JP2007212398A - 基板検査装置および基板検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】歪みが無く、コントラストの良い検出画像を取得する。
【解決手段】電子ビームを生成して試料Sに照射する電子銃部20と、電子ビームの照射により前記試料の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出する電子検出部40と、を含む電子ビーム装置10を備える基板検査装置1において、イオンを生成し、電子銃10部による電子ビームの照射に先立って試料Sにイオンを照射することにより、試料Sの表面層における局所的な電位差を解消する表面電位均一化装置150をさらに備える。
【選択図】図4
【解決手段】電子ビームを生成して試料Sに照射する電子銃部20と、電子ビームの照射により前記試料の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出する電子検出部40と、を含む電子ビーム装置10を備える基板検査装置1において、イオンを生成し、電子銃10部による電子ビームの照射に先立って試料Sにイオンを照射することにより、試料Sの表面層における局所的な電位差を解消する表面電位均一化装置150をさらに備える。
【選択図】図4
Description
本発明は、基板検査装置および基板検査方法に関し、例えば電子ビームを用いた半導体パターン等の検査および観察を対象とする。
半導体パターンの欠陥検査に際して電子ビームを用いる手法が使用されている。具体的には、矩形状の電子ビームを電子照射手段にて形成して一次ビームとして試料に照射し、その試料表面に発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれか(以下、単に「二次電子等」という。)を二次ビームとして写像投影光学手段にて電子検出部に拡大投影し、試料表面画像を得る手法が提案されている(例えば、特許文献1)。さらに、特許文献1に記載の手法に加え、一次ビームを電界磁界重畳型偏向器であるウィーンフィルタにて偏向させ、試料表面に対して垂直に入射させ、なおかつ二次ビームを同一のウィーンフィルタ内を直進させて写像投影光学手段に導入する方法も提案されている。
しかしながら、例えば特許文献2に開示の装置を用いて試料に一次ビームを照射すると、試料表面または表面近傍層の形状や材質に応じて、試料表面の電位に局所的な差が発生する。また、一次ビームの照射前でも、試料表面状態の帯電状況によって、表面電位に局所的な差が生じる。
例えば、金属配線部と配線間絶縁体部とが共存する集積回路ウェーハの試料表面において、絶縁体部の表面が正に帯電している場合や、絶縁体部の表面が負に帯電している場合は、金属配線部と絶縁体部との境界付近において、試料表面に対して平行でない局所的な電位勾配が発生する。この電位勾配は、上記境界付近の金属配線部内の箇所および絶縁体部内の箇所から放出した二次電子ビームが二次光学系でその軌道を制御されてMCP検出器に結像する際に、不正な偏向作用をもたらし、正確な写像投影を行うための理想的な電子ビーム軌道から外れて、歪曲した電子ビーム軌道になる。その結果、二次ビームの結像を妨げてしまい、二次電子ビーム検出画像の歪やコントラスト低下の原因となる。その結果、検査装置の欠陥検出性能の低下を招くという問題が生じていた。
特開平7−249393号公報
特開2002−222635号公報
本発明の目的は、基板の表面電位勾配を低減することにより、歪みが無く、コントラストの良い検出画像が得られる基板検査方法および基板検査装置を提供することにある。
本発明は、以下の手段により上記課題の解決を図る。
即ち、本発明によれば、
電子ビームを生成して基板に照射する電子ビーム照射手段と、
前記電子ビームの照射により前記基板の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して前記基板表面の状態を表す画像を構成する信号を出力する電子検出手段と、
イオンを生成し、前記電子ビームの照射に先立って前記基板に照射する表面電位均一化手段と、
を備える基板検査装置が提供される。
電子ビームを生成して基板に照射する電子ビーム照射手段と、
前記電子ビームの照射により前記基板の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して前記基板表面の状態を表す画像を構成する信号を出力する電子検出手段と、
イオンを生成し、前記電子ビームの照射に先立って前記基板に照射する表面電位均一化手段と、
を備える基板検査装置が提供される。
また、本発明によれば、
電子ビームを生成して基板に照射する工程と、
前記電子ビームの照射により前記基板の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して前記基板表面の状態を表す画像を構成する信号を取得する工程と、
イオンを生成して前記電子ビームの照射に先立って前記基板に照射する工程と、
を備える基板検査方法が提供される。
電子ビームを生成して基板に照射する工程と、
前記電子ビームの照射により前記基板の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して前記基板表面の状態を表す画像を構成する信号を取得する工程と、
イオンを生成して前記電子ビームの照射に先立って前記基板に照射する工程と、
を備える基板検査方法が提供される。
本発明によれば、基板の表面電位が均一化され、歪みが無く、コントラストの良い検出画像を得ることができる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
(1)基板検査装置
図1は、本発明にかかる基板検査装置の実施の一形態を示すブロック図である。同図に示す基板検査装置1は、電子ビーム装置10と、本実施形態において特徴的な表面電位均一化装置150とを備える。電子ビーム装置10は、電子ビーム装置チャンバCReと、このチャンバCReの上に配設される電子ビーム鏡筒Brと、各種制御部26,27,51〜57,159と、電子検出部40と、画像処理部71と、試料であるウェーハ基板Sを支持するステージ61と、ステージ駆動装置63と、ホストコンピュータ80と、表示部73と、表面電位均一化装置チャンバCRsと、電源153,154とを備える。
図1は、本発明にかかる基板検査装置の実施の一形態を示すブロック図である。同図に示す基板検査装置1は、電子ビーム装置10と、本実施形態において特徴的な表面電位均一化装置150とを備える。電子ビーム装置10は、電子ビーム装置チャンバCReと、このチャンバCReの上に配設される電子ビーム鏡筒Brと、各種制御部26,27,51〜57,159と、電子検出部40と、画像処理部71と、試料であるウェーハ基板Sを支持するステージ61と、ステージ駆動装置63と、ホストコンピュータ80と、表示部73と、表面電位均一化装置チャンバCRsと、電源153,154とを備える。
電子ビーム装置チャンバCReはステージ61を収納し、図示しない真空ポンプに接続されて検査の間チャンバ内が高真空に維持される。電子ビーム装置チャンバCReはまた、ゲートバルブ161を介して表面電位均一化装置チャンバCRsに接続される。
電子ビーム鏡筒Brは、一次光学系Opと二次光学系Osとウィーンフィルタ(Wien filter)49とを含み、その頂面部に電子検出器40が配設される。一次光学系Opは、電子銃部20と4極子レンズ25とを含む。
電子銃部20は、長軸100〜700μm、短軸15μmの矩形の電子放出面をもつLaB6線状陰極21、ウェーネルト(Wehnelt)電極22、電子ビームの引き出しを行う陽極23、光軸調整用の偏向器24を含む。線状陰極21、ウェーネルト電極22、陽極23および偏向器24は、電子銃制御部26に接続され、これにより、一次ビームEpの加速電圧、出射電流および光軸が制御される。四極子レンズ25は、四極子レンズ制御部27に接続され、その制御信号により電子ビームの絞り込みを行う。
線状陰極21より放出した電子ビームは複数段の四極子レンズ25によって収束され、一次ビームEpとしてウィーンフィルタ49に対して斜めから入射する。一次ビームEpはウィーンフィルタ49によって偏向され、試料であるウェーハSに対して垂直な軌道を通る。一次ビームOpはその後、回転対称静電レンズであるカソードレンズ31によってレンズ作用を受け、試料Sに対して垂直に照射される。
基板Sはステージ61上に載置される。本実施形態の基板検査装置1では、図1において矢印Dsで示すように、ステージ61の移動により基板Sの表面が走査されるステージスキャン方式を採用している。ステージ61は、ステージ電圧制御部51に接続され、これにより基板Sに負電圧が印加できるようになっている。この機構は、一次ビームEpによる基板Sへの入射ダメージを低減し、一次ビームEpの照射によって、基板Sの表面の形状/材質/電位分布に応じて発生した二次電子等で構成される二次ビームEsのエネルギー向上を目的としたものである。
二次光学系Osは、回転対称静電レンズであるカソードレンズ31、第二レンズ32、第三レンズ33、第四レンズ34と、ウィーンフィルタ49とカソードレンズ31との間の二次光学系の光軸に垂直な平面S1内に配置された開き角絞り35、第二レンズ32と第三レンズ33との間に設置された視野絞り36と、を含む。
カソードレンズ31、第二レンズ32、第三レンズ33、第四レンズ34は、それぞれ二次光学系レンズ制御部52、54、55、56に接続され、これらの制御部によって制御され、一次ビームEpの照射により基板Sの表面から発生した二次電子等を導いて二次ビームEsとして投影結像を行う。二次ビームEsの倍率色収差を抑えるために平面S1の位置に開き角絞り35を配置し、二次ビームEsについてカソードレンズ31と第二レンズ32とを合わせて1回の結像を行なっている。また、この構造では開き角絞り35によって一次ビームEpの基板S上の照射領域を制限してしまうため、その解決策として、開き角絞り35から基板Sに至るまでの一次ビーム軌道を、開き角絞り35上に焦点をもつように入射させ、カソードレンズ31によってレンズ作用を与え、基板Sに対して垂直に照射させるケーラー照明系にする手法を用いている。
電子検出部40は、MCP検出器41、蛍光板42、ライトガイド43、および、CCD等の撮像素子44を含む。MCP検出器41に入射した二次ビームEsは、MCP(Multi Channel Plate)により増幅されて蛍光板42に照射され、そこで発生した蛍光像がライトガイド43を介して撮像素子44にて検出され、画像処理部71を介して一次元または二次元の画像を構成する信号としてホストコンピュータ80に転送され、画像データとして保存されるほか、画像処理等の欠陥検出処理、表示装置73上への画像表示などが行われる。
ホストコンピュータ80は、各種制御部26,27,51〜57,159,電源153,154と、画像処理部71、ステージ駆動装置63にも接続され、これらの部位を介して検査装置全体を制御する。
表面電位均一化装置150は、電子ビーム装置チャンバCReとゲートバルブ161で仕切られた表面電位均一化チャンバCRs内に設置される。電子ビーム装置チャンバCRsの頂面にはガス導入ユニット158が設けられ、このガス導入ユニット158からガスが図1の破線矢印GFnに示すように表面電位均一化チャンバCRs内に流入し、排気口163にて排出される。このように、表面電位均一処理中、表面電位均一化チャンバCRs内では絶えず気体が滞ることなく流れるように制御されている。ガス流入ユニット158は、ガス流入ユニットコントローラ159に接続され、ガス流入ユニットコントローラ159から送られる制御信号に従いガス成分比や流量の調整を行う。
表面電位均一化装置150は、イオンを発生させる気体放電発生源となる第一電極151と第二電極152と、これらの電極151,152にそれぞれ接続されて電極151,152に電圧をそれぞれ印加する第一電極印加電源153、第二電極印加電源154と、をさらに含む。本実施形態において、第一電極151は丸棒の形状を有し、第二電極152はコの字の断面形状を有し、底面がメッシュ状に加工されている。
図2および図3を参照しながら、表面電位均一化装置150の動作原理を説明する。図2は基板Sの表面電位を負電位に均一化する場合の動作原理を示し、図3は基板Sの表面電位を正電位に均一化する場合における動作原理を示す。
まず、図2を参照にしながら基板Sの表面を負電位に均一化する動作原理について説明する。
第一電極印加電源153よりVh(−数kV)の電圧を第一電極151に印加し、第二電極印加電源154よりVc(0〜−数十V)の電圧を第二電極152に印加すると、第一電極151と第二電極152間で気体放電が起こり、電極間内の気体が電離してイオンが発生し、または極性を有するクラスタ粒子が発生する。発生したイオンのうち、負イオン155iおよび負極性クラスタ粒子155cは、第二電極152から第一電極151に向かう電界により第二電極152に向かって進行する。進行した負イオン155iおよび負極性クラスタ粒子155cは、第二電極152底部に形成されたメッシュ152bを通過した後に基板Sの表面へ到達し、基板S表面の正帯電部との電荷交換を行なったり、基板Sに付着したりして、基板Sの表面電位を負電位に均一化していく(図2(a))。基板Sの表面電位Vsが第二電極印加電位Vcと同じになり(図2(b))、さらに基板Sの表面電位がVs≦Vcになると(図2(c))、メッシュ152bから基板Sの表面に向かう電界が形成されることにより、メッシュ152bを通過した負イオン155iおよび負極性クラスタ粒子155cは、基板Sの表面に到達できなくなり、基板Sの表面電位はVs(≒Vc)に保たれる。この表面電位均一化処理中は、基板Sをフローティング(Floating)状態にする必要がある。
次に、ウェーハ基板Sの表面を正電位に均一化する動作原理について図3を参照にしながら説明する。第一電極印加電源153からVh(+数kV)を第一電極151に印加し、第二電極印加電源154からVc(0〜数十V)を第二電極152に印加すると、第一電極151と第二電極152間で気体放電が起こり、電極間内の気体が電離してイオンが発生し、または極性を有するクラスタ粒子が発生する。発生したイオンのうち、正イオン156iおよび正極性クラスタ粒子156cは第一電極151から第二電極152に向かう電界により第二電極152に向かって進行する。進行した正イオン156iおよび正極性クラスタ粒子156cは、第二電極152底部のメッシュ152bを通過した後に、正イオン156iおよび正極性クラスタ粒子156cが基板Sの表面へ到達し、基板S表面の負帯電部との電荷交換をおこなったり、基板Sに付着したりして、基板Sの表面電位を正電位に均一化していく(図3(a))。基板Sの表面電位Vsが第二電極電位Vcと同じになり(図3(b))、さらに基板Sの表面電位がVs≧Vcになると(図3(c))、メッシュ152bから基板S表面に向かう電界が形成され、これにより、メッシュ152bを通過した正イオン156iおよび正極性クラスタ粒子156cが基板S表面に到達できなくなり、基板Sの表面電位はVs(≒Vc)に保たれる。図2に示す場合と同様に、この表面電位均一化処理中も、基板Sをフローティング(Floating)状態にする必要がある。
表面電位を0Vに均一化したい場合は、図2の負帯電均一化処理の後に、第二電極電圧Vcを0Vに設定して図3の正帯電処理を行うか、または図3の正帯電処理の後に第二電極電圧Vcを0Vに設定して図2の負帯電処理を行えばよい。
本実施形態の表面電位均一化装置150において、表面電位均一化を行うためのガス種は、正の表面電位を求めるためには正イオンとなるガス種(例えばN2)を導入し、また、負の表面電位が望まれる場合には負イオンとなるガス種を(例えばO2)導入すればよい。正負両方のイオン種を含む空気を導入することにより、簡易かつ低コストで装置を構成できる。しかし、大気中で気体放電を起こした場合、発生した窒化酸化物(NOX)が大気中のH2Oと反応してHNO3となり、これらがウェーハ基板Sに付着して表面を汚染し、検査感度を低下させる恐れがある。その場合は、脱水した空気を表面電位均一化装置チャンバCRs内に導入して、表面電位均一化を行えば良い。
(2)基板検査方法
図4は、本実施形態の基板検査装置1を用いた基板検査方法の概略手順を示すフローチャートである。同図に示すように、まず、検査対象基板Sを表面電位均一化装置チャンバCRsにロードする(S1)。次に、検査対象基板Sの表面のレイアウトや表面構造の材質等に基づいて画像を構成する信号が最も多く取得できるように、EB検査装置用の検査条件を決定する(S2)。次に、決定したEB検査装置検査条件から検査対象基板Sの表面における帯電状況が予測できるので、画像の歪みが生じないように表面電位均一化条件を決定し、ホストコンピュータ80から第一電極印加電源153、第二電極印加電源154、ガス流入ユニットコントローラ159に、各電極への印加電圧、ガス成分、ガス流量を設定するための指令信号を送る(S3)。例えば、EB検査条件が正帯電条件の場合は、EB検査時に表面電位が均一になるように表面負電位均一化条件に設定を行う。また、電子ビーム検査条件が負帯電条件の場合は、EB検査時に表面電位が均一になるように表面正電位均一化条件に設定を行う。次に、ホストコンピュータ80から送られる指令信号に従い、第一電極印加電源153および第二電極印加電源154から第一電極151および第二電極152へ各電圧を印加し、ガス流入ユニットコントローラ159からガス流入ユニット158の制御を行う(S4)。これにより、表面電位均一処理を実施する(S5)。表面電位均一処理が終了すると、表面電位均一化装置チャンバCRs内の排気を実施する(S6)。次に、ゲートバルブ161を開けて、検査対象基板Sを電子ビーム装置10のチャンバCRe内にロードする(S7)。次に、ゲートバルブ161を閉めた後、電子ビーム装置10を用いて基板Sの検査を実施する(S8)。
図4は、本実施形態の基板検査装置1を用いた基板検査方法の概略手順を示すフローチャートである。同図に示すように、まず、検査対象基板Sを表面電位均一化装置チャンバCRsにロードする(S1)。次に、検査対象基板Sの表面のレイアウトや表面構造の材質等に基づいて画像を構成する信号が最も多く取得できるように、EB検査装置用の検査条件を決定する(S2)。次に、決定したEB検査装置検査条件から検査対象基板Sの表面における帯電状況が予測できるので、画像の歪みが生じないように表面電位均一化条件を決定し、ホストコンピュータ80から第一電極印加電源153、第二電極印加電源154、ガス流入ユニットコントローラ159に、各電極への印加電圧、ガス成分、ガス流量を設定するための指令信号を送る(S3)。例えば、EB検査条件が正帯電条件の場合は、EB検査時に表面電位が均一になるように表面負電位均一化条件に設定を行う。また、電子ビーム検査条件が負帯電条件の場合は、EB検査時に表面電位が均一になるように表面正電位均一化条件に設定を行う。次に、ホストコンピュータ80から送られる指令信号に従い、第一電極印加電源153および第二電極印加電源154から第一電極151および第二電極152へ各電圧を印加し、ガス流入ユニットコントローラ159からガス流入ユニット158の制御を行う(S4)。これにより、表面電位均一処理を実施する(S5)。表面電位均一処理が終了すると、表面電位均一化装置チャンバCRs内の排気を実施する(S6)。次に、ゲートバルブ161を開けて、検査対象基板Sを電子ビーム装置10のチャンバCRe内にロードする(S7)。次に、ゲートバルブ161を閉めた後、電子ビーム装置10を用いて基板Sの検査を実施する(S8)。
本実施形態の基板検査方法による効果について図5〜7を参照しながらより具体的に説明する。
図5および図6は、従来の技術による問題点を説明する図である。両図に示すとおり、金属配線部MWと配線間絶縁体部IPが存在する集積回路ウェーハSの表面において、図5のように絶縁体部IP表面が正に帯電している場合や、図6のように絶縁体部IP表面が負に帯電している場合は、金属配線部MWと絶縁体部IPとの境界BD付近で、ウェーハSの表面に対して平行でない局所的な電位勾配が発生する。この電位勾配は、境界BD付近の金属配線部MW内の点P2および絶縁体部IP内の点P4から放出した二次電子ビーム軌道が二次光学系Osで制御されMCP検出器41に結像する際に、不正な偏向作用を行い、電子ビーム軌道TJIP2やTJIP4のような正確な写像投影を行うための理想的な電子ビーム軌道から外れて、TJRP2やTJRP4のような曲がった電子ビーム軌道になる。その結果、二次ビームEsの結像を妨げてしまい、二次電子ビーム検出画像の歪やコントラスト低下の原因となる。
本実施形態の基板検査方法によれば、イオンおよびクラスタ粒子の照射により、絶縁体部IPの電位は、金属配線部MWに対して+数Vまたは−数Vであった初期状態から次第に変化し、例えば図7に示すように、金属配線部MWと同電位になる。この状態での二次ビーム軌道Esp2,Esp4は、正確な写像投影を行うための理想的な電子ビーム軌道TJIP2,TJIP4とそれぞれ同じになる。この結果、歪やコントラスト低下のない検出画像を取得することができる。
(3)半導体装置の製造方法
上述した基板検査方法を半導体装置の製造工程中で用いることにより、高い精度で基板を検査することができるので、より高いスループットおよび歩留まりで半導体装置を製造することができる。
上述した基板検査方法を半導体装置の製造工程中で用いることにより、高い精度で基板を検査することができるので、より高いスループットおよび歩留まりで半導体装置を製造することができる。
より具体的には、製造ロット単位で半導体基板を抜き出し、抜き出された半導体基板に形成されたパターンを上述した基板検査方法により検査する。検査の結果、良品と判定された場合、検査された半導体基板が属する製造ロット全体について、引き続き残余の製造プロセスを実行する。この一方、検査の結果不良品と判定された場合でリワーク処理が可能な場合には、不良品と判定された半導体基板が属する製造ロットに対してリワーク処理を実行する。リワーク処理が終了すると、その製造ロットから半導体基板を抜き取って再度検査する。抜き取られた半導体基板が再検査により良品と判定されると、リワーク処理を終えたその製造ロットに対し残余の製造プロセスを実行する。また、リワーク処理が不可能な場合には、不良品と判定された半導体基板が属する製造ロットは廃棄し、不良発生原因を解析して設計担当や上流のプロセス担当等へフィードバックする。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記形態に限ることなくその技術的範囲内で種々適用できることは明らかである。例えば、上述した実施形態では、ウィーンフィルタを含む写像投影光学系を備える場合について説明したが、本発明はこれに限ることなく、これ以外のEB(Electron Beam)装置およびSEM(Scanning Electron Microscope)装置一般に適用可能である。また、ステージスキャン方式の基板検査装置について説明したが、偏向器を用いたビームスキャン方式の基板検査装置にも適用できることは勿論であり、また、これらのスキャン方式の両方を備える基板検査装置にも適用可能である。さらに、電極151,152等の形状やサイズも検査装置の仕様や検査目的に応じて適宜変更可能である。
1:電子ビーム検査装置
10:電子ビーム装置
20:電子銃部
40:電子検出部
150:表面電位均一化装置
151:第1電極
152:第2電極
Op:一次光学系
Os:二次光学系
S:基板
Vh:第1電極印加電圧
Vc:第2電極印加電圧
10:電子ビーム装置
20:電子銃部
40:電子検出部
150:表面電位均一化装置
151:第1電極
152:第2電極
Op:一次光学系
Os:二次光学系
S:基板
Vh:第1電極印加電圧
Vc:第2電極印加電圧
Claims (5)
- 電子ビームを生成して基板に照射する電子ビーム照射手段と、
前記電子ビームの照射により前記基板の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して前記基板表面の状態を表す画像を構成する信号を出力する電子検出手段と、
イオンを生成し、前記電子ビームの照射に先立って前記基板に照射する表面電位均一化手段と、
を備える基板検査装置。 - 前記表面電位均一化手段は、前記電子ビームの照射により予測される前記基板表面の帯電状態に応じて前記イオンの極性および前記基板の表面電位の設定値を制御することを特徴とする請求項1に記載の基板検査装置。
- 前記表面電位均一化手段は、
前記基板に照射するイオンの極性と同極性の電圧が印加可能な第1の電極と、
所望の基板表面電位とほぼ同等の電位から0電位までの間の電圧が印加可能な第2の電極と、を有する電極対を含むことを特徴とする請求項2に記載の基板検査装置。 - 前記表面電位均一化手段は、大気中での気体放電により前記イオンを生成する、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の基板検査装置。
- 電子ビームを生成して基板に照射する工程と、
前記電子ビームの照射により前記基板の表面から発生した二次電子、反射電子および後方散乱電子の少なくともいずれかを検出して前記基板表面の状態を表す画像を構成する信号を取得する工程と、
イオンを生成して前記電子ビームの照射に先立って前記基板に照射する工程と、
を備える基板検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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