JP2007194433A - ピックアップ装置及びピックアップ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】紫外線の照射により粘着力が低下する粘着材にてシート1上に粘着された複数のチップ2をシート1から剥がものである。紫外線発光ダイオード3で発生させた紫外線をシート1の裏面側から照射する紫外線照射手段5を備える。紫外線発光ダイオード3がマトリックス状に配列されている。
【選択図】図1
Description
2 チップ
3 紫外線発光ダイオード
5 紫外線照射手段
Claims (7)
- 紫外線の照射により粘着力が低下する粘着材にてシート上に粘着された複数のチップをシートから剥がすピックアップ装置において、紫外線発光ダイオードで発生させた紫外線を前記シートの裏面側から照射する紫外線照射手段を備えたことを特徴とするピックアップ装置。
- 前記紫外線照射手段からの紫外線は、一つのチップの外形よりも広範囲の照射が可能であることを特徴とする請求項1のピックアップ装置。
- 前記紫外線照射手段は、それぞれが独立した電気的なON/OFFを可能とした複数個の紫外線発光ダイオードを備えたこと特徴とする請求項1又は請求項2のピックアップ装置。
- 紫外線発光ダイオードがマトリックス状に配列されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかのピックアップ装置。
- 前記紫外線照射手段の紫外線照射領域をチップに対してその中央部から外側に向かって拡大させることを特徴とする請求項1〜4のいずれかのピックアップ装置。
- ピックアップするチップへの紫外線の予備照射を行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれかのピックアップ装置。
- 紫外線の照射により粘着力が低下する粘着材にてシート上に粘着された複数のチップをシートから剥がすピックアップ方法において、紫外線発光ダイオードで発生させた紫外線を、チップに対してその中央部に照射した後、その照射範囲を拡大していくことを特徴とするピックアップ方法。
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