JP2007173553A - 基板搬送装置 - Google Patents

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陽一 田中
Takayuki Kitagawa
貴之 北川
Takahiro Noda
孝浩 野田
Hiroshi Ogata
浩 小方
Hiroshi Ota
博 大田
Nobuhiro Nakai
伸弘 中井
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Abstract

【課題】コスト増及び信頼性の低下につながるセンサの付加を必要とすることなく効率的に基板を搬送することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】第1の位置から第2の位置を経由して基板3を搬送する搬送機構21と、基板3が第1の位置に到達したことを検出するとともに第1の位置を通過したことを検出する第1の検出手段22、31と、基板3が第2の位置に到達したことを検出する第2の検出手段23、31と、搬送機構21の駆動を制御して基板3の搬送速度を調整する制御部30とを備え、第1の検出手段22、31により基板3が第1の位置を通過したことが検出されると搬送機構21の駆動を低減し、第2の検出手段23、31により基板3が第2の位置に到達したことが検出されると搬送機構21の駆動を停止する制御を行うようにした。
【選択図】図2

Description

本発明は、連続的に供給される基板を所定の停止位置に搬送する基板搬送装置に関するものである。
連続的に供給される基板を所定の停止位置まで搬送する基板搬送装置において、基板の搬送速度を高速にして効率化を図るとともに基板を停止させる際に基板に加わる衝撃の低減を図るため、基板の搬送速度を停止位置に至る手前で微速度に調整した後に停止させている。このような基板搬送装置として、停止位置の手前にセンサを配設し、このセンサにより基板が停止位置に接近したことを検知して基板の搬送速度を微速度に調整するものが知られている(特許文献1及び2参照)。
特開昭63−204800号公報 特開2000−138498号公報
しかしながら、基板の搬送速度を減速させるための専用のセンサを付加することは、基板搬送装置の製造にかかるコスト増につながり、また、基板搬送装置における電気系の構成が複雑化して信頼性の低下につながっていた。
そこで本発明は、コスト増及び信頼性の低下につながるセンサの付加を必要とすることなく効率的に基板を搬送することができる基板搬送装置を提供することを目的とする。
請求項1記載の発明は、第1の位置から第2の位置を経由して基板を搬送する搬送手段と、前記基板が前記第1の位置に到達したことを検出するとともに前記第1の位置を通過したことを検出する第1の検出手段と、基板が前記第2の位置に到達したことを検出する第2の検出手段と、前記搬送手段の駆動を制御して基板の搬送速度を調整する制御手段とを備え、前記制御手段が、前記第1の検出手段により基板が前記第1の位置を通過したことが検出されると前記搬送手段の駆動を低減し、前記第2の検出手段により基板が前記第2の位置に到達したことが検出されると前記搬送手段の駆動を停止する制御を行う。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、基板の搬送方向における長さを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された基板の搬送方向における長さと前記制御手段により調整された前記基板の搬送速度から前記基板が前記第1の位置に到達してから通過するまでの所要時間を演算する演算手段とをさらに備え、前記制御手段が、前記第1の検出手段により基板が前記第1の位置に到達したことが検出された後、前記演算手段により演算された前記所要時間が経過するまでは前記搬送手段の駆動を維持する制御を行う。
請求項3記載の発明は、第1の位置から第2の位置を経過して基板を搬送する搬送手段と、基板が前記第1の位置に到達したことを検出する第1の検出手段と、基板が前記第2の位置に到達したことを検出する第2の検出手段と、前記搬送手段の駆動を制御して基板の搬送速度を調整する制御手段と、前記制御手段により調整された基板の搬送速度から基板が前記第1の位置に到達してから前記第1の位置と前記第2の位置との間に設定された第3の位置に到達するまでの所要時間を演算する演算手段とを備え、前記制御手段が、前記第1の検出手段により基板が前記第1の位置を通過したことが検出されるとともに前記
演算手段により演算された前記所要時間が経過すると前記搬送手段の駆動を低減する制御を行う。
本発明によれば、基板の搬送速度を減速させるための専用のセンサを要さずに基板の搬送速度を減速させているので、コスト増及び信頼性の低下を招くことなく効率的に基板を搬送することができる。
本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態における電子部品実装装置の構成を示す平面図、図2は本発明の一実施の形態における基板搬送装置の構成を示す側面図、図3乃至図8は本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図である。
まず、本発明の一実施の形態における電子部品実装装置の全体構成について説明する。図1において、基台1上の略中央には、基板の搬送を行う3つの基板搬送装置2がX方向に一列に配設されており、基板3は3つの基板搬送装置2を経由してX方向に搬送される。なお、本発明においては、基板3の搬送方向をX方向とし、これに水平面内で直交する方向をY方向とする。
基板搬送装置2のY方向における両側方には電子部品供給機構4が並設されている。電子部品供給機構4は、例えばテープフィーダやバルクフィーダ等のパーツフィーダにより構成することができる。電子部品供給機構4には複数の電子部品が収納されており、これらの電子部品は供給口5に順次供給される。各電子部品供給機構4には、同一品種又は別品種の電子部品が収納されており、一つの基板3に複数品種の電子部品を実装できるようになっている。
基台1のX方向における両端部には一対のYテーブル6が配設されており、この一対のYテーブル6上にXテーブル7が架設されている。Xテーブル7には移載ヘッド8が装着されており、Yテーブル6及びXテーブル7の駆動を組み合わせることにより、電子部品供給機構4の供給口5と基板3を含む領域内を移動できるようになっている。移載ヘッド8には複数のノズルユニット9が装着されている。各ノズルユニット9の下端部には図示しないノズルが装着されており、各ノズルは、Z方向に昇降及びθ方向(Z軸周り)に回転可能に構成されている。また、各ノズルには図示しない吸排気機構が備えられており、電子部品のピックアップの際にはノズル内を真空吸引することにより電子部品を吸着保持し、電子部品の実装の際にはノズル内の排気を行うことにより電子部品をリリースするいわゆる吸着破壊を行うようになっている。
移載ヘッド8には、電子部品供給機構4の供給口5に供給された電子部品を撮像する撮像手段としてのカメラ10が配設されている。カメラ10により撮像された画像を画像処理することにより電子部品の位置及び姿勢が認識され、この認識結果に基づいてノズルによるピックアップが行われる。
基板搬送装置2と電子部品供給機構4の間には、ノズルに吸着された電子部品を撮像する撮像手段としてのカメラ11が配設されている。カメラ11により撮像された画像を画像処理することにより、ノズルに吸着された電子部品の位置及び姿勢が認識され、この認識結果に基づいて基板3の所定の実装位置に所定の実装姿勢で電子部分の実装が行われる。
カメラ11の側方には、複数品種のノズル12が収納されたノズルストッカ13が配設
されている。各ノズル12は電子部品供給機構4に収納された電子部品の品種に対応したものが用意されている。ノズル12はノズルユニット9に対して着脱自在となっており、移載ヘッド8がノズルストッカ13の上方に位置してノズルを昇降させることにより別品種のノズルと交換することも可能であり、オペレータが手動で交換することも可能である。
次に、本発明の一実施の形態における基板搬送装置2の構成について説明する。図2(a)は、3つの基板搬送装置2a、2b、2cがX方向に一列に配設されている状態を示す平面図であり、図2(b)はその側面図である。なお、図2(a)、(b)において、基板搬送装置2a、2b、2cは同じ構成であるため、基板搬送装置2aについてのみ制御系の構成を示している。また、他の基板搬送装置2b、2cについては符号を省略している。
図2(a)、(b)において、基板搬送装置2aは、基板3のX方向への搬送をガイドする2本のレール20と、基板3をX方向に搬送する搬送機構21と、X方向に搬送される基板3を検知する第1のセンサ22及び第2のセンサ23と、X方向に搬送される基板3を強制的に停止させるストッパ24から構成される。電子部品実装装置に搬入された基板3は、基板搬送装置2bにおいて電子部品の実装が行われるため、基板搬送装置2aを経由して基板搬送装置2bに搬送された基板3は図示しないクランプ機構により所定の位置で固定されるようになっている。なお、電子部品実装装置に搬入された基板3は、基板搬送装置2aにおいて一旦停止して実装を待機する。基板搬送装置2bにおいて実装を終えた基板3は、基板搬送装置2cに搬送されて一旦停止し、次工程への搬出を待機する。基板搬送装置2bに固定されていた基板3が基板搬送装置2cに搬送されると、基板搬送装置2aに待機していた基板3が基板搬送装置2bに搬送される。
搬送機構21は、2本のレール20の間に配設されたベルトコンベアにより構成され、モータ25によりローラ26を回転させることによりローラ26、27に調帯されたベルト28を駆動する。基板3は、2本のレール20により形成される搬送路をベルト28の駆動により搬送される。モータ25は制御部30により回転駆動量が制御されており、回転駆動量の増減によりベルト28の駆動量を増減して基板3の搬送速度を調整するようになっている。
第1のセンサ22及び第2のセンサ23は、搬送機構21により搬送される基板3の搬送路の下方に配設されており、上方を通過する基板3により遮光されている間、ON信号を検出部31に送信する。検出部31は、第1のセンサ22からON信号を受信すると、基板3が第1のセンサ22による検知ポイント(後述する第1の位置)に到達したことを検出し、第1のセンサ22からOFF信号を受信すると、基板3が第1の位置を通過したことを検出する。また、第2のセンサ23からON信号を受信すると、基板3が第2のセンサ23による検知ポイント(後述する第2の位置)に到達したことを検出する。検出部31は、これらの検出したON/OFF信号を制御部30に送信し、制御部30は予め記憶部32に設定された制御プログラムに従ってモータ25の回転駆動量の制御を行う。
ストッパ24は、基板3を強制的に停止させる機能を有しており、基板3を所定の停止位置に停止させる箇所に配設されている。ストッパ24はZ方向に昇降可能に構成されており、上昇位置において基板3の移動を制限し、下降位置において基板3の搬送装置間の移動を許容する。
次に、本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作について、基板3が基板搬送装置2に搬入されて停止するまでの一連の動作により説明する。図3(a)乃至(e)は、基板3が基板搬送装置2に搬入されて停止するまでの一連の動作を時系列で示している
。また、図4は、図5(a)乃至(e)に示す一連の動作における第1のセンサ22及び第2のセンサ23、センサタイマ34、モータ25の回転駆動量について基板3の搬送位置との関係を示している。
図3(a)において、図示しない基板搬入機構により基板3が基板搬送装置2に搬入される。なお、基板3の搬送方向に直交する方向(Y方向)において、第1のセンサ22による検知ポイントを第1の位置S1とし、第2のセンサ23による検知ポイントを第2の位置S2としている。
図3(b)において、基板搬送装置2に搬入された基板3はベルト28の駆動によりX方向に搬送される。基板3が第1の位置S1に到達すると、図4に示す搬送位置P0において、第1のセンサ22により遮光状態が検知され、ON信号が検出部31に送信される。ON信号を受信した検知部31は、基板3が第1の位置S1に到達したことを検出し、検出信号を制御部30に送信する。制御部30は、検出信号を受信して記憶部32に予め設定された回転駆動量V1でモータ25を回転させる。これにより基板3は高速度で搬送される。
図3(c)において、基板3が第1の位置S1を通過すると、第1のセンサ22により遮光状態が解除されたことが検知され、図4に示す搬送位置P1において、OFF信号が検出部31に送信される。OFF信号を受信した検知部31は、基板3が第1の位置S1を通過したことを検出し、検出信号を制御部30に送信する。制御部30は、検出信号を受信して記憶部32に予め設定された回転駆動量V2までモータ25の回転駆動量を低減する。これにより基板3は低速度で搬送される。
図3(d)において、基板3が第2の位置S2に到達すると、第2のセンサ23により遮光状態が検知され、図4に示す搬送位置P2において、ON信号が検出部31に送信される。ON信号を受信した検知部31は、基板3が第2の位置S2に到達したことを検出し、検出信号を制御部30に送信する。制御部30は、検出信号を受信してモータ25の回転駆動を停止する。モータ25の回転駆動が停止しても慣性により基板3は微速度で搬送され、ストッパ24に当接して停止する。
図3(e)において、基板3はストッパ24が配設された位置により確定される所定の停止位置に停止する。
以上の基板3の搬送は搬送機構21により行われ、搬送機構21は、第1の位置S1から第2の位置S2を経由して所定の停止位置に基板3を搬送する搬送手段として機能する。また、第1のセンサ22と検出部31は、基板3が第1の位置S1に到達したことを検出するとともに第1の位置S1を通過したことを検出する第1の検出手段として機能する。また、第2のセンサ23と検出部31は、基板3が第2の位置S2に到達したことを検出する第2の検出手段として機能する。また、制御部30は、搬送機構21の駆動を制御して基板3の搬送速度を調整する制御手段として機能する。
なお、第1のセンサ22を基板搬送装置における基板の搬入側に近接した位置に配設し、第2のセンサ23をストッパ24に近接した位置に配設することで、基板3が高速で搬送される距離が長くなり搬送効率を向上させることができる。このとき、第2のセンサ23をストッパ24にあまり近接させ過ぎるとストッパ24に当接して停止する際の基板3に加わる衝撃が過大になるので、適宜調整して配設する。
このように、本発明の一実施の形態における基板搬送装置によれば、基板3の到達を検知する第1のセンサ22が、基板3の通過を検知する機能を兼務しているので、基板3の
搬送速度を調整するための新たなセンサを付加することなく搬送速度を低減させることができる。これにより、コストの増加を抑制するとともにセンサの増加による電気系の信頼性低下を抑制することができる。
ところで、図5に示すように基板3に切り欠きがある場合、図5(c)において第1のセンサ22が基板3の切り欠きを検知して検出部31にOFF信号を送信し、基板3が第1の位置S1を通過していないにも関わらず搬送速度が低減することなる。そのため、第1のセンサ22からON信号が送信されてから所定時間が経過するまでは基板3の搬送速度を維持して低減させないようにモータ25の回転駆動量の制御を行うこともできる。
この場合、記憶部32に予め基板3の搬送方向(X方向)における長さを記憶しておき、演算部33において基板の搬送方向における長さと基板3の搬送速度から基板が第1の位置S1に到達してから通過するまでの所要時間を演算する。そして、第1のセンサ22からON信号が送信される時点と同時にセンサタイマ34を稼動させ、ON信号を検出部31に送信する。センサタイマ34は演算部33において演算された所要時間だけON信号を送信し、検出部31にセンサタイマ34からのON信号が受信されている間は第1のセンサ22からのOFF信号を受信してもモータ25の回転駆動量を低減させないように制御部30において制御を行う。記憶部32は、基板3の搬送方向における長さを記憶する記憶手段として機能する。また、演算部33は、記憶手段に記憶された基板3の搬送方向における長さと基板3の搬送速度から基板3が第1の位置S1に到達してから通過するまでの所要時間を演算する演算手段として機能する。
図5及び図6を参照して、切り欠き部を有する基板3が基板搬送装置2に搬入されて停止するまでの一連の動作における第1のセンサ22及び第2のセンサ23、センサタイマ34、モータ25の各動作について説明する。図5(a)乃至(f)は、切り欠き部を有する基板3が基板搬送装置2に搬入されて停止するまでの一連の動作を時系列で示している。また、図6は、図5(a)乃至(f)に示す一連の動作における第1のセンサ22及び第2のセンサ23、センサタイマ34、モータ25の回転駆動量について基板3の搬送位置との関係を示している。なお、切り欠き部を有する基板3を例に一連の動作説明を行うが、通常の切り欠きのない基板3においても適用できる。
図5(a)において、図示しない基板搬入機構により基板3が基板搬送装置2に搬入される。図5(b)において、基板搬送装置2に搬入された基板3が第1の位置S1に到達すると、図6に示す搬送位置P0において、第1のセンサ22により遮光状態が検知され、ON信号が検出部31に送信される。また、同時にセンサタイマ34からON信号が検出部31に送信される。制御部30は、検出信号を受信して記憶部32に予め設定された回転駆動量V1でモータ25を回転させる。これにより基板3は高速度で搬送される。
図5(c)において、基板3の切り欠き部が第1のセンサ22の上方に到達すると、第1のセンサ22により遮光状態が解除されたことが検知され、図6に示す搬送位置Paにおいて、第1のセンサ22からOFF信号が検出部31に送信される。このとき、センサタイマ34からはON信号が継続して送信されているので、検出部31は検出信号を制御部30に送信しない。これにより、モータ25の回転駆動量V1は低減されることなく維持され、基板3の搬送速度が維持される。なお、基板3の切り欠き部が第1のセンサ22の上方を通過すると、第1のセンサ22により遮光状態が検知され、図6に示す搬送位置Pbにおいて、第1のセンサ22からON信号が検出部31に送信される。
図5(d)において、基板3が第1の位置S1を通過すると、第1のセンサ22により遮光状態が解除されたことが検知され、図6に示す搬送位置P1において、第1のセンサ22からOFF信号が検出部31に送信される。このとき、基板3が第1の位置S1に到
達してから通過するまでの所要時間が経過しているので、センサタイマ34からのON信号がOFF信号に変更される。制御部30は、検出信号を受信して記憶部32に予め設定された回転駆動量V2までモータ25の回転駆動量を低減する。これにより基板3は低速度で搬送される。
図5(e)において、基板3が第2の位置S2に到達すると、第2のセンサ23により遮光状態が検知され、図6に示す搬送位置P2において、第2のセンサ23からON信号が検出部31に送信される。制御部30は、検出信号を受信してモータ25の回転駆動を停止する。モータ25の回転駆動が停止しても慣性により基板3は微速度で搬送され、ストッパ24に当接して停止する。
図5(f)において、基板3はストッパ24が配設された位置により確定される所定の停止位置に停止する。
ところで、本発明の一実施の形態における基板搬送装置においては多品種の基板を取り扱うことが可能であるが、基板の品種によっては搬送方向(X方向)における長さに長短の差が存在する。短い基板は長い基板に比べて早い段階で第1の位置を通過するので、基板が第1の位置を通過した時点で搬送速度を低減させると、減速してから停止するまでの移動距離及びそれに要する時間が長くなる。そのため、基板が第1の位置を通過した時点で搬送速度を低減させるのではなく、基板が第1の位置に到達した時点から演算部において演算された所要時間を経過した時点で搬送速度を低減するようにモータ25の回転駆動量の制御を行うこともできる。
この場合、第1の位置S1と第2の位置S2の間に第3の位置S3を設定し、基板の搬送速度から基板が前記第1の位置に到達してから第3の位置に到達するまでの所要時間を演算部33により演算する。そして、第1のセンサ22からON信号が送信される時点と同時にセンサタイマ34を稼動させ、ON信号を検出部31に送信する。センサタイマ34は演算部33において演算された所要時間だけON信号を送信し、検出部31にセンサタイマ34からのON信号が受信されている間は第1のセンサ22からのOFF信号を受信してもモータ25の回転駆動量を低減させないように制御部30において制御を行う。演算部33は、基板の搬送速度から基板が第1の位置S1に到達してから第1の位置S1と第2の位置S2との間に設定された第3の位置S3に到達するまでの所要時間を演算する演算手段として機能する。
これにより、基板の長さに関係なく搬送速度を低減する位置を第3の位置に統一することができる。従って、短い基板が長い基板に比べて早い段階で第1の位置を通過することにより、減速してから停止するまでの移動距離及びそれに要する時間が長くなることによる搬送効率の低下を防止することができる。
図7及び図8を参照して、比較的短い基板3が基板搬送装置2に搬入されて停止するまでの一連の動作における第1のセンサ22及び第2のセンサ23、センサタイマ34、モータ25の各動作について説明する。図7(a)乃至(f)は、基板3が基板搬送装置2に搬入されて停止するまでの一連の動作を時系列で示している。また、図8は、図7(a)乃至(f)に示す一連の動作における第1のセンサ22及び第2のセンサ23、センサタイマ34、モータ25の回転駆動量について基板3の搬送位置との関係を示している。
図7(a)において、図示しない基板搬入機構により基板3が基板搬送装置2に搬入される。基板搬送装置2には、第1の位置S1及び第2の位置S2の他に第3の位置S3が設定されている。第3の位置S3は、第1の位置S1と第2の位置S2の間の第2の位置S2寄りに設定されている。
図7(b)において、基板搬送装置2に搬入された基板3が第1の位置S1に到達すると、図8に示す搬送位置P0において、第1のセンサ22により遮光状態が検知され、ON信号が検出部31に送信される。制御部30は、検出信号を受信して記憶部32に予め設定された回転駆動量V1でモータ25を回転させる。これにより基板3は高速度で搬送される。また、同時にセンサタイマ34からON信号が検出部31に送信される。センサタイマ34は、演算部33において演算された所要時間だけON信号を送信し、検出部31にセンサタイマ34からのON信号が受信されている間は第1のセンサ22からのOFF信号を受信してもモータ25の回転駆動量を低減させないように制御部30において制御を行う。演算部33は、第1の位置S1と第3の位置S3との間の距離と基板3の搬送速度から基板3が第3の位置S3に到達するまでの所要時間を演算する。
図7(c)において、基板3が第1の位置S1を通過すると、第1のセンサ22により遮光状態が解除されたことが検知され、図8に示す搬送位置Pcにおいて、第1のセンサ22からOFF信号が検出部31に送信される。このとき、センサタイマ34からはON信号が継続して送信されているので、検出部31は検出信号を制御部30に送信しない。これにより、モータ25の回転駆動量V1は低減されることなく維持され、基板3の搬送速度が維持される。
図7(d)において、基板3が第3の位置S3に到達した時点、すなわち演算部33により演算された所要時間が経過した時点において、センサタイマ34からのON信号がOFF信号に変更され(図8に示す搬送位置P1参照)、OFF信号が検出部31に送信される。制御部30は、検出信号を受信して記憶部32に予め設定された回転駆動量V2までモータ25の回転駆動量を低減する。これにより基板3は低速度で搬送される。
図7(e)において、基板3が第2の位置S2に到達すると、第2のセンサ23により遮光状態が検知され、図8に示す搬送位置P2において、第2のセンサ23からON信号が検出部31に送信される。制御部30は、検出信号を受信してモータ25の回転駆動を停止する。モータ25の回転駆動が停止しても慣性により基板3は微速度で搬送され、ストッパ24に当接して停止する。
図7(f)において、基板3はストッパ24が配設された位置により確定される所定の停止位置に停止する。
なお、本発明の一実施の形態における基板搬送装置2は、基板搬送装置全体の電気的信頼性を高めるために、図2に示す3つの基板搬送装置2a、2b、2cの全てに適用することが望ましいが、各基板搬送装置2a、2b、2cはそれぞれ独立して上述したような効果を奏するので、何れかの基板搬送装置2a、2b、2cに選択的に適用してもよい。また、電子部品実装装置に搬入される基板3に長短の差があるような場合には、基板搬送装置2bに適用することで、基板3の長短に関わりなく効率的に搬送を行って所定の位置に基板を固定することができる。これにより、タクトタイムを短縮して実装効率の向上を図ることができる。
本発明の基板搬送装置によれば、基板の搬送速度を減速させるための専用のセンサを要さずに基板の搬送速度を減速させているので、コスト増及び信頼性の低下を招くことなく効率的に基板を搬送することができるという利点を有し、連続的に供給される基板に電子部品を実装する分野において特に有用である。
本発明の一実施の形態における電子部品実装装置の構成を示す平面図 本発明の一実施の形態における基板搬送装置の構成を示す側面図 本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図 本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図 本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図 本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図 本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図 本発明の一実施の形態における基板搬送装置の動作説明図
符号の説明
2、2a、2b、2c 基板搬送装置
3 基板
21 搬送機構
22 第1のセンサ
23 第2のセンサ
25 モータ
30 制御部
31 検出部
32 記憶部
33 演算部
S1 第1の位置
S2 第2の位置
S3 第3の位置

Claims (3)

  1. 第1の位置から第2の位置を経由して基板を搬送する搬送手段と、前記基板が前記第1の位置に到達したことを検出するとともに前記第1の位置を通過したことを検出する第1の検出手段と、基板が前記第2の位置に到達したことを検出する第2の検出手段と、前記搬送手段の駆動を制御して基板の搬送速度を調整する制御手段とを備え、
    前記制御手段が、前記第1の検出手段により基板が前記第1の位置を通過したことが検出されると前記搬送手段の駆動を低減し、前記第2の検出手段により基板が前記第2の位置に到達したことが検出されると前記搬送手段の駆動を停止する制御を行うことを特徴とする基板搬送装置。
  2. 基板の搬送方向における長さを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶された基板の搬送方向における長さと前記制御手段により調整された前記基板の搬送速度から前記基板が前記第1の位置に到達してから通過するまでの所要時間を演算する演算手段とをさらに備え、
    前記制御手段が、前記第1の検出手段により基板が前記第1の位置に到達したことが検出された後、前記演算手段により演算された前記所要時間が経過するまでは前記搬送手段の駆動を維持する制御を行うことを特徴とする請求項1記載の基板搬送装置。
  3. 第1の位置から第2の位置を経過して基板を搬送する搬送手段と、基板が前記第1の位置に到達したことを検出する第1の検出手段と、基板が前記第2の位置に到達したことを検出する第2の検出手段と、前記搬送手段の駆動を制御して基板の搬送速度を調整する制御手段と、前記制御手段により調整された基板の搬送速度から基板が前記第1の位置に到達してから前記第1の位置と前記第2の位置との間に設定された第3の位置に到達するまでの所要時間を演算する演算手段とを備え、
    前記制御手段が、前記第1の検出手段により基板が前記第1の位置を通過したことが検出されるとともに前記演算手段により演算された前記所要時間が経過すると前記搬送手段の駆動を低減する制御を行うことを特徴とする基板搬送装置。
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