JP2003173029A

JP2003173029A - 露光装置および露光方法

Info

Publication number: JP2003173029A
Application number: JP2001372335A
Authority: JP
Inventors: Masato Hara; 正人原; Yoshinori Kobayashi; 義則小林; Shigetomo Ishibashi; 臣友石橋
Original assignee: Pentax Corp
Current assignee: Pentax Corp
Priority date: 2001-12-06
Filing date: 2001-12-06
Publication date: 2003-06-20

Abstract

(57)【要約】【課題】光源の性能が低下しても直ちに光源を交換す
る必要のない露光装置及び露光方法を提供する。【解決手段】複数の発光部の中で予め定められている
基準発光量で発光できない不良発光部を検出し、複数の
発光部から照射された光を感光性基板上で走査させた場
合に、感光性基板を一様な光量で露光できるように、不
良発光検出段階で検出された不良発光部と異なる発光部
の発光量を調整してから、光量調整段階で発光量を調整
された複数の発光部から照射された光を感光性基板上で
走査させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、フォトマスクに描かれ
たパターンを感光性基板に露光するための露光装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、このような露光装置では、波長が
短い紫外域の光を発光できる超高圧水銀灯を光源として
用いていた。超高圧水銀等から射出された光は、例え
ば、蠅の目レンズなどを用いて照度分布を一様にし、さ
らに、コリメートレンズにより平行光に変換された後
に、感光性基板の全面に一度に照射されていた。ところ
で、超高圧水銀灯は、一般に寿命が１０００時間程度と
短い。このために、生産ライン等で連日、長時間使用さ
れている露光装置では、超高圧水銀灯を頻繁に交換しな
ければならなかった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】光源の交換は露光装置
を停止させて行うので、当然ながら、光源の交換中に
は、その露光装置が備えられている生産ラインも止めら
れ、製品の生産ができなくなる。しかも、光源の交換を
した場合には、所定の露光条件で再び露光が行えるよう
照明の調整をも再度行わなければならないので、光源の
交換、つまり露光装置を停止させている時間は比較的長
時間に及ぶ。生産ラインの稼働時間帯における露光装置
の長時間の停止は、製品の生産効率の低下につながるの
で好ましくない。そこで、本発明は、稼働中に光源の性
能が低下しても直ちに光源を交換する必要のない露光装
置を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る露光装置
は、複数の発光部、走査手段、不良発光部検出手段、及
び光量調整手段を備える。走査手段は、感光性基板が露
光されるように、複数の発光部から照射された光を感光
性基板上で走査させる。また、不良発光部検出手段は、
複数の発光部の中で予め定められている基準発光量で発
光できない不良発光部を検出する。そして、光量調整手
段は、不良発光部検出手段が検出した不良発光部と異な
る発光部の発光量を調整することで、感光性基板が一様
な光量で露光されるようにする。つまり、本発明に係る
露光装置は、ある発光部の性能が低下し、十分な光量で
発光できなくなっても、他の発光部の発光量を調整する
ことで、その発光部の性能低下を補い、感光性基板の露
光を継続して行えるようにする。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明では、
露光しようとする感光性基板の露光面に平行な面をｘｙ
平面と呼び、ｘｙ平面内で互いに直交する２つの方向を
それぞれｘ方向およびｙ方向と呼ぶこととする。

【０００６】図１は、本発明の第１実施形態に係る露光
装置の構成を模式的に示す図である。露光装置１００
は、露光台１０２上に配置され、感光性基板１０をｘ、
ｙ２方向に移動可能に保持する基板ステージ１０４と、
基板ステージ１０４の動作を制御する基板ステージ制御
部１０６と、感光性基板１０の露光面に平行にフォトマ
スク２０を保持するマスクステージ１０８とを備えてい
る。本実施形態において、マスクステージ１０８は、感
光性基板１０とフォトマスク２０との間に数ミクロンか
ら数十ミクロンの間隔があくようにフォトマスク２０を
保持する。あるいは、マスクステージ１０８は、感光性
基板１０の露光面にフォトマスク２０が密着するように
フォトマスク２０を保持する。したがって、本実施形態
では、フォトマスク２０に描かれているパターンがほぼ
１：１の縮尺比で感光性基板１０に露光される。

【０００７】露光装置１００は、さらに、感光性基板１
０に向けて光を照射する光源１１０と、光源１１０を予
め定められた走査方向（本実施形態の場合にはｘ方向）
に前後駆動する光源走査機構１１２と、光源走査機構１
１２の動作を制御することにより、光源１１０をｘ方向
に移動させ、光源１１０からの光を感光性基板１０上に
走査させる走査制御部１１４とを備えている。

【０００８】図２は、基板ステージ１０８の側から斜め
に見た光源１１０の斜視図である。光源１１０は、光源
１１０の走査方向（ｘ方向）に並べられた複数（ｎ個）
の光源ユニットＵ１〜Ｕｎを有する。各光源ユニットＵ
１〜Ｕｎは、筐体１１０ａによって一体に保持されてい
る。

【０００９】図３は、光源ユニットＵ１の一部断面図で
あり、感光性基板１０の露光面に垂直であり、かつ、ｙ
方向に平行な面に沿った光源ユニットＵ１の断面の一部
を示している。光源ユニットＵ１内には、プリント基板
１２０が配置されており、そのプリント基板１２０に複
数のＬＥＤ（発光ダイオード）１２２が取り付けられて
いる。ＬＥＤ１２２は、感光性基板１０に向けて露光光
を照射する発光部又は発光素子の一例である。

【００１０】本実施形態において、発光部としてＬＥＤ
１２２を用いるのは、一般的に露光装置の光源として用
いられている高圧水銀灯などと比較して耐久性や省電力
の面で優れているからである。なお、本実施形態では、
特に紫外域の光を発光するＬＥＤを採用し、紫外線に反
応するタイプのフォトレジストが塗布されている感光性
基板１０を露光する。

【００１１】ＬＥＤ１２２の基板ステージ１０４側に
は、レンズパネル１２４が備えられている。レンズパネ
ル１２４は、ガラス又は光透過性のある樹脂からなり、
各ＬＥＤ１２２から照射された光の通過位置にコリメー
タレンズ１２６が形成されている。従って、各ＬＥＤ１
２２から射出された光は、コリメータレンズ１２６によ
って平行光に変換され、その後、感光性基板１０又はフ
ォトマスク２０に照射される。なお、上記では、光源ユ
ニットＵ１について説明したが、本実施形態の場合、他
の光源ユニットＵ２〜Ｕｎも光源ユニットＵ１と同一の
構造を有する。

【００１２】図４は、各光源ユニットＵ１〜Ｕｎにおけ
るＬＥＤの配列を説明するための図である。図４におい
て、黒点ｐはＬＥＤ１２２の位置を表しており、破線に
よる円形部ｑは各ＬＥＤ１２２からコリメータレンズ１
２６を介して照射された光が、感光性基板１０又はフォ
トマスク２０に形成するビームスポットを表している。

【００１３】各光源ユニットＵ１〜Ｕｎでは、等間隔ａ
でｙ方向に配置されたＬＥＤ１２２の列が、ｘ方向、つ
まり走査方向へ等間隔ｂで複数列配置されている。ＬＥ
Ｄ１２２の各列は、光源ユニットがｘ方向に走査された
ときに、１つの光源ユニット内の２つのＬＥＤ１２２に
よりそれぞれ形成されるビームスポットｑが走査方向に
おいて完全に重なることがないように、ｙ方向に互いに
一定距離ｃだけずらされて配置されている。

【００１４】また、ビームスポットの径をｄ、光源ユニ
ットＵ内のＬＥＤ１２２の列数をｍとすると、ＬＥＤ１
２２は、次式が成立するように配列される；（ｄ×ｍ）≧ａ・・・（１）（ｃ×ｍ）＝ａ・・・（２）式（１）、（２）が満たされている場合には、光源ユニ
ットをｘ方向に走査させたときに、図４において斜線部
ｒおよびｓで示すように、相前後する列のＬＥＤ１２２
のビームスポットがそれぞれ感光性基板１０上を通過す
る領域が一部において重複する。このために、光源ユニ
ットがｘ方向に走査されたときに、各光源ユニットから
感光性基板１０の全面に光が照射され、光が照射され
ず、露光されない領域が残るという事態は生じない。

【００１５】ここで、各光源ユニットにおいて、ｙ方向
に沿ったＬＥＤ１２２の並びをＬＥＤ１２２の列と、ｙ
方向に交差する方向に沿ったＬＥＤ１２２の並びを行と
それぞれ呼ぶこととする。また、各光源ユニットの個々
のＬＥＤ１２２は、そのＬＥＤ１２２が属する光源ユニ
ットの番号、行位置、及び列位置からなるＬＥＤ位置情
報によって表されることとする。例えば、図４において
斜線を付されているＬＥＤ１２２は、第１番目の光源ユ
ニットＵ１の１行目、１列目に位置するので、そのＬＥ
Ｄ位置情報は、（１、１、１）となる。

【００１６】本実施形態の場合、各光源ユニットＵ１〜
ＵｎにおいてＬＥＤ１２２の数及び配列方法は同一であ
る。また、各光源ユニットＵは、ｙ方向に関して実質的
に同一の位置に配置される。したがって、光源１１０が
ｘ方向に走査された場合には、各光源ユニットにおいて
同じ列、及び同じ行にあるＬＥＤ１２２のビームスポッ
トが感光性基板１０上の同じ位置を通過する（図中の破
線Ａ参照）。したがって、本実施形態では、ある光源ユ
ニットのＬＥＤ１２２（例えば光源ユニットＵ１の第１
行、第１列目にあるＬＥＤ１２２）の性能が低下し、そ
の発光量がδＬだけ低下しても、そのＬＥＤ１２２と同
一行、同一列に位置する他の光源ユニットのＬＥＤ１２
２（光源ユニットＵ２からＵｎの第１行、第１列目にあ
るＬＥＤ１２２）の総発光量をδＬだけ増大させれば、
感光性基板１０を予め定められた露光量で露光すること
ができる。

【００１７】図１に戻って、露光装置１００は、さら
に、光源１１０から照射される光の光量を検出するため
の受光部１３０を有する。本実施形態の場合、受光部１
３０は、露光台１０２の端部のうち、光源１１０が走査
される方向の端部に設けられている。受光部１３０は、
光源１１０が光源走査機構１１２により受光部１３０に
対向する位置まで移動されたときに、光源１１０から照
射された光の光量を検出できる。

【００１８】図５に、受光部１３０の構成の一例を示し
た。受光部１３０は、フォトダイオード等の受光素子１
３２を複数備えている。これら受光素子１３２には、そ
れらの受光面が好ましくは感光性基板１０の露光面とほ
ぼ同一平面内に位置するように配置される。本実施形態
の場合、受光部１３０は、単一の光源ユニットが備えて
いるＬＥＤ１２２と同数の受光素子１３２を有する。受
光素子１３２は、図４で説明したＬＥＤ１２２の配列と
同じに配列されている。したがって、光源ユニットのい
ずれかが受光部１３０と対向する位置に位置決めされる
と、受光素子１３２の各々がそれぞれ異なるＬＥＤ１２
２から照射された光を受光する。これにより、本実施形
態では、受光部１３０を用いて一つの光源ユニットが備
える全てのＬＥＤ１２２の発光量を一度に検出すること
ができる。

【００１９】図１に戻って、露光装置１００は、さら
に、点灯制御部１４０と、駆動電流記憶部１４２とを備
えている。点灯制御部１４０は、光源１１０の点灯、消
灯を制御する。すなわち、点灯制御部１４０は、ＬＥＤ
１２２に供給する電流をＬＥＤ１２２毎に制御すること
で各ＬＥＤ１２２の点灯消灯、及び発光量を制御する。
一方、駆動電流記憶部１４２は、各ＬＥＤについて、露
光時に点灯制御部１４０が供給すべき電流の値を記憶し
ている。

【００２０】図６は、駆動電流記憶部１４２に記憶され
る情報の内容を示している。図６に示すように駆動電流
記憶部１４２には、ＬＥＤ位置情報、駆動電流Ｉe、測
定発光量Ｌm、及び最大発光量Ｌmaxが互いに対応づけら
れて記憶される。駆動電流Ｉeは、露光時にＬＥＤに共
有すべき電流値である。測定発光量Ｌmは、ＬＥＤ１２
２に予め定められている規定電流Ｉｓを供給した場合の
ＬＥＤの発光量である。そして、最大発光量Ｌmaxは、
測定発光量Ｌmに基づいて推定されるＬＥＤ１２２が発
光できる最大の光量である。なお、駆動電流Ｉe、測定
発光量Ｌm、及び最大発光量Ｌmaxについては、さらに後
述する。

【００２１】図１に戻って、露光装置１００は、さら
に、光量調整タイミング設定部１４４を備えている。光
量調整タイミング設定部１４４には、受光部１３０を用
いて光源１１０が備える各ＬＥＤ１２２の光量を測定
し、その測定結果に基づいて各ＬＥＤ１２２の発光量を
調整すべきタイミングの基準が設定される。本実施形態
の場合、光量調整タイミング設定部１４４は、温度設定
部１４６、回数設定部１４８、及び時間設定部１５０を
有している。

【００２２】温度設定部１４６には、ＬＥＤ１２２の発
光量が実質的に変化することがない、ＬＥＤ１２２の周
囲温度の範囲が設定される。回数設定部１４８には、Ｌ
ＥＤの発光量の再度の調整を行うまでに許容される露光
回数が設定される。また、時間設定部１５０には、ＬＥ
Ｄ１２２の発光量の再度の調整を行うまでに許容される
時間間隔、例えば、最後に発光量の調整を行った時から
次の調整を行うまでの時間周期、又は次の調整を行うべ
き日付、時刻等が設定される。

【００２３】なお、光量調整タイミング設定部１４４
は、リセットスイッチ１５２も備えられている。本実施
形態では、リセットスイッチ１５２がＯＮとなると、温
度設定部１４６等の設定内容にかかわらず光量調整のた
めの処理が実行される。

【００２４】露光装置１００は、上記の他に、好ましく
は光源１１０の近傍に配置され、光源１１０の周囲温度
を測定する温度測定部１５４と、露光装置１００が実行
した露光処理の回数を記録する露光回数記憶部１５６と
を備える。また、露光装置１００は、時間経過を計時
し、その結果を出力するタイマー１５８とを備える。な
お、時間設定部１５０に次に発光量の調整を行うべき日
付、時刻等が設定される場合には、タイマー１５８の代
わりに、現在の日付、時刻等を出力する報時部が備えら
れる。

【００２５】また、露光装置１００は、報知部１６０
と、主制御部とを備えている。報知部１６０は、露光装
置１００において異常があった場合にその旨の情報を出
力する。例えば、警報を出力できるランプ、スピーカ
ー、モニター画面、又は、警報を他の機器へ向けて有線
若しくは無線を介して出力する通信機器である。主制御
部１６２は、円滑な露光処理が行われるように、点灯制
御部１４０、走査制御部１１４及び基板ステージ制御部
１０６等を統括制御する。また、主制御部１６２は、光
量調整タイミング設定部１４４に設定されている情報
と、温度測定部１５４、露光回数記憶部１５６、又はタ
イマー１５８の出力する情報とを比較して、ＬＥＤ１２
２の光量調整を行うべきタイミングを判断する。光量調
整を行うべきと判断したときには、主制御部１６２は、
点灯制御部１４０、走査制御部１１４、及び受光部１３
０を制御して光量調整のための処理を行う。また、主制
御部１６２は、ＬＥＤの光量調整に異常があったとき
は、報知部１６０を介してその旨を知らせる。

【００２６】図７は、本発明の第１実施形態に係る露光
装置の動作を示すフローチャートである。本実施形態で
は、はじめに主制御部１６２がタイミング判定処理を行
う（Ｓ１０２）。タイミング判定処理では、露光装置１
００が、光量調整タイミング設定部１４４に設定されて
いる情報と、温度測定部１５４、露光回数記憶部１５
６、又はタイマー１５８の出力する情報とを比較して、
ＬＥＤの光量調整を行うべきタイミングを判断する。

【００２７】図８のフローチャートにタイミング判定処
理における処理内容を示した。タイミング判定処理で
は、はじめに主制御部１６２が、温度設定部１４６に設
定されている温度範囲と、温度測定部１５４が測定した
温度の値を比較する（Ｓ１５２）。一般に発光ダイオー
ドの発光量は、その発光ダイオードの周囲温度に影響を
受けて増減する。したがって、発光ダイオードの周囲温
度が大幅に変化した場合には、その発光ダイオードは適
正な光量で発光していない可能性があり、この場合には
その発光ダイオードの発光量を再調整すべきである。そ
こで、本実施形態では、温度測定部１５４が測定した温
度が温度設定部１４６に設定されている温度範囲外にあ
る場合には、主制御部１６２が、例えば実行しているプ
ログラム中の所定のフラグを立てることによりＬＥＤ１
２２の光量調整を行う旨を決定する（Ｓ１５２：ｙｅ
ｓ、Ｓ１６２）。

【００２８】一方、温度測定部１５４が測定した温度が
温度設定部１４６に設定されている温度範囲内にある場
合（Ｓ１５２：ｎｏ）、主制御部１６２は、露光回数記
憶部１５６に記録されている露光回数を回数設定部１４
８に設定されている回数と比較する（Ｓ１５４）。露光
回数が設定回数を越えている場合、主制御部１６２は、
ＬＥＤ１２２の光量調整を行う旨の決定を行う（Ｓ１５
４：ｙｅｓ、Ｓ１６２）。

【００２９】一方、露光回数が設定回数を越えていない
場合（Ｓ１５４：ｎｏ）、次に主制御部１６２は、タイ
マー１５８が計時した時間を時間設定部１５０に設定さ
れている時間間隔とを比較する（Ｓ１５６）。その結
果、タイマー１５８が計時した時間が設定されている時
間間隔を超過している場合、主制御部１６２は、ＬＥＤ
１２２の光量調整を行う旨の決定を行う（Ｓ１５６：ｙ
ｅｓ、Ｓ１６２）。

【００３０】Ｓ１５６において、タイマー１５８が計時
した時間が設定されている時間間隔を超過していない場
合（Ｓ１５６：ｎｏ）、主制御部１６２は、次にリセッ
トスイッチ１５２の出力を確認する（Ｓ１５８）。この
結果、リセットスイッチ１５２の出力がＯＮでなかった
場合には、光量調整タイミング設定部１４４において設
定されている光量調整を行うための条件がいずれも満た
されていなかったことになる。そこで、主制御部１６２
は、光量調整を行わない旨の決定を行い（Ｓ１５８：ｎ
ｏ、Ｓ１６０）、タイミング判定処理を終了する。

【００３１】一方、リセットスイッチ１５２の出力がＯ
Ｎであった場合には、主制御部１６２は、光量調整を行
う旨の決定を行う（Ｓ１５８：ｙｅｓ、Ｓ１６２）。Ｓ
１６２の決定の後、主制御部１６２は、温度設定部１４
６、露光回数記憶部１５６、及びタイマー１５８を再設
定する（Ｓ１６４）。すなわち、温度設定部１４６に
は、そのときに温度測定部１５４で測定されている温度
を中心とした予め定められた幅の新しい温度範囲が設定
される。また、露光回数記憶部１５６に記憶されていた
露光回数、及びタイマー１５８で計時されていた時間は
初期値０に設定される。タイマー等の再設定の後、主制
御部１６２は、タイミング判定処理を終了する。

【００３２】図７に戻って、タイミング判定処理（Ｓ１
０２）が行われた結果、光量調整を行わない旨の決定が
なされた場合（Ｓ１０４：ｎｏ）、主制御部１６２は、
後述するＳ１１２の処理へ進む。一方、光量調整を行う
旨の決定がなされている場合（Ｓ１０４：ｙｅｓ）、主
制御部１６２は、次にＬＥＤ１２２の光量調整のための
処理を実行する。

【００３３】本実施形態の場合、光量調整のための処理
には、光量補正処理（Ｓ１０６）と、光量補償処理（Ｓ
１０８）とが含まれる。光量補正処理では、各ＬＥＤ１
２２を予め定められている基準発光量Ｌｄで発光させる
ために、各ＬＥＤ１２２に供給すべき電流値Ｉcが求め
られる。一方、光量補償処理では、光量補正処理が行わ
れたのにもかかわらず、基準発光量Ｌｄで発光できない
不良なＬＥＤ１２２が特定される。そして、光量補償処
理では、そのような不良なＬＥＤ１２２があっても、感
光性基板を一様な光量で露光できるように、不良なＬＥ
Ｄ１２２を除く他のＬＥＤ１２２の発光量が調整され
る。

【００３４】図９は、図７の光量補正処理（Ｓ１０６）
における処理内容を示すフローチャートである。また、
図１０は、ＬＥＤ１２２に供給される電流Ｉと、ＬＥＤ
１２２の発光量Ｌとの関係を示す図である。光量補正処
理では、はじめに、一つの光源ユニットが受光部１３０
に対向し、その光源ユニットが備える各ＬＥＤ１２２が
対応するする受光素子１３２に向けて光を照射できる位
置まで光源１１０が光源走査機構１１２により移動され
る（Ｓ２０２）。次に、点灯制御部１４０から各ＬＥＤ
１２２に予め定められている規定電流Ｉｓが供給され、
これにより点灯した各ＬＥＤ１２２の発光量が対応する
各受光素子１３２により測定される（Ｓ２０４）。

【００３５】次に、主制御部１６２が、Ｓ２０４で各受
光素子１３２が測定した測定発光量Ｌmに基づいて、各
ＬＥＤ１２２が予め定められている基準発光量Ｌｄで発
光するために、各ＬＥＤ１２２にそれぞれ供給すべき電
流値Ｉc（以下、基準駆動電流Ｉcという）を求める（Ｓ
２０６）。図１０に実線で示すように、発光ダイオード
における供給電流Ｉと発光量Ｌの関係は、ほぼ原点を通
る直線により近似できる。したがって、図から明らかな
ように、規定電流Ｉｓ及び測定発光量Ｌmが既知であれ
ば、基準駆動電流Ｉcは、簡単な比例関係から容易に求
めることができる。なお、基準発光量Ｌｄは、好ましく
は、ＬＥＤ１２２の定格最大発光量のほぼ２／３倍に設
定される。

【００３６】次に主制御部１６２は、規定電流Ｉｓ及び
測定発光量Ｌmより、ＬＥＤ１２２毎に、最大定格電流
Ｉmaxを供給した時のそのＬＥＤ１２２の発光量である
最大発光量Ｌmaxを求める（Ｓ２０８）。求められた各
ＬＥＤ１２２の最大発光量Ｌmax及びＳ２０４で得られ
た各ＬＥＤ１２２の測定発光量Ｌmは、後に光量補償処
理で利用できるように駆動電流記憶部１４２に記録され
る（Ｓ２１０）。

【００３７】次に主制御部１６２は、各ＬＥＤ１２２に
ついて基準駆動電流Ｉcと定格最大電流Ｉmaxを比較する
（Ｓ２１２）。比較の結果、基準駆動電流Ｉcが定格最
大電流Ｉmaxより大きい場合、そのＬＥＤ１２２は、基
準駆動電流Ｉcを供給して基準発光量Ｌｄで発光させる
ことはできない不良なＬＥＤ１２２である。そこで主制
御部１６２は、この場合、報知部１６０に不良なＬＥＤ
１２２が検出された旨を示す不良発光情報を出力させる
（Ｓ２１２：ｎｏ、Ｓ２１４）。この結果、報知部１６
０は、それが例えばランプであればそのランプを点灯さ
せ、スピーカーであれば、ブザー音又は予め定められて
いる音声を出力して、露光装置の使用者に対して警告す
る。また、報知部１６０がモニター画面であれば、例え
ば、不良なＬＥＤ１２２が存在する旨のメッセージ、不
良なＬＥＤ１２２の配列位置を示す記号、数値、又は配
置図等、不良なＬＥＤ１２２を特定できる情報を画面に
表示する。

【００３８】不良発光情報が出力された後、主制御部１
６２は、その不良なＬＥＤ１２２の駆動電流Ｉeとして
定格最大電流Ｉmaxを駆動電流記憶部１４２に記録する
（Ｓ２１６）。

【００３９】一方、Ｓ２１２において、基準駆動電流Ｉ
cが定格最大電流Ｉmax以下であった場合（Ｓ２１２：ｙ
ｅｓ）、該当するＬＥＤ１２２に基準駆動電流Ｉcを供
給することでそのＬＥＤ１２２を基準発光量Ｌｄで発光
させることができるので、基準駆動電流Ｉcがそのまま
駆動電流Ｉeとして駆動電流記憶部１４２に記録される
（Ｓ２１８）。

【００４０】次に、図１１のフローチャートを用いて、
図７の光量補償処理（Ｓ１０８）の処理内容について説
明する。なお、以下では、簡単のため、光源１１０が備
えるＬＥＤ１２２の中で不良なＬＥＤ１２２は一つのみ
であるとして光量補償処理を説明する。

【００４１】光量補償処理では、はじめに主制御部１６
２が駆動電流記憶部１４２にアクセスし、駆動電流Ｉe
が定格最大電流Ｉmaxに等しいＬＥＤ１２２、つまり不
良なＬＥＤ１２２と、その不良なＬＥＤ１２２において
不足している発光量を補償できる他のＬＥＤ１２２の駆
動電流Ｉe及び最大発光量Ｌmaxを駆動電流記憶部１４２
から取得する（Ｓ２５２）。図４で既に説明したよう
に、本実施形態の場合、各光源ユニットにおいて同一
行、同一列に位置するＬＥＤ１２２は、光源１１０がｘ
方向に走査されたときに感光性基板１０上の同じ領域を
露光する。したがって、主制御装置１６２は、Ｓ２５２
において、駆動電流記憶部１４２に記録されているＬＥ
Ｄ位置情報を参照しながら、不良なＬＥＤ１２２と同一
行、同一列に位置しているＬＥＤ１２２（以下、このよ
うなＬＥＤを補償用ＬＥＤと呼ぶ）の駆動電流Ｉeと最
大発光量Ｌmaxを取得する。

【００４２】次に主制御部１６２は、取得した最大発光
量Ｌmaxの総和と、基準発光量Ｌｄと光源ユニットの個
数ｎの積とを比較する（Ｓ２５４）。前者は、不良なＬ
ＥＤ１２２とその補償用ＬＥＤ１２２が発光できる総光
量の最大値（以下、発光可能総光量という）である。後
者は、感光性基板１０を一様に露光するために、不良な
ＬＥＤ１２２とその補償用ＬＥＤ１２２が発光しなけれ
ばならない総光量（以下、必要総光量という）である。
発光可能総光量が必要総光量より小さい場合（Ｓ２５
４：ｎｏ）、不良なＬＥＤ１２２において不足している
光量を補償用ＬＥＤ１２２で補うことはできない。した
がって、この場合には、主制御部１６２は、感光性基板
を一様な光量で露光できるようにＬＥＤ１２２の発光量
を調整できない旨の調整不可情報を報知部１６０に出力
させる（Ｓ２５６）。また、主制御部１６２は、例えば
実行しているプログラム中の所定のフラグを立てること
により、感光性基板１０の露光を禁止する旨の決定を行
う（Ｓ２５８）。

【００４３】一方、Ｓ２５４において、発光可能総光量
が必要総光量以上であった場合（Ｓ２５４：ｙｅｓ）、
主制御部１６２は、不良なＬＥＤ１２２において不足し
ている発光量を補償するように、補償用ＬＥＤ１２２の
駆動電流Ｉeを調整する（Ｓ２６０）。本実施形態で
は、例えば、不足している光量を補償用ＬＥＤ１２２の
各々が等分に分担するように、各補償用ＬＥＤ１２２の
駆動電流を一定量ずつ増大させる。そして、主制御部１
６２は、各補償用ＬＥＤ１２２の変更後の駆動電流Ｉe
を駆動電流記憶部１４２に保存する（Ｓ２６２）。さら
に、主制御部１６２は、感光性基板１０の露光が許可さ
れる旨の決定を行い（Ｓ２６４）、光量補償処理を終了
する。

【００４４】図７に戻って、光量補償処理において感光
性基板１０の露光を禁止する旨の決定がなされた場合、
主制御部１６２は、感光性基板１０を露光するための処
理を行わずに露光装置１００の動作を終了させる（Ｓ１
１０：ｙｅｓ）。これにより、本実施形態では、露光装
置１００が感光性基板１０を不均一な光量で露光するこ
とを防止する。

【００４５】一方、光量補償処理において露光を許可す
る旨の決定がなされた場合（Ｓ１１０：ｎｏ）、主制御
部１６２は、感光性基板１０を露光するための処理を実
行する（Ｓ１１２）。すなわち、感光性基板１０は、駆
動電流記憶部１４２から各ＬＥＤ１２２の駆動電流Ｉe
の値を取得し、それを点灯制御部１４０に送信する。点
灯制御部１４０では、送信された各駆動電流Ｉeを対応
する各ＬＥＤ１２２に供給することで光源１１０を点灯
する。これにより、光源１１０が備える各ＬＥＤ１２２
は、光量補正処理（Ｓ１０６）および光量補償処理（Ｓ
１０８）で調整された光量で発光する。光源１１０が点
灯された後に、主制御部１６２は、走査制御部１１４に
光源１１０の走査を命令し、走査制御部１１４は、光源
走査機構１１２を制御して、光源１１０から照射された
光が感光性基板１０の全体を走査するように、光源１１
０を一定速度でｘ方向に移動させる。この結果、光源１
１０から照射された光が感光性基板１０上を一定速度で
走査し、感光性基板１０が露光される。

【００４６】露光処理の後、主制御部１６２は、露光回
数記憶部１５６に記録されている露光回数を更新し（Ｓ
１１４）、その後、露光装置１００の動作を終了させ
る。

【００４７】次に、本発明の第２実施形態に係る露光装
置について説明する。本発明の第２実施形態に係る露光
装置は、光量補償処理の内容と、光量補償処理が行われ
た後の露光装置の動作が第１実施形態に係る露光装置と
異なる。他の点において、第２実施形態に係る露光装置
の構成および動作は、第１実施形態の露光装置と同一で
ある。そこで、以下では、第２実施形態に係る露光装置
が第１実施形態に係る露光装置と異なる点についてのみ
説明する。なお、以下の説明において、第１実施形態に
おいて既に説明した構成要素及び処理内容については、
第１実施形態で付したのと同じ符号を付し、その構成要
素又は処理内容についての説明を省略する。

【００４８】前述したように、本発明の第１実施形態に
係る露光装置１００では、光量補償処理において、不良
なＬＥＤ１２２で不足している光量を補償用ＬＥＤ１２
２で補償できなかった場合に、感光性基板１０の露光を
禁止していた。これに対して本発明の第２実施形態に係
る露光装置では、光量補償が達成できなかった場合に、
露光を禁止せず、光源１１０から感光性基板１０上に照
射される光の走査速度を調整することにより、感光性基
板１０の一様な露光を達成する。

【００４９】図１２は、本発明の第２実施形態に係る露
光装置の動作を示すフローチャートである。第１実施形
態の露光装置は、光量補償処理（Ｓ１０８）の内容によ
り、その後の露光処理が許可されたり、禁止されたりし
ていたが、本実施形態では、光量補償処理（Ｓ１０８）
が行われた後、常に露光処理（Ｓ１１２）が行われる。
ただし、本実施形態では、露光処理（Ｓ１１２）におい
て光源１１０が走査される速度が光量補償処理において
決定される。つまり、光源１１０の走査速度は常に一定
ではなく、光源１１０が備えるＬＥＤ１２２の発光量に
より変化する。

【００５０】図１３は、本実施形態に係る露光装置にお
ける光量補償処理の処理内容を示すフローチャートであ
る。本実施形態の光量補償処理は、Ｓ２５６及びＳ２６
２の後に光源１１０の走査速度を決定する処理を行う点
で第１実施形態の光量補償処理と異なる。他の点では、
本実施形態の光量補償処理は、第１実施形態の光量補償
処理と同一である。

【００５１】すなわち、本実施形態の光量補償処理で
は、Ｓ２５４において、不良なＬＥＤ１２２での不足光
量を他のＬＥＤ１２２の光量で補償できると判断された
場合には（Ｓ２５４：ｙｅｓ）、第１実施形態と同様
に、補償用ＬＥＤ１２２の駆動電流Ｉeを調整し（Ｓ２
６０）、変更後の駆動電流Ｉeを保存した後（Ｓ２６
２）、主制御部１６２が光源１１０の走査速度を標準速
度に設定する（Ｓ２６４）。ここで標準速度とは、光源
１１０が備える全てのＬＥＤ１２２が基準光量Ｌｄで発
光する場合に、感光性基板１０を必要な露光量で露光す
ることができる光源１１０の走査速度である。この結
果、図１２に示した光量補償処理後の露光処理（Ｓ１１
２）では、光源１１０が標準速度で走査されることとな
る。

【００５２】一方、Ｓ２５４において、不良なＬＥＤ１
２２での不足光量を他のＬＥＤ１２２の光量で補償する
ことができないと判断された場合には（Ｓ２５４：ｎ
ｏ）、主制御部１６２が、光源１１０の走査速度を下げ
るための処理を行う。具体的には、Ｓ２５６において調
整不可情報を出力する処理を行った後に、主制御部１６
２が、光源１１０の走査速度を不良なＬＥＤ１２２と補
償用ＬＥＤ１２２の発光可能総光量ΣＬmaxに基づいて
定める（Ｓ３０２）。本実施形態の場合には、走査速度
がＶstd・（ΣＬmax／Ｌd×ｎ）以下となるように定め
られる。ここでＶstdは、前述した標準速度である。

【００５３】また、主制御部１６２は、駆動電流記憶部
１４２に記録されている各ＬＥＤ１２２の駆動電流Ｉe
のうち、不良なＬＥＤ１２２と補償用ＬＥＤ１２２とを
除く他のＬＥＤ１２２の駆動電流ＩeをＳ３０２で定め
られた走査速度に基づいて変更する。これは、走査速度
を下げたために、感光性基板１０が過露光されることを
防止するためである。本実施形態の場合、駆動電流Ｉe
は、Ｉe＝Ｉe・（Ｖmod／Ｖstd）に変更される（Ｓ３０
４）。ここで、Ｖmodは、Ｓ３０２で定められた走査速
度である。

【００５４】Ｓ３０２、Ｓ３０４の処理が行われた後、
光量補償処理は終了し、露光処理（図１２、Ｓ１１２）
が行われる。この場合の露光処理では、光源１１０が、
Ｓ３０２で定められた標準速度より遅い走査速度で走査
される。これにより、本実施形態では、補償用ＬＥＤ１
２２で補償できない程に発光量が低下しているＬＥＤ１
２２があるにもかかわらず、感光性基板１０を一様に露
光できる。

【００５５】次に、本発明の第３実施形態について説明
する。本発明の第３実施形態に係る露光装置は、光量補
償処理の内容と、光量補償処理が行われた後の露光装置
の動作が第１実施形態に係る露光装置と異なる。他の点
において、第３実施形態に係る露光装置の構成および動
作は、第１実施形態の露光装置と同一である。そこで、
以下では、第３実施形態に係る露光装置が第１実施形態
に係る露光装置と異なる点に付いてのみ説明する。

【００５６】本実施形態の露光装置では、光量補償処理
で感光性基板１０を一様な光量で露光するようにＬＥＤ
１２２の発光量を調整できない場合に、ＬＥＤ１２２の
発光量が未調整なままで１回目の露光（以下、通常露光
という）を行う。この結果、感光性基板１０の一部は十
分な露光量で露光されるが、他の一部は露光量が不十分
となる。つまり、感光性基板１０には、いわゆる露光ム
ラが生じる。そこで本実施形態では、通常露光で生じた
露光ムラを解消し、感光性基板１０の全体が適性かつ一
様な露光量で露光されるように、光源１１０が備えるＬ
ＥＤ１２２の発光量を調整した上で、さらに追加の露光
を行う。これにより、本実施形態では、他のＬＥＤ１２
２で補償できない程に発光量が低下している不良なＬＥ
Ｄ１２２があるにもかかわらず、感光性基板１０を一様
に露光することを可能としている。

【００５７】図１４は、本発明の第３実施形態に係る露
光装置の動作を示すフローチャートである。また、図１
５は、本発明の第３実施形態に係る露光装置における光
量補償処理の処理内容を示すフローチャートである。

【００５８】はじめに、図１５を用いて、本実施形態に
おける光量補償処理の処理内容について説明する。本実
施形態における光量補償処理は、調整不可情報の出力処
理（Ｓ２５６）が実行された後に追加露光用の駆動電流
Ｉeを定める処理（Ｓ３７０）が実行される点で第１実
施形態の光量補償処理と異なっている。また、本実施形
態の光量補償処理は、露光許可の決定（Ｓ２６４）、露
光禁止の決定（Ｓ２５８）を行わない点で第１実施形態
における光量補償処理と異なっている。他の点では、本
実施形態の光量補償処理は、第１実施形態の光量補償処
理と同一である。

【００５９】Ｓ３７０の処理では、主制御部１６２が、
不良なＬＥＤ１２２及び補償用ＬＥＤ１２２の中から少
なくとも一つのＬＥＤ１２２を選択する。また、主制御
部１６２は、不良なＬＥＤ１２２において不足している
発光量δＬ（＝（基準発光量Ｌｄ）−（不良なＬＥＤ１
２２のＬmax））を求める。そして、主制御部１６２
は、選択した少なくとも一つのＬＥＤ１２２の発光量の
総和が不足している発光量δＬと等しくなるように、そ
れら選択したＬＥＤ１２２に供給すべき駆動電流Ｉadd
を定める。定められた駆動電流Ｉaddは、追加露光時に
選択されたＬＥＤ１２２に供給すべき電流である。Ｓ３
７０が実行された後、光量補償処理は終了される。

【００６０】光量補償処理が行われた後、本実施形態に
係る露光装置では、図１４に示されているように、まず
通常露光が行われる（Ｓ３５２）。通常露光では、各Ｌ
ＥＤ１２２が駆動電流記憶部１４２に設定されている駆
動電流Ｉeで点灯される。したがって、図１５に示した
光量補償処理において、Ｓ２６０及びＳ２６２における
不良なＬＥＤ１２２の不足光量を補償するための処理が
行われている場合には、この通常露光を行うだけで、感
光性基板１０が必要な露光量で一様に露光される。一
方、光量補償処理において、不良なＬＥＤ１２２の不足
光量を補償用ＬＥＤ１２２で補償できないと判断され
（Ｓ２５４：ｎｏ）、その結果、Ｓ２６０及びＳ２６２
が行われなかった場合には、通常露光を行うだけでは不
良なＬＥＤ１２２が露光した感光性基板１０の領域が露
光不足となる。

【００６１】次に、主制御部１６２は、光量補償処理で
追加露光用の駆動電流Ｉaddが定められているか否かを
判断する（Ｓ３５４）。定められていない場合には（Ｓ
３５４：ｎｏ）、光量補償処理において、感光性基板１
０を一様に露光できるように各ＬＥＤの発光量の調整が
なされていることになるので、主制御部１６２は、追加
露光を行わず、露光回数更新（Ｓ１１４）のみを行って
露光装置１００の動作を終了させる。

【００６２】一方、Ｓ３５４において、追加露光用の駆
動電流Ｉaddが設定されていた場合、主制御部１６２
は、点灯制御部１４０及び走査制御部１１４に追加露光
のための処理を実行させる（Ｓ３５４：ｙｅｓ、Ｓ３５
６）。このとき、点灯制御部１４０は、Ｓ３７０で選択
された追加露光用のＬＥＤ１２２にのみ、各々のＬＥＤ
１２２について定められている追加露光用の駆動電流Ｉ
addを供給する。この結果、追加露光では、不良なＬＥ
Ｄ１２２があったために、Ｓ３５２の通常露光では露光
不足となった感光性基板１０の領域にのみ、その露光不
足を解消する光量で露光がなされる。

【００６３】以上、本発明のいくつかの実施形態につい
て説明したが、本発明に係る露光装置は、上記実施形態
に限定されず、本発明の技術的思想の範囲内において上
記実施形態に種々の変形を加えることが可能である。

【００６４】例えば、本発明に係る露光装置では、受光
部の形態を種々に変形することができる。図１６は、本
発明に係る露光装置が備える受光部の第１の変形例を示
す平面図である。図示のように、本変形例に係る受光部
４００は、ｙ方向に沿って一列に配列された複数の受光
素子１３２を有する。各々の受光素子１３２の間隔は、
光源ユニットＵ１〜ＵｎにおけるＬＥＤ１２２のｙ方向
間隔ａと等しい。受光部４００は、受光部４００をｙ方
向に沿って移動、位置決めできる送り機構４０２に取り
付けられている。

【００６５】図１６に示すような受光部４００を備える
露光装置では、光量補正処理時に、ＬＥＤ１２２の各列
が、順に、受光素子４００上で止まるように光源１１０
が走査方向に段階的に移動させられる。また、光源１１
０の段階的移動に同期して、送り機構４０２が、受光部
４００をｙ方向に段階的に送り、それにより各受光素子
１３２を、常に移動してきたＬＥＤ１２２の発光量を適
性に受光できる位置に配置する。これにより、受光部４
００を用いて、ＬＥＤ１２２の発光量をＬＥＤ１２２の
列毎に順に測定することが可能になる。

【００６６】図１７は、本発明に係る露光装置が備える
受光部の第２の変形例を示す平面図である。第２の変形
例に係る受光部４１０では、受光素子１３２がｙ方向、
すなわち、ＬＥＤ１２２の列方向に平行ではなく、行方
向に平行に配列されている。受光素子１３２が配列され
ている間隔は、光源ユニットにおけるＬＥＤ１２２と同
一である。このような受光部４００を露光装置が備える
場合には、光量補正処理時に、一つの光源ユニットがそ
のｘ方向幅全体に渡り受光部４１０上に位置するように
光源１１０が移動される。次に、光源ユニットの各ＬＥ
Ｄ１２２から照射される光を受光部４１０がＬＥＤ１２
２の行毎に受光できるように、送り機構４０２が受光部
４１０を一定量ずつ段階的に送る。これにより、受光部
４１０を用いて、ＬＥＤ１２２の発光量をＬＥＤ１２２
の行毎に順に測定することが可能になる。

【００６７】図１８は、本発明に係る露光装置が備える
受光部の第３の変形例を模式的に示す斜視図である図で
ある。第３変形例に係る受光部４２０は、光源１１０の
走査方向に交わる方向、本実施形態の場合にはｙ方向に
平行に配置されたＣＣＤラインセンサ４２４と、そのラ
インセンサ４２４の受光側に配置された波長変換部４２
２とを備えている。波長変換部４２２は、ＬＥＤ１２２
が照射する光の波長をラインセンサ４２４が検知できる
波長の光に変換する。例えば、ＬＥＤ１２２が紫外光を
発光している場合には、波長変換部４２２としては、そ
の紫外光を吸収して可視光を放出する蛍光体が封入され
た透明容器を波長変換部４２２として使用することがで
きる。

【００６８】露光装置が上記の受光部４２０を備えてい
る場合には、光量補正時に、光源１１０が各ＬＥＤ１２
２を点灯させたまま受光部４２０を通過するように走査
される。この結果、ラインセンサ４２４では、例えば図
１９に示すようなデータが得られる。図１９において、
Ｘは光源１１０のｘ方向移動量、ｙはラインセンサ４２
４が光を検出したｙ方向位置、Ｌは検出された光の光量
を示す。図１９に現れている光量の各凸部は、ＬＥＤ１
２２からの光が受光部４２０に照射されたことを示して
いる。各凸部が現れるｙ方向座標と光源１１０のｘ方向
移動量がその凸部がいずれのＬＥＤ１２２に対応するか
を求めることができ、また、各凸部の体積から、対応す
るＬＥＤ１２２の光量を求めることができる。

【００６９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る露光
装置は、複数の発光部の中で予め定められている基準発
光量で発光できない不良発光部を検出し、感光性基板が
一様な光量で露光されるように検出された不良発光部と
異なる発光部の発光量を調整するので、感光性基板を露
光するための光源の性能が低下しても、直ちに光源を交
換する必要のない露光装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係る露光装置の構成を
模式的に示す図である。

【図２】基板ステージの側から斜めに見た光照射部の斜
視図である。

【図３】光源ユニットの一部断面図である。

【図４】光源におけるＬＥＤの配列を説明するための図
である。

【図５】受光部の構成の一例を示す図である

【図６】駆動電流記憶部に記憶される情報の一例を示す
図である。

【図７】本発明の第１実施形態に係る露光装置の動作を
示すフローチャートである。

【図８】タイミング判定処理における処理内容を示すフ
ローチャートである。

【図９】光量補正処理における処理内容を示すフローチ
ャートである。

【図１０】ＬＥＤに供給される電流Ｉと、ＬＥＤの発光
量Ｌとの関係を示す図である。

【図１１】光量補償処理における処理内容を示すフロー
チャートである。

【図１２】本発明の第２実施形態に係る露光装置の動作
を示すフローチャートである。

【図１３】本発明の第２実施形態における光量補償処理
の処理内容を示すフローチャートである。

【図１４】本発明の第３実施形態に係る露光装置の動作
を示すフローチャートである。

【図１５】本発明の第３実施形態に係る露光装置におけ
る光量補償処理の処理内容を示すフローチャートであ
る。

【図１６】本発明に係る露光装置が備える受光部の第１
の変形例を示す平面図である。

【図１７】本発明に係る露光装置が備える受光部の第２
の変形例を示す平面図である。

【図１８】本発明に係る露光装置が備える受光部の第３
の変形例を模式的に示す斜視図である図である。

【図１９】第３変形例に係る受光部を用いて測定される
データの一例を示す図である。

【符号の説明】

１００露光装置１１０光源１１２光源走査機構１１４走査制御部１２２ＬＥＤ１３０受光部１３２受光素子１４０点灯制御部１４２駆動電流記憶部１４４光量調整タイミング設定部１４６温度設定部１４８回数設定部１５０時間設定部１５２リセットスイッチ１５４温度測定部１５６露光回数記憶部１５８タイマー１６０報知部１６２主制御部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者石橋臣友東京都板橋区前野町２丁目36番９号旭光学工業株式会社内Ｆターム(参考） 2H097 BB01 CA03 CA12 GA45 5F046 CB22 DA01 DA02 DB01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の発光部と、感光性基板を露光するために前記複数の発光部から照射
された光を前記感光性基板上で走査させる走査手段と、前記複数の発光部の中で予め定められている基準発光量
で発光できない不良発光部を検出する不良発光部検出手
段と、前記感光性基板を一様な光量で露光できるように、前記
複数の発光部のうち、前記不良発光部と異なる発光部の
発光量を調整する光量調整手段とを備えることを特徴と
する露光装置。
【請求項２】前記光量調整手段は、前記不良発光部が
露光する領域とほぼ同じ領域を露光する前記発光部の発
光量を調整することを特徴とする請求項１に記載の露光
装置。
【請求項３】前記複数の発光部が２次元配列されてい
る光源ユニットを複数備え、前記光量調整手段は、前記不良発光部が属している前記
光源ユニットと異なる光源ユニットにある前記発光部の
発光量を調整することを特徴とする請求項２に記載の露
光装置。
【請求項４】前記不良発光部検出手段が不良発光部を
検出した場合に、前記不良発光部が検出された旨を示す
不良発光情報を出力する不良発光情報出力手段をさらに
備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項５】前記不良発光情報は、前記複数の発光部
の中から前記不良発光部を特定するための情報を含むこ
とを特徴とする請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】前記光量調整手段が前記発光量の調整を
行えなかった場合に、発光量の調整ができない旨を示す
調整不可情報を出力する調整不可情報出力手段をさらに
備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項７】前記光量調整手段が前記発光量の調整を
行えなかった場合に、前記感光性基板の露光を禁止する
露光禁止手段をさらに備えることを特徴とする請求項１
に記載の露光装置。
【請求項８】前記光量調整手段が前記発光量の調整を
行えなかった場合に、前記感光性基板が一様な光量で露
光されるように、前記走査手段が前記複数の発光部から
照射された光を走査する走査速度を変更する走査速度変
更手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載
の露光装置。
【請求項９】前記走査速度変更手段は、前記不良発光
部が露光する領域とほぼ同じ領域を露光する前記発光部
の総発光量に基づいて前記走査速度を定めることを特徴
とする請求項８に記載の露光装置。
【請求項１０】前記走査速度変更手段が前記走査速度
を変更した場合に、前記変更後の走査速度に基づいて、
前記不良発光部が露光する領域と異なる領域を露光する
前記発光部の発光量を変更する光量変更手段をさらに備
えることを特徴とする請求項９に記載の露光装置。
【請求項１１】前記光量調整手段が前記光量の調整を
行えなかった場合に、前記発光量が未調整なままで前記
走査手段に前記光を走査させることで１回目の露光を行
い、さらに、前記１回目の露光による露光ムラを解消で
きる発光量で前記発光部の各々を発光させながら前記走
査手段に前記光を走査させることで追加の露光を行う露
光実行手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に
記載の露光装置。
【請求項１２】前記発光部は、発光ダイオードである
ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項１３】前記不良発光部検出手段は、予め定め
られた規定電流を前記発光ダイオードに供給したときの
当該発光ダイオードの発光量に基づいて当該発光ダイオ
ードが前記基準発光量で発光できるか否かを判定するこ
とを特徴とする請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１４】前記発光ダイオードの各々について、
供給すべき電流の設定値を記憶する駆動電流記憶手段
と、露光時に、前記駆動電流記憶手段に記憶されている設定
値に対応した電流を各々の前記発光ダイオードに供給す
ることで前記発光ダイオードを点灯する点灯制御手段
と、予め定められた規定電流を前記発光ダイオードに供給し
たときの当該発光ダイオードの発光量に基づいて、当該
発光ダイオードを前記基準発光量で発光させるために当
該発光ダイオードに供給すべき電流値を算出し、算出さ
れた電流値を前記設定値として前記駆動電流記憶手段に
記憶させる設定値演算手段とをさらに備えることを特徴
とする請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１５】前記基準発光量は、前記発光ダイオー
ドの定格最大発光量のほぼ２／３であることを特徴とす
る請求項１２に記載の露光装置。
【請求項１６】所定の温度範囲が設定される温度設定
手段と、周囲の温度を測定する温度測定手段と、前記温度設定手段における設定内容と、前記温度測定手
段の測定結果とに基づいて、前記周囲の温度が前記所定
の温度範囲を超えたか否かを判定する温度判定手段とを
備え前記光量調整手段は、前記周囲の温度の変化が前記
温度範囲を超えたと前記温度判定手段が判定した場合に
前記調整を行うことを特徴とする請求項１に記載の露光
装置。
【請求項１７】前記発光部の発光量の調整を行うべき
時間間隔が設定される時間間隔設定手段と、時間情報を出力する時間情報出力手段と、前記時間情報に基づいて、前記時間間隔が経過したか否
かを判定する経過時間判定手段とを備え、前記光量調整手段は、前記経過時間判定手段が、前記時
間間隔が経過したと判定した場合に前記調整を行うこと
を特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項１８】前記発光部の発光量の調整を行うべき
露光回数が設定される露光回数設定手段と、露光が行われた回数を記録する露光回数記録手段と、前記露光回数記録手段に記録されている回数が前記露光
回数設定手段に達したか否かを判定する露光回数判定手
段とを備え、前記光量調整手段は、前記露光回数判定手段が、前記露
光回数記録手段に記録されている回数が前記露光回数設
定手段に達したと判定した場合に前記調整を行うことを
特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項１９】複数の発光部の中で予め定められてい
る基準発光量で発光できない不良発光部を検出する不良
発光検出段階と、前記複数の発光部から照射された光を感光性基板上で走
査させた場合に、前記感光性基板を一様な光量で露光で
きるように、前記不良発光検出段階で検出された前記不
良発光部と異なる前記発光部の発光量を調整する光量調
整段階と、前記光量調整段階で発光量が調整された前記複数の発光
部から照射された光を前記感光性基板上で走査させる走
査段階とを含むことを特徴とする露光方法。