JP2007173592A - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セラミック基体2上に、被保持物Wの吸着面3を有するセラミック誘電体層6と、正電圧が印加される第1の吸着用電極4a及び負電圧が印加される第2の吸着用電極4bを備えた静電チャック1において、前記セラミック誘電体層6が純度98質量%以上の窒化アルミニウムであり、前記吸着用電極4a,4bの主成分がMo、W、Tiまたはこれらの合金、TiN、WC、TiCの少なくとも一種の焼結体からなり、前記吸着面3と前記第1の吸着用電極4aとの間の前記セラミック誘電体層6の厚みTaよりも前記吸着面3と前記第2の吸着用電極4bとの間のセラミック誘電体層6の厚みTbを厚くする。
【選択図】図1
Description
2、42:セラミック基体
3、43:吸着面
4a、44a:第1の吸着用電極
4b、44b:第2の吸着用電極
5、45:給電端子
6、46:セラミック誘電体層
Claims (2)
- セラミック基体上に、被保持物の吸着面を有するセラミック誘電体層と、正電圧が印加される第1の吸着用電極及び負電圧が印加される第2の吸着用電極を備えた静電チャックにおいて、前記セラミック誘電体層が純度98質量%以上の窒化アルミニウムであり、前記吸着用電極の主成分がMo、W、Tiまたはこれらの合金、TiN、WC、TiCの少なくとも一種の焼結体からなり、前記吸着面と前記第1の吸着用電極との間の前記セラミック誘電体層の厚みよりも前記吸着面と前記第2の吸着用電極との間のセラミック誘電体層の厚みが厚いことを特徴とする静電チャック。
- 前記セラミック誘電体層は、前記被保持物の吸着時における体積固有抵抗値が108〜1013Ω・cmであることを特徴とする請求項1に記載の静電チャック。
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