JP4810377B2 - 光学式検査装置 - Google Patents
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Description
配線パターン部の輝度値:Rimg=0
欠陥の輝度値:Rdef=50
欠陥の輝度差:Rdif=Rimg−Rdef=−50
配線パターン部の輝度値:Gimg=100
欠陥の輝度値:Gdef=50
欠陥の輝度差:Gdif=Gimg−Gdef=50
配線パターン部の輝度値:Bimg=0
欠陥の輝度値:Bdef=0
欠陥の輝度差:Bdif=Bimg−Bdef=0
Rフィルタを用いた場合の欠陥の輝度差:Rdif=−50
Gフィルタを用いた場合の欠陥の輝度差:Gdif=50
Bフィルタを用いた場合の欠陥の輝度差:Bdif=0
比1:R/G=Rdif÷Gdif
比2:G/B=Gdif÷Bdif
比3:B/R=Bdif÷Rdif
係数1:KR=Rdif÷Rimg=−50÷0=−∞(無限大)
係数2:KG=Gdif÷Gimg=50÷100=0.5
係数3:KB=Bdif÷Bimg=0÷0=∞(無限大)
KR÷KG=−∞÷0.5=−∞
Claims (6)
- 検査対象面に光を照射する光源と、該検査対象面上の線状領域の輝度分布を得るための撮像素子と、上記光源から上記検査対象面を経由し上記撮像素子までの光路上の任意の位置に配置された波長フィルタと、上記撮像素子からの信号を入力して上記検査対象面の欠陥を検出する欠陥検出処理部と、上記検査対象面の欠陥を含む線状領域の輝度分布を所定の参照値と比較することによって上記検査対象面の欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定する欠陥識別処理部と、を有し、
上記波長フィルタは互いに異なる波長通過帯域を有する波長フィルタに交換可能であり、上記欠陥識別処理部は、上記少なくとも2つの異なる波長フィルタを用いた場合の各々に対して、上記検査対象面の欠陥を含む線状領域の輝度分布と所定の参照値の差を求め、該差のうちの2つの差の比を演算することを特徴とする光学式検査装置。 - 検査対象面に光を照射する光源と、該検査対象面上の線状領域の輝度分布を得るための撮像素子と、上記光源から上記検査対象面を経由し上記撮像素子までの光路上の任意の位置に配置された波長フィルタと、上記撮像素子からの信号を入力して上記検査対象面の欠陥を検出する欠陥検出処理部と、上記検査対象面の欠陥を含む線状領域の輝度分布を所定の参照値と比較することによって上記検査対象面の欠陥が致命的欠陥であるか非致命的欠陥であるかを判定する欠陥識別処理部と、を有し、
上記波長フィルタは互いに異なる波長通過帯域を有する波長フィルタに交換可能であり、上記欠陥識別処理部は、上記少なくとも2つの異なる波長フィルタを用いた場合の各々に対して、上記検査対象面の欠陥を含む線状領域の輝度分布と所定の参照値の差を求め、上記参照値に対する該差の比を演算することを特徴とする光学式検査装置。 - 請求項1又は2記載の光学式検査装置において、上記欠陥検出処理部が上記検査対象面の欠陥を検出するとき、上記波長フィルタは上記光路より除去されていることを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項1又は2記載の光学式検査装置において、上記参照値は、欠陥を含まない検査対象面上の線状領域の輝度分布であることを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項1又は2記載の光学式検査装置において、上記撮像素子は電荷撮像素子(CCD)又はラインセンサであることを特徴とする光学式検査装置。
- 請求項1又は2記載の光学式検査装置において、上記少なくとも2つの異なる波長フィルタを用いた場合の各々に対して、上記検査対象面の欠陥を含む線状領域の輝度分布からカラーの欠陥画像を合成し、上記所定の参照値からカラーの参照画像を合成し、該欠陥画像及び参照画像を表示する表示装置を有することを特徴とする光学式検査装置。
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2006
- 2006-09-15 JP JP2006251007A patent/JP4810377B2/ja not_active Expired - Fee Related
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