KR101876391B1 - 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치 - Google Patents

단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치에 관한 것으로서, 검사대상물에 패턴광을 조사한 후 반사되는 패턴 이미지를 이용하여 상기 검사대상물의 3차원 형상을 측정하는 3차원 검사 장치에 있어서, 상기 검사 대상물을 검사 영역에 위치시키는 스테이지; 상기 검사 대상물에 레드(Red), 그린(Green), 블루(Blue) 중 어느 하나의 색상을 이용한 단색광을 적용하여 상기 검사 대상물에 격자 패턴광을 조사하는 적어도 하나 이상의 프로젝터; 상기 스테이지 상부에 배치되어 상기 검사대상물의 표면에서 반사되는 반사광을 제공받아 상기 검사 대상물의 표면을 촬영하여 패턴 이미지를 획득하는 적어도 하나 이상의 카메라; 및 상기 카메라로부터 패턴 이미지를 전송받아 상기 패턴 이미지를 밝기 정도에 따라 구분하기 위해 휘도 채널과 색상 채널로 분리하여 3차원 검사를 수행하는 영상 처리부를 포함한다. 따라서, 본 발명은 R, G, B 중 어느 하나의 색상을 이용한 단색광을 이용하여 검사 대상물에 격자 패턴광을 1회 조사한 후 카메라로 획득한 패턴 이미지를 휘도 성분, 블루 성분, 레드 성분 등의 다채널로 분리함으로써 일반 부품, 칩의 바디 또는 CSP 칩 등의 전반사가 발생되는 부품, 솔더 및 IC 리드 칩의 전극부 등의 난반사가 발생되는 부품에 대한 3차원 검사를 모두 수행할 수 있고, 조명값에 의한 부품의 특성별로 조명의 밝기를 다르게 설정하여 조사할 필요가 없어져 기존에 비해 3차원 형상의 측정 정밀도를 높이면서 검사 시간을 단축시킬 수 있다.

Description

단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치{ Apparatus for inspecting three dimension Using multi-channel image of single color light Moire }
본 발명은 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 R, G, B 중 어느 하나의 색상을 이용한 단색광을 이용하여 검사 대상물에 격자 패턴광을 1회 조사함으로써 일반 부품, 경면 부품, 반사도가 낮은 부품들에 대한 3차원 검사를 수행할 수 있는 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치에 관한 것이다.
정보통신의 급속한 발전으로 휴대전화, 노트북, 스마트폰, 태블릿 PC와 같은 전자기기를 더욱 소형화, 경량화, 고기능화시키는 기술이 요구되고 있다. 이러한 기술의 요구를 실현하기 위해서는 전자기기에 탑재되는 전자부품의 소형화, 고집적화뿐만 아니라 이에 대해 대응 실장설비, 운용기술, 검사기술, 불량수리기술 등 양품을 생산할 수 있는 고집적화에 대한 전반적인 인프라의 구축과 실장 요소 기술이 필요하게 되었다.
그 중에서, 비전 검사는 고속으로 이동하는 칩의 외관을 카메라를 이용하여 촬영한 이미지를 분석하여 제품의 외관에 불량이 있는지를 판단한다. 일반적으로 비전 검사는 수십에서 ~ 수백 m/sec의 짧은 시간 내에 영상을 획득하고 분석하고 있다. 비전 검사 시간이 지연되는 경우, 전체 부품 생산 시간이 지연되므로 생산성이 저하된다. 따라서, 빠른 시간 내에 정확하게 제품의 외관 불량 여부를 판단하는 비전 검사 기술이 요구되고 있다.
이러한 비전 검사 장치는 통상 검사대상 쪽으로 광을 조명하기 위한 조명기구와, 조명을 받은 검사대상을 촬영하기 위한 카메라와, 카메라를 통해 촬영된 화면을 표준화면과 비교하여 검사대상의 제조 불량 내지 양호 상태를 판별하는 판별수단을 구비한다.
조명기구와 카메라의 경우 통상 검사대상물의 맞은편에 배치되어 검사대상물 쪽으로 광을 조사하고 조명된 검사대상물을 촬영하게 되며, 판별수단은 카메라에서 촬영된 화면을 출력하고 이를 정상 상태를 나타내고 있는 표준화면과 비교 연산하여 검사대상물이 바른 상태로 제조되었는가를 판별하게 된다.
검사대상물을 정확하게 검사하기 위해서는 검사대상물의 3차원 형상 특히 높이를 정확하게 측정하는 것이 중요하다.
검사대상물의 3차원 측정방법으로는 간섭계를 이용한 방식, 레이저 방식, 모아레 방식 등 다양한 방식이 있는데, 모아레 방식은 넓은 면적에서 물체의 높이를 정확하게 측정할 수 있는 장점이 있어 널리 사용되고 있다.
모아레를 이용한 3차원 형상 측정 기술은 그림자식 모아레를 이용한 3차원 형상 측정 방식과 투영식 모아레를 이용한 3차원 형상 측정 방식을 사용하고 있다. 그 중 투영식 모아레를 이용한 3차원 형상 측정 방식은 대상물의 표면 형상을 정밀하게 측정하기 위하여 위상 천이 방법으로 모아레 형상을 측정한다.
이러한 모아레를 이용한 3차원 형상 측정 기술은, 서로 다른 종류의 부품들이 복수 개가 실장된 검사 보드가 인입되면, 적어도 하나 이상의 프로젝터가 FOV(Field of View) 영역에 대한 모아레 패턴광을 조사하고, 적어도 하나 이상의 카메라가 검사 보드에 대한 이미지를 촬영한다.
일반적으로 모아레를 이용한 3차원 형상 측정 기술은 3차원 검사하고자 하는 타겟 부품에 백색 조명을 이용한 모아레 패턴광을 조사하여 해당 부품의 3차원 높이를 검사하게 된다. 이때, 기존에는 타겟 부품의 조명 반사 정도, 해당 부품의 밝기 정도에 따라 3차원 검사의 정밀도에 영향을 주게 된다.
예를 들어, 프로젝터는 검사 대상물에 모아레 패턴광을 조사하고, 카메라가 검사대상물의 표면에서 반사되는 반사광을 제공받아 검사대상물의 표면을 촬영하여 패턴 이미지를 획득하는데, 검사 대상물이 솔더 및 IC 리드, 칩의 전극부를 포함하는 경우에, 해당 부품에 난반사가 발생되어 약한 조명값에도 해당 부품의 패턴 이미지에 하이라이트가 발생하여 3차원 측정이 어렵다는 문제점이 있다.
한편, 검사 대상물이 검정 색상의 칩의 바디 또는 CSP 칩 등의 경면 부품을 포함하는 경우에 경면 부품에 전반사가 발생되어 3차원 조명의 강도를 높게 조정하여 조사해야 해당 부품의 패턴 이미지에 대한 3차원 측정이 가능하다. 그러나, 3차원 형상 측정시 조명 강도를 높게 할 경우에, 경면 부품을 제외한 나머지 일반 부품들의 패턴 이미지에는 하이라이트가 발생하여 3차원 측정이 어렵다는 문제점이 수반된다.
따라서, 종래의 모아레를 이용한 3차원 형상 측정 기술은 모든 부품에 대한 3차원 측정 정밀도를 높이기 위해 3차원 조명을 어두운 밝기, 중간 밝기, 매우 밝은 밝기로 강도를 조절하여 최소 3회 조사하고, 부품 특성에 따라 밝기가 서로 다른 패턴 이미지를 이용하여 3차원 검사를 수행한다. 따라서, 종래의 모아레를 이용한 3차원 형상 측정 기술은 최소 3회 이상 조명의 밝기(어두운 밝기, 중간 밝기, 매우 밝은 밝기 등)를 조절하여 조사해야 하고, 조명의 밝기에 따라 패턴 이미지를 각각 획득해야 하므로 3차원 검사 시간이 3배 이상 증가하게 되는 문제점이 있다.
한국등록특허 제10-1245148호 " 영상 선명도가 개선된 비전 검사 장치 " 한국등록특허 제10-1081538호 " 3차원 형상 측정 장치 및 측정 방법 "
본 발명은 R, G, B 중 어느 하나의 색상을 이용한 단색광을 이용하여 검사 대상물에 격자 패턴광을 1회 조사하고, 검사 대상물에 대한 패턴 이미지를 휘도 성분과 색상 성분의 채널로 분리하여 일반 부품, 전반사가 발생되는 부품, 난반사가 발생되는 부품들에 대한 3차원 검사를 모두 수행할 수 있는 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치를 제공한다.
실시예들 중에서, 검사대상물에 패턴광을 조사한 후 반사되는 패턴 이미지를 이용하여 상기 검사대상물의 3차원 형상을 측정하는 3차원 검사 장치에 있어서, 상기 검사 대상물을 검사 영역에 위치시키는 스테이지; 상기 검사 대상물에 레드(Red), 블루(Blue) 중 어느 하나의 색상을 이용한 단색광을 적용하여 상기 검사 대상물에 격자 패턴광을 조사하는 적어도 하나 이상의 프로젝터; 상기 스테이지 상부에 배치되어 상기 검사대상물의 표면에서 반사되는 반사광을 제공받아 상기 검사 대상물의 표면을 촬영하여 패턴 이미지를 획득하는 적어도 하나 이상의 카메라; 및 상기 카메라로부터 패턴 이미지를 전송받아 상기 패턴 이미지를 밝기 정도에 따라 구분하기 위해 휘도 채널과 색상 채널로 분리하여 색상 채널의 패턴 이미지는 전반사 또는 난반사가 발생되는 부품들에 대한 3차원 검사에 사용하여 해당 검사 대상물에 대한 3차원 검사를 수행하는 영상 처리부를 포함하여 구성되고, 상기 영상처리부는 상기 단색광에 제1 색상이 적용된 경우에, 패턴 이미지를 휘도 성분을 이용한 휘도 채널, 제1 색상 성분을 이용한 제1 색상 채널 및 상기 제1 색상 성분과 보색 계열인 제2 색상 성분을 이용한 제2 색상 채널로 분리하고, 상기 휘도 채널의 패턴 이미지를 일반 부품에 대한 3차원 검사에 사용하고, 상기 제1 색상 채널의 패턴 이미지를 전반사가 발생되는 부품에 대한 3차원 검사에 사용하며, 제2 색상 채널의 패턴 이미지를 난반사가 발생되는 부품에 대한 3차원 검사에 사용하는 것을 특징으로 하는 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치. 특징으로 한다.
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본 발명의 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치는 R, G, B 중 어느 하나의 색상을 이용한 단색광을 이용하여 검사 대상물에 격자 패턴광을 1회 조사한 후 카메라로 획득한 패턴 이미지를 휘도 성분, 블루 성분, 레드 성분 등의 다채널로 분리함으로써 일반 부품, 칩의 바디 또는 CSP 칩 등의 전반사가 발생되는 부품, 솔더 및 IC 리드 칩의 전극부 등의 난반사가 발생되는 부품에 대한 3차원 검사를 모두 수행할 수 있고, 조명값에 의한 부품의 특성별로 조명의 밝기를 다르게 설정하여 조사할 필요가 없어져 기존에 비해 3차원 형상의 측정 정밀도를 높이면서 검사 시간을 단축시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치의 구성을 설명하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치의 다채널 이미지를 설명하는 도면이다.
본 발명에 기재된 실시예 및 도면에 도시된 구성은 본 발명의 바람직한 실시예에 불과할 뿐이고, 본 발명의 기술적 사상을 모두 표현하는 것은 아니므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예 및 도면에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 또한, 본 발명에서 제시된 목적 또는 효과는 특정 실시예가 이를 전부 포함하여야 한다거나 그러한 효과만을 포함하여야 한다는 의미는 아니므로, 본 발명의 권리범위는 이에 의하여 제한되는 것으로 이해되어서는 아니 될 것이다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성을 상세히 설명하기로 한다
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치의 구성을 설명하는 도면이다.
도 1을 참고하면, 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치는, 스테이지(110), 복수 개의 조명(120), 적어도 하나 이상의 카메라(130), 복수의 프로젝터(140), 영상 처리부(150) 및 제어부(160)를 포함한다.
스테이지(110)는 3차원 검사의 대상이 되는 PCB 기판 등의 검사 대상물(101)을 지지하고, 제어부(160)의 제어에 따라 이동하면서 검사 대상물(101)을 검사 위치로 이송시킨다.
복수 개의 조명(120)은 스페이지의 상부에 배치되어 검사 대상물로 광을 조사하는데, 미리 설정된 방식으로 배치된 복수 개의 LED를 포함할 수 있으며, 2차원적 평면 영상을 촬영하기 위한 광을 제공할 수 있다. 예를 들어, 조명(120)은 2개, 3개 또는 6개 등의 다양한 개수와 형태의 조명을 포함할 수 있고, 평면에서 관측할 때 검사 대상물(101)의 중심을 지나는 중심축을 기준으로 원형으로 배치될 수 있다.
카메라(130)는 스테이지(110)의 상부에 설치되고, 검사대상물(101)의 표면 영상을 촬영하여 패턴 이미지를 획득하는 카메라로서, 결상렌즈, 필터 등을 포함할 수 있다. 카메라(130)는 격자 패턴광이 조사된 검사대상물(101)의 표면에서 반사되는 반사광을 인가받아 검사 대상물(101)의 표면 영상을 촬영하는 것으로서, CCD 카메라 또는 CMOS 카메라 등을 사용할 수 있다.
적어도 하나 이상의 프로젝터(140)는 디지털 방식으로 비전 검사의 목적에 맞는 격자 패턴광에 대한 패턴 데이터를 로딩하여 검사 대상물에 특정한 격자 패턴광을 투사할 수 있고, 영상 처리부(150)를 통해 소프트웨어적으로 패턴 주기 및 방향을 설정할 수 있다. 이러한 프로젝터(140)는 스테이지(110)의 상부에 설치되는 카메라(130)로부터 일정 각도 기울어진 측부에 설치된다.
또한, 프로젝터(140)는 프린팅 격자, 액정 패널 또는 디지털 마이크로미러 디스플레이(DMD) 등으로 구성되는 격자(141)와 R, G, B, 중 어느 하나의 색상에 대한 단색광을 조사하는 광원(142)을 포함하여 구성된다.
만일, 프로젝터(140)가 디지털 방식으로 패턴 데이터를 로딩하여 격자 패턴광을 조사하는 것이 아니라 기구적 격자를 사용한 방식인 경우에, 광원, 격자, 격자의 격자 패턴광을 검사 대상물에 결상시키는 투영렌즈를 포함할 수 있다. 이 경우에도, 프로젝터(140)의 광원은 3차원 조명을 위한 것이므로 R, G, B 중 어느 하나의 색상을 대한 단색광을 이용하여 격자 패턴광을 조사할 수 있다.
이때, 프로젝터(140)는블루 색상 또는 레드 색상 중 어느 하나의 색상을 단색광으로 사용하는 것이 바람직하다.
영상 처리부(150)는 카메라(130)로부터 패턴 이미지를 전송받아 패턴 이미지를 밝기에 따라 구분하기 위해 휘도 채널과 색상 채널로 분리하여 3차원 검사를 수행한다.
그리고, 영상 처리부(150)는 카메라(130)에서 촬영된 패턴 이미지를 이용하여 검사 대상물의 검사 이미지 또는 검사 결과 데이터를 디스플레이 수단(도시되지 않음)으로 출력할 수 있고, 디스플레이 수단에 출력된 검사 이미지 또는 검사 결과 데이터를 통해 검사 대상물의 형상을 확인하거나 불량 여부를 판단할 수 있다.
제어부(160)는 복수 개의 조명(120), 적어도 하나 이상의 카메라(130), 적어도 하나 이상의 프로젝터(140) 등의 구동 및 동작을 제어하는 것으로서, 시스템 제어 프로그램에 따라 위치 제어, 영상 처리, 조명 제어 등의 물리적인 제어 뿐만 아니라 데이터 연산 작업을 수행할 수 있다.
본 발명의 제1 실시예에 따른 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치는 블루 색상을 이용한 단색광을 적용하여 격자 패턴광을 검사 대상물(101)에 조사하고, 패턴 이미지를 2개의 채널로 분리하여 3차원 형상을 검사하는 것이다.
프로젝터(140)는 블루 색상의 단색광을 적용한 격자 패턴광을 검사 대상물(101)에 조사하고, 카메라(130)는 블루 색상의 격자 패턴광이 조사된 검사대상물의 표면에서 반사되는 반사광을 인가받아 검사 대상물의 표면 영상을 촬영하여 패턴 이미지를 획득한다.
영상 처리부(150)는 기존의 화이트 색상의 격자 패턴광을 이용한 패턴 이미지의 밝기, 즉 정상 밝기와 유사한 밝기를 가지는 패턴 이미지를 휘도 채널로 분리하고, 나머지 밝기를 가지는 패턴 이미지를 색상 채널로 분리하여 3차원 형상 검사를 수행한다.
즉, 영상 처리부(150)는 패턴 이미지를 휘도 성분을 이용한 휘도 채널, 블루 성분을 이용한 제1 색상 채널로 분리한다. 이때, 휘도 채널은 빛의 밝기 신호만 가지고 이미지를 표현하는 것이므로 중간 정도의 빛의 밝기를 가진다. 그리고, 제1 색상 채널은 R, G, B의 각 채널에 블루 색상의 조명에 대한 가중치가 추가된 것이므로 제1 색상 채널의 이미지는 최고 밝기를 가진다.
따라서, 영상 처리부(150)는 휘도 채널의 패턴 이미지를 이용하여 일반 부품에 대한 3차원 검사를 수행하고, 제1 색상 채널의 패턴 이미지를 이용하여 난반사 또는 전반사의 특성을 가지는 부품들에 대한 3차원 검사를 수행한다.
한편, 본 발명의 제2 실시예에 따른 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치는 블루 색상을 이용한 단색광을 적용하여 격자 패턴광을 검사 대상물(101)에 조사하고, 패턴 이미지를 3개의 채널로 분리하여 3차원 형상을 검사하는 것이다.
영상 처리부(150)는 패턴 이미지를 휘도 성분을 이용한 휘도 채널, 블루 성분을 이용한 제1 색상 채널 및 블루 색상의 보색 계열인 레드 성분을 이용한 제2 색상 채널로 분리한다. 이때, 휘도 채널은 빛의 밝기 신호만 가지고 이미지를 표현하는 것이므로 중간 정도의 빛의 밝기를 가진다. 그리고, 제1 색상 채널은 R, G, B의 각 채널에 블루 색상의 조명에 대한 가중치가 추가된 것이므로 제1 색상 채널의 이미지는 최고 밝기를 가지지만, 제2 색상 채널의 채널 이미지는 블루 색상의 보색 계열인 레드 성분을 이용하고 있어 최하 밝기를 가진다.
따라서, 영상 처리부(150)는 휘도 채널의 패턴 이미지를 이용하여 일반적인 부품의 3차원 높이를 검사하고, 제1 색상 채널의 패턴 이미지를 이용하여 전반사가 발생되는 부품의 3차원 높이를 검사하며, 제2 색상 채널의 패턴 이미지를 이용하여 난반사가 발생되는 부품의 3차원 높이를 검사함으로써 검사의 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있다.
본 발명의 제3 실시예에 따른 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치는 레드 색상을 이용한 단색광을 적용하여 격자 패턴광을 검사 대상물(101)에 조사하고, 패턴 이미지를 2개의 채널 또는 3개의 채널로 분리하여 3차원 검사를 수행하는 것이다.
제3 실시예에에서는 상기한 제1 및 제2 실시예와 마찬가지로 패턴 이미지를 휘도 채널과 제1 색상 채널로 분리하거나, 휘도 채널, 제1 색상 채널 및 제2 색상 채널로 분리하여 3차원 검사를 수행할 수 있다.
이때, 제1 색상 채널은 레드 성분을 이용하고, 제2 색상 채널은 레드 색상과 보색 계열인 블루 성분을 이용한다. 따라서, 레드 성분을 이용한 제1 색상 채널은 최고 밝기를 가지고, 블루 성분을 이용한 제2 색상 채널은 최하 밝기를 가진다.
따라서, 영상 처리부(150)는 휘도 채널의 패턴 이미지를 이용하여 일반적인 부품의 3차원 높이를 검사하고, 제1 색상 채널의 패턴 이미지를 이용하여 전반사가 발생되는 부품의 3차원 높이를 검사하며, 제2 색상 채널의 패턴 이미지를 이용하여 난반사가 발생되는 부품의 3차원 높이를 검사할 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치의 다채널 이미지를 설명하는 도면이다.
도 2의 (a)에 도시된 바와 같이, 휘도 채널의 패턴 이미지는 검사 대상물의 일반 부품에 대한 3차원 검사가 가능하지만, 경면 부품 등의 전반사가 발생되는 부품(A)의 경우에 다른 일반 부품에 비해 어두운 밝기를 가지고 있어 3차원 측정이 불가능하다.
도 2의 (b)에 도시된 바와 같이, 제1 색상 채널의 패턴 이미지는 최고 밝기를 가지고 있어 'A' 부분의 밝기가 도 2의 (a)에 비해 밝아져 A 부품에 대한 3차원 측정이 가능하지만, 나머지 부품들(B, C)에서 하이라이트가 발생함을 알 수 있다.
IC 리드 또는 칩의 전극부 등의 난반사가 발생되는 부품(C)은 도 2의 (a) 및 (b)에서 하이라이트가 발생하여 정확히 식별이 불가능하지만, 도 2의 (c)에 도시된 바와 같은 제2 색상 채널의 패턴 이미지를 이용하여 C 부품의 3차원 측정이 가능해짐을 알 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110 : 스테이지 120 : 조명
130 : 카메라 140 : 프로젝터
150 : 영상 처리부 150 : 제어부

Claims (4)

  1. 검사대상물에 패턴광을 조사한 후 반사되는 패턴 이미지를 이용하여 상기 검사대상물의 3차원 형상을 측정하는 3차원 검사 장치에 있어서,
    상기 검사 대상물을 검사 영역에 위치시키는 스테이지;
    상기 검사 대상물에 레드(Red), 블루(Blue) 중 어느 하나의 색상을 이용한 단색광을 적용하여 상기 검사 대상물에 격자 패턴광을 조사하는 적어도 하나 이상의 프로젝터;
    상기 스테이지 상부에 배치되어 상기 검사대상물의 표면에서 반사되는 반사광을 제공받아 상기 검사 대상물의 표면을 촬영하여 패턴 이미지를 획득하는 적어도 하나 이상의 카메라; 및
    상기 카메라로부터 패턴 이미지를 전송받아 상기 패턴 이미지를 밝기 정도에 따라 구분하기 위해 휘도 채널과 색상 채널로 분리하여 색상 채널의 패턴 이미지는 전반사 또는 난반사가 발생되는 부품들에 대한 3차원 검사에 사용하여 해당 검사 대상물에 대한 3차원 검사를 수행하는 영상 처리부를 포함하여 구성되고,
    상기 영상처리부는 단색광에 제1 색상이 적용된 경우에, 패턴 이미지를 휘도 성분을 이용한 휘도 채널, 제1 색상 성분을 이용한 제1 색상 채널 및 상기 제1 색상 성분과 보색 계열인 제2 색상 성분을 이용한 제2 색상 채널로 분리하고, 상기 휘도 채널의 패턴 이미지를 일반 부품에 대한 3차원 검사에 사용하고, 상기 제1 색상 채널의 패턴 이미지를 전반사가 발생되는 부품에 대한 3차원 검사에 사용하며, 제2 색상 채널의 패턴 이미지를 난반사가 발생되는 부품에 대한 3차원 검사에 사용하는 것을 특징으로 하는 단색광 모아레의 다채널 이미지를 이용한 3차원 검사 장치.
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