴミや塵等の異物は、マスクＭから剥がれてロール３４に巻き戻されたクリーニングシート３２の粘着面３２ａに付着するので、マスクＭの清掃が完了する。   When the adhesive surface 32a of the cleaning sheet 32 pulled out from the roll 34 adheres to the entire area of the mask M, the roll 34 is moved to the original position by pulling the handle portion 36 as shown in FIG. Move). At this time, the roll 34 rotates in the reverse direction due to the spring biasing force acting from the spiral spring 40, so that the cleaning sheet 32 adhered to the mask M is rewound onto the roll 34 without being loosened. Then, foreign matters such as dust and dust attached to the mask M adhere to the adhesive surface 32a of the cleaning sheet 32 that has been peeled off from the mask M and rewound onto the roll 34, so that the cleaning of the mask M is completed.

次に、上記構成のクリーナ３０を使用し、ワークチャック面２ａの清掃を行う手順について、図６及び図７を参照して説明する。
図６に示すように、先ず、柄部３６のグリップ部３６ａを持ってロール３４をマスクステージ１とワークステージ２の間の狭い空間に挿入する。そして、クリーニングシート３２の粘着面３２ａをワークチャック面２ａの端部に粘着させる。次いで、柄部３６に一体化した補助ローラ３８でワークチャック面２ａに粘着したクリーニングシート３２を押圧しながら、柄部３６を奥の方向に向けて移動（往路移動）していき、ロール３４を図６の矢印方向の正方向に回転させていくことで、クリーニングシート３２をロール３４から引き出し、粘着面３２ａをワークチャック面２ａに粘着していく。 Next, a procedure for cleaning the work chuck surface 2a using the cleaner 30 having the above-described configuration will be described with reference to FIGS.
As shown in FIG. 6, first, the roll 34 is inserted into a narrow space between the mask stage 1 and the work stage 2 with the grip portion 36 a of the handle portion 36. Then, the adhesive surface 32a of the cleaning sheet 32 is adhered to the end portion of the work chuck surface 2a. Next, while pressing the cleaning sheet 32 adhered to the work chuck surface 2a by the auxiliary roller 38 integrated with the handle portion 36, the handle portion 36 is moved in the back direction (forward movement), and the roll 34 is moved. By rotating in the positive direction of the arrow in FIG. 6, the cleaning sheet 32 is pulled out from the roll 34, and the adhesive surface 32a is adhered to the work chuck surface 2a.

なお、クリーニングシート３２のワークチャック面２ａへの押圧を補助ローラ３８のみにより行なっているが、往路移動時は、ロール３４もクリーニングシート３２のワークチャック面２ａへの押圧を行なうようにしてもよい。
そして、ロール３４から引き出したクリーニングシート３２の粘着面３２ａがワークチャック面２ａの全域に粘着すると、今度は、図７に示すように、柄部３６を引き寄せることでロール３４を元の位置まで移動（復路移動）させていく。このとき、ロール３４は渦巻きバネ４０からバネ付勢力が作用して逆方向に回転するので、ワークＷに粘着していたクリーニングシート３２は弛まずにロール３４に巻き戻されていく。そして、ワークチャック面２ａに付着していたゴミや塵等の異物は、ワークＷから剥がれてロール３４に巻き戻されたクリーニングシート３２の粘着面３２ａに付着するので、ワークＷの清掃が完了する。 Although the pressing of the cleaning sheet 32 to the work chuck surface 2a is performed only by the auxiliary roller 38, the roll 34 may also press the cleaning sheet 32 to the work chuck surface 2a during the forward movement. .
Then, when the adhesive surface 32a of the cleaning sheet 32 pulled out from the roll 34 adheres to the entire area of the work chuck surface 2a, this time, the roll 34 is moved to the original position by pulling the handle portion 36 as shown in FIG. (Move back) At this time, since the roll 34 rotates in the reverse direction due to the spring biasing force from the spiral spring 40, the cleaning sheet 32 adhered to the work W is rewound onto the roll 34 without being loosened. Then, foreign matters such as dust and dust adhered to the work chuck surface 2a adhere to the adhesive surface 32a of the cleaning sheet 32 peeled off from the work W and rewound onto the roll 34, and thus the cleaning of the work W is completed. .

したがって、本実施形態のクリーナ３０は、柄部３６のグリップ部３６ａを持ってロール３４をマスクステージ１とワークステージ２の間の狭い空間に挿入し、ロール３４を清掃すべき面上で往復移動させることで、ロール３４から引き出したクリーニングシート３２の粘着面３２ａを清掃すべき面（マスクＭ又はワークチャック面２ａ）に粘着した後、粘着面３２ａを清掃すべき面から剥がすことで、清掃すべき面に付着していたゴミや塵等の異物が粘着面３２ａに付着するので、清掃すべき面に付着していた異物を簡単に除去することができる。   Therefore, the cleaner 30 of the present embodiment has the grip portion 36a of the handle portion 36, inserts the roll 34 into a narrow space between the mask stage 1 and the work stage 2, and reciprocates on the surface to be cleaned. Thus, after the adhesive surface 32a of the cleaning sheet 32 drawn out from the roll 34 is adhered to the surface to be cleaned (mask M or work chuck surface 2a), the adhesive surface 32a is removed from the surface to be cleaned. Since foreign matters such as dust and dust adhering to the surface to be adhered adhere to the adhesive surface 32a, the foreign matters adhering to the surface to be cleaned can be easily removed.

また、補助ローラ３８がロール３４から引き出されたクリーニングシート３２を清掃すべき面側に押圧しているので、クリーニングシート３２の粘着を確実に行うことができる。
さらに、クリーニングシート３２をロール３４に巻き戻す際には、クリーニングシート３２の引き出しの際に渦巻きバネ４０によりロール３４を巻き戻し方向に回転させるバネ付勢力が作用するので、清掃すべき面に粘着していたクリーニングシート３２を弛ませずにロール３４に巻き戻すことができる。
さらにまた、巻き戻しの際、補助ローラ３８は押圧させたまま、ロール３４を少し浮かせていることにより、巻き戻し時のしわの発生が抑制されるとともに、クリーニングシート３２に付着したゴミ等によるマスクＭ又はワークチャック面２ａの傷付き等も防止できる。 Further, since the auxiliary roller 38 presses the cleaning sheet 32 drawn from the roll 34 toward the surface to be cleaned, the cleaning sheet 32 can be reliably adhered.
Further, when the cleaning sheet 32 is rewound onto the roll 34, a spring biasing force that rotates the roll 34 in the rewinding direction is acted upon by the spiral spring 40 when the cleaning sheet 32 is pulled out. The cleaned cleaning sheet 32 can be rewound onto the roll 34 without slackening.
Furthermore, when the rewinding is performed, the roll 34 is slightly lifted while the auxiliary roller 38 is pressed, so that the generation of wrinkles during rewinding is suppressed, and a mask made of dust or the like attached to the cleaning sheet 32 is used. It is possible to prevent damage to the M or work chuck surface 2a.

なお、図４及び図５では、真空吸着板２６の下面に吸着保持されているマスクＭの清掃を行う際のクリーナ３０の使用手順について説明したが、マスクＭを取り外した真空吸着板２６の清掃を行う際にも、上述したクリーナ３０の使用手順を行うことで同様の効果を奏することができる。また、図６及び図７では、ワークチャック面２ａの清掃を行う際のクリーナ３０の使用手順について説明したが、ワークチャック面２ａに吸着保持されているワークＷの清掃を行う際にも、上述したクリーナ３０の使用手順を行うことで同様の効果を奏することができる。   4 and 5, the procedure for using the cleaner 30 when cleaning the mask M sucked and held on the lower surface of the vacuum suction plate 26 has been described, but the vacuum suction plate 26 with the mask M removed is cleaned. Also when performing, the same effect can be show | played by performing the usage procedure of the cleaner 30 mentioned above. 6 and 7, the procedure for using the cleaner 30 when cleaning the work chuck surface 2a has been described. However, when cleaning the work W held by suction on the work chuck surface 2a, the above-described procedure is used. The same effect can be obtained by performing the procedure for using the cleaner 30.

次に、本発明に係る第２実施形態のマスクステージ１又はワークステージ２の清掃を行うクリーナ装置について、図８から図１１を参照して説明する。なお、図１から図７で示した構成と同一構成部分には、同一符号を付してその説明を省略する。
図８及び図９に示すように、本実施形態のクリーナ装置５０は、クリーニングシート３２を巻き付けたロール３４及び補助ローラ３８をマスクステージ１の真空吸着板２６とワークステージ２のワークチャック面２ａとの間の空間で往復移動させるロール移動機構５２を備えており、このロール移動機構５２はワークステージ２の側部に配置されている。 Next, a cleaner device for cleaning the mask stage 1 or the work stage 2 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same component as the structure shown in FIGS. 1-7, and the description is abbreviate | omitted.
As shown in FIGS. 8 and 9, the cleaner device 50 according to the present embodiment includes a roll 34 and an auxiliary roller 38 around which the cleaning sheet 32 is wound, and the vacuum suction plate 26 of the mask stage 1 and the work chuck surface 2 a of the work stage 2. A roll moving mechanism 52 that reciprocates in the space between the two is provided, and this roll moving mechanism 52 is disposed on the side of the work stage 2.

このロール移動機構５２は、ワークステージ２の側部に水平方向に延在して固定した案内レール５２ａと、この案内レール５２ａに支持されて水平方向に移動自在とされており、ロール３４及び補助ローラ３８が上部に設置されているスライダ本体５２ｂと、このスライダ本体５２ｂに一体化されているねじナット５２ｃと、案内レール５２ａと平行に配置されてねじナット５２ｃのねじ部に螺合しているねじ軸５２ｄと、ねじ軸５２ｄを正逆方向に回転させることでスライダ本体５２ｂを水平方向に移動させる駆動部５２ｅとを備えた直動装置である。案内レール５２ａ及びねじ軸５２ｄは、ワークステージ２の側部から外方に突出しており、図８で示す案内レール５２ａの右側端部にスライダ本体５２ｂが移動すると、ロール３４及び補助ローラ３８の退避位置としている。   The roll moving mechanism 52 extends horizontally on the side of the work stage 2 and is fixed, and is supported by the guide rail 52a so as to be movable in the horizontal direction. A slider main body 52b on which the roller 38 is installed, a screw nut 52c integrated with the slider main body 52b, and a threaded portion of the screw nut 52c that is disposed in parallel with the guide rail 52a. The linear motion device includes a screw shaft 52d and a drive unit 52e that moves the slider main body 52b in the horizontal direction by rotating the screw shaft 52d in the forward and reverse directions. The guide rail 52a and the screw shaft 52d protrude outward from the side of the work stage 2. When the slider main body 52b moves to the right end of the guide rail 52a shown in FIG. 8, the roll 34 and the auxiliary roller 38 are retracted. The position.

ロール３４は、スライダ本体５２ｂ上に固定したロール支持部材５４に回転自在に装着される。ここで、ワークステージ２のワークチャック面２ａを清掃するときには、図８に示すようにロール３４の下側からクリーニングシート３２が引き出されるように、ロール３４をロール支持部材５４に装着し、マスクステージ１の真空吸着板２６を清掃する際には、ロール３４の上側からクリーニングシート３２が引き出されるように、ロール支持部材５４に対するロール３４の装着向きを変更する。   The roll 34 is rotatably mounted on a roll support member 54 fixed on the slider body 52b. Here, when cleaning the work chuck surface 2a of the work stage 2, the roll 34 is mounted on the roll support member 54 so that the cleaning sheet 32 is pulled out from the lower side of the roll 34 as shown in FIG. When cleaning one vacuum suction plate 26, the mounting direction of the roll 34 with respect to the roll support member 54 is changed so that the cleaning sheet 32 is pulled out from the upper side of the roll 34.

また、補助ローラ３８は、詳細には図示しない昇降機構（例えばエアシリンダを用いたもの等）５６により上下方向に移動自在とされ、下向きに付勢されるようになっている。
そして、本実施形態も、ロール３４の内部に渦巻きバネ（バネ部材）４０が配置されており、クリーニングシート３２を引き出す方向にロール３４が正方向に回転すると、ロール３４を逆回転させるようとする渦巻きバネ４０のバネ付勢力が作用するようになっている。 Further, the auxiliary roller 38 is movable up and down by an elevating mechanism (not shown in detail) 56 (for example, one using an air cylinder) and is urged downward.
Also in this embodiment, a spiral spring (spring member) 40 is disposed inside the roll 34, and when the roll 34 rotates in the forward direction in the direction of pulling out the cleaning sheet 32, the roll 34 is rotated in the reverse direction. The spring biasing force of the spiral spring 40 is applied.

上記構成のクリーナ装置５０を使用してワークステージ２のワークチャック面２ａを清掃する場合には、先ず、図１０に示すように、ロール３４及び補助ローラ３８がワークチャック面２ａの端部に位置するように、スライダ本体５２ｂを退避位置から移動させる。そして、クリーニングシート３２の端部の粘着面３２ａをワークチャック面２ａに粘着させた後、前述した昇降機構５６の駆動により補助ローラ３８を最下部まで移動し、ワークチャック面２ａに粘着しているクリーニングシート３２の端部を押圧する。   When cleaning the work chuck surface 2a of the work stage 2 using the cleaner device 50 having the above configuration, first, as shown in FIG. 10, the roll 34 and the auxiliary roller 38 are positioned at the end of the work chuck surface 2a. Thus, the slider main body 52b is moved from the retracted position. Then, after adhering the adhesive surface 32a at the end of the cleaning sheet 32 to the work chuck surface 2a, the auxiliary roller 38 is moved to the lowest position by driving the lifting mechanism 56 described above, and adheres to the work chuck surface 2a. The end of the cleaning sheet 32 is pressed.

そして、ロール移動機構５２の駆動部５２ｅを正回転駆動することで、ねじ軸５２ｄの正回転をねじナット５２ｃを介してスライダ本体５２ｂに直進運動として伝達し、図１０に示すようにスライダ本体５２ｂを往路移動させていく。これにより、ロール３４から引き出されたクリーニングシート３２がワークチャック面２ａに粘着していく。   Then, by driving the drive unit 52e of the roll moving mechanism 52 to rotate in the forward direction, the forward rotation of the screw shaft 52d is transmitted as a straight movement to the slider body 52b via the screw nut 52c, and as shown in FIG. 10, the slider body 52b. Move forward. As a result, the cleaning sheet 32 pulled out from the roll 34 adheres to the work chuck surface 2a.

そして、クリーニングシート３２の粘着面３２ａがワークチャック面２ａの全域に粘着すると、今度は、ロール移動機構５２の駆動部５２ｅを逆回転駆動することで、図１０の矢印方向と逆方向にスライダ本体５２ｂを復路移動させていく。このとき、ロール３４は渦巻きバネ４０からバネ付勢力が作用して逆方向に回転するので、ワークチャック面２ａに粘着していたクリーニングシート３２は弛まずにロール３４に巻き戻されていく。そして、ワークチャック面２ａに付着していたゴミや塵等の異物は、ワークチャック面２ａから剥がれてロール３４に巻き戻されたクリーニングシート３２の粘着面３２ａに付着するので、ワークチャック面２ａの清掃が完了する。   When the adhesive surface 32a of the cleaning sheet 32 adheres to the entire area of the work chuck surface 2a, this time, the drive unit 52e of the roll moving mechanism 52 is reversely driven to rotate the slider body in the direction opposite to the arrow direction in FIG. 52b is moved backward. At this time, the roll 34 rotates in the reverse direction due to the spring biasing force acting from the spiral spring 40, so that the cleaning sheet 32 adhered to the work chuck surface 2a is rewound onto the roll 34 without loosening. Further, foreign matters such as dust and dust adhering to the work chuck surface 2a adhere to the adhesive surface 32a of the cleaning sheet 32 peeled off from the work chuck surface 2a and rewound onto the roll 34, so that the work chuck surface 2a Cleaning is complete.

また、マスクステージ１の真空吸着板２６の下面を清掃する場合には、図１１に示すように、ロール３４の上側からクリーニングシート３２が引き出されるように、ロール支持部材５４に対するロール３４の装着向きを変更する。また、昇降機構５６は上向きに付勢するように変更される。そして、ロール３４及び補助ローラ３８がワークチャック面２ａの端部に位置するように、スライダ本体５２ｂを退避位置から移動し、クリーニングシート３２の端部の粘着面３２ａを真空吸着板２６の下面に粘着させた後、前述した昇降機構５６の駆動により補助ローラ３８を上方に移動し、真空吸着板２６の下面に粘着しているクリーニングシート３２の端部を押圧する。   When cleaning the lower surface of the vacuum suction plate 26 of the mask stage 1, as shown in FIG. 11, the orientation of the roll 34 with respect to the roll support member 54 so that the cleaning sheet 32 is pulled out from the upper side of the roll 34. To change. Moreover, the raising / lowering mechanism 56 is changed so that it may urge upward. Then, the slider body 52b is moved from the retracted position so that the roll 34 and the auxiliary roller 38 are positioned at the end of the work chuck surface 2a, and the adhesive surface 32a at the end of the cleaning sheet 32 is placed on the lower surface of the vacuum suction plate 26. After the adhesion, the auxiliary roller 38 is moved upward by driving the lifting mechanism 56 described above, and the end of the cleaning sheet 32 adhered to the lower surface of the vacuum suction plate 26 is pressed.

そして、ロール移動機構５２の駆動部５２ｅを正回転駆動することで、ねじ軸５２ｄの正回転をねじナット５２ｃを介してスライダ本体５２ｂに直進運動として伝達し、図１１に示すようにスライダ本体５２ｂを往路移動させていく。これにより、ロール３４から引き出されたクリーニングシート３２が真空吸着板２６の下面に粘着していく。   Then, by driving the drive unit 52e of the roll moving mechanism 52 to rotate in the forward direction, the forward rotation of the screw shaft 52d is transmitted to the slider body 52b through the screw nut 52c as a straight movement, and as shown in FIG. 11, the slider body 52b. Move forward. As a result, the cleaning sheet 32 pulled out from the roll 34 adheres to the lower surface of the vacuum suction plate 26.

そして、クリーニングシート３２の粘着面３２ａが真空吸着板２６の下面全域に粘着すると、今度は、ロール移動機構５２の駆動部５２ｅを逆回転駆動することで、図１１の矢印方向と逆方向にスライダ本体５２ｂを復路移動させていく。このとき、ロール３４は渦巻きバネ４０からバネ付勢力が作用して逆方向に回転するので、真空吸着板２６の下面に粘着していたクリーニングシート３２は弛まずにロール３４に巻き戻されていく。そして、真空吸着板２６の下面に付着していたゴミや塵等の異物は、その面から剥がれてロール３４に巻き戻されたクリーニングシート３２の粘着面３２ａに付着するので、真空吸着板２６の清掃が完了する。   When the adhesive surface 32a of the cleaning sheet 32 adheres to the entire lower surface of the vacuum suction plate 26, this time, the drive unit 52e of the roll moving mechanism 52 is driven to rotate in the reverse direction, thereby moving the slider in the direction opposite to the arrow direction in FIG. The main body 52b is moved backward. At this time, the roll 34 rotates in the reverse direction due to the spring biasing force acting from the spiral spring 40, so that the cleaning sheet 32 adhered to the lower surface of the vacuum suction plate 26 is rewound onto the roll 34 without loosening. . Further, foreign matters such as dust and dust attached to the lower surface of the vacuum suction plate 26 adhere to the adhesive surface 32a of the cleaning sheet 32 that has been peeled off from the surface and rewound onto the roll 34. Cleaning is complete.

したがって、本実施形態のクリーナ装置５０は、ロール移動機構５２によりロール３４をマスクステージ１とワークステージ２の間の空間に移動し、ロール移動機構５２に駆動によりロール３４を清掃すべき面上で往復移動させることで、ロール３４から引き出したクリーニングシート３２の粘着面３２ａを清掃すべき面（マスクチャック面又は真空吸着板２６の下面）に粘着した後、粘着面３２ａを清掃すべき面から剥がすことで、清掃すべき面に付着していたゴミや塵等の異物が粘着面３２ａに付着するので、清掃すべき面に付着していた異物を、自動的に除去することができる。   Therefore, the cleaner device 50 according to the present embodiment moves the roll 34 to the space between the mask stage 1 and the work stage 2 by the roll moving mechanism 52 and drives the roll moving mechanism 52 on the surface to be cleaned. By reciprocating, the adhesive surface 32a of the cleaning sheet 32 drawn out from the roll 34 is adhered to the surface to be cleaned (mask chuck surface or the lower surface of the vacuum suction plate 26), and then the adhesive surface 32a is peeled off from the surface to be cleaned. As a result, foreign matters such as dust and dust adhering to the surface to be cleaned adhere to the adhesive surface 32a, so that the foreign matters adhering to the surface to be cleaned can be automatically removed.

また、ロール３４から引き出されたクリーニングシート３２は、上下方向に移動自在な補助ローラ３８により清掃すべき面側に押圧されているので、粘着面３２ａは清掃すべき面側に確実に粘着する。
さらに、クリーニングシート３２をロール３４に巻き戻す際には、クリーニングシート３２の引き出しの際に渦巻きバネ４０によりロール３４を巻き戻し方向に回転させるバネ付勢力が作用するので、清掃すべき面に粘着していたクリーニングシート３２を弛ませずにロール３４に巻き戻すことができる。
さらにまた、巻き戻しの際、補助ローラ３８は押圧させたまま、ロール３４を少し浮かせていることにより、巻き戻し時のしわの発生が抑制されるとともに、クリーニングシート３２に付着したゴミ等によるマスクＭ又はワークチャック面２ａの傷付き等も防止できる。 Further, since the cleaning sheet 32 pulled out from the roll 34 is pressed against the surface to be cleaned by the auxiliary roller 38 that is movable in the vertical direction, the adhesive surface 32a reliably adheres to the surface to be cleaned.
Further, when the cleaning sheet 32 is rewound onto the roll 34, a spring biasing force that rotates the roll 34 in the rewinding direction is acted upon by the spiral spring 40 when the cleaning sheet 32 is pulled out. The cleaned cleaning sheet 32 can be rewound onto the roll 34 without slackening.
Furthermore, when the rewinding is performed, the roll 34 is slightly lifted while the auxiliary roller 38 is pressed, so that the generation of wrinkles during rewinding is suppressed, and a mask made of dust or the like attached to the cleaning sheet 32 is used. It is possible to prevent damage to the M or work chuck surface 2a.

なお、図１０では、ワークＷを取り外したワークチャック面２ａの清掃を行う際のクリーナ装置５０の動作について説明したが、ワークチャック面２ａに吸着保持されたワークＷの清掃を行う際にも、上述したクリーナ装置５０の動作を行うことで同様の効果を奏することができる。また、図１１では、マスクＭを取り外した真空吸着板２６の下面の清掃を行う際のクリーナ装置５０の動作について説明したが、真空吸着板２６の下面に吸着保持されているマスクＭの清掃を行う際にも、上述したクリーナ装置５０の動作を行うことで同様の効果を奏することができる。
また、ロール移動機構５２として、駆動部５２ｅと送りねじ（ねじナット５２ｃ及びねじ軸５２ｄ）との組合せを用いたが、これに代え、例えばニリアモータ等を用いるようにしてもよい。 In addition, in FIG. 10, although operation | movement of the cleaner apparatus 50 at the time of cleaning the workpiece chuck surface 2a which removed the workpiece | work W was demonstrated, also when cleaning the workpiece | work W adsorbed-held at the workpiece chuck surface 2a, The same effect can be obtained by performing the operation of the cleaner device 50 described above. In FIG. 11, the operation of the cleaner device 50 when cleaning the lower surface of the vacuum suction plate 26 from which the mask M has been removed has been described. However, the cleaning of the mask M suctioned and held on the lower surface of the vacuum suction plate 26 is performed. Also when performing, the same effect can be show | played by operating the cleaner apparatus 50 mentioned above.
Further, as the roll moving mechanism 52, the combination of the drive unit 52e and the feed screw (screw nut 52c and screw shaft 52d) is used, but instead of this, for example, a niria motor or the like may be used.

本発明に係る近接露光装置の概略を示した図である。It is the figure which showed the outline of the proximity exposure apparatus which concerns on this invention. 本発明の手動式クリーナの全体構造を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the whole structure of the manual type cleaner of this invention. 本発明の手動式クリーナのロール内に設けたバネ部材を示す図である。It is a figure which shows the spring member provided in the roll of the manual cleaner of this invention. 本発明の手動式クリーナがマスクステージを清掃する際の往路の動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement of the outward path at the time of the manual cleaner of this invention cleaning a mask stage. 本発明の手動式クリーナがマスクステージを清掃する際の復路の動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement of a return path when the manual cleaner of this invention cleans a mask stage. 本発明の手動式クリーナがワークステージを清掃する際の往路の動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement of the outward path at the time of the manual cleaner of this invention cleaning a work stage. 本発明の手動式クリーナがワークステージを清掃する際の復路の動作を示す図である。It is a figure which shows the operation | movement of a return path when the manual cleaner of this invention cleans a work stage. 本発明のクリーナ装置を示す側面図である。It is a side view which shows the cleaner apparatus of this invention. 図８のIX−IX線矢視図である。It is the IX-IX line arrow directional view of FIG. 本発明のクリーナ装置がワークステージを清掃している状態を示す図である。It is a figure which shows the state which the cleaner apparatus of this invention is cleaning the work stage. 本発明のクリーナ装置がマスクステージを清掃している状態を示す図である。It is a figure which shows the state which the cleaner apparatus of this invention is cleaning the mask stage.

符号の説明Explanation of symbols

１ マスクステージ
２ ワークステージ
２ａ ワークチャック面
２６ 真空吸着板
３０ クリーナ（手動式クリーナ）
３２ クリーニングシート
３２ａ 粘着面
３４ ロール
３６ 柄部
３６ａ グリップ部
３６ｂ 支持軸
３８ 補助ローラ
４０ 渦巻きバネ（バネ部材）
５０ クリーナ装置
５２ ロール移動機構
５２ａ 案内レール
５２ｂ スライダ本体
５２ｃ ねじナット
５２ｄ ねじ軸
５２ｅ 駆動部
Ｍ マスク
Ｗ ワーク 1 Mask Stage 2 Work Stage 2a Work Chuck Surface 26 Vacuum Suction Plate 30 Cleaner (Manual Cleaner)
32 Cleaning sheet 32a Adhesive surface 34 Roll 36 Handle portion 36a Grip portion 36b Support shaft 38 Auxiliary roller 40 Spiral spring (spring member)
50 Cleaner Device 52 Roll Moving Mechanism 52a Guide Rail 52b Slider Main Body 52c Screw Nut 52d Screw Shaft 52e Drive Unit M Mask W Workpiece

Claims (7)

上下方向に対向配置されているワークステージ及びマスクステージの間の空間に挿入し、前記ワークステージ及び前記マスクステージの一方の清掃すべき面を清掃する近接露光装置の手動式クリーナであって、
粘着面を有する帯状のクリーニングシートと、このクリーニングシートを巻き付けた状態で前記空間に挿入可能なロールと、このロールが回転自在に連結しており、該ロールを前記空間に挿入させる柄部とを備えており、前記柄部を持って前記空間に挿入した前記ロールを前記清掃すべき面上近くで往復移動させ、往路において前記ロールを正回転させることで前記クリーニングシートが引き出されて前記粘着面を前記清掃すべき面に粘着させ、復路で前記ロールを逆回転させることで前記清掃すべき面に粘着していた前記クリーニングシートを前記ロールに巻き戻していくことを特徴とする近接露光装置の手動式クリーナ。 A manual cleaner of a proximity exposure apparatus that is inserted into a space between a work stage and a mask stage that are arranged to face each other in the vertical direction and cleans one surface to be cleaned of the work stage and the mask stage,
A strip-shaped cleaning sheet having an adhesive surface, a roll that can be inserted into the space in a state in which the cleaning sheet is wound, and a handle that is rotatably connected to the roll and allows the roll to be inserted into the space. The cleaning sheet is drawn out by reciprocating the roll inserted into the space with the handle portion near the surface to be cleaned, and rotating the roll forward in the forward path, and the adhesive surface. A proximity exposure apparatus, wherein the cleaning sheet adhered to the surface to be cleaned is rewound onto the roll by reversing the roll in a return path. Manual cleaner. 前記柄部に、前記ロールから引き出されて前記清掃すべき面に粘着している前記クリーニングシートを前記清掃すべき面に向けて押圧する補助ローラを設けたことを特徴とする請求項１記載の近接露光装置の手動式クリーナ。   The auxiliary roller which presses the said cleaning sheet pulled out from the said roll and adhere | attached on the said surface to be cleaned toward the said surface to be cleaned in the said pattern part is provided. Manual cleaner for proximity exposure equipment. 前記往路において前記ロールが正回転していく際に、前記ロールを逆回転させる方向にバネ付勢力が徐々に増大していくバネ部材を設けたことを特徴とする請求項１又は２記載の近接露光装置の手動式クリーナ。   3. The proximity according to claim 1, further comprising a spring member that gradually increases a spring urging force in a direction in which the roll rotates in the reverse direction when the roll rotates in the forward path. Manual cleaner for exposure equipment. 上下方向に対向配置されているワークステージ及びマスクステージの間の空間を移動し、前記ワークステージ及び前記マスクステージの一方の清掃すべき面を清掃する近接露光装置のクリーナ装置であって、
前記マスクステージに、粘着面を有する帯状のクリーニングシートを巻き付けたロールを前記空間の前記清掃すべき面上近くで往復移動させるロール移動機構を設け、当該ロール移動機構が前記ロールを正回転させて往路移動させると、前記クリーニングシートが前記ロールから引き出されて前記粘着面が前記清掃すべき面に粘着していき、前記ロール移動機構が前記ロールを逆回転させて復路移動させると、前記清掃すべき面に粘着していた前記クリーニングシートが前記ロールに巻き戻されていくようにしたことを特徴とする近接露光装置のクリーナ装置。 A cleaner device of a proximity exposure apparatus that moves in a space between a work stage and a mask stage that are opposed to each other in the vertical direction, and cleans one of the surfaces to be cleaned of the work stage and the mask stage,
The mask stage is provided with a roll moving mechanism for reciprocating a roll around which a belt-like cleaning sheet having an adhesive surface is wound near the surface to be cleaned in the space, and the roll moving mechanism rotates the roll forward. When the forward movement is made, the cleaning sheet is pulled out from the roll and the adhesive surface sticks to the surface to be cleaned, and when the roll moving mechanism rotates the roll in the reverse direction and moves backward, the cleaning is performed. A cleaner apparatus for a proximity exposure apparatus, wherein the cleaning sheet adhered to a power surface is rewound onto the roll. 前記ロール移動機構は、前記ロールを回転自在に支持しながら前記空間で直動させる直動装置であることを特徴とする請求項４記載の近接露光装置のクリーナ装置。   5. The proximity exposure apparatus cleaner apparatus according to claim 4, wherein the roll moving mechanism is a linear motion device that linearly moves in the space while rotatably supporting the roll. 前記ロール移動機構に、前記ロールから引き出されて前記清掃すべき面に粘着している前記クリーニングシートを前記清掃すべき面に向けて押圧する補助ローラを、上下方向移動自在に設けたことを特徴とする請求項４又は５記載の近接露光装置のクリーナ装置。   An auxiliary roller that presses the cleaning sheet that is pulled out of the roll and adheres to the surface to be cleaned toward the surface to be cleaned is provided in the roll moving mechanism so as to be movable in the vertical direction. A cleaner apparatus for a proximity exposure apparatus according to claim 4 or 5. 前記往路において前記ロールが正回転していく際に、前記ロールを逆回転させる方向にバネ付勢力が徐々に増大していくバネ部材を設けたことを特徴とする請求項４から６の何れか１項に記載の近接露光装置のクリーナ装置。   7. The spring member according to claim 4, further comprising a spring member that gradually increases a spring urging force in a direction in which the roll rotates backward when the roll rotates forward in the forward path. A cleaner device for a proximity exposure apparatus according to item 1.
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