JP2007170920A - 光学素子測定用治具、並びに、光学素子の面形状測定装置及び方法 - Google Patents
光学素子測定用治具、並びに、光学素子の面形状測定装置及び方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 回転制限部材70は、光学素子OE側に凹部71を有しており、この凹部71と光学素子OEに形成された平坦部FP及び突起部PPとが嵌合することによって光学素子OEの光軸OAのまわりの回転位置が調節される。以上の平坦部FP及び突起部PPは、外縁部PAの輪郭に関して隣接部と異なる不規則部であり、光学素子OEの射出成形時によって不可避的に形成されるゲートをカットした部分である。光学素子OEの形状測定において光学素子OEの方向を特定することが重要となる場合があるが、上記突起部PP等をこの目的で使用することができる。突起部PP等は、光学素子OEの形状測定結果を利用する際に基準となるものである。
【選択図】 図1
Description
本発明のさらに別の態様では、前記複数の外形基準検知手段のうち2つの外形基準検知手段の球面部は、当接する側面部の当接箇所間に、前記光学素子の突起部が配置されるよう構成されている。この場合、成形時に残ったゲート跡等の突起物を避けた計測が可能となる。
以下の範囲
0.01<F’<10
を満足する。下限値を下回ると、外形基準検知手段と光学素子の外周部との密着度が十分に確保できず、外形を正確に測定することができない。 また、上限値を上回ると、光学素子を歪ませてしまい、同様に外形を正確に測定することができない。
以下、本発明の第1実施形態に係る光学素子測定用治具を図面を用いて説明する。図1(a)は、面形状測定用の光学素子測定用治具の平面図であり、図1(b)は、図1(a)の光学素子測定用治具のAA矢視断面図である。また、図2(a)は、図1(a)に示す治具の中央部の部分拡大平面図であり、図2(b)は、図2(a)に対応する部分拡大断面図である。
以下、第2実施形態に係る光学素子測定用治具について説明する。第2実施形態の光学素子測定用治具は、第1実施形態の治具を一部変更したものであり、特に説明しない部分は、第1実施形態の装置と共通しており、図面において共通する部分には同一の符号を付して重複説明を省略する。
Claims (11)
- 測定対象であり不規則部を有する光学素子を載置する、第一面と該第一面の裏面に相当する第二面とを有する基板と、
一部が前記基板に支持され、既知の球面形状を有する球面部を前記光学素子側面部に光軸と垂直な方向から当接するよう設けた複数の外形基準検知手段と、
前記基板に設けられ、前記複数の外形基準検知手段の内、所定位置に配置された2つの外形基準検知手段の球面部の間に配置された、前記光学素子が持つ不規則部と係合可能な係合手段と、を有し、
前記係合手段と前記光学素子との係合により前記光学素子の回転規制を行う事を特徴とする光学素子測定用治具。 - 前記係合手段は、前記光学素子の不規則部と係合する係合部を凹凸部で構成したことを特徴とする光学素子測定用治具。
- 前記光学素子の光軸と垂直な面に、前記光学素子を前記基板に対して押圧するような付勢力を以って当接する挟持手段を複数備えることを特徴とする請求項1又は2記載の光学素子測定用治具。
- 前記挟持手段は、少なくとも3つ以上備えることを特徴とする請求項3記載の光学素子測定用治具。
- 前記基板は、載置された光学素子の光学面を前記第一及び第二面の両側から測定可能な開口部を備えたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具。
- 前記光学素子と当接する前記挟持手段の接触部は、球状に構成されていることを特徴とする請求項3〜5のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具。
- 請求項1〜6のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具を備えた光学素子形状測定装置。
- 前記光学素子形状測定装置は、前記基板の第一面と第二面とを反転可能に保持する保持部を備えることを特徴とする請求項7記載の光学素子形状測定装置。
- 請求項1〜6のいずれか一つに記載の光学素子測定用治具を用いた光学素子形状測定方法。
- 請求項7記載の光学素子形状測定装置を用いた光学素子形状測定方法。
- 請求項8記載の光学素子形状測定装置を用い、前記基板の第一面側から載置された光学素子の面形状を測定した後、前記基板を反転させ、前記基板の第2面側から前記光学素子の面形状を測定する事を特徴とする光学素子形状測定方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015151830A1 (ja) * | 2014-03-31 | 2015-10-08 | コニカミノルタ株式会社 | 光学素子の測定用ジグ、偏芯測定装置及び偏芯測定方法 |
CN107976163A (zh) * | 2018-01-06 | 2018-05-01 | 云南省建筑科学研究院 | 异形钢筋混凝土结构钢筋保护层检测装置及其检测方法 |
KR20190043675A (ko) * | 2017-10-19 | 2019-04-29 | (주)지엘테크 | 판 스프링 구조 및 이를 이용한 스캐닝 시스템 |
CN112179285A (zh) * | 2019-07-02 | 2021-01-05 | 松下知识产权经营株式会社 | 保持件以及测定用夹具 |
WO2022186693A1 (en) * | 2021-03-05 | 2022-09-09 | Dutch United Instruments B.V. | Measurement device and method for measuring optical elements |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04121615A (ja) * | 1990-09-12 | 1992-04-22 | Nec Corp | ウエーハ傾き検出器 |
JPH04268433A (ja) * | 1991-02-22 | 1992-09-24 | Olympus Optical Co Ltd | 非球面レンズ偏心測定装置 |
JPH08126948A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-21 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ芯出し装置 |
JPH09290340A (ja) * | 1996-04-25 | 1997-11-11 | Nikon Corp | 円形体の心出し装置 |
JP2000288872A (ja) * | 1999-04-08 | 2000-10-17 | Canon Inc | ワークの保持方法およびワーク保持治具ならびに該ワーク保持治具を用いたワーク形状測定方法 |
JP2000304525A (ja) * | 1999-04-16 | 2000-11-02 | Nikon Corp | 支持装置 |
JP2002250621A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-09-06 | Olympus Optical Co Ltd | 光学素子及びその型の形状測定方法及び装置 |
-
2005
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04121615A (ja) * | 1990-09-12 | 1992-04-22 | Nec Corp | ウエーハ傾き検出器 |
JPH04268433A (ja) * | 1991-02-22 | 1992-09-24 | Olympus Optical Co Ltd | 非球面レンズ偏心測定装置 |
JPH08126948A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-21 | Olympus Optical Co Ltd | レンズ芯出し装置 |
JPH09290340A (ja) * | 1996-04-25 | 1997-11-11 | Nikon Corp | 円形体の心出し装置 |
JP2000288872A (ja) * | 1999-04-08 | 2000-10-17 | Canon Inc | ワークの保持方法およびワーク保持治具ならびに該ワーク保持治具を用いたワーク形状測定方法 |
JP2000304525A (ja) * | 1999-04-16 | 2000-11-02 | Nikon Corp | 支持装置 |
JP2002250621A (ja) * | 2000-12-18 | 2002-09-06 | Olympus Optical Co Ltd | 光学素子及びその型の形状測定方法及び装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015151830A1 (ja) * | 2014-03-31 | 2015-10-08 | コニカミノルタ株式会社 | 光学素子の測定用ジグ、偏芯測定装置及び偏芯測定方法 |
JPWO2015151830A1 (ja) * | 2014-03-31 | 2017-04-13 | コニカミノルタ株式会社 | 光学素子の測定用ジグ、偏芯測定装置及び偏芯測定方法 |
KR20190043675A (ko) * | 2017-10-19 | 2019-04-29 | (주)지엘테크 | 판 스프링 구조 및 이를 이용한 스캐닝 시스템 |
KR102024017B1 (ko) | 2017-10-19 | 2019-09-24 | (주)지엘테크 | 판 스프링 구조 및 이를 이용한 스캐닝 시스템 |
CN107976163A (zh) * | 2018-01-06 | 2018-05-01 | 云南省建筑科学研究院 | 异形钢筋混凝土结构钢筋保护层检测装置及其检测方法 |
CN112179285A (zh) * | 2019-07-02 | 2021-01-05 | 松下知识产权经营株式会社 | 保持件以及测定用夹具 |
WO2022186693A1 (en) * | 2021-03-05 | 2022-09-09 | Dutch United Instruments B.V. | Measurement device and method for measuring optical elements |
NL2027713B1 (en) * | 2021-03-05 | 2022-09-23 | Dutch United Instr B V | Measurement device and method for measuring optical elements |
Also Published As
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