JP2007212431A - 光学式検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源から検査対象面を経由し撮像素子までの光路上の任意の位置に波長フィルタを配置する。撮像素子によって、欠陥を含む検査対象面の線状領域の輝度分布を求め、それを参照値と比較することによって、欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定する。
【選択図】図1
Description
配線パターン部の輝度値:Rimg=0
欠陥の輝度値:Rdef=50
欠陥の輝度差:Rdif=Rimg−Rdef=−50
配線パターン部の輝度値:Gimg=100
欠陥の輝度値:Gdef=50
欠陥の輝度差:Gdif=Gimg−Gdef=50
配線パターン部の輝度値:Bimg=0
欠陥の輝度値:Bdef=0
欠陥の輝度差:Bdif=Bimg−Bdef=0
Rフィルタを用いた場合の欠陥の輝度差:Rdif=−50
Gフィルタを用いた場合の欠陥の輝度差:Gdif=50
Bフィルタを用いた場合の欠陥の輝度差:Bdif=0
比1:R/G=Rdif÷Gdif
比2:G/B=Gdif÷Bdif
比3:B/R=Bdif÷Rdif
係数1:KR=Rdif÷Rimg=−50÷0=−∞(無限大)
係数2:KG=Gdif÷Gimg=50÷100=0.5
係数3:KB=Bdif÷Bimg=0÷0=∞(無限大)
KR÷KG=−∞÷0.5=−∞
Claims (19)
- 検査対象面に光を照射する光源と、該検査対象面上の線状領域の輝度分布を得るための撮像素子と、上記光源から上記検査対象面を経由し上記撮像素子までの光路上の任意の位置に配置された波長フィルタと、上記撮像素子からの信号を入力して上記検査対象面の欠陥を検出する欠陥検出処理部と、上記検査対象面の欠陥を含む線状領域の輝度分布を所定の参照値と比較することによって上記検査対象面の欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定する欠陥識別処理部と、を有する光学式検査装置。
- 請求項1記載の光学式検査装置において、上記波長フィルタは互いに異なる波長通過帯域を有する波長フィルタに交換可能であり、上記欠陥識別処理部は、上記少なくとも2つの異なる波長フィルタを用いた場合の各々に対して、上記検査対象面の欠陥を含む線状領域の輝度分布を所定の参照値と比較することを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項2記載の光学式検査装置において、上記欠陥識別処理部は、上記少なくとも2つの異なる波長フィルタを用いた場合の各々に対して、上記検査対象面の欠陥を含む線状領域の輝度分布と所定の参照値の差を求め、該差のうちの2つの差の比を演算することを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項2記載の光学式検査装置において、上記欠陥識別処理部は、上記少なくとも2つの異なる波長フィルタを用いた場合の各々に対して、上記検査対象面の欠陥を含む線状領域の輝度分布と所定の参照値の差を求め、上記参照値に対する該差の比を演算することを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項1記載の光学式検査装置において、上記欠陥検出処理部が上記検査対象面の欠陥を検出するとき、上記波長フィルタは上記光路より除去されていることを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項1記載の光学式検査装置において、上記参照値は、欠陥を含まない検査対象面上の線状領域の輝度分布であることを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項1記載の光学式検査装置において、上記撮像素子は電荷撮像素子(CCD)又はラインセンサであることを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項2記載の光学式検査装置において、上記少なくとも2つの異なる波長フィルタを用いた場合の各々に対して、上記検査対象面の欠陥を含む線状領域の輝度分布からカラーの欠陥画像を合成し、上記所定の参照値からカラーの参照画像を合成し、該欠陥画像及び参照画像を表示する表示装置を有することを特徴とする光学式検査装置。
- 半導体ウエハのチップに光を照射する光源と、該チップ上の線状領域の輝度分布を得るための撮像素子と、上記光源から上記半導体ウエハを経由し上記撮像素子までの光路上の任意の位置に配置された波長フィルタと、上記撮像素子からの信号を入力して上記チップの欠陥を検出する欠陥検出処理部と、上記チップの欠陥を含む線状領域の輝度分布を所定の参照値と比較することによって上記チップの欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定する欠陥識別処理部と、を有する光学式検査装置。
- 請求項9記載の光学式検査装置において、上記参照値は、上記チップ上の欠陥を含まない線状領域の輝度分布であることを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項9記載の光学式検査装置において、上記欠陥識別処理部は、赤色を通過させるRフィルタを用いたときの上記チップの欠陥を含む線状領域の輝度分布と参照値の差をRdif、緑色を通過させるGフィルタを用いたときの上記チップの欠陥を含む線状領域の輝度分布と参照値の差をGdif、青色を通過させるBフィルタを用いたときの上記チップの欠陥を含む線状領域の輝度分布と参照値の差をBdif、とするとき、これらの差Rdif、Gdif、Bdifの少なくとも1つに基づいて、上記チップの欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定することを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項11記載の光学式検査装置において、上記欠陥識別処理部は、上記差Rdif、Gdif、Bdifのうちの2つの差の比Rdif/Gdif、Gdif/Bdif、Bdif/Rdifの少なくとも1つに基づいて、上記チップの欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定することを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項11記載の光学式検査装置において、上記欠陥識別処理部は、上記参照値Rimg、Gimg、Bimgに対する上記差Rdif、Gdif、Bdifの比Rdif/Rimg、Gdif/Gimg、Bdif/Bimgの少なくとも1つに基づいて、上記チップの欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定することを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項9記載の光学式検査装置において、上記欠陥識別処理部は、上記チップの配線パターン部の欠陥を含む線状領域の輝度分布を所定の参照値と比較することによって上記チップの欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定することを特徴とする光学式検査装置。
- 光源からの光を半導体ウエハのチップに照射する照射ステップと、
該チップ上の線状領域の輝度分布を得る輝度分布計測ステップと、
上記光源から上記半導体ウエハを経由し上記撮像素子までの光路上の任意の位置に波長フィルタを配置する波長フィルタ挿入ステップと、
上記撮像素子からの信号を入力して上記チップの欠陥を検出する欠陥検出処理ステップと、
上記チップの欠陥を含む線状領域の輝度分布を所定の参照値と比較することによって上記チップの欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定する欠陥識別処理ステップと、
を有する光学式検査方法。 - 請求項15記載の光学式検査方法において、上記参照値は、上記チップ上の欠陥を含まない線状領域の輝度分布であることを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項15記載の光学式検査方法において、上記欠陥識別処理ステップは、上記チップの配線パターン部の欠陥を含む線状領域の輝度分布を所定の参照値と比較することによって上記チップの欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定することを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項15記載の光学式検査方法において、上記波長フィルタ挿入ステップは、赤色を通過させるRフィルタ、緑色を通過させるGフィルタ、青色を通過させるBフィルタの少なくとも1つを用いることを特徴とする光学式検査方法。
- 請求項18記載の光学式検査方法において、上記欠陥識別処理ステップは、赤色を通過させるRフィルタを用いたときの上記チップの欠陥を含む線状領域の輝度分布と参照値の差をRdif、緑色を通過させるGフィルタを用いたときの上記チップの欠陥を含む線状領域の輝度分布と参照値の差をGdif、青色を通過させるBフィルタを用いたときの上記チップの欠陥を含む線状領域の輝度分布と参照値の差をBdif、とするとき、これらの差Rdif、Gdif、Bdifの少なくとも1つに基づいて、上記チップの欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定することを特徴とする光学式検査方法。
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- 2006-09-15 JP JP2006251007A patent/JP4810377B2/ja not_active Expired - Fee Related
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